JPH05309676A

JPH05309676A - ホットプレス装置

Info

Publication number: JPH05309676A
Application number: JP14662692A
Authority: JP
Inventors: Akihiko Ogawa; 昭彦小川
Original assignee: Meiki Seisakusho KK
Current assignee: Meiki Seisakusho KK
Priority date: 1992-05-12
Filing date: 1992-05-12
Publication date: 1993-11-22
Anticipated expiration: 2014-10-25
Also published as: JP2966193B2

Abstract

(57)【要約】【目的】被加工物を全体に亘って均一加圧することが
でき、部分的に厚さが異なる被加工物のプレス加工にも
適用可能な真空プレス装置の提供。【構成】真空ケースで覆われたチャンバ内において、
固定盤と可動盤との間に配設された複数の熱板２２間
で、所定の被加工物をプレス加工するようにした真空プ
レス装置において、各熱板２２の上下面を膨出変形可能
な可撓性膜３４，３６にて構成し、それら上下の可撓性
膜３４，３６間に密閉室４０を形成すると共に、該密閉
室４０内における、前記被加工物が載置される上面側の
可撓性膜３４の背後に、該被加工物を支持する支持部材
４２を配設する一方、かかる密閉室４０に伝熱媒体を給
排せしめて、前記可撓性膜３４，３６に対して圧力を作
用せしめる給排手段を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【技術分野】本発明は、真空プレス装置に係り、特に被
加工物を全体に亘って均一加圧することが可能で、部分
的に厚さが異なる被加工物のプレス加工にも有利に適用
され得る真空プレス装置に関するものである。

【０００２】

【背景技術】従来から、プレス装置の一種として、固定
盤と可動盤との間に配設された複数の熱板間において、
所定の被加工物をプレス成形するようにしたプレス装置
が知られており、更に、近年では、積層プレス品におけ
るボイド等の不良を防止するために、プレス加工領域を
真空ケースで覆い、上記被加工物に対するプレス操作
を、所定の真空状態下で行なうようにした真空プレス装
置が提案されている。そして、このような真空プレス装
置は、例えば積層プリント配線板や積層プリント多層
板、或いはフレキシブルな積層薄板基板などのプレス成
形に際して、好適に用いられている。

【０００３】また、このような真空プレス装置では、一
般に、金属等の剛性材料から成る熱板が用いられて、該
熱板が、その内部に配設された電熱線等によって加熱さ
れるようになっており、プレス加工時に、かかる熱板上
に載置される被加工物を支持すると共に、加熱するよう
になっている。

【０００４】ところが、かくの如き熱板を用いてなる従
来の真空プレス装置にあっては、かかる熱板表面の加工
精度が低かったり、変形等が生ぜしめられると、被加工
物に対して均一なプレス力が及ぼされなくなるために、
製品品質が低下し、不良品発生の原因となるという問題
があった。

【０００５】また、被加工物の厚さが部分的に異なるよ
うな場合には、全面均一プレスを行なうことが極めて困
難であり、フレキシブルな薄板基板等をプレス加工する
場合には、別途準備したクッション材等を用いなければ
ならず、必ずしも有利に適用され得るものではなかった
のである。

【０００６】

【解決課題】ここにおいて、本発明は、上述の如き事情
を背景として為されたものであって、その解決課題とす
るところは、厚さが部分的に異なる被加工物やフレキシ
ブルな薄板基板等に対しても、熱板間でのプレス力が、
全面に亘って均一に且つ安定して及ぼされ得る、新規な
構造の真空プレス装置を提供することにある。

