JPH05303014A - カラーフィルターの修正法 - Google Patents
カラーフィルターの修正法Info
- Publication number
- JPH05303014A JPH05303014A JP10782092A JP10782092A JPH05303014A JP H05303014 A JPH05303014 A JP H05303014A JP 10782092 A JP10782092 A JP 10782092A JP 10782092 A JP10782092 A JP 10782092A JP H05303014 A JPH05303014 A JP H05303014A
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- JP
- Japan
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- color filter
- defective portion
- resin
- transparent substrate
- color
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- Pending
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- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】製造時間が短くなり、製造コストも低減するカ
ラーフィルターの修正法 【構成】本発明のカラーフィルターの修正法は、透明基
板上に所定のパターンで形成された遮光膜の非成膜領域
に、感光性着色樹脂のカラーフィルターを被着させ、次
いで該被着されたカラーフィルターのうち少なくとも欠
損部を有するカラーフィルターの上に上記着色樹脂を被
覆するとともに該欠損部に該着色樹脂を充填し、然る後
に透明基板側から露光して該欠損部に充填された着色樹
脂を硬化させることを特徴とする。
ラーフィルターの修正法 【構成】本発明のカラーフィルターの修正法は、透明基
板上に所定のパターンで形成された遮光膜の非成膜領域
に、感光性着色樹脂のカラーフィルターを被着させ、次
いで該被着されたカラーフィルターのうち少なくとも欠
損部を有するカラーフィルターの上に上記着色樹脂を被
覆するとともに該欠損部に該着色樹脂を充填し、然る後
に透明基板側から露光して該欠損部に充填された着色樹
脂を硬化させることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はカラー液晶表示装置等に
用いられるカラーフィルターの修正法に関するものであ
る。
用いられるカラーフィルターの修正法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】カラーフィルターを採用したカラー液晶
表示装置が提案されているが、このカラー液晶表示装置
は、赤、緑、青等の顔料を含有する感光性着色樹脂を透
明基板上に塗布し、フォトリソグラフィー技術で微細な
カラーフィルターを格子状に形成するという技術により
製造され、この技術は通常「顔料分散法」と呼ばれる。
表示装置が提案されているが、このカラー液晶表示装置
は、赤、緑、青等の顔料を含有する感光性着色樹脂を透
明基板上に塗布し、フォトリソグラフィー技術で微細な
カラーフィルターを格子状に形成するという技術により
製造され、この技術は通常「顔料分散法」と呼ばれる。
【０００３】しかしながら、この顔料分散法により透明
基板上にカラーフィルターを形成すると、一部の画素の
カラーフィルターに欠損部（ピンホール）が生じる場合
があり、この欠損部が発生すると、画像に白欠陥がでる
という問題点があった。
基板上にカラーフィルターを形成すると、一部の画素の
カラーフィルターに欠損部（ピンホール）が生じる場合
があり、この欠損部が発生すると、画像に白欠陥がでる
という問題点があった。
【０００４】かかる問題点を解決するために、その欠陥
画素のカラーフィルターをレーザー加工処理等により概
ね除去し、その後にブランクとなった格子内を新たに感
光性着色樹脂を埋め込み、修正カラーフィルターを形成
するというカラーフィルターの修正法が提案されている
（特開平３ ２７４５０４号公報参照）。
画素のカラーフィルターをレーザー加工処理等により概
ね除去し、その後にブランクとなった格子内を新たに感
光性着色樹脂を埋め込み、修正カラーフィルターを形成
するというカラーフィルターの修正法が提案されている
