JPH0530343Y2 - - Google Patents
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- JPH0530343Y2 JPH0530343Y2 JP2529191U JP2529191U JPH0530343Y2 JP H0530343 Y2 JPH0530343 Y2 JP H0530343Y2 JP 2529191 U JP2529191 U JP 2529191U JP 2529191 U JP2529191 U JP 2529191U JP H0530343 Y2 JPH0530343 Y2 JP H0530343Y2
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- pulse
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- pulse shaping
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Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Lasers (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】 本考案は、例えばエキシ
マレーザ発生装置のパルス整形回路等を構成する
のに好適な超高圧のパルス整形回路用コンデンサ
装置に関する。エキシマレーザは、半導体のアニ
ーリング、光エツチング、表面加工、光化学、ウ
ランの同位体濃縮もしくは核融合等に利用され
る。更には、高電圧、大電流の電気素子の試験等
にも使用することができる。
マレーザ発生装置のパルス整形回路等を構成する
のに好適な超高圧のパルス整形回路用コンデンサ
装置に関する。エキシマレーザは、半導体のアニ
ーリング、光エツチング、表面加工、光化学、ウ
ランの同位体濃縮もしくは核融合等に利用され
る。更には、高電圧、大電流の電気素子の試験等
にも使用することができる。
【0002】
【従来の技術】 図１は希ガス−ハライドエキシ
マレーザ発生装置の電気回路接続図である。図に
おいて、Ｒは入力抵抗、Ｃはコンデンサ、SG１
はスパークギヤツプ、PFLはパルス整形回路、
SG２はレールギヤツプ、Ａは希ガス−ハライド
エキシマレーザ管である。パルス整形回路PFL
は一種のコンデンサ装置であつて、入力端イ側の
内周電極２をスパークギヤツプSG１に、また外
周電極３をコンデンサＣに接続すると共に、出力
端ロ側の内周電極２をレールギヤツプSG２に、
外周電極３を希ガス−ハライドエキシマレーザ管
Ａの電極にそれぞれ接続してある。
マレーザ発生装置の電気回路接続図である。図に
おいて、Ｒは入力抵抗、Ｃはコンデンサ、SG１
はスパークギヤツプ、PFLはパルス整形回路、
SG２はレールギヤツプ、Ａは希ガス−ハライド
エキシマレーザ管である。パルス整形回路PFL
は一種のコンデンサ装置であつて、入力端イ側の
内周電極２をスパークギヤツプSG１に、また外
周電極３をコンデンサＣに接続すると共に、出力
端ロ側の内周電極２をレールギヤツプSG２に、
外周電極３を希ガス−ハライドエキシマレーザ管
Ａの電極にそれぞれ接続してある。
【0003】 上記の希ガス−ハライドエキシマレー
ザ発生装置において、入力抵抗Ｒを通して高圧を
供給し、コンデンサＣを充電した後、スパークギ
ヤツプSG１を閉じ、パルス整形回路PFLをパル
ス充電する。パルス整形回路PFLのパルス充電
電圧が一定の値になり、レールギヤツプSG２が
閉じると、パルス整形回路PFLの中を電圧波が
往復し、矩形波パルスが希ガス−ハライドエキシ
マレーザ管Ａに印加され、紫外線領域のエキシマ
レーザが発生する。
ザ発生装置において、入力抵抗Ｒを通して高圧を