【０００７】

【解決手段】そして、かかる課題を解決するために、本
発明の特徴とするところは、真空ケースで覆われたチャ
ンバ内において、固定盤と可動盤との間に複数の熱板を
配設し、該熱板上に載置される所定の被加工物を、それ
ら熱板間で挟んで、該熱板による加熱の下に、プレス加
工するようにした真空プレス装置であって、前記各熱板
の上下面を膨出変形可能な可撓性膜にて構成し、それら
上下の可撓性膜間に密閉室を形成すると共に、該密閉室
内における、前記被加工物が載置される上面側の可撓性
膜の背後に、該被加工物を支持する支持部材を配設する
一方、かかる密閉室に伝熱媒体を給排せしめて、前記可
撓性膜に対して圧力を作用せしめる給排手段を設けてな
る真空プレス装置にある。

【０００８】

【作用・効果】すなわち、このような本発明に従う構造
とされた真空プレス装置においては、各熱板のプレス面
（上下面）が、可撓性膜にて構成されているところか
ら、被加工物を挟んで熱板を重ね合わせ、固定盤と可動
盤との間で熱板を拘束せしめた状態下、各熱板の密閉室
に伝熱媒体を供給し、可撓性膜に圧力を作用せしめるこ
とにより、かかる可撓性膜が、被加工物の上下表面に対
して圧接せしめられて、プレス力が及ぼされることとな
る。

【０００９】そして、その際、各熱板のプレス面を構成
する可撓性膜が、被加工物の表面に沿って変形せしめら
れて、密着されることとなるところから、かかる被加工
物の形状に拘わらず、即ち部分的に肉厚が異なる被加工
物やフレキシブルな被加工物であっても、その全面に亘
って、略均一のプレス圧が、有効に及ぼされ得るのであ
る。

【００１０】しかも、本発明に係る真空プレス装置にお
いては、被加工物に対して及ぼされるプレス圧が、各熱
板の密閉室に供給される伝熱媒体の圧力によって決定さ
れることから、単位面積当たりのプレス圧を制御するこ
とが可能であり、それ故、三枚以上の熱板によって複数
段のプレスステージを形成し、各プレスステージで同時
に複数の被加工物をプレス加工するに際して、各プレス
ステージにおける被加工物のサイズが相違する場合で
も、各被加工物に対して、単位面積当たり同一のプレス
圧を及ぼすことができるのである。

【００１１】また、本発明に係る真空プレス装置では、
被加工物の加熱が、可撓性膜にて画成された密閉室に給
排される伝熱媒体にて為されることから、熱板を電熱線
等で加熱する従来構造のプレス装置よりも、被加工物全
体の均一加熱が可能であり、しかも、特に係る伝熱媒体
として熱容量の大きい液体を採用するようにすれば、優
れた熱効率を得ることができるのである。

【００１２】

【実施例】以下、本発明を更に具体的に明らかにするた
めに、本発明の実施例について、図面を参照しつつ、詳
細に説明することとする。

【００１３】先ず、図１には、本発明の一実施例として
の真空多段ホットプレス装置の概略構成図が、示されて
いる。かかる図において、１０は、プレス装置本体であ
って、上盤１２と、下盤１４とが、上下方向に所定距離
を隔てて対向配置せしめられており、図示しないタイロ
ッドにより、互いに固定的に連結されている。また、上
盤１２の下部は、固定盤１６が固設されている一方、下
盤１４には、可動盤１８が、固定盤１６に対向位置して
装着されており、下盤１４に設けられた油圧シリンダ２
０により、かかる可動盤１８が、固定盤１６に対して、
接近・離隔方向に駆動せしめられるようになっている。
なお、図中、可動盤１８を駆動する油圧シリンダ２０の
油圧回路は、省略する。

【００１４】さらに、これら固定盤１６と可動盤１８と
の間には、３枚の熱板２２が、上下方向に、互いに所定
距離を隔てて配設されており、図示しない支持機構によ
り、支持されている。

【００１５】そして、中段および下段の熱板２２上に、
電気プリント配線基板用積層材等の所定の被加工物を載
置せしめた後、可動盤１８を、固定盤１６に対して接近
方向に移動、押圧作動せしめることにより、それら被加
工物に対して、各熱板２２間で、ホットプレス加工が施
されるようになっている。

