JPH05312882A - 薄膜トランジスタアレイ基板の検査方法 - Google Patents
薄膜トランジスタアレイ基板の検査方法Info
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- JPH05312882A JPH05312882A JP11438292A JP11438292A JPH05312882A JP H05312882 A JPH05312882 A JP H05312882A JP 11438292 A JP11438292 A JP 11438292A JP 11438292 A JP11438292 A JP 11438292A JP H05312882 A JPH05312882 A JP H05312882A
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】薄膜トランジスタアレイ基板の配線の短絡断線
検査において、短時間でより正確に不良箇所まで特定す
る。 【構成】被検査配線に電圧を印加し、その時の電流値又
は抵抗値を測定する。それと同時に、配線に電流が流れ
ると発熱することを利用し、赤外放射温度計で配線の温
度分布を測定する。これにより短時間で不良箇所まで特
定が可能となる。
検査において、短時間でより正確に不良箇所まで特定す
る。 【構成】被検査配線に電圧を印加し、その時の電流値又
は抵抗値を測定する。それと同時に、配線に電流が流れ
ると発熱することを利用し、赤外放射温度計で配線の温
度分布を測定する。これにより短時間で不良箇所まで特
定が可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、薄膜トランジスタアレ
イの検査方法に関し、特に配線の検査方法に関する。
イの検査方法に関し、特に配線の検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶表示素子等に用いられる薄膜
トランジスタアレイ基板の配線の短絡検査は、短時間で
判断できるように図３に示すように、配線１２に接続さ
れた第１の共通電極１と配線１１に接続された第２の共
通電極２の間に電源３により電圧を印加し、その時の電
流値あるいは抵抗値を電流計４によって測定することに
より短絡しているかどうかを判定していた。もし、短絡
しておれば電流が流れるし、短絡していなければ電流は
流れない。
トランジスタアレイ基板の配線の短絡検査は、短時間で
判断できるように図３に示すように、配線１２に接続さ
れた第１の共通電極１と配線１１に接続された第２の共
通電極２の間に電源３により電圧を印加し、その時の電
流値あるいは抵抗値を電流計４によって測定することに
より短絡しているかどうかを判定していた。もし、短絡
しておれば電流が流れるし、短絡していなければ電流は
流れない。
【０００３】短絡していると判断された場合、顕微鏡で
全ての配線パターンを調べないと短絡個所は特定できな
いので非常に効率が悪かった。また、ガラス基板上にパ
ターニングされたＩＴＯのような透明電極の場合は、顕
微鏡でも検出困難である。
全ての配線パターンを調べないと短絡個所は特定できな
いので非常に効率が悪かった。また、ガラス基板上にパ
ターニングされたＩＴＯのような透明電極の場合は、顕
微鏡でも検出困難である。
【０００４】配線の断線検査は、図４に示すように、第
１の共通電極１と、その他方の電極１０を順番にスキャ
ンして配線１２に１本ずつ電圧を印加し、その時の電流
値あるいは抵抗値を測定することにより判断する。しか
し、断線しているラインは検出されても断線位置は特定
できない。また、図５に示すような短絡箇所５と断線箇
所６が存在する場合には、あたかも断線がないように異
なって判断される可能性がある。
１の共通電極１と、その他方の電極１０を順番にスキャ
ンして配線１２に１本ずつ電圧を印加し、その時の電流
値あるいは抵抗値を測定することにより判断する。しか
し、断線しているラインは検出されても断線位置は特定
できない。また、図５に示すような短絡箇所５と断線箇
所６が存在する場合には、あたかも断線がないように異
なって判断される可能性がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の薄膜トランジス
タアレイ基板の配線の短絡，断線の検査は、不良の有無
または不良のラインまでは推定できたが、短時間で正確
に不良箇所まで特定することは困難であるという問題点
があった。
タアレイ基板の配線の短絡，断線の検査は、不良の有無
または不良のラインまでは推定できたが、短時間で正確
に不良箇所まで特定することは困難であるという問題点
があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の薄膜トランジス
タアレイ基板の検査方法は、非検査装置に電圧を印加し
て電流が流れるかどうかを調べるとともに配線の温度分
布を赤外放射温度計によって検査する。
タアレイ基板の検査方法は、非検査装置に電圧を印加し