（特開平３ ２７４５０４号公報参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、上記
提案のカラーフィルターの修正法では、レーザー加工処
理等の設備が必要になり、製造コストが高くなるという
問題点がある。
提案のカラーフィルターの修正法では、レーザー加工処
理等の設備が必要になり、製造コストが高くなるという
問題点がある。
【０００６】また、このレーザー加工処理等により欠陥
カラーフィルターを除去した後に、手作業により新たに
感光性樹脂を埋め込み、修正カラーフィルターを形成す
るという工程が加わり、その工程により製造時間が長く
なり、製造コストが高くなる。
カラーフィルターを除去した後に、手作業により新たに
感光性樹脂を埋め込み、修正カラーフィルターを形成す
るという工程が加わり、その工程により製造時間が長く
なり、製造コストが高くなる。
【０００７】しかも、何十万画素のなかから欠陥画素を
発見しなければならず、そのための作業は通常、顕微鏡
による目視検査が採られ、このような検出とともに個々
の欠陥画素に順次レーザー加工処理し、更に個々の欠陥
画素に手作業によって感光性樹脂を埋め込みことにな
り、その結果、製造時間が長くなるという問題点があっ
た。
発見しなければならず、そのための作業は通常、顕微鏡
による目視検査が採られ、このような検出とともに個々
の欠陥画素に順次レーザー加工処理し、更に個々の欠陥
画素に手作業によって感光性樹脂を埋め込みことにな
り、その結果、製造時間が長くなるという問題点があっ
た。
【０００８】
【問題点を解決するための手段】本発明のカラーフィル
ターの修正法は、透明基板上に所定のパターンで形成さ
れた遮光膜の非成膜領域に、感光性着色樹脂のカラーフ
ィルターを被着させ、次いで該被着されたカラーフィル
ターのうち少なくとも欠損部を有するカラーフィルター
の上に上記着色樹脂を被覆するとともに該欠損部に該着
色樹脂を充填し、然る後に透明基板側から露光して該欠
損部に充填された着色樹脂を硬化させることを特徴とす
る。
ターの修正法は、透明基板上に所定のパターンで形成さ
れた遮光膜の非成膜領域に、感光性着色樹脂のカラーフ
ィルターを被着させ、次いで該被着されたカラーフィル
ターのうち少なくとも欠損部を有するカラーフィルター
の上に上記着色樹脂を被覆するとともに該欠損部に該着
色樹脂を充填し、然る後に透明基板側から露光して該欠
損部に充填された着色樹脂を硬化させることを特徴とす
る。
【０００９】
【作用】上記構成のカラーフィルターの修正法であれ
ば、カラーフィルターに欠損部が生じても透明基板側か
ら露光を行えば、必然的にその欠損部のところだけが露
光されるので、新規な製造装置を用いなくても既存の装
置を用いて修正法でき、これにより、製造コストが低減
する。
ば、カラーフィルターに欠損部が生じても透明基板側か
ら露光を行えば、必然的にその欠損部のところだけが露
光されるので、新規な製造装置を用いなくても既存の装
置を用いて修正法でき、これにより、製造コストが低減
する。
【００１０】しかも、この修正法によれば、個々の欠陥
画素を順次修正しなくても、複数の欠陥画素を同時に修
正でき、その修正の要する時間が短縮し、これによって
製造時間が短くなり、製造コストも低減する。
画素を順次修正しなくても、複数の欠陥画素を同時に修
正でき、その修正の要する時間が短縮し、これによって
製造時間が短くなり、製造コストも低減する。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を述べる。
【００１２】図１において、１はガラス等の透明基板で
あり、この透明基板１は充分に洗浄するとともに表面に
析出したアルカリ成分や油分等を除去して用いる。この
透明基板１の上に真空蒸着やスパッタリング等で金属ク
ロム等の遮光膜２を形成する。この遮光膜２は格子状に
形成し、その各格子が個々の画素に相当し、この遮光膜
２の線幅は３〜２０μｍ、厚さは０．１〜０．３μｍで
ある。
あり、この透明基板１は充分に洗浄するとともに表面に
析出したアルカリ成分や油分等を除去して用いる。この
透明基板１の上に真空蒸着やスパッタリング等で金属ク
ロム等の遮光膜２を形成する。この遮光膜２は格子状に
形成し、その各格子が個々の画素に相当し、この遮光膜
２の線幅は３〜２０μｍ、厚さは０．１〜０．３μｍで
ある。
【００１３】次いで図２に示すように例えば赤の顔料を
分散させた感光性樹脂３を印刷やスピンコートで全面に
塗布し、マスク４を介して露光すると、図３のように赤
の画素５が形成される。
分散させた感光性樹脂３を印刷やスピンコートで全面に
塗布し、マスク４を介して露光すると、図３のように赤
の画素５が形成される。