【００１６】また、上盤１２と下盤１４との対向面間
は、真空ケース２４によって覆われており、それによっ
て、内部に上記複数枚の熱板２２が配設されてなる密閉
されたチャンバ２６が、形成されている。

【００１７】ここにおいて、各熱板２２は、図２及び図
３に示されている如く、矩形枠体形状の枠金具２８を有
している。また、この枠金具２８の上下開口部には、内
方に突出する上下のフランジ部３０，３２が、それぞ
れ、周方向に連続して、所定幅で形成されている。

【００１８】さらに、かかる枠金具２８の上側開口部お
よび下側開口部には、薄板形状の可撓性膜としての上側
ゴム弾性膜３４および下側ゴム弾性膜３６が、それぞ
れ、配設されている。なお、これらのゴム弾性膜３４，
３６は、耐熱性と共に、後述する伝熱液体に対する耐液
性に優れたものが用いられ、例えば、フッ素ゴムやシリ
コンゴム等が、好適に用いられる。

【００１９】そして、かかる上下のゴム弾性膜３４，３
６は、それぞれ、その外周部分が、枠金具２８における
上下のフランジ部３０，３２の内側面に重ね合わされ、
更に外周縁部が、枠金具２８の内周面に折り曲げられる
ようにして重ね合わされている。また、枠金具２８にお
ける各辺部の内周面側には、それぞれ、押え金具３８が
配設されており、図３に示されている如く、枠金具２８
に対して、ボルト３９によって固定されている。そし
て、上記ゴム弾性膜３４，３６の外周縁部が、それら枠
金具２８と押え金具３８との間で、液密に挟圧され、保
持せしめられている。

【００２０】それによって、枠金具２８の上側開口部お
よび下側開口部が、それぞれ、上側ゴム弾性膜３４およ
び下側ゴム弾性膜３６によって、液密に覆蓋されている
のであり、以て、熱板２２の内部に、上下壁部がゴム弾
性膜３４，３６にて構成されてなる密閉室４０が、画成
されている。

【００２１】また、かかる密閉室４０の内部には、平板
形状の支持板４２が収容配置されており、図示されてい
る如く、その外周縁部を、枠金具２８の上フランジ部３
０と押え金具３８との間で挟持されることにより、上側
ゴム弾性膜３４の背後に位置するようにして、配設支持
されている。そして、この支持板４２によって、上側ゴ
ム弾性膜３４の密閉室４０側への膨出変形が阻止されて
いる。なお、かかる支持板４２には、板厚方向に貫通す
る複数の通孔４４が設けられており、それらの通孔４４
を通じて、支持板４２によって仕切られた密閉室４０の
両側（上側ゴム弾性膜３４側および下側ゴム弾性膜３６
側）部分が、互いに連通せしめられている。

【００２２】さらに、かくの如き密閉室４０が内部に形
成された熱板２２には、その周壁部に対して、液体供給
口４６および液体排出口４８が、それぞれ、枠金具２８
および押え金具３８を貫通して、形成されている。

【００２３】そして、このような構造とされた各熱板２
２には、図１に示されているように、伝熱液体の給排管
路が接続されており、以て、伝熱液体の給排手段によ
り、液体供給口４６および液体排出口４８を通じて、そ
の密閉室４０内に、伝熱液体が供給・排出せしめられる
ようになっている。なお、伝熱液体としては、沸点が高
く且つ熱板２２等に対して悪影響を及ぼさないものであ
って、例えばバレルサーム♯２００，♯４００（松村石
油製），サムエース♯６００，♯９００（新日鐵化学株
式会社製）等が、好適に採用され得る。

【００２４】より具体的には、かかる伝熱液体の給排手
段は、ポンプ５０を備えており、該ポンプ５０から圧送
される伝熱液体を各熱板２２の密閉室４０に供給する液
体供給管路５２と、各熱板２２の密閉室４０から排出さ
れる伝熱液体をポンプ５０に導く液体排出管路５４とか
らなる閉回路構造の液体流路を備えている。なお、図１
中、５６は、伝熱液体の補助タンクである。そして、ポ
ンプ５０により、各熱板２２の密閉室４０内に、伝熱液
体が流通せしめられるようになっている。

