JPH05314893A - 電極形成方法 - Google Patents
電極形成方法Info
- Publication number
- JPH05314893A JPH05314893A JP14363992A JP14363992A JPH05314893A JP H05314893 A JPH05314893 A JP H05314893A JP 14363992 A JP14363992 A JP 14363992A JP 14363992 A JP14363992 A JP 14363992A JP H05314893 A JPH05314893 A JP H05314893A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- oxide layer
- pdp
- cathode
- discharge efficiency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電極材料の選定範囲を広げるとともに、均一
で放電効率のよい電極を簡単に形成する。 【構成】 厚膜形成工程及び焼成工程を経て基板１１上
に電極１２をパターン形成した後、電極表面の酸化層を
除去する。除去する手段としてはサンドブラスト法を用
いる。酸化層が除去されることにより表面抵抗の低い電
極が形成され、ＰＤＰの放電効率が高まる。均一な電極
表面が得られるので、従来行われているパネル化後のエ
ージング処理が不要となる。また、表面酸化を防止する
ための雰囲気焼成等の特別な工程を必要としなくなり、
表面酸化の問題でＰＤＰの電極材料として使用できない
ような物質を使用することが可能になる。
で放電効率のよい電極を簡単に形成する。 【構成】 厚膜形成工程及び焼成工程を経て基板１１上
に電極１２をパターン形成した後、電極表面の酸化層を
除去する。除去する手段としてはサンドブラスト法を用
いる。酸化層が除去されることにより表面抵抗の低い電
極が形成され、ＰＤＰの放電効率が高まる。均一な電極
表面が得られるので、従来行われているパネル化後のエ
ージング処理が不要となる。また、表面酸化を防止する
ための雰囲気焼成等の特別な工程を必要としなくなり、
表面酸化の問題でＰＤＰの電極材料として使用できない
ような物質を使用することが可能になる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電極形成方法、特にプ
ラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと記す）の電
極形成方法に関するものである。
ラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと記す）の電
極形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１に従来のカラーＤＣ型ＰＤＰの一構
成例を示す。同図に示されるように、このＤＣ型ＰＤＰ
においては、ガラスからなる平板状の前面板１と背面板
２とが互いに平行にかつ対向して配設されており、両者
はその間に設けられたセル障壁３により一定の間隔に保
持されている。また、前面板１の背面には互いに平行な
複数の陽極４が形成されているとともに、背面板２の前
面側には互いに平行な複数の陰極５がこの陽極４と直交
して形成されている。さらに陽極４の両側には蛍光層６
が隣接して形成されており、この蛍光層６には表示要素
としての各セル７毎に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の
発光色の蛍光体がそれぞれ振り分けて設けられている。
成例を示す。同図に示されるように、このＤＣ型ＰＤＰ
においては、ガラスからなる平板状の前面板１と背面板
２とが互いに平行にかつ対向して配設されており、両者
はその間に設けられたセル障壁３により一定の間隔に保
持されている。また、前面板１の背面には互いに平行な
複数の陽極４が形成されているとともに、背面板２の前
面側には互いに平行な複数の陰極５がこの陽極４と直交
して形成されている。さらに陽極４の両側には蛍光層６
が隣接して形成されており、この蛍光層６には表示要素
としての各セル７毎に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の
発光色の蛍光体がそれぞれ振り分けて設けられている。
【０００３】そして、上述した従来のＤＣ型ＰＤＰで
は、陽極４と陰極５の間に所定の電圧が印加されると、
プラスイオンが陰極５に、マイナス電子が陽極４に引き
寄せられることにより放電が生じて電場が形成され、こ
の電場内で励起されたイオンが基底状態に戻る時に紫外
線を発生する。そして、この紫外線が全方向に向けて発
生し、このうち蛍光層６に当たる紫外線が蛍光体を励起
