JPH05314518A - ガルバノミラ−装置 - Google Patents
ガルバノミラ−装置Info
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- JPH05314518A JPH05314518A JP12063392A JP12063392A JPH05314518A JP H05314518 A JPH05314518 A JP H05314518A JP 12063392 A JP12063392 A JP 12063392A JP 12063392 A JP12063392 A JP 12063392A JP H05314518 A JPH05314518 A JP H05314518A
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Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】位置調整の際にミラ−が角度変化しにくく、位
置調整を短時間に且つ確実に行なうことが可能なガルバ
ノミラ−装置を供給することにある。 【構成】ミラ−22と、このミラ−22を保持するミラ
−保持体23と、このミラ−保持体23が支持される固
定部材25とを有し、ミラ−保持体23の固定部材25
に対する姿勢を弾性的に変化させてミラ−22を角度変
化させるガルバノミラ−装置21において、ミラ−保持
体23に連結されてミラ−保持体23の固定部材25に
対する姿勢を拘束するとともに、位置調整後に除去され
てミラ−保持体23を解放する拘束部29を設けた。
置調整を短時間に且つ確実に行なうことが可能なガルバ
ノミラ−装置を供給することにある。 【構成】ミラ−22と、このミラ−22を保持するミラ
−保持体23と、このミラ−保持体23が支持される固
定部材25とを有し、ミラ−保持体23の固定部材25
に対する姿勢を弾性的に変化させてミラ−22を角度変
化させるガルバノミラ−装置21において、ミラ−保持
体23に連結されてミラ−保持体23の固定部材25に
対する姿勢を拘束するとともに、位置調整後に除去され
てミラ−保持体23を解放する拘束部29を設けた。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、光学的情報記
録再生装置等に用いられるガルバノミラ−装置に関す
る。
録再生装置等に用いられるガルバノミラ−装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】近年、コンパクトディスクや追記型光デ
ィスク、あるいは、書換えの可能な光磁気ディスク等の
光学的記録媒体、及び、これらの記録媒体に対して情報
の記録再生を行なう光学的情報記録再生装置の研究、開
発が盛んである。
ィスク、あるいは、書換えの可能な光磁気ディスク等の
光学的記録媒体、及び、これらの記録媒体に対して情報
の記録再生を行なう光学的情報記録再生装置の研究、開
発が盛んである。
【0003】一般に、光学的記情報録記録再生装置にお
いては、記録媒体の面振れ等に応じて媒体と光学ヘッド
の対物レンズの間隔を一定に保つフォ−カシング機構
と、媒体上の情報トラック偏芯等に光スポットを追従さ
せるトラッキング機構(微動機構)と、媒体の全域に光
学ヘッドを移動させるための送り機構(粗動機構)とが
必要である。従来は、例えば光学ヘッドに、対物レンズ
を2自由度に駆動するアクチュエ−タを利用し、光学ヘ
ッドを搭載したキャリッジを駆動するために別のボイス
コイルモ−タを使用している。
いては、記録媒体の面振れ等に応じて媒体と光学ヘッド
の対物レンズの間隔を一定に保つフォ−カシング機構
と、媒体上の情報トラック偏芯等に光スポットを追従さ
せるトラッキング機構(微動機構)と、媒体の全域に光
学ヘッドを移動させるための送り機構(粗動機構)とが
必要である。従来は、例えば光学ヘッドに、対物レンズ
を2自由度に駆動するアクチュエ−タを利用し、光学ヘ
ッドを搭載したキャリッジを駆動するために別のボイス
コイルモ−タを使用している。
【0004】光学的記録再生装置においては、磁気記録
再生装置と比較してヘッド部の重量が大きいため、アク
セスが遅いという問題点がある。特に、2自由度アクチ
ュエ−タの磁気回路などを可動部に配置すると、ますま
す可動部の重量が増してアクセスが遅くなる。
再生装置と比較してヘッド部の重量が大きいため、アク
セスが遅いという問題点がある。特に、2自由度アクチ
ュエ−タの磁気回路などを可動部に配置すると、ますま
す可動部の重量が増してアクセスが遅くなる。
【0005】この問題点を解決するために、可動部には
対物レンズと対物レンズのためのアクチュエ−タ、及
び、立ち上げミラ−のみを配置し、他の光学部品を固定
側に配置する分離光学系がある。この光学系によれば可
動部の軽量化を図れる。また、可動部に搭載されるアク
チュエ−タをフォ−カシングのみに利用し、トラッキン
グをガルバノミラ−により行なって、更に軽量化を図る
光学系もある。
