JPH05304278A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPH05304278A JPH05304278A JP4134441A JP13444192A JPH05304278A JP H05304278 A JPH05304278 A JP H05304278A JP 4134441 A JP4134441 A JP 4134441A JP 13444192 A JP13444192 A JP 13444192A JP H05304278 A JPH05304278 A JP H05304278A
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- JP
- Japan
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- solid
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- pixels
- imaging device
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- Withdrawn
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 15
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 2
- RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N copper;5,10,15,20-tetraphenylporphyrin-22,24-diide Chemical compound [Cu+2].C1=CC(C(=C2C=CC([N-]2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3[N-]2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 241000282414 Homo sapiens Species 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 正方格子状配列の画素アレイを備えた固体撮
像装置において、実質的に画素を斜め格子状に配列した
高解像度機能をもたせる。 【構成】 正方格子状に配列した画素1からなる画素ア
レイの列方向の画素群に共通にソース配線3を設け、該
ソース配線3により仕切られたゲート電極2の一方を開
口部2aとし、他方を遮光部2bすると共に、開口部2
aは、列方向に配列された隣接画素において交互に左右
に配置されるように構成し、開口部2aを斜め格子状配
列として高解像度化を図る。
像装置において、実質的に画素を斜め格子状に配列した
高解像度機能をもたせる。 【構成】 正方格子状に配列した画素1からなる画素ア
レイの列方向の画素群に共通にソース配線3を設け、該
ソース配線3により仕切られたゲート電極2の一方を開
口部2aとし、他方を遮光部2bすると共に、開口部2
aは、列方向に配列された隣接画素において交互に左右
に配置されるように構成し、開口部2aを斜め格子状配
列として高解像度化を図る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、複数の画素を正方格
子状に配列してなる画素アレイの開口部を斜め格子状に
配列して高解像度化を図るようにした固体撮像装置に関
する。
子状に配列してなる画素アレイの開口部を斜め格子状に
配列して高解像度化を図るようにした固体撮像装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来、CCD、あるいはCMD(Charge
Modulation Device)などの増幅型光電変換素子を画素
として用いた固体撮像装置は、一般に画素を正方格子状
に配列して構成されている。例えば、図6は、CMDを
画素として用いた固体撮像装置の画素アレイの平面構造
を示す図である。図において、101 は正方格子状に配列
されたCMD画素のゲート電極、102 はソース領域、10
3 はドレイン領域、104はゲート配線であり、ゲート電
極101 とゲート配線104 とは、2画素ずつ共通に分岐接
続部105 とゲート部コンタクト106 を介して接続されて
いる。なお、107はソース配線、108 はソース部コンタ
クト、109 はドレイン配線、110 はドレイン部コンタク
トである。
Modulation Device)などの増幅型光電変換素子を画素
として用いた固体撮像装置は、一般に画素を正方格子状
に配列して構成されている。例えば、図6は、CMDを
画素として用いた固体撮像装置の画素アレイの平面構造
を示す図である。図において、101 は正方格子状に配列
されたCMD画素のゲート電極、102 はソース領域、10
3 はドレイン領域、104はゲート配線であり、ゲート電
極101 とゲート配線104 とは、2画素ずつ共通に分岐接
続部105 とゲート部コンタクト106 を介して接続されて
いる。なお、107はソース配線、108 はソース部コンタ
クト、109 はドレイン配線、110 はドレイン部コンタク
トである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、一般に人間
の視覚特性において、解像に対する視感度は、水平方向
や垂直方向においては高く、斜め方向では低いとされて
おり、したがって図7に示すように、画素111 を斜め格
子状に配置することにより、斜め方向の画素間隔は変わ
らないように配置しても水平あるいは垂直方向に対して
は高解像度が得られる。したがって斜め格子状の画素配
列が理想的な構成とされている。
の視覚特性において、解像に対する視感度は、水平方向
や垂直方向においては高く、斜め方向では低いとされて
おり、したがって図7に示すように、画素111 を斜め格
子状に配置することにより、斜め方向の画素間隔は変わ
