JPH05312643A - 光量計 - Google Patents
光量計Info
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- JPH05312643A JPH05312643A JP12046392A JP12046392A JPH05312643A JP H05312643 A JPH05312643 A JP H05312643A JP 12046392 A JP12046392 A JP 12046392A JP 12046392 A JP12046392 A JP 12046392A JP H05312643 A JPH05312643 A JP H05312643A
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Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光線の光量を容易に且つ精確に測定する。
【構成】 光線を受光し照度に対応した電気信号を送出
する受光部22と、この受光部22から送られた電気信号を
累積して光量を測定する本体部３とを有する露光装置又
は投影焼付装置用の光量計において、受光部22は、その
受光側に透明な部材21を有しており、前記透明な部材21
は、画像形成用マスクフィルム14と同じ材料でつくった
同じ厚みの薄片25及び前記マスクフィルムを装着する透
光板13と同じ材料でつくった同じ厚みの板状片26等を少
くとも２層以上配置したものであることを特徴とする。
する受光部22と、この受光部22から送られた電気信号を
累積して光量を測定する本体部３とを有する露光装置又
は投影焼付装置用の光量計において、受光部22は、その
受光側に透明な部材21を有しており、前記透明な部材21
は、画像形成用マスクフィルム14と同じ材料でつくった
同じ厚みの薄片25及び前記マスクフィルムを装着する透
光板13と同じ材料でつくった同じ厚みの板状片26等を少
くとも２層以上配置したものであることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、紫外線又は可視光線を
用いて画像焼付を行う際の光量管理用に使用される光量
計、特に被照射物に入射する光線の光量を容易に且つ精
確に測定できる光量計に関するものである。
用いて画像焼付を行う際の光量管理用に使用される光量
計、特に被照射物に入射する光線の光量を容易に且つ精
確に測定できる光量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】マスクフィルムを透して紫外線又は可視
光線を基板に照射し、前記基板の表面に施した感光剤に
光化学変化を起こさせて配線パターンその他の画像を形
成する際は、感光剤の光化学特性に適合した露光又は投
影を行う事が重要であり、このための光量計が種々提案
されている。
光線を基板に照射し、前記基板の表面に施した感光剤に
光化学変化を起こさせて配線パターンその他の画像を形
成する際は、感光剤の光化学特性に適合した露光又は投
影を行う事が重要であり、このための光量計が種々提案
されている。
【０００３】図４及び図５は従来の光量計の一例を示す
もので、この光量計は、紫外線を受光して照度に対応し
た電気信号を送出する受光部１と、接続ケーブル２を通
して送られた電気信号を累積して光量を演算し、光量を
表示すると共に、光量が所定値に到達したときに電気信
号を発生する本体部３等からなる。
もので、この光量計は、紫外線を受光して照度に対応し
た電気信号を送出する受光部１と、接続ケーブル２を通
して送られた電気信号を累積して光量を演算し、光量を
表示すると共に、光量が所定値に到達したときに電気信
号を発生する本体部３等からなる。
【０００４】受光部１は、図５に示すように、受光した
紫外線を均一に拡散させる拡散板４と、所望の波長帯の
光を透過させるフィルター５と、受光した紫外線を光電
変換するフォトダイオード６等からなり、これ等は透明
な絶縁物質７を介してケース８内に収納されている。
紫外線を均一に拡散させる拡散板４と、所望の波長帯の
光を透過させるフィルター５と、受光した紫外線を光電
変換するフォトダイオード６等からなり、これ等は透明
な絶縁物質７を介してケース８内に収納されている。
【０００５】前記光量計を紫外線露光装置に使用する
際、受光部は図６に示すように真空フレイム１１の近傍
に配置される。露光中、紫外線ランプ１２から照射され
た紫外線は図７に示す真空フレイム用透光板１３及び透