対物レンズと対物レンズのためのアクチュエ−タ、及
び、立ち上げミラ−のみを配置し、他の光学部品を固定
側に配置する分離光学系がある。この光学系によれば可
動部の軽量化を図れる。また、可動部に搭載されるアク
チュエ−タをフォ−カシングのみに利用し、トラッキン
グをガルバノミラ−により行なって、更に軽量化を図る
光学系もある。
【0006】上述のようなガルバノミラ−は、例えば、
特開平1−200322号公報や特開平3−11384
0号公報に示されている。これらのガルバノミラ−を図
12及び図14に示す。
特開平1−200322号公報や特開平3−11384
0号公報に示されている。これらのガルバノミラ−を図
12及び図14に示す。
【0007】両ガルバノミラ−1、2とも、磁界内のコ
イルに電流を流すことにより発生する力を利用してミラ
−3、4を駆動するム−ビングコイル型のアクチュエ−
タを採用している。ミラ−3、4はミラ−保持体5、6
に固定され、ミラ−保持体5、6は固定部材7、8によ
って支持されている。図12の例ではミラ−保持体5と
固定部材7との間に樹脂ヒンジ9が形成されており、図
14の例ではミラ−保持体6が金属製の板ばねである。
イルに電流を流すことにより発生する力を利用してミラ
−3、4を駆動するム−ビングコイル型のアクチュエ−
タを採用している。ミラ−3、4はミラ−保持体5、6
に固定され、ミラ−保持体5、6は固定部材7、8によ
って支持されている。図12の例ではミラ−保持体5と
固定部材7との間に樹脂ヒンジ9が形成されており、図
14の例ではミラ−保持体6が金属製の板ばねである。
【0008】図13に樹脂ヒンジ9を示し、図15にミ
ラ−保持体5を示す。図12のガルバノミラ−1におい
ては、ミラ−3は樹脂ヒンジ9を中心に回動する。ま
た、図14のガルバノミラ−2においては、ミラ−4は
ミラ−保持体6のねじれ変形に伴って回動する。
ラ−保持体5を示す。図12のガルバノミラ−1におい
ては、ミラ−3は樹脂ヒンジ9を中心に回動する。ま
た、図14のガルバノミラ−2においては、ミラ−4は
ミラ−保持体6のねじれ変形に伴って回動する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の各ガ
ルバノミラ−1、2はム−ビングコイル型のアクチュエ
−タを採用しており、可動部からリ−ド線が引き出され
ている。リ−ド線には弾性があるため、リ−ド線の引き
出し長さ、及び、形状等に応じてミラ−5、6が反応
し、位置ずれすることがあった。したがって、ガルバノ
ミラ−1、2をそれ自身の光軸に対して位置調整して
も、ミラ−5、6の初期角度が本来の中立位置からずれ
てしまうことがあった。
ルバノミラ−1、2はム−ビングコイル型のアクチュエ
−タを採用しており、可動部からリ−ド線が引き出され
ている。リ−ド線には弾性があるため、リ−ド線の引き
出し長さ、及び、形状等に応じてミラ−5、6が反応
し、位置ずれすることがあった。したがって、ガルバノ
ミラ−1、2をそれ自身の光軸に対して位置調整して
も、ミラ−5、6の初期角度が本来の中立位置からずれ
てしまうことがあった。
【0010】また、ガルバノミラ−1、2自身の調整が
完了しても、ミラ−5、6は常に回動可能な状態にある
ため、ガルバノミラ−1、2と他の光学部品(例えばレ
ンズ、プリズム等)とを位置調整する場合に、ミラ−
5、6の角度が角度変化してしまうことがあった。この
ため、ガルバノミラ−1、2と他の光学部品との位置調
整が困難だった。
完了しても、ミラ−5、6は常に回動可能な状態にある
ため、ガルバノミラ−1、2と他の光学部品(例えばレ
ンズ、プリズム等)とを位置調整する場合に、ミラ−
5、6の角度が角度変化してしまうことがあった。この
ため、ガルバノミラ−1、2と他の光学部品との位置調
整が困難だった。
【0011】本発明の目的とするところは、位置調整の
際にミラ−が角度変化しにくく、位置調整を短時間に且
つ確実に行なうことが可能なガルバノミラ−装置を供給
することにある。
際にミラ−が角度変化しにくく、位置調整を短時間に且
つ確実に行なうことが可能なガルバノミラ−装置を供給
することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段および作用】以上に述べた
ような課題を解決するために本発明は、ミラ−と、この
ミラ−を保持するミラ−保持体と、このミラ−保持体が
固定される固定部材とを有し、ミラ−保持体の固定部材
に対する姿勢を弾性的に変化させてミラ−を角度変化さ
せるガルバノミラ−装置において、ミラ−保持体に連結
されてミラ−保持体の固定部材に対する姿勢を拘束する
とともに、位置調整後に除去されてミラ−保持体を解放
する拘束部を設けたことにある。
ような課題を解決するために本発明は、ミラ−と、この
ミラ−を保持するミラ−保持体と、このミラ−保持体が
固定される固定部材とを有し、ミラ−保持体の固定部材
に対する姿勢を弾性的に変化させてミラ−を角度変化さ
せるガルバノミラ−装置において、ミラ−保持体に連結