供給し、コンデンサＣを充電した後、スパークギ
ヤツプSG１を閉じ、パルス整形回路PFLをパル
ス充電する。パルス整形回路PFLのパルス充電
電圧が一定の値になり、レールギヤツプSG２が
閉じると、パルス整形回路PFLの中を電圧波が
往復し、矩形波パルスが希ガス−ハライドエキシ
マレーザ管Ａに印加され、紫外線領域のエキシマ
レーザが発生する。
【0004】 図２はパルス整形回路用コンデンサ装
置の正面断面図、図３は同じくその側面図であ
り、適当な誘電体磁器材料を用いて形成した円筒
状の磁器コンデンサ１の内周面及び外周面に、そ
れぞれ内周電極２及び外周電極３を形成した構造
となつている。
置の正面断面図、図３は同じくその側面図であ
り、適当な誘電体磁器材料を用いて形成した円筒
状の磁器コンデンサ１の内周面及び外周面に、そ
れぞれ内周電極２及び外周電極３を形成した構造
となつている。
【0005】
【考案が解決しようとする課題】 ところで、パ
ルス整形回路を構成するコンデンサ装置の入力端
イと出力端ロとの間のインピーダンスＺ、出力端
ロでのパルス幅τ及び容量Ｃは、 Ｚ＝60（１／√）ln（r2／r1）Ω τ＝2L√ sec Ｃ＝0.56εrL／ln（r2／r1）PF 但し、 ｒ１は磁器コンデンサ１の内径 ｒ２は磁器コンデンサ１の外径 Ｌは磁器コンデンサ１の長さ εrは磁器コンデンサ１の比誘電率 ｖは光速 となる。上掲式 τ＝2L√ から明らかなように、パルス幅τはパルス整形回
路を構成する磁器コンデンサ１の長さＬに比例す
る。したがつて、磁器コンデンサ１の長さＬを調
節することにより、パルス幅τも調節することが
できる。しかし、図２及び図３に示した如く、一
本の磁器コンデンサ１を用いる構造では、製造し
得る長さに製造技術上からの限度があり、必要と
する長さが得られない場合がある。
ルス整形回路を構成するコンデンサ装置の入力端
イと出力端ロとの間のインピーダンスＺ、出力端
ロでのパルス幅τ及び容量Ｃは、 Ｚ＝60（１／√）ln（r2／r1）Ω τ＝2L√ sec Ｃ＝0.56εrL／ln（r2／r1）PF 但し、 ｒ１は磁器コンデンサ１の内径 ｒ２は磁器コンデンサ１の外径 Ｌは磁器コンデンサ１の長さ εrは磁器コンデンサ１の比誘電率 ｖは光速 となる。上掲式 τ＝2L√ から明らかなように、パルス幅τはパルス整形回
路を構成する磁器コンデンサ１の長さＬに比例す
る。したがつて、磁器コンデンサ１の長さＬを調
節することにより、パルス幅τも調節することが
できる。しかし、図２及び図３に示した如く、一
本の磁器コンデンサ１を用いる構造では、製造し
得る長さに製造技術上からの限度があり、必要と
する長さが得られない場合がある。
【0006】 また、内周電極２及び外周電極３に電
極引出端子を連結するに当つて、磁器コンデンサ
１と電極引出端子との間の熱膨張収縮力の差異等
から、磁器コンデンサ４が破損したり、或いは電
極引出端子が剥離脱落したりすることがないよ
う、その取付け構造には充分に注意する必要があ
る。
極引出端子を連結するに当つて、磁器コンデンサ
１と電極引出端子との間の熱膨張収縮力の差異等
から、磁器コンデンサ４が破損したり、或いは電
極引出端子が剥離脱落したりすることがないよ
う、その取付け構造には充分に注意する必要があ
る。
【0007】 そこで、本考案の課題は、上述する問
題点を解決し、電極取出端子の剥離または磁器コ
ンデンサの破損もしくは割れ等を生じることな
く、複数個のものを必要な個数だけ連結し、必要
とする長さを自由に選定することが可能であり、
エキシマレーザ発生装置のパルス整形回路用とし
て好適な超高圧のパルス整形回路用コンデンサ装
置を提供することである。
題点を解決し、電極取出端子の剥離または磁器コ
ンデンサの破損もしくは割れ等を生じることな
く、複数個のものを必要な個数だけ連結し、必要
とする長さを自由に選定することが可能であり、