して可視光を発生させ、前面板１を透過するこの可視光
を観察者が視認するようになっている。
は、陽極４と陰極５の間に所定の電圧が印加されると、
プラスイオンが陰極５に、マイナス電子が陽極４に引き
寄せられることにより放電が生じて電場が形成され、こ
の電場内で励起されたイオンが基底状態に戻る時に紫外
線を発生する。そして、この紫外線が全方向に向けて発
生し、このうち蛍光層６に当たる紫外線が蛍光体を励起
して可視光を発生させ、前面板１を透過するこの可視光
を観察者が視認するようになっている。
【０００４】上記ＤＣ型ＰＤＰにおける陰極５の材料と
しては、耐スパッタ性、二次電子放出特性の観点からＮ
ｉ、Ａｌ、ＬａＢ6 等の金属が用いられている。また、
陰極５の形成方法としては、プラズマ溶射法や蒸着法な
どがあるが、製造コスト、大型化への容易性を考慮して
スクリーン印刷法による厚膜形成が広く利用されてい
る。
しては、耐スパッタ性、二次電子放出特性の観点からＮ
ｉ、Ａｌ、ＬａＢ6 等の金属が用いられている。また、
陰極５の形成方法としては、プラズマ溶射法や蒸着法な
どがあるが、製造コスト、大型化への容易性を考慮して
スクリーン印刷法による厚膜形成が広く利用されてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ＤＣ型
ＰＤＰにおける陰極の材料としては、一般に下記の項目
が要求されている。 仕事関数が低いこと。すなわち、二次電子放出係数が
高いこと。 イオン衝撃に強いこと。すなわち、耐スパッタ性が良
好であること。 パネル製作工程に耐えられること。特に封着時の温度
や雰囲気に耐えられること。
ＰＤＰにおける陰極の材料としては、一般に下記の項目
が要求されている。 仕事関数が低いこと。すなわち、二次電子放出係数が
高いこと。 イオン衝撃に強いこと。すなわち、耐スパッタ性が良
好であること。 パネル製作工程に耐えられること。特に封着時の温度
や雰囲気に耐えられること。
【０００６】このような要求に応えるものとして、陰極
材料として前記のＮｉ、Ａｌ、ＬａＢ6 等の金属が挙げ
られる。特に、ＬａＢ6 （六ホウ化ランタン）は仕事関
数、耐スパッタ性において優れた特性を有している。し
かしながら、ＬａＢ6 粒子、ガラスフリット、ビークル
を混合したスクリーン印刷用ペーストを基板上にパター
ン形成した後、焼成を行うとＬａＢ6 電極表面は酸化さ
れ、表面の電気抵抗値が上がるか又は絶縁層を形成して
しまう。このため、従来の厚膜形成工程及び焼成工程に
よる電極形成方法ではＬａＢ6 をＰＤＰの陰極として利
用できないという問題点がある。
材料として前記のＮｉ、Ａｌ、ＬａＢ6 等の金属が挙げ
られる。特に、ＬａＢ6 （六ホウ化ランタン）は仕事関
数、耐スパッタ性において優れた特性を有している。し
かしながら、ＬａＢ6 粒子、ガラスフリット、ビークル
を混合したスクリーン印刷用ペーストを基板上にパター
ン形成した後、焼成を行うとＬａＢ6 電極表面は酸化さ
れ、表面の電気抵抗値が上がるか又は絶縁層を形成して
しまう。このため、従来の厚膜形成工程及び焼成工程に
よる電極形成方法ではＬａＢ6 をＰＤＰの陰極として利
用できないという問題点がある。
【０００７】また、Ｎｉ，Ａｌからなる電極において
も、従来の電極形成方法では焼成時に表面に酸化層が形
成されるという同様な問題点がある。特に、ＰＤＰの陰
極材料としてよく用いられるＮｉにあっては、パネル封
着工程、排気工程、ガス封入工程後、エージング処理に
より酸化層の活性化、電極表面の均一化が図られている
が、このエージング処理は、電流、印加電圧、放電時間
の設定等のパネル特性に影響を与えるので、適性な条件
で行う必要があり、このため製造工程が複雑になってい
る。
も、従来の電極形成方法では焼成時に表面に酸化層が形
成されるという同様な問題点がある。特に、ＰＤＰの陰
極材料としてよく用いられるＮｉにあっては、パネル封
着工程、排気工程、ガス封入工程後、エージング処理に
より酸化層の活性化、電極表面の均一化が図られている
が、このエージング処理は、電流、印加電圧、放電時間
の設定等のパネル特性に影響を与えるので、適性な条件
で行う必要があり、このため製造工程が複雑になってい
る。
【０００８】本発明は、上記のような問題点に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、電極材料
の選定範囲が広がるとともに、均一で放電効率のよい電
極を簡単に形成することのできる電極形成方法を提供す
ることにある。
されたものであり、その目的とするところは、電極材料
の選定範囲が広がるとともに、均一で放電効率のよい電
極を簡単に形成することのできる電極形成方法を提供す
ることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の電極形成方法は、厚膜形成工程及び焼成