されてミラ−保持体の固定部材に対する姿勢を拘束する
とともに、位置調整後に除去されてミラ−保持体を解放
する拘束部を設けたことにある。
【0013】本発明においては、ミラ−保持体が拘束部
により拘束され、位置調整の際にミラ−の角度変化が防
止される。そして、ガルバノミラ−装置の位置調整を短
時間に且つ正確に行なうことが可能になる。
により拘束され、位置調整の際にミラ−の角度変化が防
止される。そして、ガルバノミラ−装置の位置調整を短
時間に且つ正確に行なうことが可能になる。
【0014】
【実施例】以下、本発明の各実施例を図1〜図11に基
づいて説明する。なお、従来の技術の項で説明したもの
と重複するものについては同一番号を付し、その説明は
省略する。
づいて説明する。なお、従来の技術の項で説明したもの
と重複するものについては同一番号を付し、その説明は
省略する。
【0015】図1〜図6は本発明の第一実施例を示すも
ので、図中の符号21は、例えば光学的記情報録記録再
生装置に用いられるガルバノミラ−装置である。このガ
ルバノミラ−装置21においては、矩形なミラ−22が
ミラ−保持体(以下、保持体と称する)23に固着され
ており、保持体23はその両端付近に配置された2つの
ヒンジ24、24により回転可能に支持されている。ま
た、このヒンジ24、24の下端は固定部材25に固定
されている。尚、保持体23、ヒンジ24、24、及
び、固定部材25は樹脂の射出形成などにより一体形成
してもよい。
ので、図中の符号21は、例えば光学的記情報録記録再
生装置に用いられるガルバノミラ−装置である。このガ
ルバノミラ−装置21においては、矩形なミラ−22が
ミラ−保持体(以下、保持体と称する)23に固着され
ており、保持体23はその両端付近に配置された2つの
ヒンジ24、24により回転可能に支持されている。ま
た、このヒンジ24、24の下端は固定部材25に固定
されている。尚、保持体23、ヒンジ24、24、及
び、固定部材25は樹脂の射出形成などにより一体形成
してもよい。
【0016】一方、保持体23の周囲にはコイル26が
巻装され、固定されている。そして、図2に示すような
方向に着磁方向を向けて固定部材25に固定された永久
磁石27により磁場が付与されている。
巻装され、固定されている。そして、図2に示すような
方向に着磁方向を向けて固定部材25に固定された永久
磁石27により磁場が付与されている。
【0017】ここで、永久磁石27からの磁束を導くた
めにヨ−クなどの高透磁率の部材は使用されておらず、
永久磁石27のN極より出た磁束の流れが装置の外部を
通ってS極に戻るよう磁路が形成されている。また、コ
イル26と永久磁石27とは、保持体23がヒンジ2
4、24を中心としていかなる位置に回動しても、磁路
内に常時コイル26の一部が含まれるよう配置されてい
る。
めにヨ−クなどの高透磁率の部材は使用されておらず、
永久磁石27のN極より出た磁束の流れが装置の外部を
通ってS極に戻るよう磁路が形成されている。また、コ
イル26と永久磁石27とは、保持体23がヒンジ2
4、24を中心としていかなる位置に回動しても、磁路
内に常時コイル26の一部が含まれるよう配置されてい
る。
【0018】図4図(a)に前記ヒンジ24が示されて
いる。ヒンジ24は保持体23と固定部材25との間に
形成されており、保持体23と固定部材25とを連結し
ている。さらに、ヒンジ24は変形部28と拘束部29
とにより構成されている。
いる。ヒンジ24は保持体23と固定部材25との間に
形成されており、保持体23と固定部材25とを連結し
ている。さらに、ヒンジ24は変形部28と拘束部29
とにより構成されている。
【0019】これらのうち変形部28は、対称的に形成
された切欠30、30の間に位置しており、保持部23
と固定部材25とを連結している。そして、変形部28
は保持体23及び固定部材25に比べて薄肉である。ま
た、拘束部29は一方の切欠30内に形成されており、
保持体23と固定部材25とを連結している。
された切欠30、30の間に位置しており、保持部23
と固定部材25とを連結している。そして、変形部28
は保持体23及び固定部材25に比べて薄肉である。ま
た、拘束部29は一方の切欠30内に形成されており、
保持体23と固定部材25とを連結している。
【0020】つまり、保持体23と固定部材25とは、
変形部28と拘束部29とによって連結されており、保
持体23の固定部材25に対する姿勢は、変形部28と
拘束部29とによって一定に保たれている。また、変形
部28の剛性は、コイル26への通電に伴って発生する
磁力に応じて保持体23が変位できるよう設定されてい
る。
変形部28と拘束部29とによって連結されており、保
持体23の固定部材25に対する姿勢は、変形部28と
拘束部29とによって一定に保たれている。また、変形
部28の剛性は、コイル26への通電に伴って発生する
磁力に応じて保持体23が変位できるよう設定されてい
る。
【0021】上述のガルバノミラ−装置21は、それ自
