JPH05301212A - グリーンシートの非接触反転装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 セラミック・グリーンシートの検査システム
において、非接触吸着ヘッドを有する搬送吸着部によ
り、表裏反転部に搬送されたグリーンシートを、非接触
で受け取り、かつ非接触で反転して次の検査部に引渡し
できる反転装置を提供する。 【構成】 非接触反転装置１０は、フレーム４、反転駆
動機構５、反転機構６、非接触吸着機構７、回動機構部
８、および移動機構９により構成される。 【効果】 グリーンシート１は搬送用吸着部３との間に
非接触で受け渡しされ、また、両非接触吸着部７Ａ，７
Ｂのギャップに挟持されて非接触で反転され、グリーン
シートに欠陥が発生する危険が回避される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、グリーンシートの検
査システムにおける、非接触方式の反転装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】最近、マイクロ・キャリヤー・チップ
（ＭＣＣ）とよばれる、ミニサイズの半導体配線部品が
開発されている。図３(a) によりＭＣＣの製作方法の大
略を説明すると、適当な大きさ、例えば一辺の長さｗが
約２０ｃｍで、厚さｄが約０．２ｍｍのセラミックのグ
リーンシート１をベースとし、これに複数のＭＣＣ１a
のパターンがプリントされる。これを適当な高温度で燒
結した後、個々のＭＣＣに切断される。ＭＣＣに欠陥が
あると品質が低下するので、まず、未燒結のグリーンシ
ートの段階で検査され、さらに切断された個々のＭＣＣ
に対して検査される。グリーンシートは、柔軟なために
塵埃や擦り傷などの欠陥が生じやすいので、取り扱いに
は細心の注意が必要である。

【０００３】図３(b) は、グリーンシート１に対する検
査システム２のアウトラインを示し、複数の未検査のグ
リーンシートを収容したパレットが、ロード部21に設け
られた載置台に装着され、グリーンシートは上側より順
次に１枚づつ吸着ヘッドにより吸着され、搬送機構によ
り表面検査部22に搬送される。ここで表面側が検査さ
れ、これが終了すると、表裏反転部23に搬送されて反転
され、ついで裏面検査部24において裏面側が検査され、
検査結果の良否に従って良品アンロード部25、または不
良品アンロード部26に搬送されて良品パレットまたは不
良品パレットに収容される。上記の各搬送を行う搬送機
構には、接触による欠陥の発生を防止するために、ベル
ヌイの原理による非接触でエア吸着する吸着ヘッドが使
用されている。

【０００４】図４は非接触エア方式の吸着部３を示し、
吸着部３にはグリーンシート１の周辺に対応して複数の
非接触吸着ヘッド31が配列され、吸入孔32より圧入され
たエアＡを各吸着ヘッド31の噴射面311 より噴射する。
噴射面611 を適切な間隔に接近するとグリーンシート１
は非接触でエア吸着される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】さて前記したように、
グリーンシートには欠陥が生じやすいので、表裏面反転
部23においても、非接触の方法により反転を行うことが
必要である。接触式であれば反転操作は簡単であるが、
非接触の場合はそれなりの工夫を要する。これに対し
て、非接触吸着ヘッドを有する２組の吸着部を一定のギ
ャップをなして対向させ、このギャップにグリーンシー
トを非接触で挟持し、両吸着部を一括して反転する方法
が有効と考えられる。この発明は以上の考えによりなさ
れたもので、非接触吸着ヘッドを有する搬送吸着部によ
り受け渡し位置に搬送されたグリーンシートを、非接触
で受け取り、かつ非接触で反転して引き渡し、次の検査
部に搬送できる反転装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明は、上記の検査
システムにおけるグリーンシートの非接触反転装置であ
って、２組のガイドレールを有する反転機構と、グリー
ンシートを非接触で狭持するギャップをなして対向し、
ガイドレールに沿って前後に移動可能な２組のエア式の
非接触吸着部（以下単に吸着部という）とを具備する。
反転機構の反転により上側となった吸着部を回動し、そ
の先端を上方に開放する回動機構と、反転により下側と
なった吸着部を、グリーンシートの受け渡し位置との間
に往復移動する移動機構とにより構成される。