工程を経て基板上に電極をパターン形成した後、電極表
面の酸化層を除去することを特徴としている。
めに、本発明の電極形成方法は、厚膜形成工程及び焼成
工程を経て基板上に電極をパターン形成した後、電極表
面の酸化層を除去することを特徴としている。
【００１０】そして、上記の電極形成方法において、酸
化層を除去するのにサンドブラスト法を用いることがで
きるものである。
化層を除去するのにサンドブラスト法を用いることがで
きるものである。
【００１１】
【作用】上述の本発明の電極形成方法によれば、焼成工
程の終了後に電極表面の酸化層を除去することにより、
電極の表面抵抗が低下して放電効率が高められ、しかも
均一な電極表面が得られる。
程の終了後に電極表面の酸化層を除去することにより、
電極の表面抵抗が低下して放電効率が高められ、しかも
均一な電極表面が得られる。
【００１２】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。
説明する。
【００１３】図２は本発明に係る電極形成方法の一実施
例を示す工程図であり、この電極を陰極として使用する
ＰＤＰの構造は図１に示されるＤＣ型ＰＤＰとした。以
下、この工程を順を追って説明する。
例を示す工程図であり、この電極を陰極として使用する
ＰＤＰの構造は図１に示されるＤＣ型ＰＤＰとした。以
下、この工程を順を追って説明する。
【００１４】まず、図２の（ａ）に示すように、背面板
１１となるガラス製基板の上にピッチ０．５ｍｍ、ライ
ン幅０．３ｍｍ、膜厚２０μｍでＮｉペースト（Ｄｕｐ
ｏｎｔ製、Ｎｏ．９５３５）をスクリーン印刷によりパ
ターン状に塗布し、陰極１２となる厚膜の電極を形成し
た。その後、１７０℃にて乾燥した後、ピーク温度５８
０℃にて焼成を行った。次いで、（ｂ）に示すように、
スクリーン印刷の積層によりピッチ０．５ｍｍ、線幅
０．１５ｍｍ、膜厚０．２ｍｍの格子状をしたセル障壁
１３を形成した後、５８０℃にて焼成を行った。このセ
ル障壁１３と陰極１２の整合パターンを図３に示す。
１１となるガラス製基板の上にピッチ０．５ｍｍ、ライ
ン幅０．３ｍｍ、膜厚２０μｍでＮｉペースト（Ｄｕｐ
ｏｎｔ製、Ｎｏ．９５３５）をスクリーン印刷によりパ
ターン状に塗布し、陰極１２となる厚膜の電極を形成し
た。その後、１７０℃にて乾燥した後、ピーク温度５８
０℃にて焼成を行った。次いで、（ｂ）に示すように、
スクリーン印刷の積層によりピッチ０．５ｍｍ、線幅
０．１５ｍｍ、膜厚０．２ｍｍの格子状をしたセル障壁
１３を形成した後、５８０℃にて焼成を行った。このセ
ル障壁１３と陰極１２の整合パターンを図３に示す。
【００１５】その後、（ｃ）に示すように、電極表面の
酸化層を除去するためのサンドブラスト処理を行った。
なお、本実施例では陰極材料としてＮｉを用いたが、こ
れは陰極材料を限定するものではなく、陰極材料として
はその他にＡｌ、ＬａＢ6 等が考えられる。そして、こ
の酸化層の厚み、電極表面の硬度に合わせてサンドブラ
スト処理の詳細な条件を設定する。本実施例では、研摩
材としてガラスビーズ＃６００を使用し、圧力１ｋｇ／
ｃｍ2 、ノズル移動速度５０ｍｍ／ｓｅｃにてサンドブ
ラスト処理を行った。
酸化層を除去するためのサンドブラスト処理を行った。
なお、本実施例では陰極材料としてＮｉを用いたが、こ
れは陰極材料を限定するものではなく、陰極材料として
はその他にＡｌ、ＬａＢ6 等が考えられる。そして、こ
の酸化層の厚み、電極表面の硬度に合わせてサンドブラ
スト処理の詳細な条件を設定する。本実施例では、研摩
材としてガラスビーズ＃６００を使用し、圧力１ｋｇ／
ｃｍ2 、ノズル移動速度５０ｍｍ／ｓｅｃにてサンドブ
ラスト処理を行った。
【００１６】次に、（ｄ）に示すように、前面板１４と
背面板１１を封着する。この封着の際、前面板１４に形
成されたライン状の陽極１５を背面板１１の陰極１２と
直交するように位置決めする。なお、この前面板１４に
は図１に示すのと同様、陽極１５の両側に蛍光層が形成
されており、それぞれＲ，Ｇ，Ｂの発光色をもつ蛍光層
がセル１６毎に振り分けられて所定のパターンで配列さ
れている。そして、封着後、パネル内を排気し、Ｈｅ−
Ｘｅ（Ｘｅ３％）からなるガスを２３０Ｔｏｒｒ封入す
ることにより、ＤＣ型ＰＤＰを形成した。
背面板１１を封着する。この封着の際、前面板１４に形
成されたライン状の陽極１５を背面板１１の陰極１２と
直交するように位置決めする。なお、この前面板１４に
は図１に示すのと同様、陽極１５の両側に蛍光層が形成
されており、それぞれＲ，Ｇ，Ｂの発光色をもつ蛍光層
がセル１６毎に振り分けられて所定のパターンで配列さ
れている。そして、封着後、パネル内を排気し、Ｈｅ−
Ｘｅ（Ｘｅ３％）からなるガスを２３０Ｔｏｒｒ封入す
ることにより、ＤＣ型ＰＤＰを形成した。
【００１７】図４に本実施例で作製したＤＣ型ＰＤＰ
（ａで示す）と従来のＤＣ型ＰＰＤＰ（ｂで示す）の電