身の光軸に対する位置調整を行われたのち、他の光学部
品の光軸に対して位置調整される。いずれの位置調整の
場合にも、支持部材23は変形部28と拘束部29とに
よって支えられており、支持部材23の固定部材25に
対する姿勢は拘束部29によって拘束され、一定に保た
れている。したがって、ミラ−22の角度も一定に保た
れている。
身の光軸に対する位置調整を行われたのち、他の光学部
品の光軸に対して位置調整される。いずれの位置調整の
場合にも、支持部材23は変形部28と拘束部29とに
よって支えられており、支持部材23の固定部材25に
対する姿勢は拘束部29によって拘束され、一定に保た
れている。したがって、ミラ−22の角度も一定に保た
れている。
【0022】ガルバノミラ−装置21の、他の光学部品
の光軸に対する位置調整が終ったのち、図4(b)に示
すようにヒンジ24の拘束部材29は両端を切断され
る。そして、拘束部29は保持体23と固定部25との
間から除去され、保持体23は、変形部28のみによっ
て支持される。したがって、拘束部29の除去後は、支
持部材23が、コイル26への通電に伴って発生する電
磁力を受け、本来の機能を損なうことなく変形部28を
弾性変形させながら所定範囲内で自由に回動変位する。
の光軸に対する位置調整が終ったのち、図4(b)に示
すようにヒンジ24の拘束部材29は両端を切断され
る。そして、拘束部29は保持体23と固定部25との
間から除去され、保持体23は、変形部28のみによっ
て支持される。したがって、拘束部29の除去後は、支
持部材23が、コイル26への通電に伴って発生する電
磁力を受け、本来の機能を損なうことなく変形部28を
弾性変形させながら所定範囲内で自由に回動変位する。
【0023】ここで、拘束部29の剛性は、変形部28
とともに保持体23の姿勢を規制できる程度に設定され
ている。また、拘束部29と保持体23との境界部の
幅、及び、拘束部29と固定部材25との境界部の幅
は、拘束部29の切断を容易にするよう細く絞られてい
る。
とともに保持体23の姿勢を規制できる程度に設定され
ている。また、拘束部29と保持体23との境界部の
幅、及び、拘束部29と固定部材25との境界部の幅
は、拘束部29の切断を容易にするよう細く絞られてい
る。
【0024】図6(a)、(b)に、上述のガルバノミ
ラ−装置21を使用した光学系の一例を示す。この光学
系は分離型光学系であり、破線31より右側が固定光学
系32、左側が移動光学系33である。
ラ−装置21を使用した光学系の一例を示す。この光学
系は分離型光学系であり、破線31より右側が固定光学
系32、左側が移動光学系33である。
【0025】図6(a)に示すように、レ−ザダイオ−
ド34より発した光はコリメ−タレンズ35を通ってガ
ルバノミラ−装置21で反射される。反射された光はビ
−ムスプリッタ36で二つに分けられ、一部の光は前方
モニタ兼ガルバノミラ−角度検出用フォトダイオ−ド
(PD)37に入射する。残りの光は整形プリズム38
によって整形され、可動部に出射される。可動部には立
ち上げミラ−39と対物レンズ40が搭載されており、
図6(b)に示すように光が媒体41の表面に照射され
る。
ド34より発した光はコリメ−タレンズ35を通ってガ
ルバノミラ−装置21で反射される。反射された光はビ
−ムスプリッタ36で二つに分けられ、一部の光は前方
モニタ兼ガルバノミラ−角度検出用フォトダイオ−ド
(PD)37に入射する。残りの光は整形プリズム38
によって整形され、可動部に出射される。可動部には立
ち上げミラ−39と対物レンズ40が搭載されており、
図6(b)に示すように光が媒体41の表面に照射され
る。
【0026】一方、媒体41より反射された光は、再度
対物レンズ40、立ち上げミラ−39、整形プリズム3
8を通り、ビ−ムスプリッタ36によって反射され、検
出部42へ向かう。検出部42においては、フォ−カス
エラ−信号、トラックエラ−信号、及び、光磁気信号が
検出されるが、信号検出についての説明は省略する。
対物レンズ40、立ち上げミラ−39、整形プリズム3
8を通り、ビ−ムスプリッタ36によって反射され、検
出部42へ向かう。検出部42においては、フォ−カス
エラ−信号、トラックエラ−信号、及び、光磁気信号が
検出されるが、信号検出についての説明は省略する。
【0027】すなわち、上述のようなガルバノミラ−装
置21においては、ヒンジ24に拘束部29が設けられ
ており、この拘束部29は変形部28とともに保持体2
3の姿勢を保っている。このため、ガルバノミラ−装置
21自身の位置調整の際であっても、或いは、他の光学
部品との位置調整の際であっても、保持体23は姿勢を
変化させることができない。
置21においては、ヒンジ24に拘束部29が設けられ
ており、この拘束部29は変形部28とともに保持体2
3の姿勢を保っている。このため、ガルバノミラ−装置
21自身の位置調整の際であっても、或いは、他の光学
部品との位置調整の際であっても、保持体23は姿勢を
変化させることができない。