エキシマレーザ発生装置のパルス整形回路用とし
て好適な超高圧のパルス整形回路用コンデンサ装
置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】 上述した課題解
決のため、本考案は、内周及び外周に電極を有す
る円筒状となつていて、前記電極の軸方向の一端
側をパルス入力端とし、他端側をパルス出力端と
し、前記パルス出力端で得られるパルス幅を、軸
長によつて調整するパルス整形回路用コンデンサ
装置であつて、 内周及び外周にそれぞれ電極を被着形成した複数
個の円筒状磁器コンデンサを軸方向に配列し、 前記複数個の磁器コンデンサの内周電極及び外周
電極を、内周電極引出端子及び外周引出端子によ
つて互いに導通させ、 前記内周電極引出端子及び外周引出端子を、軸方
向の両端側に引出して、前記パルス入力端及び前
記パルス出力端としたこと を特徴とする。
決のため、本考案は、内周及び外周に電極を有す
る円筒状となつていて、前記電極の軸方向の一端
側をパルス入力端とし、他端側をパルス出力端と
し、前記パルス出力端で得られるパルス幅を、軸
長によつて調整するパルス整形回路用コンデンサ
装置であつて、 内周及び外周にそれぞれ電極を被着形成した複数
個の円筒状磁器コンデンサを軸方向に配列し、 前記複数個の磁器コンデンサの内周電極及び外周
電極を、内周電極引出端子及び外周引出端子によ
つて互いに導通させ、 前記内周電極引出端子及び外周引出端子を、軸方
向の両端側に引出して、前記パルス入力端及び前
記パルス出力端としたこと を特徴とする。
【0009】
【作用】 内周及び外周にそれぞれ電極を被着形
成した複数個の円筒状磁器コンデンサを軸方向に
配列し、複数個の磁器コンデンサの内周電極及び
外周電極を、内周電極引出端子及び外周引出端子
によつて互いに導通させ、内周電極引出端子及び
外周引出端子を、軸方向の両端側に引出して、パ
ルス入力端及びパルス出力端としたので、円筒状
磁器コンデンサの個数選択により、パルス出力端
で得られるパルス幅を簡単に調整できる。
成した複数個の円筒状磁器コンデンサを軸方向に
配列し、複数個の磁器コンデンサの内周電極及び
外周電極を、内周電極引出端子及び外周引出端子
によつて互いに導通させ、内周電極引出端子及び
外周引出端子を、軸方向の両端側に引出して、パ
ルス入力端及びパルス出力端としたので、円筒状
磁器コンデンサの個数選択により、パルス出力端
で得られるパルス幅を簡単に調整できる。
【0010】 しかも、磁器コンデンサを軸方向に結
合させて行くだけで、必要とする長さが得られる
ので、エキシマレーザ発生装置のパルス整形回路
等のように、長い磁器コンデンサを必要とする場
合でも、従来問題となつていた製造上の技術的困
難性を伴うことがない。
合させて行くだけで、必要とする長さが得られる
ので、エキシマレーザ発生装置のパルス整形回路
等のように、長い磁器コンデンサを必要とする場
合でも、従来問題となつていた製造上の技術的困
難性を伴うことがない。
【0011】
【実施例】 図４は本考案に係るパルス整形回路
用コンデンサ装置の正面断面図、図５は図４のＡ
１−Ａ１線上における断面図である。図におい
て、４は円筒状に形成された磁器コンデンサであ
り、複数個備えられる。磁器コンデンサ４の個数
は、例えばエキシマレーザ装置のパルス整形回路
として利用する場合には、必要とするパルス幅か
ら計算して設定される。これらの複数個の磁器コ
ンデンサ４の各々は、内周面及び外周面に内周電
極引４１及び外周電極４２を被着形成すると共
に、軸方向の両端面に適当な絶縁被覆層４３を施
し、両端面における沿面絶縁破壊を絶縁被覆層４
３によつて防止する構造となつている。
用コンデンサ装置の正面断面図、図５は図４のＡ
１−Ａ１線上における断面図である。図におい
て、４は円筒状に形成された磁器コンデンサであ