【０００７】

【作用】上記の非接触反転装置における２組の吸着部
は、いずれか一方が上側、他方が下側であるが、これを
反転機構により反転すると上側と下側が入れ替わる。上
側の吸着部は回動機構により回動して先端が上方に開放
される。また、下側の吸着部は反転機構の一方のガイド
レールに沿って、移動機構により前後に移動する。グリ
ーンシートの受け取りにおいては、まず、上側にある吸
着部のエア噴射を停止し、この吸着部を回動機構により
回動して先端を上方に開放する。ついで下側にある吸着
部を移動機構により前方に移動して受け渡し位置に停止
し、搬送用の吸着部によりこの位置に搬送されたグリー
ンシートを非接触で吸着替えして受け取る。この吸着替
えにおいては、下側の吸着部よりエアを噴射するととも
に、これに接近した搬送用の吸着部よりのエア噴射を停
止して吸着力を無くすると、グリーンシートは下側に非
接触で吸着される。ついで、下側の吸着部は後退しても
との位置に戻り、これに対して上側の吸着部の回動機構
を逆回動すると、開放されている先端が閉じて、下側の
吸着部にギャップをなして対向する。ここで、上側の吸
着部がエアを噴射して吸着動作を行うと、グリーンシー
トはギャップの中間に非接触で挟持される。この状態で
反転機構により両吸着部を反転すると、グリーンシート
の表面と裏面が上下に反転される。次に引き渡しにおい
ては、上記の反転により上側となった吸着部のエア噴射
を停止するとともに、その先端を開放し、グリーンシー
トを下側の吸着部のみに非接触で吸着する。移動機構に
より下側の吸着部を前方に移動して受け渡し位置に停止
し、搬送用の吸着部に対してグリーンシートが非接触で
吸着替えされる。以上により、グリーンシートは搬送用
吸着部との間に非接触で受け渡しされ、また、上下の両
吸着部のギャップに非接触で挟持されて表面と裏面が反
転され、グリーンシートに欠陥が発生する危険が回避さ
れる。

【０００８】

【実施例】図１はこの発明の一実施例における垂直断面
図を示し、図２は図１におけるグリーンシートの反転手
順の説明図である。図１に示す非接触反転装置１０は、
フレーム４、反転駆動機構５、反転機構６、非接触吸着
機構７、回動機構部８、および移動機構９により構成さ
れる。フレーム４はベース盤41と、これに固定された側
板42および中空円板43とにより構成される。反転駆動機
構５は側板42に回転軸51が軸支されたゼネバ歯車52と、
これに係合する回転アーム53、および回転アーム51を回
転するモータ54よりなり、回転アーム53の１回転によ
り、回転軸51が正確に１８０°回転する。反転機構６
は、回転軸51に固定され、周囲に複数のローラー621 が
接触して支持された円板61と、円板61に固定された２組
のガイドレール631,632 と、各ガイドレールの先端に設
けられ、前記の中空円板43に接触する複数のローラー64
1 、および、各ガイドレール631,632 に沿ってスライド
移動する移動子651,652 を有する支持板661,662 とによ
り構成される。非接触吸着機構７は、各支持板に対して
２組の非接触吸着部７Ａ，７Ｂを取り付けて構成され、
各吸着部７Ａ，７Ｂには前記した図４の搬送用吸着部３
と同様に、複数の非接触エア方式の吸着ヘッド71を配列
する。各吸着部はそれぞれの後端が取り付け板721,722
に軸支され、その先端に、両吸着部の吸着ヘッド71が一
定のギャップをなすようにストッパ73を設け、グリーン
シート１をこのギャップに非接触で挟持する。次に、回
動機構部７は各吸着部７Ａ，７Ｂに対して設けられた回
動機構81,8よりなり、各回動機構は、各支持板661,662
にロータリアクチュエータ811,821 を取り付け、それぞ
れの結合アーム812,814 を各吸着部７Ａ，７Ｂに結合し
て構成される。また、移動機構９は、上記の各支持板の
後端に係合突起911,912 を有する係合具91,92 が固定さ
れ、これに対して、ベース盤41に固定されたモータ93
と、その回転軸に結合された駆動アーム94,95 、および
駆動アーム95の先端に取り付けられ、スライド棒96に沿
って移動し、前記の突起911 または921 のいずれかが係
合する移動子97とよりなる。図においては、吸着部７Ｂ
が下側にあって、その係合部92の突起921 が移動子97に
係合しており、モータ93の回転により駆動アーム94,95
が移動子97を左右に移動し、吸着部７Ｂは点線で示すグ
リーンシート１の受け渡し位置との間を往復移動（矢印
Ｆ，Ｂ）する。