【0028】したがって、支持部材23の姿勢を一定に
保つことができ、調整中にミラ−22が角度変化するこ
とを防止できる。そして、ミラ−22の初期角度のばら
つきがなくなり、ミラ−22の位置を正確に調整でき
る。
保つことができ、調整中にミラ−22が角度変化するこ
とを防止できる。そして、ミラ−22の初期角度のばら
つきがなくなり、ミラ−22の位置を正確に調整でき
る。
【0029】また、各種の位置調整中に保持体23が角
度変化しないので、位置調整に要する時間が短縮され
る。さらに、拘束部29を保持体23及び固定部材25
と一体成形すれば、構造や製造方法はさほど複雑になら
ない。なお、本実施例においては、拘束部29が一方の
切欠30のみに形成されているが、例えば、拘束部29
を両方の切欠30、30に形成してもよい。図7〜図1
1に、本発明の第二実施例を示す。
度変化しないので、位置調整に要する時間が短縮され
る。さらに、拘束部29を保持体23及び固定部材25
と一体成形すれば、構造や製造方法はさほど複雑になら
ない。なお、本実施例においては、拘束部29が一方の
切欠30のみに形成されているが、例えば、拘束部29
を両方の切欠30、30に形成してもよい。図7〜図1
1に、本発明の第二実施例を示す。
【0030】図7〜図10において、符号51はガルバ
ノミラ−装置である。さらに、符号52は非磁性体から
なる固定部材であり、この固定部材52に導電性の、ミ
ラ−保持体としての板ばね53が固定されている。板ば
ね53の固定は、例えば、接着やねじ止等の公知手段に
よって行われている。板ばね53は、互いに平行な固定
部54、54の間に変形部55と拘束部56、56とを
架け渡している。そして、板ばね53は、固定部54、
54を固定部材52に固定している。
ノミラ−装置である。さらに、符号52は非磁性体から
なる固定部材であり、この固定部材52に導電性の、ミ
ラ−保持体としての板ばね53が固定されている。板ば
ね53の固定は、例えば、接着やねじ止等の公知手段に
よって行われている。板ばね53は、互いに平行な固定
部54、54の間に変形部55と拘束部56、56とを
架け渡している。そして、板ばね53は、固定部54、
54を固定部材52に固定している。
【0031】変形部55と両拘束部56、56とは、固
定部54、54に対して直角に、また、互いに平行に延
びている。さらに、変形部55は両拘束部56、56の
間に位置している。板バネ53の変形部55の一面にミ
ラ−57が接着され、他面にコイル58が接着等の手段
で固定されている。
定部54、54に対して直角に、また、互いに平行に延
びている。さらに、変形部55は両拘束部56、56の
間に位置している。板バネ53の変形部55の一面にミ
ラ−57が接着され、他面にコイル58が接着等の手段
で固定されている。
【0032】一方、固定部材52にはヨ−ク部材59が
固定されており、このヨ−ク部材59には非磁性からな
るスペ−サ60が固定されている。また、このスペ−サ
60には永久磁石61が固定されている。さらに、各々
の部材59〜61の固定には例えば接着等の手段が採用
されている。
固定されており、このヨ−ク部材59には非磁性からな
るスペ−サ60が固定されている。また、このスペ−サ
60には永久磁石61が固定されている。さらに、各々
の部材59〜61の固定には例えば接着等の手段が採用
されている。
【0033】図11(a)、(b)に前記板ばね53を
示す。板ばね53は、ベリリウム銅等の金属材料をエッ
チングによって所望の形状に加工してなるものである。
図11(a)は板ばね53のエッチング直後の状態を示
しており、この板ばね53には拘束部56、56が一体
に形成されている。そして、拘束部56、56は、成形
の後、図11(b)に示すように任意に除去される。
示す。板ばね53は、ベリリウム銅等の金属材料をエッ
チングによって所望の形状に加工してなるものである。
図11(a)は板ばね53のエッチング直後の状態を示
しており、この板ばね53には拘束部56、56が一体
に形成されている。そして、拘束部56、56は、成形
の後、図11(b)に示すように任意に除去される。
【0034】上述のガルバノミラ−装置51は、例えば
第一実施例と同様に図6に示すような光学系に使用する
ことが可能である。このガルバノミラ−装置51におい
ても、それ自身の光軸に対する位置調整、及び、他の光
学部品との位置調整が行われる。これらの位置調整の際
には、板ばね53には拘束部56、56が残されてお
り、ミラ−57は変形部55と拘束部56、56によっ
て支持されている。このため、ミラ−57の姿勢は一定
に保たれている。
第一実施例と同様に図6に示すような光学系に使用する
ことが可能である。このガルバノミラ−装置51におい
ても、それ自身の光軸に対する位置調整、及び、他の光
学部品との位置調整が行われる。これらの位置調整の際
には、板ばね53には拘束部56、56が残されてお
り、ミラ−57は変形部55と拘束部56、56によっ
て支持されている。このため、ミラ−57の姿勢は一定