て電流が流れるかどうかを調べるとともに配線の温度分
布を赤外放射温度計によって検査する。
【０００７】
【作用】本発明によれば、配線に電圧を印加した時、電
流の流れている部分のみ発熱することを利用し、従来の
電流値を測定する方法に加え、赤外放射温度計を組み合
せることで、配線の短絡箇所の検出及び断線の正確な判
定が短時間で行える。
流の流れている部分のみ発熱することを利用し、従来の
電流値を測定する方法に加え、赤外放射温度計を組み合
せることで、配線の短絡箇所の検出及び断線の正確な判
定が短時間で行える。
【０００８】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は、本発明の第１の実施例の短絡箇所を検査す
る場合の説明図である。第１の共通電極１と第２の共通
電極２との間に電源３を接続する。なお、４は電流計、
５は短絡箇所、１１，１２は配線である。図１におい
て、配線１１と１２の間に短絡箇所５が存在しない場合
は、第１の共通電極１と第２の共通電極２の間に電源３
によって５〜１０Ｖの電圧を印加しても電流が流れない
ので電流計４の針は振れない。配線１１と１２との間に
短絡箇所５が存在する場合は、破線で示す経路で１０ｍ
Ａ程度の電流が流れる。その時、電流が流れている部分
は温度が約０．３〜０．５℃上昇するので、微少領域の
温度測定が可能な赤外放射温度計で配線の温度分布を調
べれば短絡箇所５が特定できる。
る。図１は、本発明の第１の実施例の短絡箇所を検査す
る場合の説明図である。第１の共通電極１と第２の共通
電極２との間に電源３を接続する。なお、４は電流計、
５は短絡箇所、１１，１２は配線である。図１におい
て、配線１１と１２の間に短絡箇所５が存在しない場合
は、第１の共通電極１と第２の共通電極２の間に電源３
によって５〜１０Ｖの電圧を印加しても電流が流れない
ので電流計４の針は振れない。配線１１と１２との間に
短絡箇所５が存在する場合は、破線で示す経路で１０ｍ
Ａ程度の電流が流れる。その時、電流が流れている部分
は温度が約０．３〜０．５℃上昇するので、微少領域の
温度測定が可能な赤外放射温度計で配線の温度分布を調
べれば短絡箇所５が特定できる。
【０００９】本発明によれば、透明なガラス基板上にパ
ターニングされた透明なＩＴＯ配線のように、光学顕微
鏡でも見にくい場合でも確実に短時間で検出することが
可能となる。本発明によれば、光学顕微鏡によって短絡
箇所を特定するのに比べ時間が約１／２短縮される。
ターニングされた透明なＩＴＯ配線のように、光学顕微
鏡でも見にくい場合でも確実に短時間で検出することが
可能となる。本発明によれば、光学顕微鏡によって短絡
箇所を特定するのに比べ時間が約１／２短縮される。
【００１０】図２は本発明の第２の実施例の断線箇所の
検査を説明する図である。図２において、第１の共通電
極１と他方の複数の電極１０間に順次電源３により５〜
１０Ｖの電圧を印加する。その時、電流が流れなけれ
ば、その配線は断線していることになるが、図２に示す
ように断線箇所６と短絡箇所５が同時に存在する場合、
電流値による判定だけでは正常となり誤まった判断をす
ることになる。そこで赤外放射温度計で配線の温度分布
を調べることを同時に行えば、そのような誤まった判断
にはならず、より正確な検査が可能となる。
検査を説明する図である。図２において、第１の共通電
極１と他方の複数の電極１０間に順次電源３により５〜
１０Ｖの電圧を印加する。その時、電流が流れなけれ
ば、その配線は断線していることになるが、図２に示す
ように断線箇所６と短絡箇所５が同時に存在する場合、
電流値による判定だけでは正常となり誤まった判断をす
ることになる。そこで赤外放射温度計で配線の温度分布
を調べることを同時に行えば、そのような誤まった判断
にはならず、より正確な検査が可能となる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、薄膜トラ
ンジスタアレイ基板の配線の短絡，断線の検査において
検査すべき配線に電圧を印加し、その時の電流値あるい
は抵抗値を測定すると同時に、赤外放射温度計で配線の
温度も測定することにより、不良箇所をより正確に短時
間で調べることが可能となる。
ンジスタアレイ基板の配線の短絡，断線の検査において
検査すべき配線に電圧を印加し、その時の電流値あるい
は抵抗値を測定すると同時に、赤外放射温度計で配線の
温度も測定することにより、不良箇所をより正確に短時
間で調べることが可能となる。
【図１】本発明の第１の実施例の短絡箇所を検査する場
合の説明図である。
合の説明図である。
【図２】本発明の第２の実施例の断線箇所を検査する場
合の説明図である。
合の説明図である。
【図３】従来の薄膜トランジスタアレイ基板の配線の短
絡検査方法を説明する図である。
絡検査方法を説明する図である。
【図４】従来の薄膜トランジスタアレイ基板の配線の断
線検査方法を説明する図である。
線検査方法を説明する図である。
【図５】従来の断線検査方法の問題点を説明する図であ