り、複数個備えられる。磁器コンデンサ４の個数
は、例えばエキシマレーザ装置のパルス整形回路
として利用する場合には、必要とするパルス幅か
ら計算して設定される。これらの複数個の磁器コ
ンデンサ４の各々は、内周面及び外周面に内周電
極引４１及び外周電極４２を被着形成すると共
に、軸方向の両端面に適当な絶縁被覆層４３を施
し、両端面における沿面絶縁破壊を絶縁被覆層４
３によつて防止する構造となつている。
【0012】 ５は前記複数個の磁器コンデンサ４の
内径部内を、内周電極４１に圧接して貫通する弾
力性のある金属材料で成る内周電極引出端子であ
る。磁器コンデンサ４の各々は軸方向に並べられ
た状態で、この内周電極引出端子５の上で一体的
に結合される。一体的に結合された状態では、複
数個の磁器コンデンサ４の各々の内周電極４が内
周電極引出端子５の外周面に圧接して電気的に導
通する。内周電極引出端子５に弾力性を持たせる
に当つて、この実施例では、金属パイプの肉厚部
に軸方向に沿う割り５１を設けてある。
内径部内を、内周電極４１に圧接して貫通する弾
力性のある金属材料で成る内周電極引出端子であ
る。磁器コンデンサ４の各々は軸方向に並べられ
た状態で、この内周電極引出端子５の上で一体的
に結合される。一体的に結合された状態では、複
数個の磁器コンデンサ４の各々の内周電極４が内
周電極引出端子５の外周面に圧接して電気的に導
通する。内周電極引出端子５に弾力性を持たせる
に当つて、この実施例では、金属パイプの肉厚部
に軸方向に沿う割り５１を設けてある。
【0013】 上述の構造であれば、軸方向に並べら
れる磁器コンデンサ４の個数選択により軸長を調
整し、パルス出力端で得られるパルス幅を簡単に
調整できる。
れる磁器コンデンサ４の個数選択により軸長を調
整し、パルス出力端で得られるパルス幅を簡単に
調整できる。
【0014】 しかも、複数個の磁器コンデンサ４を
軸方向に結合させて行くだけで、必要とする長さ
が得られるので、エキシマレーザ発生装置のパル
ス整形回路等のように、長い磁器コンデンサを必
要とする場合でも、従来問題となつていた製造上
の技術的困難性を伴うことがない。
軸方向に結合させて行くだけで、必要とする長さ
が得られるので、エキシマレーザ発生装置のパル
ス整形回路等のように、長い磁器コンデンサを必
要とする場合でも、従来問題となつていた製造上
の技術的困難性を伴うことがない。
【0015】 実施例の場合、複数個の磁器コンデン
サ４の各々の内径部内に弾力性のある内周電極引
出端子５を密着して嵌合させる構造であるから、
内周電極４１に内周電極引出端子５の外周面を電
気的に確実に導通させると同時に、組立時の嵌合
力または組立後の熱膨張収縮による熱的ストレス
を内周電極引出端子５によつて吸収し、磁器コン
デンサ４の破損、割れ等を防止することができ
る。更に、磁器コンデンサ４の各々を金属パイプ
で成る内周電極引出端子５により内側から補強す
る構造となるので、機械的強度が増大する。
サ４の各々の内径部内に弾力性のある内周電極引
出端子５を密着して嵌合させる構造であるから、
内周電極４１に内周電極引出端子５の外周面を電
気的に確実に導通させると同時に、組立時の嵌合
力または組立後の熱膨張収縮による熱的ストレス
を内周電極引出端子５によつて吸収し、磁器コン
デンサ４の破損、割れ等を防止することができ
る。更に、磁器コンデンサ４の各々を金属パイプ
で成る内周電極引出端子５により内側から補強す
る構造となるので、機械的強度が増大する。
【0016】 内周電極引出端子５によつて軸方向に
一体化された磁器コンデンサの外周面には、金属
網体で成る外周電極出力端子６を套装してあり、
該外周電極引出端子６によつて磁器コンデンサ４
の各外周電極４２を互いに導通接続させてある。
一体化された磁器コンデンサの外周面には、金属