【００２５】また、上記液体供給管路５２上には、液体
加熱用のヒータ５８と、液体冷却用のクーラ６０が、並
列的に配設されている。そして、三方バルブ６２の切換
操作に基づいて、それらヒータ５８およびクーラ６０の
何れか一方を通じて、伝熱液体が流通せしめられるよう
になっており、それによって、熱板２２の密閉室４０に
供給される伝熱液体が、加熱乃至は冷却されるようにな
っている。

【００２６】なお、図面上に明示はされていないが、上
記液体供給管路５２および液体排出管路５４は、分岐管
６４，６６によって、それぞれ、各熱板２２に対する接
続側が分岐されており、各熱板２２に対する伝熱液体の
給排用の管路が、互いに並列的に設けられている。ま
た、それら並列的に設けられた、各熱板２２に対する給
排管路上には、それぞれ、供給側バルブ６８および排出
側バルブ７０が、配設されている。それによって、各熱
板２２の密閉室４０に対する伝熱液体の給排制御を、互
いに独立して行なうことができるようになっているので
ある。

【００２７】また、各熱板２２に接続された給排管路
は、可撓性の管体によって構成されており、プレス加工
に際しての熱板２２の移動が、許容され得るようになっ
ている。

【００２８】さらに、上記補助タンク５６には、加圧バ
ルブ７１を介して、圧縮機７２が接続されており、該補
助タンク５６に収容された伝熱液体に対して、加圧力が
及ぼされるようになっている。また、この補助タンク５
６に及ぼされる加圧力は、圧力調節弁７４によって、制
御されるようになっている。なお、図１中、７６は、補
助タンク５６に及ぼされる圧力を抜くための圧抜弁であ
る。

【００２９】すなわち、かかる圧縮機７２にて補助タン
ク５６に収容された伝熱液体に加圧力が及ぼされること
により、前記液体供給管路５２および液体排出管路５４
を通じて循環せしめられる伝熱液体が加圧されることと
なり、以て、この伝熱液体により、熱板２２の密閉室４
０に対して、所定の加圧力が及ぼされるようになってい
るのである。

【００３０】また一方、プレス装置本体１０の上盤１２
には、チャンバ２６内に開口する通孔７８が設けられて
おり、かかる通孔７８に接続された空気吸引管路８２を
通じて、チャンバ２６内が、真空ポンプ８０に接続され
ている。そして、この真空ポンプ８０の作動により、チ
ャンバ２６内が真空化されるようになっている。

【００３１】更にまた、かかるプレス装置本体１０のチ
ャンバ２６内は、通孔７８に接続された空気圧縮管路８
４を通じて、圧縮機７２に接続されている。そして、該
圧縮機７２からの加圧空気がチャンバ２６に導かれるこ
とにより、かかるチャンバ２６内が加圧されるようにな
っている。

【００３２】なお、これら空気吸引管路８２および空気
圧縮管路８４上には、吸引側開閉バルブ８６および圧縮
側開閉バルブ８８が、それぞれ配設されており、それら
両開閉バルブ８６，８８の操作に基づいて、チャンバ２
６の真空化および加圧が、択一的に行なわれるようにな
っている。また、空気圧縮管路８４上には、減圧弁９０
が配設されており、チャンバ２６内の圧力が低くなるよ
うに設定されている。具体的には、チャンバ２６に対し
て２〜３kg/cm²程度の圧力が及ぼされるように、設定さ
れる。

【００３３】そうして、このような構造とされたプレス
装置においては、以下の如くして、プレス成形が実施さ
れることとなる。なお、以下のプレス成形操作の説明
は、説明を簡略とし、理解を容易するために、固定盤１
６と可動盤１８との間に２枚の熱板２２，２２が配設さ
れているものとし、その要部を概略的に示す図４乃至図
６に基づいて、行なうこととする。