光板に貼着した画像形成用マスクフィルム１４を通して
基板１５に入射すると共に、光量計の受光部１に入射
し、この受光部に入射した紫外線の光量が所定値に到達
すると、本体部が信号を発生する。そして、この信号に
よって電源装置１６が作動し、ランプ１２が消灯して露
光が終了する。
際、受光部は図６に示すように真空フレイム１１の近傍
に配置される。露光中、紫外線ランプ１２から照射され
た紫外線は図７に示す真空フレイム用透光板１３及び透
光板に貼着した画像形成用マスクフィルム１４を通して
基板１５に入射すると共に、光量計の受光部１に入射
し、この受光部に入射した紫外線の光量が所定値に到達
すると、本体部が信号を発生する。そして、この信号に
よって電源装置１６が作動し、ランプ１２が消灯して露
光が終了する。
【０００６】尚、図６における１７は紫外線の反射鏡、
２は受光部と本体部を接続するケーブルで、図７におけ
る１８は基板を載置する台、１９は減圧口、２０は真空
士手ゴムである。
２は受光部と本体部を接続するケーブルで、図７におけ
る１８は基板を載置する台、１９は減圧口、２０は真空
士手ゴムである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記の光量計
を用いて光量を管理する際、次に述べるような問題点が
あった。 (1) 受光部に入射する紫外線は紫外線ランプから直接到
達するのに対し、基板に入射する紫外線は、入射前にマ
スクフィルムとこのマスクフィルムを貼着している透光
板を透過するので、この分だけ光強度が減衰する。
を用いて光量を管理する際、次に述べるような問題点が
あった。 (1) 受光部に入射する紫外線は紫外線ランプから直接到
達するのに対し、基板に入射する紫外線は、入射前にマ
スクフィルムとこのマスクフィルムを貼着している透光
板を透過するので、この分だけ光強度が減衰する。
【０００８】(2) 従って、光量の測定値は、前記の減衰
量を補正する必要があるが、透光板とマスクフィルムは
使用中、紫外線の照射を受けて透過率が経時的に変化す
るので、補正値が不完全なものになり、測定の精度が低
下する。尚、図７には図示していないが、基板１５とマ
スクフィルム１４の間にマスクフィルムの損耗を防止す
るための保護フィルムを設けたり、あるいは透光板１３
の外側に減光フィルターを設ける場合があるが、これら
の保護フィルム及び減光フィルターも前記したと同様に
透過率が変化して測定の精度を低下させる。
量を補正する必要があるが、透光板とマスクフィルムは
使用中、紫外線の照射を受けて透過率が経時的に変化す
るので、補正値が不完全なものになり、測定の精度が低
下する。尚、図７には図示していないが、基板１５とマ
スクフィルム１４の間にマスクフィルムの損耗を防止す
るための保護フィルムを設けたり、あるいは透光板１３
の外側に減光フィルターを設ける場合があるが、これら
の保護フィルム及び減光フィルターも前記したと同様に
透過率が変化して測定の精度を低下させる。
【０００９】(3) また、精確な補正を行うためには、前
記減衰量を頻繁に測定し、補正値の修正を行うので、精
度を維持するために多大の時間と労力を消費する。本発
明は前述の問題点に鑑み、測定精度が良く、且つ精度の
維持が容易な光量計を提供することを課題とする。
記減衰量を頻繁に測定し、補正値の修正を行うので、精
度を維持するために多大の時間と労力を消費する。本発
明は前述の問題点に鑑み、測定精度が良く、且つ精度の
維持が容易な光量計を提供することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
め、本発明では次の手段を構成した。 (1) 光線を受光し照度に対応した電気信号を送出する受
光部と、この受光部から送られた電気信号を累積して光
量を測定する本体部とを有する露光装置用又は投影焼付
装置用の光量計において、受光部は、その受光側に透明
な部材を有しており、前記透明な部材は、画像形成用マ
スクフィルムと同じ材料でつくった同じ厚みの薄片及び
前記マスクフィルムを装着する透光板と同じ材料でつく
った同じ厚みの板状片等を少くとも２層以上配置したも
のであることを特徴とする光量計。 (2) 受光部と本体部が共通のケース内に収納されている
請求項１に記載の光量計。 (3) 受光側に透明な部材を有し前記透明な部材を透して
受光した光線を集光する受光部と、集光された光線を伝
達する光ファイバーケーブルと、前記光ファイバーケー
ブルから送られた光線の光量を測定する本体部とを備
え、前記透明な部材は、画像形成用マスクフィルムと同