【００１４】そして、この工程を緑、青という他の画素
についても、それぞれ繰り返し行うと、図４に示すよう
に緑の画素６と青の画素７ができる。
についても、それぞれ繰り返し行うと、図４に示すよう
に緑の画素６と青の画素７ができる。
【００１５】このようにカラーフィルターを形成した後
に、顕微鏡を使って目視によりカラーフィルターの欠陥
を検査する。そして、図５に示すように赤の画素５に欠
損部８が見つかった場合には、図６と図７の下記の工程
によりカラーフィルターを修正し、実用に供する。
に、顕微鏡を使って目視によりカラーフィルターの欠陥
を検査する。そして、図５に示すように赤の画素５に欠
損部８が見つかった場合には、図６と図７の下記の工程
によりカラーフィルターを修正し、実用に供する。
【００１６】図６においては、先に用いられた赤の顔料
を分散させた感光性樹脂３と同じ感光性樹脂９をを印刷
やスピンコートで全面に塗布する。
を分散させた感光性樹脂３と同じ感光性樹脂９をを印刷
やスピンコートで全面に塗布する。
【００１７】次いで図７に示すようにマスク４と同じマ
スクパターンのマスク１０を、透明基板１の背面に配置
し、そして、その背面側より露光する。これによって、
遮光膜２と各画素５、６、７の欠損部８を除く領域は、
遮光性を備え、その欠損部８の領域のみに露光する。そ
の結果、欠損部８に充填している部位の感光性樹脂９は
硬化し、良品である図４の構成となる。尚、上記露光の
際にその露光時間を制御することにより欠損部８のみを
硬化できる。
スクパターンのマスク１０を、透明基板１の背面に配置
し、そして、その背面側より露光する。これによって、
遮光膜２と各画素５、６、７の欠損部８を除く領域は、
遮光性を備え、その欠損部８の領域のみに露光する。そ
の結果、欠損部８に充填している部位の感光性樹脂９は
硬化し、良品である図４の構成となる。尚、上記露光の
際にその露光時間を制御することにより欠損部８のみを
硬化できる。
【００１８】然る後に図８に示すようにエポシキ樹脂や
アクリル樹脂等の透明樹脂を被覆してオーバーコート層
１１を形成し、各画素５、６、７の表面を平滑化する。
そして、真空蒸着やスパッタリング等でインジウム・ス
ズ酸化物等からなる透明電極１２をオーバーコート層１
１の上に形成し、これにより、液晶層（図示せず）を制
御して各画素５、６、７に対応する表示を行う。
アクリル樹脂等の透明樹脂を被覆してオーバーコート層
１１を形成し、各画素５、６、７の表面を平滑化する。
そして、真空蒸着やスパッタリング等でインジウム・ス
ズ酸化物等からなる透明電極１２をオーバーコート層１
１の上に形成し、これにより、液晶層（図示せず）を制
御して各画素５、６、７に対応する表示を行う。
【００１９】上記の例であれば、赤の画素５に欠損部８
が見つかった場合を説明しているが、緑の画素６や青の
画素７に欠損部が見つかった場合には、それぞれに対応
する感光性樹脂とマスクを用いて同様に修正することが
できる。
が見つかった場合を説明しているが、緑の画素６や青の
画素７に欠損部が見つかった場合には、それぞれに対応
する感光性樹脂とマスクを用いて同様に修正することが
できる。
【００２０】かくして上記のカラーフィルターの修正法
であれば、カラーフィルターに欠損部８が生じても透明
基板１側から露光を行えば、必然的にその欠損部８のと
ころだけが露光されるので、新規な製造装置を用いなく
ても既存の装置を用いて修正でき、これにより、製造コ
ストが低減する。
であれば、カラーフィルターに欠損部８が生じても透明
基板１側から露光を行えば、必然的にその欠損部８のと
ころだけが露光されるので、新規な製造装置を用いなく
ても既存の装置を用いて修正でき、これにより、製造コ
ストが低減する。
【００２１】しかも、本発明の場合、例えば赤の各画素
にのみ個々に欠損部８ができても、個々の欠陥画素を順
次修正しなくても、複数の欠陥画素をフォトレジストに
より同時に修正でき、その修正の要する時間が短縮し、
これによって製造時間が短くなり、製造コストも低減す
る。
にのみ個々に欠損部８ができても、個々の欠陥画素を順
次修正しなくても、複数の欠陥画素をフォトレジストに
より同時に修正でき、その修正の要する時間が短縮し、
これによって製造時間が短くなり、製造コストも低減す
る。
【００２２】尚、本発明は上記実施例に限られず、本発
明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更、改良等は何
ら差し支えない。
明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更、改良等は何
ら差し支えない。
【００２３】例えば、先の図１〜図４の一連の工程のな