【００３４】先ず、圧抜弁７６にて補助タンク５６に及
ぼされる圧力を抜き、熱板２２の密閉室４０内を非加圧
状態とした後、加圧バルブ７１を閉じ、且つ圧抜弁７６
を開き、更に圧縮側開閉バルブ８８を開くと共に、吸引
側開閉バルブ８６を閉じることにより、チャンバ２６内
を加圧する。それによって、図４に示されている如く、
各熱板２２の上下ゴム弾性膜３４，３６が、密閉室４０
側に押圧せしめられて、下側ゴム弾性膜３６が凹陥され
ることにより、各熱板２２，２２間に、非加工物の配設
スペースが確保されることとなる。

【００３５】次いで、各熱板２２の密閉室４０に伝熱液
体を給排する供給側バルブ６８および排出側バルブ７０
を閉じ、各熱板２２の下側ゴム弾性体３６を凹陥状態に
保持せしめた後、圧縮側開閉バルブ８８を閉じると共
に、吸引側開閉バルブ８６を開くことにより、チャンバ
２６内を、略大気圧まで減圧する。

【００３６】その後、真空ケース２４の開閉扉（図示せ
ず）を開いて、熱板２２，２２間に被加工物９２を挿入
し、熱板２２の上側ゴム弾性膜３４上に載置せしめる。
なお、その際、かかる上側ゴム弾性膜３４は、支持板４
２にて、密閉室４０側への変形が阻止されていることか
ら、被加工物９２は、上側ゴム弾性膜３４上に載置され
得る。

【００３７】そして、真空ケース２４の開閉扉を閉じた
後、吸引側開閉バルブ８６を開いて、チャンバ２６内を
減圧せしめることにより、該チャンバ２６内を真空化す
る。なお、この真空化によって、被加工物９２の素材
（積層材）間に存在するガス抜きも、同時に行なうこと
が可能である。

【００３８】次いで、図５に示されているように、可動
盤１８を、油圧シリンダ２０にて、固定盤１６側に駆動
せしめることにより、それら可動盤１８と固定盤１６と
の間で、熱板２２，２２を重ね合わせて挟圧する。それ
によって、両熱板２２，２２間において、被加工物９２
が配設された領域が、略袋状に閉鎖されることとなる。
なお、この両熱板２２，２２間に形成された領域は、密
閉されている必要はなく、両熱板２２の枠金具２８，２
８間に通孔を設けること等により、外部に連通されてい
ても良い。

【００３９】そして、その後、加圧バルブ７１を開い
て、圧縮機７２により、補助タンク５６内を加圧すると
共に、供給側バルブ６８および排出側バルブ７０を開く
ことにより、各熱板２２の密閉室４０内に、加圧された
圧力液体を導く。また、その際、三方バルブ６２を操作
して、かかる圧力液体を、ヒータ５８を通じて循環せし
めることにより、加熱し、加熱圧力液体として、各熱板
２２の密閉室４０内に導く。

【００４０】それによって、各熱板２２の密閉室４０の
内圧が上昇せしめられ、以て、図６に示されている如
く、各熱板２２における上下のゴム弾性膜３４，３６
が、外方に膨出変形せしめられる。そして、その際、各
熱板２２の離隔方向への変位は、固定盤１６と可動盤１
８との間で及ぼされる油圧シリンダ２０の締付力によっ
て規制されていることから、図示されているように、上
側熱板２２における下側ゴム弾性膜３６と下側熱板２２
における上側ゴム弾性膜３４とが、それぞれ、被加工物
の外表面形状に沿って変形せしめられて、該被加工物９
２の外表面に密着されることとなる。なお、上側熱板２
２における上側ゴム弾性膜３４と下側熱板２２における
下側ゴム弾性膜３４の外方への膨出変形は、それぞれ、
固定盤１６および可動盤１８にて、規制される。