じ材料でつくった同じ厚みの薄片及び前記マスクフィル
ムを装着する透光板と同じ材料でつくった同じ厚みの板
状片等を少くとも２層以上配置したものであることを特
徴とする光量計。
め、本発明では次の手段を構成した。 (1) 光線を受光し照度に対応した電気信号を送出する受
光部と、この受光部から送られた電気信号を累積して光
量を測定する本体部とを有する露光装置用又は投影焼付
装置用の光量計において、受光部は、その受光側に透明
な部材を有しており、前記透明な部材は、画像形成用マ
スクフィルムと同じ材料でつくった同じ厚みの薄片及び
前記マスクフィルムを装着する透光板と同じ材料でつく
った同じ厚みの板状片等を少くとも２層以上配置したも
のであることを特徴とする光量計。 (2) 受光部と本体部が共通のケース内に収納されている
請求項１に記載の光量計。 (3) 受光側に透明な部材を有し前記透明な部材を透して
受光した光線を集光する受光部と、集光された光線を伝
達する光ファイバーケーブルと、前記光ファイバーケー
ブルから送られた光線の光量を測定する本体部とを備
え、前記透明な部材は、画像形成用マスクフィルムと同
じ材料でつくった同じ厚みの薄片及び前記マスクフィル
ムを装着する透光板と同じ材料でつくった同じ厚みの板
状片等を少くとも２層以上配置したものであることを特
徴とする光量計。
【００１１】
(1) 受光部に入射した光線の減衰量が、常に基板に入射
する光線の減衰量に等しいので、測定精度が高い。 (2) 前項と同じ理由により、従来のように測定値を頻繁
に補正する必要がないので、測定精度の維持が容易であ
る。
する光線の減衰量に等しいので、測定精度が高い。 (2) 前項と同じ理由により、従来のように測定値を頻繁
に補正する必要がないので、測定精度の維持が容易であ
る。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。尚、図中の符号については、従来の技術を説明し
た際の各部と同じ部分に同じ符号を付して示し、説明を
省略する。図１は本発明の第１の実施例を示すもので、
この実施例の主要部は拡散板の受光面に透明な部材２１
を密着させた受光部２２であり、この透明な部材２１は
袋ナット２３を介してケース２４に着脱自在に取り付け
られている。
する。尚、図中の符号については、従来の技術を説明し
た際の各部と同じ部分に同じ符号を付して示し、説明を
省略する。図１は本発明の第１の実施例を示すもので、
この実施例の主要部は拡散板の受光面に透明な部材２１
を密着させた受光部２２であり、この透明な部材２１は
袋ナット２３を介してケース２４に着脱自在に取り付け
られている。
【００１３】この透明な部材２１は画像形成用マスクフ
ィルム１４と同じ材料で作った同じ厚みの薄片２５及び
前記マスクフィルム１４を取り付ける真空フレイム用透
光板１３と同じ材料でつくった同じ厚みの板状片２６を
２層に配置したものであり、前記透光板の材料に合わせ
て次の組合せ等から選択される。 (1) アクリル材又はマイラー材を含む合成樹脂材とマス
クフィルム材の組合せ (2) ガラス材とマスクフィルム材の組合せ
ィルム１４と同じ材料で作った同じ厚みの薄片２５及び
前記マスクフィルム１４を取り付ける真空フレイム用透
光板１３と同じ材料でつくった同じ厚みの板状片２６を
２層に配置したものであり、前記透光板の材料に合わせ
て次の組合せ等から選択される。 (1) アクリル材又はマイラー材を含む合成樹脂材とマス
クフィルム材の組合せ (2) ガラス材とマスクフィルム材の組合せ
【００１４】次に、この実施例の取扱要領と作動につい
て説明する。 (1) 露光装置に新しい透光板及びフィルムを装着したと
き、受光部の透明な部材２１にも同様、新しいものを入
れておく。 (2) 露光装置の使用中、透光板及びフィルムの透過率が
変化しても、受光部に設けた透明な部材の透過率も同様
に変化するので、基板に入射した紫外線の光量を精確に
測定できる。 (3) 前記の結果、従来のように補正を行う必要がなくな
るので測定精度を容易に維持することができる。
て説明する。 (1) 露光装置に新しい透光板及びフィルムを装着したと
き、受光部の透明な部材２１にも同様、新しいものを入
れておく。 (2) 露光装置の使用中、透光板及びフィルムの透過率が
変化しても、受光部に設けた透明な部材の透過率も同様
に変化するので、基板に入射した紫外線の光量を精確に
測定できる。 (3) 前記の結果、従来のように補正を行う必要がなくな
るので測定精度を容易に維持することができる。
【００１５】本発明の第２の実施例を図２に示す。この