に保たれている。
【0035】ここで、図11(a)及び(b)に示すよ
うに、変形部55の中央部には矩形なミラ−固定部62
が形成されており、このミラ−固定部62の一面にミラ
−57が固定されている。そして、拘束部56、56は
ミラ−固定部62に一体につながっている。ここで、例
えばミラ−固定部62を設けずに変形部55の中間部を
分離し、2本の板ばねによってミラ−57を支持しても
よい。
うに、変形部55の中央部には矩形なミラ−固定部62
が形成されており、このミラ−固定部62の一面にミラ
−57が固定されている。そして、拘束部56、56は
ミラ−固定部62に一体につながっている。ここで、例
えばミラ−固定部62を設けずに変形部55の中間部を
分離し、2本の板ばねによってミラ−57を支持しても
よい。
【0036】各種の位置調整ののち、図10及び図11
(b)に示すように、拘束部56、56が除去される。
そして、ミラ−57は変形部55のみによって支持され
る。この状態において、変形部55は本来のねじれ変形
を許される。つまり、コイル57への通電に伴って電磁
力が発生すると、板ばね53の変形部55が電磁力を受
けてねじれ変形する。そして、ミラ−57が回動して所
定の角度に位置決めされる。
(b)に示すように、拘束部56、56が除去される。
そして、ミラ−57は変形部55のみによって支持され
る。この状態において、変形部55は本来のねじれ変形
を許される。つまり、コイル57への通電に伴って電磁
力が発生すると、板ばね53の変形部55が電磁力を受
けてねじれ変形する。そして、ミラ−57が回動して所
定の角度に位置決めされる。
【0037】すなわち、上述のガルバノミラ−装置51
においても、第一実施例と同様に拘束部56、56が設
けられているので、各種の位置調整の際に板ばね53の
姿勢を一定に保つことができ、ミラ−57が角度変化す
ることを防止できる。そして、ミラ−57の初期角度の
ばらつきがなくなり、ミラ−57の位置を正確に調整で
きる。なお、本発明は、要旨を逸脱しない範囲で種々に
変形することが可能である。
においても、第一実施例と同様に拘束部56、56が設
けられているので、各種の位置調整の際に板ばね53の
姿勢を一定に保つことができ、ミラ−57が角度変化す
ることを防止できる。そして、ミラ−57の初期角度の
ばらつきがなくなり、ミラ−57の位置を正確に調整で
きる。なお、本発明は、要旨を逸脱しない範囲で種々に
変形することが可能である。
【0038】
【発明の効果】以上に述べたように本発明は、ミラ−
と、このミラ−を保持するミラ−保持体と、このミラ−
保持体が固定される固定部材とを有し、ミラ−保持体の
固定部材に対する姿勢を弾性的に変化させてミラ−を角
度変化させるガルバノミラ−装置において、ミラ−保持
体に連結されてミラ−保持体の固定部材に対する姿勢を
拘束するとともに、位置調整後に除去されてミラ−保持
体を解放する拘束部を設けたものである。したがって本
発明は、ミラ−が角度変化しにくく、ガルバノミラ−装
置の位置調整を短時間に且つ正確に行えるという効果が
ある。
と、このミラ−を保持するミラ−保持体と、このミラ−
保持体が固定される固定部材とを有し、ミラ−保持体の
固定部材に対する姿勢を弾性的に変化させてミラ−を角
度変化させるガルバノミラ−装置において、ミラ−保持
体に連結されてミラ−保持体の固定部材に対する姿勢を
拘束するとともに、位置調整後に除去されてミラ−保持
体を解放する拘束部を設けたものである。したがって本
発明は、ミラ−が角度変化しにくく、ガルバノミラ−装
置の位置調整を短時間に且つ正確に行えるという効果が
ある。
【図1】本発明の第一実施例のガルバノミラ−装置の拘
束部が残っている状態を示す斜視図。
束部が残っている状態を示す斜視図。
【図2】[図1]中のA−A線に沿った断面図。
【図3】[図1]中のB−B線に沿った断面図。
【図4】(a)はヒンジ部の拘束部が残っている状態を
示す正面図、(b)はヒンジ部の拘束部が除去された状
態を示す正面図。
示す正面図、(b)はヒンジ部の拘束部が除去された状
態を示す正面図。
【図5】本発明の第一実施例のガルバノミラ−装置の拘
束部が除去された状態を示す斜視図。
束部が除去された状態を示す斜視図。
【図6】(a)及び(b)はガルバノミラ−装置を備え
た光学系の一例を示す構成図。
た光学系の一例を示す構成図。
【図7】本発明の第二実施例のガルバノミラ−装置の拘
束部が残っている状態を示す斜視図。
束部が残っている状態を示す斜視図。
【図8】[図7]中のC−C線に沿った断面図。
【図9】[図7]中のD−D線に沿った断面図。
【図10】本発明の第二実施例のガルバノミラ−装置の
拘束部が除去された状態を示す斜視図。
拘束部が除去された状態を示す斜視図。
【図11】(a)は板ばねの拘束部が残っている状態を
示す斜視図、(b)は板ばねの拘束部が除去された状態
を示す斜視図。
示す斜視図、(b)は板ばねの拘束部が除去された状態
を示す斜視図。
【図12】従来のガルバノミラ−装置を示す斜視図。