る。
る。
１ 第１の共通電極 ２ 第２の共通電極 ３ 電源 ４ 電流計 ５ 短絡箇所 ６ 断線箇所 １０ 電極 １１，１２ 配線
Claims (1)
- 【請求項１】 薄膜トランジスタアレイ基板の配線の短
絡・断線箇所の検査において、配線または配線間に電圧
を印加し電流が流れるかどうかを調べるとともに、赤外
放射温度計により温度分布を測定することを特徴とする
薄膜トランジスタアレイ基板の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11438292A JPH05312882A (ja) | 1992-05-07 | 1992-05-07 | 薄膜トランジスタアレイ基板の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11438292A JPH05312882A (ja) | 1992-05-07 | 1992-05-07 | 薄膜トランジスタアレイ基板の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05312882A true JPH05312882A (ja) | 1993-11-26 |
Family
ID=14636282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11438292A Withdrawn JPH05312882A (ja) | 1992-05-07 | 1992-05-07 | 薄膜トランジスタアレイ基板の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05312882A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7332718B2 (en) | 2002-01-24 | 2008-02-19 | Central Glass Company, Limited | Method for finding disconnection of conductive wires formed on plate glass and apparatus therefor |
| JP2009121894A (ja) * | 2007-11-14 | 2009-06-04 | Fujitsu Ltd | 導電体パターンの欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
| CN103487955A (zh) * | 2013-09-02 | 2014-01-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种短路测量方法 |
| CN103765202A (zh) * | 2011-09-12 | 2014-04-30 | 夏普株式会社 | 配线缺陷检测方法和配线缺陷检测装置 |
| CN110286315A (zh) * | 2019-06-28 | 2019-09-27 | 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 | 一种显示面板的检查方法及检查装置 |
-
1992
- 1992-05-07 JP JP11438292A patent/JPH05312882A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7332718B2 (en) | 2002-01-24 | 2008-02-19 | Central Glass Company, Limited | Method for finding disconnection of conductive wires formed on plate glass and apparatus therefor |
| JP2009121894A (ja) * | 2007-11-14 | 2009-06-04 | Fujitsu Ltd | 導電体パターンの欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
| CN103765202A (zh) * | 2011-09-12 | 2014-04-30 | 夏普株式会社 | 配线缺陷检测方法和配线缺陷检测装置 |
| CN103487955A (zh) * | 2013-09-02 | 2014-01-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种短路测量方法 |
| CN110286315A (zh) * | 2019-06-28 | 2019-09-27 | 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 | 一种显示面板的检查方法及检查装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990803 |