【０００９】図１および図２により、非接触によるグリ
ーンシート１の受け渡しと反転方法を説明する。図１に
おいて、両吸着部７Ａ，７Ｂが図示の状態にあり、両吸
着部のギャップにはグリーンシート１が挟持されていな
いとする。回動機構81のロータリアクチュエータ811 を
動作して矢印Ｃの方向に回転すると、上側の吸着部７Ａ
の先端が取り付け板721 の軸支点を中心として矢印Ｅの
方向に開放され、さらに、移動機構９の動作により、下
側の吸着部７Ｂが矢印Ｆのように前進して受け渡し位置
に停止すると、図２のの状態となる。受け渡し位置に
は搬送用吸着部３にグリーンシート１が非接触で吸着さ
れて搬送されている。において、吸着部３が矢印Ｄの
ように下降し、前記したエア噴射の制御によりグリーン
シート１が吸着部７Ｂに吸着替えされ、ついでにおい
て、吸着部３が矢印Ｕにより上昇するとともに、吸着部
７Ｂが矢印Ｂにより後退してもとの位置に戻る。ここ
で、ロータリアクチュエータ811 を逆回転して吸着部７
Ａの先端を矢印Ｇの方向に閉じるととなり、さらに吸
着部７Ａがエアを噴射すると、グリーンシート１は両者
のギャップに非接触で挟持される。ついでで、反転駆
動機構５の駆動により反転機構６が反転動作すると、両
吸着部７Ａ，７Ｂが矢印Ｒにより反転し、従ってグリー
ンシート１の表面と裏面が反転する。において、反転
により上側となった吸着部７Ｂの先端を開放して下側の
吸着部７Ａを前進し、に示すように、吸着部３を下降
してこれにグリーンシート１を吸着替えし、において
上昇して検査部に搬送する。以上により、非接触による
グリーンシート１の受け渡しと反転が終了し、両吸着部
７Ａ，７Ｂはの状態に戻って次のグリーンシートに対
して待機する。

【００１０】

【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による非
接触反転装置によれば、グリーンシートは搬送用吸着部
との間に非接触で受け渡しされ、また、上下の両吸着部
のギャップに非接触で挟持されて表面と裏面が反転さ
れ、グリーンシートに欠陥が発生する危険が回避される
もので、マイクロ・キャリヤー・チップに対するセラミ
ック・グリーンシートの検査システムの信頼性の向上に
寄与するところには大きいものがある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の一実施例における垂直断面図を示
す。

【図２】 図１に対するグリーンシートの受け渡しと反
転手順の説明図である。

【図３】 (a) はセラミック・グリーンシートに形成さ
れるマイクロ・キャリヤー・チップ（ＭＣＣ）の説明
図、(b) はグリーンシートに対する検査システムのアウ
トラインの構成図である。

【図４】 グリーンシートの搬送用の非接触エア方式の
吸着部の説明図である。

【符号の説明】

１…セラミック・グリーンシート、１a …マイクロ・キ
ャリヤー・チップ、２…グリーンシートの検査システ
ム、３…搬送用吸着部、31…吸着ヘッド、311 …噴射
面、32…吸入孔、４…フレーム、41…ベース盤、42…側
板、43…中空円板、５…反転駆動機構、51…回転軸、52
…ゼネバ歯車、53…回転アーム、54…モータ、６…反転
機構、61…円板、621,621,641,641 …ローラー、631,63
2 …ガイドレール、651,652 …移動子、661,662 …支持
板、７…非接触吸着機構、７Ａ，７Ｂ…非接触吸着部、
71…吸着ヘッド、721,722 …取り付け板、73…ストッ
パ、８…回動機構部、81,82 …回動機構、811,821 …ロ
ータリアクチュエータ、812,822 …結合アーム、９…移
動機構、91,92 …係合具、911,921 …係合突起、93…モ
ータ、94,95 …駆動アーム、96…スライド棒、97…移動
子、１０…この発明の非接触反転装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体部品に使用されるセラミックのグ
   リーンシートを対象とし、該グリーンシートを非接触エ
   ア方式の吸着ヘッドに吸着して搬送する搬送機構を有す
   る検査システムにおいて、２組のガイドレールを有する
   反転機構と、前記グリーンシートを非接触で狭持するギ
   ャップをなして対向し、前記ガイドレールに沿って前後
   にそれぞれ移動可能な２組のエア式の非接触吸着部とを
   具備し、前記反転機構の反転により上側となった非接触
   吸着部を回動し、その先端を上方に開放する回動機構
   と、該反転により下側となった非接触吸着部を、前記グ
   リーンシートの受け渡し位置との間に往復移動する移動
   機構とを設けて構成されたことを特徴とする、グリーン
   シートの非接触反転装置。