【図13】従来のガルバノミラ−装置のヒンジを示す正
面図。
面図。
【図14】従来のガルバノミラ−装置を示す斜視図。
【図15】従来のガルバノミラ−装置のミラ−保持体を
示す斜視図。
示す斜視図。
21、51…ガルバノミラ−装置、22、57…ミラ
−、23…ミラ−保持体、25、52…固定部材、2
9、56…拘束部、53…板ばね(ミラ−保持体)。
−、23…ミラ−保持体、25、52…固定部材、2
9、56…拘束部、53…板ばね(ミラ−保持体)。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年3月23日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0008
【補正方法】変更
【補正内容】
【0008】図13に樹脂ヒンジ9を示し、図15にミ
ラー保持体6を示す。図12のガルバノミラー1におい
ては、ミラー3は樹脂ヒンジ9を中心に回動する。ま
た、図14のガルバノミラー2においては、ミラー4は
ミラー保持体6のねじれ変形に伴って回動する。
ラー保持体6を示す。図12のガルバノミラー1におい
ては、ミラー3は樹脂ヒンジ9を中心に回動する。ま
た、図14のガルバノミラー2においては、ミラー4は
ミラー保持体6のねじれ変形に伴って回動する。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0009
【補正方法】変更
【補正内容】
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の各ガ
ルバノミラー1、2はムービングコイル型のアクチュエ
ータを採用しており、可動部からリード線が引き出され
ている。リード線には弾性があるため、リード線の引き
出し長さ、及び、形状等に応じてミラー5、6が応力を
受け、位置ずれすることがあった。したがって、ガルバ
ノミラー1、2をそれ自身の光軸に対して位置調整して
も、ミラー5、6の初期角度が本来の中立位置からずれ
てしまうことがあった。
ルバノミラー1、2はムービングコイル型のアクチュエ
ータを採用しており、可動部からリード線が引き出され
ている。リード線には弾性があるため、リード線の引き
出し長さ、及び、形状等に応じてミラー5、6が応力を
受け、位置ずれすることがあった。したがって、ガルバ
ノミラー1、2をそれ自身の光軸に対して位置調整して
も、ミラー5、6の初期角度が本来の中立位置からずれ
てしまうことがあった。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0015
【補正方法】変更
【補正内容】
【0015】図1〜図6は本発明の第一実施例を示すも
ので、図中の符号21は、例えば光学的記情報録記録再
生装置に用いられるガルバノミラー装置である。このガ
ルバノミラー装置21においては、矩形なミラー22が
ミラー保持体(以下、保持体と称する)23に固着され
ており、保持体23はその両端付近に配置された2つの
ヒンジ24、24により回転可能に支持されている。ま
た、このヒンジ24、24の下端は固定部材25に固定
されている。尚、保持体23、ヒンジ24、24、及
び、固定部材25は樹脂の射出成形などにより一体成形
してもよい。
ので、図中の符号21は、例えば光学的記情報録記録再
生装置に用いられるガルバノミラー装置である。このガ
ルバノミラー装置21においては、矩形なミラー22が
ミラー保持体(以下、保持体と称する)23に固着され
ており、保持体23はその両端付近に配置された2つの
ヒンジ24、24により回転可能に支持されている。ま
た、このヒンジ24、24の下端は固定部材25に固定
されている。尚、保持体23、ヒンジ24、24、及
び、固定部材25は樹脂の射出成形などにより一体成形
してもよい。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0027
【補正方法】変更
【補正内容】
【0027】上述のようなガルバノミラー装置21にお
いては、ヒンジ24に拘束部29が設けられており、こ
の拘束部29は変形部28とともに保持体23の姿勢を
保っている。このため、ガルバノミラー装置21自身の
位置調整の際であっても、或いは、他の光学部品との位
置調整の際であっても、保持体23は姿勢を変化させる
ことができない。
いては、ヒンジ24に拘束部29が設けられており、こ
の拘束部29は変形部28とともに保持体23の姿勢を
保っている。このため、ガルバノミラー装置21自身の
位置調整の際であっても、或いは、他の光学部品との位
置調整の際であっても、保持体23は姿勢を変化させる
ことができない。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0030
【補正方法】変更
【補正内容】
【0030】図7〜図10において、符号51はガルバ
ノミラー装置である。さらに、符号52は非磁性体から
なる固定部材であり、この固定部材52にミラー保持体