網体で成る外周電極出力端子６を套装してあり、
該外周電極引出端子６によつて磁器コンデンサ４
の各外周電極４２を互いに導通接続させてある。
【0017】 このように、外周電極引出端子６を金
属網体によつて構成すると、外周電極４２に電極
引出端子６を取付けるに当つて、磁器コンデンサ
４に無理な力が加わることがないし、また組立後
の熱膨張収縮量の差異に基づく熱的ストレスが、
金属網体で構成された外周電極引出端子６によつ
て吸収されるので、磁器コンデンサ４の破損を防
止することができる。
属網体によつて構成すると、外周電極４２に電極
引出端子６を取付けるに当つて、磁器コンデンサ
４に無理な力が加わることがないし、また組立後
の熱膨張収縮量の差異に基づく熱的ストレスが、
金属網体で構成された外周電極引出端子６によつ
て吸収されるので、磁器コンデンサ４の破損を防
止することができる。
【0018】 更に、電気絶縁性を向上させるため、
外周電極引出端子６の上から熱収縮性絶縁チユー
ブ７を被せ、全体を絶縁ハウジング８内に収納し
た構造となつている。絶縁ハウジング８内のパル
ス整形回路用コンデンサ装置の周囲には、絶縁
油、絶縁ガス、シリコンゴム等を満たし、沿面絶
縁破壊を防止してある。ただし、電圧が低い場合
は、絶縁ハウジング８は省略してもよい。
外周電極引出端子６の上から熱収縮性絶縁チユー
ブ７を被せ、全体を絶縁ハウジング８内に収納し
た構造となつている。絶縁ハウジング８内のパル
ス整形回路用コンデンサ装置の周囲には、絶縁
油、絶縁ガス、シリコンゴム等を満たし、沿面絶
縁破壊を防止してある。ただし、電圧が低い場合
は、絶縁ハウジング８は省略してもよい。
【0019】
【考案の効果】 以上述べたように、本考案によ
れば、次のような効果が得られる。 (a) 内周及び外周にそれぞれ電極を被着形成した
複数個の円筒状磁器コンデンサを軸方向に配列
し、複数個の磁器コンデンサの内周電極及び外周
電極を、内周電極引出端子及び外周引出端子によ
つて互いに導通させ、内周電極引出端子及び外周
引出端子を、軸方向の両端側に引出して、パルス
入力端及びパルス出力端としたので、磁器コンデ
ンサの個数選択により、パルス出力端で得られる
パルス幅を簡単に調整し得るパルス整形回路用コ
ンデンサ装置を提供できる。 (b) エキシマレーザ発生装置のパルス整形回路等
のように、長い磁器コンデンサを必要とする場合
でも、電極取出端子の剥離または磁器コンデンサ
の破損もしくは割れ等を生じることなく、複数個
の磁器コンデンサを必要な個数だけ連結し、必要
とする長さを自由に選定することが可能であり、
エキシマレーザ発生装置のパルス整形回路用とし
て好適な超高圧のパルス整形回路用コンデンサ装
置を提供することができる。
れば、次のような効果が得られる。 (a) 内周及び外周にそれぞれ電極を被着形成した
複数個の円筒状磁器コンデンサを軸方向に配列
し、複数個の磁器コンデンサの内周電極及び外周
電極を、内周電極引出端子及び外周引出端子によ
つて互いに導通させ、内周電極引出端子及び外周
引出端子を、軸方向の両端側に引出して、パルス
入力端及びパルス出力端としたので、磁器コンデ
ンサの個数選択により、パルス出力端で得られる
パルス幅を簡単に調整し得るパルス整形回路用コ
ンデンサ装置を提供できる。 (b) エキシマレーザ発生装置のパルス整形回路等
のように、長い磁器コンデンサを必要とする場合
でも、電極取出端子の剥離または磁器コンデンサ
の破損もしくは割れ等を生じることなく、複数個
の磁器コンデンサを必要な個数だけ連結し、必要
とする長さを自由に選定することが可能であり、
エキシマレーザ発生装置のパルス整形回路用とし
て好適な超高圧のパルス整形回路用コンデンサ装
置を提供することができる。
【図１】エキシマレーザ発生装置の電気回路接続
図である。
図である。
【図２】エキシマレーザ発生装置のパルス整形回