かで、図１〜図３の工程に到ったところで、本発明のカ
ラーフィルターの修正法を行って、欠損部の有無を問わ
ず、一度赤の顔料を分散させた感光性樹脂９を全面に塗
布し、次いで図７に示すようにマスク１０を、透明基板
１の背面に配置し、そして、その背面側より露光し、完
全に良品となった赤の画素５が得られる。そして、次に
このような工程を緑、青という他の画素についても、そ
れぞれ繰り返し行うと、良品となった緑の画素６と青の
画素７ができる。
かで、図１〜図３の工程に到ったところで、本発明のカ
ラーフィルターの修正法を行って、欠損部の有無を問わ
ず、一度赤の顔料を分散させた感光性樹脂９を全面に塗
布し、次いで図７に示すようにマスク１０を、透明基板
１の背面に配置し、そして、その背面側より露光し、完
全に良品となった赤の画素５が得られる。そして、次に
このような工程を緑、青という他の画素についても、そ
れぞれ繰り返し行うと、良品となった緑の画素６と青の
画素７ができる。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、本発明のカラーフィルタ
ーの修正法によれば、カラーフィルターに欠損部が生じ
ても、その感光性着色樹脂のカラーフィルターを被着さ
せ、次いでその被着されたカラーフィルターのうち少な
くとも欠損部を有するカラーフィルターの上に上記着色
樹脂を被覆するとともにその欠損部に着色樹脂を充填
し、然る後に透明基板側から露光して欠損部に充填され
た着色樹脂を硬化させており、これにより、必然的にそ
の欠損部のところだけが露光されるので、新規な製造装
置を用いなくても既存の装置を用いて修正でき、これに
より、製造コストが低減する。しかも、個々の欠陥画素
を順次修正しなくても、複数の欠陥画素を同時に修正で
き、その修正の要する時間が短縮し、これによって製造
時間が短くなり、製造コストも低減する。
ーの修正法によれば、カラーフィルターに欠損部が生じ
ても、その感光性着色樹脂のカラーフィルターを被着さ
せ、次いでその被着されたカラーフィルターのうち少な
くとも欠損部を有するカラーフィルターの上に上記着色
樹脂を被覆するとともにその欠損部に着色樹脂を充填
し、然る後に透明基板側から露光して欠損部に充填され
た着色樹脂を硬化させており、これにより、必然的にそ
の欠損部のところだけが露光されるので、新規な製造装
置を用いなくても既存の装置を用いて修正でき、これに
より、製造コストが低減する。しかも、個々の欠陥画素
を順次修正しなくても、複数の欠陥画素を同時に修正で
き、その修正の要する時間が短縮し、これによって製造
時間が短くなり、製造コストも低減する。
【図１】実施例における遮光膜形成時の断面図である。
【図２】実施例における画素形成時の断面図である。
【図３】実施例における画素形成時の断面図である。
【図４】実施例におけるカラーフィルター形成後の断面
図である。
図である。
【図５】実施例におけるカラーフィルターの欠損部を示
す断面図である。
す断面図である。
【図６】実施例におけるカラーフィルターの修正を示す
断面図である。
断面図である。
【図７】実施例におけるカラーフィルターの修正を示す
断面図である。
断面図である。
【図８】実施例におけるカラーフィルターの修正後の断
面図である。
面図である。
１ 透明基板 ２ 遮光膜 ３、９ 感光性樹脂 ４、１０ マスク ５、６、７ 画素 ８ 欠損部
Claims (1)
- 【請求項１】透明基板上に所定のパターンで形成された
遮光膜の非成膜領域に、感光性着色樹脂のカラーフィル
ターを被着させ、次いで該被着されたカラーフィルター
に存在する欠損部を含むカラーフィルターの上に上記着
色樹脂を被覆した後に上記透明基板側から露光して上記
欠損部に充填された着色樹脂を硬化させることを特徴と
するカラーフィルターの修正法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10782092A JPH05303014A (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | カラーフィルターの修正法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10782092A JPH05303014A (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | カラーフィルターの修正法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05303014A true JPH05303014A (ja) | 1993-11-16 |