としての板ばね53が固定されている。板ばね53の固
定は、例えば、接着やねじ止等の公知手段によって行わ
れている。板ばね53は、互いに平行な固定部54、5
4の間に変形部55と拘束部56、56とを架け渡して
いる。そして、板ばね53は、固定部54、54を固定
部材52に固定している。
ノミラー装置である。さらに、符号52は非磁性体から
なる固定部材であり、この固定部材52にミラー保持体
としての板ばね53が固定されている。板ばね53の固
定は、例えば、接着やねじ止等の公知手段によって行わ
れている。板ばね53は、互いに平行な固定部54、5
4の間に変形部55と拘束部56、56とを架け渡して
いる。そして、板ばね53は、固定部54、54を固定
部材52に固定している。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図8
【補正方法】変更
【補正内容】
【図8】[図7]中のD−D線に沿った断面図。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図9
【補正方法】変更
【補正内容】
【図9】[図7]中のC−C線に沿った断面図。
【手続補正8】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図4
【補正方法】変更
【補正内容】
【図4】
【手続補正9】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図12
【補正方法】変更
【補正内容】
【図12】
【手続補正10】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図13
【補正方法】変更
【補正内容】
【図13】
Claims (1)
- 【請求項1】 ミラ−と、このミラ−を保持するミラ−
保持体と、このミラ−保持体が固定される固定部材とを
有し、上記ミラ−保持体の上記固定部材に対する姿勢を
弾性的に変化させて上記ミラ−を角度変化させるガルバ
ノミラ−装置において、上記ミラ−保持体に連結されて
上記ミラ−保持体の上記固定部材に対する姿勢を拘束す
るとともに、位置調整後に除去されて上記ミラ−保持体
を解放する拘束部を設けたことを特徴とするガルバノミ
ラ−装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12063392A JPH05314518A (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | ガルバノミラ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12063392A JPH05314518A (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | ガルバノミラ−装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05314518A true JPH05314518A (ja) | 1993-11-26 |
Family
ID=14791057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12063392A Pending JPH05314518A (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | ガルバノミラ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05314518A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6061164A (en) * | 1998-01-27 | 2000-05-09 | Olympus Optical Co., Ltd. | Optical element supporting apparatus |
| JP2018124589A (ja) * | 2018-05-08 | 2018-08-09 | 北陽電機株式会社 | 金属弾性部材及び微小機械装置 |
-
1992
- 1992-05-13 JP JP12063392A patent/JPH05314518A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6061164A (en) * | 1998-01-27 | 2000-05-09 | Olympus Optical Co., Ltd. | Optical element supporting apparatus |
| JP2018124589A (ja) * | 2018-05-08 | 2018-08-09 | 北陽電機株式会社 | 金属弾性部材及び微小機械装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010109 |