路を構成するコンデンサ装置の正面断面図であ
る。
路を構成するコンデンサ装置の正面断面図であ
る。
【図３】エキシマレーザ発生装置のパルス整形回
路を構成するコンデンサ装置の側面断面図であ
る。
路を構成するコンデンサ装置の側面断面図であ
る。
【図４】本考案に係るパルス整形回路用コンデン
サ装置の正面断面図である。
サ装置の正面断面図である。
【図５】図４のＡ１−Ａ１線上における断面図で
ある。
ある。
４……磁器コンデンサ
４１……内周電極
４２……外周電極
４３……絶縁被覆
５……内周電極引出端子
６……外周電極引出端子。
Claims (6)
- 【請求項１】 内周及び外周に電極を有する円筒
状となつていて、前記電極の軸方向の一端側をパ
ルス入力端とし、他端側をパルス出力端とし、前
記パルス出力端で得られるパルス幅を、軸長によ
つて調整するパルス整形回路用コンデンサ装置で
あつて、 内周及び外周にそれぞれ電極を被着形成した複数
個の円筒状磁器コンデンサを軸方向に配列し、 前記複数個の磁器コンデンサの内周電極及び外周
電極を、内周電極引出端子及び外周引出端子によ
つて互いに導通させ、 前記内周電極引出端子及び外周引出端子を、軸方
向の両端側に引出して、前記パルス入力端及び前
記パルス出力端としたこと を特徴とするパルス整形回路用コンデンサ装置。 - 【請求項２】 前記内周電極引出端子は、前記複
数個の磁器コンデンサの内径部内を、内周電極に
圧接して貫通する弾力性のある金属材料で成るこ
とを特徴とする請求項１に記載のパルス整形回路
用コンデンサ装置。 - 【請求項３】 前記内周電極引出端子は、肉厚部
に軸方向に沿う割りを入れることにより弾力性を
持たせたことを特徴とする請求項２に記載のパル
ス整形回路用コンデンサ装置。 - 【請求項４】 前記外周電極引出端子は、前記複
数個の磁器コンデンサの外周に套装されて外周電
極を互いに導通させることを特徴とする請求項
１，２または３に記載のパルス整形回路用コンデ
ンサ装置。 - 【請求項５】 前記外周電極引出端子は、金属網
体で成ることを特徴とする請求項４に記載のパル
ス整形回路用コンデンサ装置。 - 【請求項６】 前記複数個の磁器コンデンサの
各々は、軸方向の両端面に絶縁被覆層を有するこ
とを特徴とする請求項１，２，３，４または５に
記載のパルス整形回路用コンデンサ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2529191U JPH0530343Y2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2529191U JPH0530343Y2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0497328U JPH0497328U (ja) | 1992-08-24 |
| JPH0530343Y2 true JPH0530343Y2 (ja) | 1993-08-03 |
Family
ID=31760382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2529191U Expired - Lifetime JPH0530343Y2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0530343Y2 (ja) |
-
1991
- 1991-03-22 JP JP2529191U patent/JPH0530343Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0497328U (ja) | 1992-08-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19940726 |