らないように配置しても水平あるいは垂直方向に対して
は高解像度が得られる。したがって斜め格子状の画素配
列が理想的な構成とされている。
【0004】しかしながら、CCD固体撮像装置におい
ては、斜め格子状の開口部をもたせることは困難であ
り、また上記図6に示したCMDを用いた固体撮像装置
において斜め格子状に画素を配列しようとすると、図8
に示すような平面構成となり、ゲート部コンタクト106
あるいはドレイン部コンタクト110 の配置位置が、各画
素のゲート電極101 に接近する構成になるため、これら
のコンタクトは小さくしなければならず、設計ルールが
きびしくなり、画素の縮小化が難しくなってしまう。し
たがって、CMDを用いた固体撮像装置においても、画
素を斜め格子状に配列することは、やはり困難である。
ては、斜め格子状の開口部をもたせることは困難であ
り、また上記図6に示したCMDを用いた固体撮像装置
において斜め格子状に画素を配列しようとすると、図8
に示すような平面構成となり、ゲート部コンタクト106
あるいはドレイン部コンタクト110 の配置位置が、各画
素のゲート電極101 に接近する構成になるため、これら
のコンタクトは小さくしなければならず、設計ルールが
きびしくなり、画素の縮小化が難しくなってしまう。し
たがって、CMDを用いた固体撮像装置においても、画
素を斜め格子状に配列することは、やはり困難である。
【0005】本発明は、従来の固体撮像装置における上
記問題点を解消するためになされたもので、正方格子状
配列の画素アレイを用いて、実質的に画素を斜め格子状
に配列した機能をもたせることの可能な固体撮像装置を
提供することを目的とする。
記問題点を解消するためになされたもので、正方格子状
配列の画素アレイを用いて、実質的に画素を斜め格子状
に配列した機能をもたせることの可能な固体撮像装置を
提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段及び作用】上記問題点を解
決するため、本発明は、複数の画素を正方格子状に配列
してなる画素アレイを備えた固体撮像装置において、前
記画素アレイの各列方向に配列された隣接画素の有効開
口部を交互に左右に位置させ、画素アレイの有効開口部
が斜め格子状に配列されるように構成するものである。
決するため、本発明は、複数の画素を正方格子状に配列
してなる画素アレイを備えた固体撮像装置において、前
記画素アレイの各列方向に配列された隣接画素の有効開
口部を交互に左右に位置させ、画素アレイの有効開口部
が斜め格子状に配列されるように構成するものである。
【0007】このように各列方向に配列された隣接画素
の有効開口部を、交互に左右に位置させることにより、
各画素の有効開口部が斜め格子状に配列される。したが
って、正方格子状に配列した各画素に対して、実質的に
斜め格子状に配列したと同等の機能をもたせることがで
き、解像度を向上させることができる。
の有効開口部を、交互に左右に位置させることにより、
各画素の有効開口部が斜め格子状に配列される。したが
って、正方格子状に配列した各画素に対して、実質的に
斜め格子状に配列したと同等の機能をもたせることがで
き、解像度を向上させることができる。
【0008】
【実施例】次に実施例について説明する。図1は、本発
明に係る固体撮像装置の第1実施例を示す概略平面構成
図である。この実施例は、CMDを画素として用いた固
体撮像装置に本発明を適用したもので、図において、1
はCMD画素、2はCMD画素1のゲート電極、3はソ
ース配線であり、ゲート電極2はソース配線3で仕切ら
れ、その対向部分の一方は開口部2aとし、他方は遮光
部2bとし、そしてゲート電極開口部2aは、列方向に
配列された隣接画素において交互に左右に配置されるよ
うに構成されている。
明に係る固体撮像装置の第1実施例を示す概略平面構成
図である。この実施例は、CMDを画素として用いた固
体撮像装置に本発明を適用したもので、図において、1
はCMD画素、2はCMD画素1のゲート電極、3はソ
ース配線であり、ゲート電極2はソース配線3で仕切ら
れ、その対向部分の一方は開口部2aとし、他方は遮光
部2bとし、そしてゲート電極開口部2aは、列方向に
配列された隣接画素において交互に左右に配置されるよ
うに構成されている。
【0009】このように構成することにより、ゲート電
極2の開口部2aは斜め格子状に配列され、正方格子状
に配列されている画素が実質的に斜め格子状に配列され
たように機能させることができる。このように従来のC
MD画素の配列構成を変えずに、単に図示のようにゲー
ト電極2に遮光部2bを形成することにより、約2倍の
水平解像度を得ることができる。
極2の開口部2aは斜め格子状に配列され、正方格子状
に配列されている画素が実質的に斜め格子状に配列され
たように機能させることができる。このように従来のC
MD画素の配列構成を変えずに、単に図示のようにゲー
ト電極2に遮光部2bを形成することにより、約2倍の
水平解像度を得ることができる。
【0010】次に第2実施例について説明する。図2は
第2実施例を示す概略平面図で、この実施例は、CMD
画素にマイクロレンズを組み合わせた構成の固体撮像装
置に、本発明を適用したものである。すなわち、正方格
子状に配列したCMD画素1からなる画素アレイにおい
て、各CMD画素1に対応して配置するマイクロレンズ
5を斜め格子状に配置し、その集光中心部5aが、列方
向に配置された隣接画素において交互に左右に位置する
ように構成するものである。
第2実施例を示す概略平面図で、この実施例は、CMD
画素にマイクロレンズを組み合わせた構成の固体撮像装
置に、本発明を適用したものである。すなわち、正方格
子状に配列したCMD画素1からなる画素アレイにおい
て、各CMD画素1に対応して配置するマイクロレンズ
5を斜め格子状に配置し、その集光中心部5aが、列方
向に配置された隣接画素において交互に左右に位置する
ように構成するものである。
【0011】このように構成することにより、第1実施
例と同様に、実質的に画素を斜め格子状に配列したもの
と同等の機能をもたせ、感度を損なわずに約2倍の水平