【００４１】また、そこにおいて、チャンバ２６内は真
空化されていることから、ゴム弾性膜３６，３４が被加
工物９２の外表面に密着される場合にも、ゴム弾性膜３
６，３４と被加工物９２との間への空気の入り込みは、
可及的に防止され得る。更に、それらゴム弾性膜３６，
３４は、少なくとも被加工物９２の上下表面の略全面に
亘って、密着されていれば良く、被加工物９２の側面に
は、必ずしも密着されていなくても良い。そして、かか
る被加工物９２の上下表面に対して密着されるように、
被加工物９２のサイズや形状を考慮して、かかるゴム弾
性膜３６，３４の材質や厚さ、或いはその大きさ等が、
決定されることとなる。

【００４２】すなわち、このようにして、熱板２２，２
２が、固定盤１６と可動盤１８との間で拘束された状態
下で、それら両熱板２２，２２のゴム弾性膜３６，３４
が、被加工物９２の上下表面に密着されることにより、
かかる被加工物９２に対して、熱板２２の密閉室４０を
流通せしめられる伝熱液体の熱および圧力が、ゴム弾性
膜３６，３４を介して、及ぼされるのであり、以て、該
被加工物９２に対して、ホットプレス加工が施されるこ
ととなるのである。

【００４３】そして、被加工物に対するプレス加工の終
了後、三方バルブ６２を切り換えて、伝熱液体を、クー
ラ６０を通じて循環させ、各熱板２２の密閉室４０に導
くことにより、かかる伝熱液体によって、プレス製品を
冷却する。

【００４４】その後、圧抜弁７６を開いて、補助タンク
５６を減圧し、熱板２２の密閉室４０を減圧せしめた
後、可動盤１８を、油圧シリンダ２０により、固定盤１
６から離隔する方向に移動せしめて、各熱板２２を離隔
移動させる。

【００４５】更にその後、上述の初期工程と同様な操作
に従い、チャンバ２６内を、圧縮機７２にて加圧して、
各熱板２２の下側ゴム弾性膜３６を凹陥変形せしめ、次
いで、チャンバ２６内を減圧して略大気圧とした後、真
空ケース２４の開閉扉を開くことにより、プレス製品を
取り出すことができるのである。また、連続して、次の
プレス加工を実施する場合には、プレス製品の取出し
後、熱板２２，２２間に被加工物を挿入することによ
り、再び、上述の如き、プレス工程を、繰り返すことが
可能である。

【００４６】従って、上述の如き構造とされた真空プレ
ス装置においては、被加工物９２の表面に密着されるこ
ととなる、各熱板２２における加圧面が、ゴム弾性膜３
６，３４にて構成されており、被加工物９２の表面形状
に追従して、変形せしめられることから、かかる被加工
物９２が、部分的に厚さの異なる場合や、フレキシブル
な基板等であっても、その全面に亘って、均一なプレス
圧を及ぼすことができるのである。

【００４７】しかも、かかる真空プレス装置において
は、被加工物９２に対して及ぼされるプレス圧が、各熱
板２２の密閉室４０に供給される伝熱液体の液圧によっ
て決定されることから、油圧シリンダ２０によって固定
盤１６と可動盤１８との間で及ぼされる圧締力に拘わら
ず、圧縮機７２にて伝熱液体に及ぼされる圧力を、圧力
調節弁７４にて調節することにより、被加工物９２に及
ぼされる単位面積当たりのプレス圧を制御することが可
能である。それ故、三枚以上の熱板２２によって複数段
のプレスステージを形成し、各プレスステージで同時に
複数の被加工物９２をプレス加工するに際して、各プレ
スステージにおける被加工物９２のサイズが相違する場
合でも、各被加工物９２に対して、単位面積当たり同一
のプレス圧を及ぼすことができるのであり、各被加工物
９２の形状や大きさに拘わらず、プレス圧を有利に制御
することが可能となるのである。