圧−電流特性を示す。なお、従来のＤＣ型ＰＤＰにおけ
る陰極は、サンドブラスト処理を行っておらず、その代
わりにエージング処理を施したものを使用している。こ
の図から分かるように、サンドブラスト処理を行った陰
極を有する放電セルの電圧は約２〜５Ｖ低くなり、なお
かつ低電流部において安定でかつ均一な放電が得られ
る。
（ａで示す）と従来のＤＣ型ＰＰＤＰ（ｂで示す）の電
圧−電流特性を示す。なお、従来のＤＣ型ＰＤＰにおけ
る陰極は、サンドブラスト処理を行っておらず、その代
わりにエージング処理を施したものを使用している。こ
の図から分かるように、サンドブラスト処理を行った陰
極を有する放電セルの電圧は約２〜５Ｖ低くなり、なお
かつ低電流部において安定でかつ均一な放電が得られ
る。
【００１８】
【発明の効果】本発明は、上述のとおり構成されている
ので、次に記載する効果を奏する。
ので、次に記載する効果を奏する。
【００１９】本発明の電極形成方法によれば、基板上に
電極をパターン形成した後、電極表面の酸化層を除去す
るようにしたので、この酸化層除去により表面抵抗の低
い電極の形成が可能となることから、ＰＤＰにおける放
電効率を簡単な方法で高めることができる。また、均一
な電極表面が得られることから、従来行われているパネ
ル化後のエージング処理の必要がなくなる。
電極をパターン形成した後、電極表面の酸化層を除去す
るようにしたので、この酸化層除去により表面抵抗の低
い電極の形成が可能となることから、ＰＤＰにおける放
電効率を簡単な方法で高めることができる。また、均一
な電極表面が得られることから、従来行われているパネ
ル化後のエージング処理の必要がなくなる。
【００２０】また、表面酸化を防止するための雰囲気焼
成等の特別な工程を必要としなくなることから、表面酸
化の問題でＰＤＰの電極材料として使用できないような
物質を使用することも可能となり、電極材料の選定範囲
が広がる。
成等の特別な工程を必要としなくなることから、表面酸
化の問題でＰＤＰの電極材料として使用できないような
物質を使用することも可能となり、電極材料の選定範囲
が広がる。
【図１】従来のＤＣ型プラズマディスプレイパネルの一
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【図２】本発明に係る電極形成方法の一例を示す工程図
である。
である。
【図３】図２の（ｂ）工程を経て形成されたセル障壁と
陰極の整合パターンを示す図である。
陰極の整合パターンを示す図である。
【図４】本発明により作製された電極を陰極としてもつ
ＤＣ型プラズマディスプレイパネルの電圧−電流特性を
従来のものと比較して示す図である。
ＤＣ型プラズマディスプレイパネルの電圧−電流特性を
従来のものと比較して示す図である。
１１ 背面板 １２ 陰極（電極） １３ セル障壁 １４ 前面板 １５ 陽極 １６ セル
Claims (2)
- 【請求項１】 厚膜形成工程及び焼成工程を経て基板上
に電極をパターン形成した後、電極表面の酸化層を除去
することを特徴とする電極形成方法。 - 【請求項２】 前記の酸化層を除去するのにサンドブラ
スト法を用いることを特徴とする請求項１記載の電極形
成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14363992A JPH05314893A (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 電極形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14363992A JPH05314893A (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 電極形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05314893A true JPH05314893A (ja) | 1993-11-26 |
Family
ID=15343453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14363992A Pending JPH05314893A (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 電極形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05314893A (ja) |
-
1992
- 1992-05-11 JP JP14363992A patent/JPH05314893A/ja active Pending
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