実施例は、受光部２２と本体部３を共通のケース３１内
に収納したもので、これ以外は第１の実施例と変わると
ころはない。
実施例は、受光部２２と本体部３を共通のケース３１内
に収納したもので、これ以外は第１の実施例と変わると
ころはない。
【００１６】この実施例によれば、外形寸法がコンパク
トなので携帯に便利であり、また接続ケーブル３２が短
縮されるので抵抗損失及び電磁ノイズが減少する等の利
点がある。
トなので携帯に便利であり、また接続ケーブル３２が短
縮されるので抵抗損失及び電磁ノイズが減少する等の利
点がある。
【００１７】本発明の第３の実施例を図３に示す。この
実施例は、受光部３３と本体部３４を光ファイバーケー
ブル３５で接続し、受光部３３に集光レンズ３６を、ま
た本体部３４に拡散レンズ３７を設けると共に、フォト
ダイオード６を本体部３４に移動したものであり、それ
以外は第１の実施例と変わるところはない。
実施例は、受光部３３と本体部３４を光ファイバーケー
ブル３５で接続し、受光部３３に集光レンズ３６を、ま
た本体部３４に拡散レンズ３７を設けると共に、フォト
ダイオード６を本体部３４に移動したものであり、それ
以外は第１の実施例と変わるところはない。
【００１８】この実施例によると受光部３３には、半導
体素子を設けていないので設計上の耐熱余裕度が増加す
るほか、ノイズが減少する等の利点がある。
体素子を設けていないので設計上の耐熱余裕度が増加す
るほか、ノイズが減少する等の利点がある。
【００１９】尚、本発明は前述の実施例にのみ限定され
るものではなく、例えば受光部内の透明な部材として、
更にマスクフィルム用保護フィルム又は減光フィルター
等に相当する薄片又は板状片を積層してもよいこと、ま
た受光部内のフィルターを可視光線に適合したものに入
れ換えて投影焼付装置用の光量計として使用してもよい
こと等、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
の変更を加え得ることは勿論である。
るものではなく、例えば受光部内の透明な部材として、
更にマスクフィルム用保護フィルム又は減光フィルター
等に相当する薄片又は板状片を積層してもよいこと、ま
た受光部内のフィルターを可視光線に適合したものに入
れ換えて投影焼付装置用の光量計として使用してもよい
こと等、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
の変更を加え得ることは勿論である。
【００２０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明には次の効果
がある。 (1) 受光部に入射する光線は、マスクフィルム及びこの
マスクフィルムを装着している透光板等と同じ厚みの同
じ材料の透明な部材を透過するので、基板に入射する光
線と同じ分だけ光強度が減衰する。 (2) 更にこの透明な部材は使用中、光線の照射を受け
て、透過率がマスクフィルム及び透光材等と同様に経時
的に変化する。従って、従来行なわれていた補正が不要
となり、測定値の精度が高い。 (3) また、前記(2) と同じ理由により、減衰量を頻繁に
測定し補正値の修正を行う必要がないので、測定精度の
維持が容易である。
がある。 (1) 受光部に入射する光線は、マスクフィルム及びこの
マスクフィルムを装着している透光板等と同じ厚みの同
じ材料の透明な部材を透過するので、基板に入射する光
線と同じ分だけ光強度が減衰する。 (2) 更にこの透明な部材は使用中、光線の照射を受け
て、透過率がマスクフィルム及び透光材等と同様に経時
的に変化する。従って、従来行なわれていた補正が不要
となり、測定値の精度が高い。 (3) また、前記(2) と同じ理由により、減衰量を頻繁に
測定し補正値の修正を行う必要がないので、測定精度の
維持が容易である。
【図１】本発明の第１の実施例である紫外線光量計の受
光部の断面と本体部の構成を示す図である。
光部の断面と本体部の構成を示す図である。
【図２】本発明の第２の実施例である紫外線光量計の受
光部の断面と本体部の構成を示す図である。
光部の断面と本体部の構成を示す図である。
【図３】本発明の第３の実施例である紫外線光量計の受
光部の断面と本体部の構成を示す図である。
光部の断面と本体部の構成を示す図である。
【図４】従来の光量計の説明図である。
【図５】図４に示す受光部の断面図である。
【図６】図４に示す光量計の使用方法の説明図である。
【図７】図６に示す真空フレイムの詳細図である。