Family
ID=14468869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10782092A Pending JPH05303014A (ja) | 1992-04-27 | 1992-04-27 | カラーフィルターの修正法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05303014A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07318724A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-12-08 | Canon Inc | カラーフィルタの修正方法及び修正装置及びカラーフィルタ及び液晶表示装置及びこの液晶表示装置を備えた装置 |
| EP0707231A3 (en) * | 1994-10-13 | 1996-07-17 | Shinto Paint Co Ltd | Method for repairing a defective color filter |
| US5689318A (en) * | 1994-04-06 | 1997-11-18 | Hitachi, Ltd. | Color liquid crystal display device composed of color filter with a layer of three primary color array patterns fabricated by thermal dye transfer technology |
| KR100447379B1 (ko) * | 1994-03-28 | 2004-11-02 | 샤프 가부시키가이샤 | 컬러필터중의결함을교정하기위한방법 |
| JP2007147840A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Lasertec Corp | パターン基板の欠陥修正装置及び欠陥修正方法並びにパターン基板製造方法 |
-
1992
- 1992-04-27 JP JP10782092A patent/JPH05303014A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100447379B1 (ko) * | 1994-03-28 | 2004-11-02 | 샤프 가부시키가이샤 | 컬러필터중의결함을교정하기위한방법 |
| JPH07318724A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-12-08 | Canon Inc | カラーフィルタの修正方法及び修正装置及びカラーフィルタ及び液晶表示装置及びこの液晶表示装置を備えた装置 |
| US5714195A (en) * | 1994-03-31 | 1998-02-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Color filter repair method and apparatus, color filter, liquid crystal display device, and apparatus having liquid crystal display device |
| US5689318A (en) * | 1994-04-06 | 1997-11-18 | Hitachi, Ltd. | Color liquid crystal display device composed of color filter with a layer of three primary color array patterns fabricated by thermal dye transfer technology |
| EP0707231A3 (en) * | 1994-10-13 | 1996-07-17 | Shinto Paint Co Ltd | Method for repairing a defective color filter |
| JP2007147840A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Lasertec Corp | パターン基板の欠陥修正装置及び欠陥修正方法並びにパターン基板製造方法 |
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