解像度を得ることができる。なお、このマイクロレンズ
を用いた実施例は、図1に示した第1実施例に併用させ
ることもできる。
例と同様に、実質的に画素を斜め格子状に配列したもの
と同等の機能をもたせ、感度を損なわずに約2倍の水平
解像度を得ることができる。なお、このマイクロレンズ
を用いた実施例は、図1に示した第1実施例に併用させ
ることもできる。
【0012】図3は、第3実施例を示す概略平面図であ
る。この実施例は、ソース配線3を利用して画素のゲー
ト電極2の一部を遮光し、ゲート電極開口部2aを格子
状配列となるように構成したもので、3aはソース配線
3の一部で形成した画素遮光部を示している。
る。この実施例は、ソース配線3を利用して画素のゲー
ト電極2の一部を遮光し、ゲート電極開口部2aを格子
状配列となるように構成したもので、3aはソース配線
3の一部で形成した画素遮光部を示している。
【0013】図4は、第4実施例を示す概略平面図であ
る。この実施例は、正方格子状に配列したCMD画素に
対して、遮光フィルタ6を斜め格子状に配列し、列方向
に配列された隣接画素の開口部2aが交互に左右に配置
されるように構成したもので、上記各実施例と同様の効
果が得られる。なお遮光フィルタは通常のカラーフィル
タと同様に形成することができる。
る。この実施例は、正方格子状に配列したCMD画素に
対して、遮光フィルタ6を斜め格子状に配列し、列方向
に配列された隣接画素の開口部2aが交互に左右に配置
されるように構成したもので、上記各実施例と同様の効
果が得られる。なお遮光フィルタは通常のカラーフィル
タと同様に形成することができる。
【0014】上記各実施例は、CMDを画素として用い
た固体撮像装置に本発明を適用したものを示したが、本
発明は、図5の(A)に示すような開口部11をもつ画素
を正方格子状に配列してなる固体撮像装置に対しても適
用することができる。すなわち、図5の(B),(C)
の第5実施例の概略平面図に示すように、遮光フィルタ
12あるいはマイクロレンズ13を、斜め格子状に配置する
ことにより、同様に正方格子状に画素を配列した固体撮
像装置に、画素を実質的に斜め格子状に配置したものと
同様の機能をもたせることができる。
た固体撮像装置に本発明を適用したものを示したが、本
発明は、図5の(A)に示すような開口部11をもつ画素
を正方格子状に配列してなる固体撮像装置に対しても適
用することができる。すなわち、図5の(B),(C)
の第5実施例の概略平面図に示すように、遮光フィルタ
12あるいはマイクロレンズ13を、斜め格子状に配置する
ことにより、同様に正方格子状に画素を配列した固体撮
像装置に、画素を実質的に斜め格子状に配置したものと
同様の機能をもたせることができる。
【0015】以上実施例に基づいて説明したように、本
発明によれば、正方格子状に画素を配列してなる画素ア
レイを用いて、斜め格子状配列の機能をもたせることが
でき、容易に高解像度化を図ることができる。
発明によれば、正方格子状に画素を配列してなる画素ア
レイを用いて、斜め格子状配列の機能をもたせることが
でき、容易に高解像度化を図ることができる。
【図1】本発明に係る固体撮像装置の第1実施例を示す
概略構成図である。
概略構成図である。
【図2】第2実施例を示す概略構成図である。
【図3】第3実施例を示す概略構成図である。
【図4】第4実施例を示す概略構成図である。
【図5】第5実施例を示す概略構成図である。
【図6】従来のCMD画素を用いた固体撮像装置の構成
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図7】画素を斜め格子状に配列した画素アレイの説明
図である。
図である。
【図8】図6に示したCMD画素を用いた固体撮像装置
において、画素を斜め格子状に配置した場合の態様を示
す平面図である。
において、画素を斜め格子状に配置した場合の態様を示
す平面図である。
1 CMD画素 2 ゲート電極 2a 開口部 2b 遮光部 3 ソース配線 5 マイクロレンズ 5a 集光中心部 6 遮光フィルタ
Claims (4)
- 【請求項1】 複数の画素を正方格子状に配列してなる
画素アレイを備えた固体撮像装置において、前記画素ア
レイの各列方向に配列された隣接画素の有効開口部を交
互に左右に位置させ、画素アレイの有効開口部が斜め格
子状に配列されるように構成したことを特徴とする固体
撮像装置。 - 【請求項2】 前記有効開口部は、各画素の開口部の一
部を遮光部で遮光することにより形成されていることを
特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 【請求項3】 前記遮光部は、画素アレイに対する配線
を用いて形成されていることを特徴とする請求項2記載
の固体撮像装置。 - 【請求項4】 前記有効開口部は、画素アレイの各画素
上に配置したマイクロレンズの集光部により形成されて
いることを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4134441A JPH05304278A (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4134441A JPH05304278A (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05304278A true JPH05304278A (ja) | 1993-11-16 |
Family
ID=15128431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4134441A Withdrawn JPH05304278A (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05304278A (ja) |
-
1992
- 1992-04-28 JP JP4134441A patent/JPH05304278A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990706 |