３，３４ 本体部 １３ 透光板 １４ 画像形成用マスクフィルム ２１ 透明な部材 ２２，３３ 受光部 ２５ 薄片 ２６ 板状片 ３１ 共通のケース ３２ 接続ケーブル ３５ 光ファイバーケーブル
Claims (3)
- 【請求項１】 光線を受光し照度に対応した電気信号を
送出する受光部と、この受光部から送られた電気信号を
累積して光量を測定する本体部とを有する露光装置用又
は投影焼付装置用の光量計において、 受光部は、その受光側に透明な部材を有しており、 前記透明な部材は、画像形成用マスクフィルムと同じ材
料でつくった同じ厚みの薄片及び前記マスクフィルムを
装着する透光板と同じ材料でつくった同じ厚みの板状片
等を少くとも２層以上配置したものであることを特徴と
する光量計。 - 【請求項２】 受光部と本体部が共通のケース内に収納
されている請求項１に記載の光量計。 - 【請求項３】 受光側に透明な部材を有し前記透明な部
材を透して受光した光線を集光する受光部と、集光され
た光線を伝達する光ファイバーケーブルと前記光ファイ
バーケーブルから送られた光線の光量を測定する本体部
とを備え、 前記透明な部材は、画像形成用マスクフィルムと同じ材
料でつくった同じ厚みの薄片及び前記マスクフィルムを
装着する透光板と同じ材料でつくった同じ厚みの板状片
等を少くとも２層以上配置したものであることを特徴と
する光量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12046392A JPH05312643A (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | 光量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12046392A JPH05312643A (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | 光量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05312643A true JPH05312643A (ja) | 1993-11-22 |
Family
ID=14786794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12046392A Pending JPH05312643A (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | 光量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05312643A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001264162A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-26 | Hamamatsu Photonics Kk | 照度検知モジュール |
| JP2008003284A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの修正方法及び修正装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6249735B2 (ja) * | 1981-11-30 | 1987-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | |
| JPS63132427A (ja) * | 1987-10-29 | 1988-06-04 | Canon Inc | 露光装置 |
-
1992
- 1992-05-13 JP JP12046392A patent/JPH05312643A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6249735B2 (ja) * | 1981-11-30 | 1987-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | |
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| JP2008003284A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの修正方法及び修正装置 |
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