【００４８】また、かかる真空プレス装置では、被加工
物９２の加熱および冷却が、熱板２２の密閉室４０を循
環せしめられる伝熱液体にて為されることから、該密閉
室４０の壁部を構成するゴム弾性膜３４，３６が被加工
物９２の上下面の略全面に密着されることと相俟って、
かかる被加工物９２の全体を均一に加熱することができ
るのである。

【００４９】更にまた、かかる真空プレス装置において
は、被加工物９２に対する加熱加圧操作（ホットプレス
加工）が、真空化されたチャンバ内で実施されるところ
から、空気の対流による放熱が可及的に抑制されること
となり、より優れた熱効率を得ることができるのであ
る。

【００５０】また、特に本実施例では、伝熱媒体とし
て、ガスよりも熱容量の大きい液体が採用されているこ
とから、優れた熱効率を得ることができ、加熱および冷
却時間の短縮化も有利に図られ得るのである。

【００５１】以上、本発明の実施例について詳述してき
たが、これは文字通りの例示であって、本発明は、かか
る具体例にのみ限定して解釈されるものではない。

【００５２】例えば、固定盤１６と可動盤１８との間に
配設される熱板２２の数は、前記実施例のものに限定さ
れるものではなく、４枚以上配設するようにしても良
い。

【００５３】また、熱板２２の密閉室４０内に配設され
る支持部材も、被加工物９２を支持し得るものであれば
良く、例示の如き多孔の支持板４２の他、格子状の棒材
等を用いることも可能である。

【００５４】更にまた、各熱板２２に伝熱流体を給排す
る給排手段や、チャンバ内を加圧および真空化する空気
圧制御手段も、例示の如き構造に限定されるものでは、
決してない。

【００５５】また、前記実施例では、伝熱媒体として、
液体が用いられていたが、それに代えて、ガスを用いる
ことも可能である。

【００５６】その他、一々列挙はしないが、本発明は、
当業者の知識に基づいて、種々なる変更、修正、改良等
を加えた態様において実施され得るものであり、また、
そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限
り、何れも、本発明の範囲内に含まれるものであること
は、言うまでもないところである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例としての真空多段ホットプレ
ス装置を示す概略構成図である。

【図２】図１に示されている真空多段ホットプレス装置
に用いられている熱板を拡大して示す断面図である。

【図３】図２に示されている熱板の別の断面を示す図で
ある。

【図４】図１に示されている真空多段ホットプレス装置
によるプレス操作を説明するための一工程図である。

【図５】図１に示されている真空多段ホットプレス装置
によるプレス操作を説明するための別の工程図である。

【図６】図１に示されている真空多段ホットプレス装置
によるプレス操作を説明するための更に別の工程図であ
る。

【符号の説明】

１０プレス装置本体１２上盤１４下盤１６固定盤１８可動盤２２熱板２４真空ケース２６チャンバ２８枠金具３４上側ゴム弾性膜３６下側ゴム弾性膜３８押え金具４０密閉室４２支持板４４通孔５０ポンプ５６補助タンク５８ヒータ６０クーラ７２圧縮機８０真空ポンプ９２被加工物

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空ケースで覆われたチャンバ内におい
て、固定盤と可動盤との間に複数の熱板を配設し、該熱
板上に載置される所定の被加工物を、それら熱板間で挟
んで、該熱板による加熱の下に、プレス加工するように
した真空プレス装置であって、前記各熱板の上下面を膨出変形可能な可撓性膜にて構成
し、それら上下の可撓性膜間に密閉室を形成すると共
に、該密閉室内における、前記被加工物が載置される上
面側の可撓性膜の背後に、該被加工物を支持する支持部
材を配設する一方、かかる密閉室に伝熱媒体を給排せし
めて、前記可撓性膜に対して圧力を作用せしめる給排手
段を設けたことを特徴とする真空プレス装置。