JPH05314Y2 - - Google Patents
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- JPH05314Y2 JPH05314Y2 JP1986087154U JP8715486U JPH05314Y2 JP H05314 Y2 JPH05314 Y2 JP H05314Y2 JP 1986087154 U JP1986087154 U JP 1986087154U JP 8715486 U JP8715486 U JP 8715486U JP H05314 Y2 JPH05314 Y2 JP H05314Y2
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 210000000707 wrist Anatomy 0.000 description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
この考案はノズルよりレーザ光を照射してワー
クを加工するレーザ加工機に関する。[Detailed description of the invention] Industrial application field This invention relates to a laser processing machine that processes a workpiece by irradiating laser light from a nozzle.
従来の技術
従来レーザ光を用いてワークを加工するレーザ
加工機には、3軸方向へ自在に回転するノズル装
置が設けられていて、このノズル装置のノズルよ
りワークへ向けてレーザ光を照射し、ワークを加
工するように構成されている。Conventional technology Conventional laser processing machines that process workpieces using laser light are equipped with a nozzle device that freely rotates in three axes, and the nozzle of this nozzle device irradiates the workpiece with laser light. , configured to process a workpiece.
またノズル装置にはすでに種々のものが出願さ
れている。 Further, various applications have already been filed for nozzle devices.
例えば特開昭60−213390号、特開昭59−21491
号など。 For example, JP-A-60-213390, JP-A-59-21491
No. etc.
しかしこれら公報に記載のものは何れも3軸方
向へノズル本体を駆動するモータが、ノズル本体
より突出しているため、3軸方向へ動作中ワーク
を周辺の機器にモータが干渉したり、モータへ配
線されたケーブル数がモータへからんで故障の原
因となるなどの不具合がある。 However, in all of these publications, the motor that drives the nozzle body in the 3-axis directions protrudes from the nozzle body, so the motor may interfere with surrounding equipment when moving the workpiece in the 3-axis directions, or the motor may interfere with surrounding equipment. There are problems such as the number of wired cables getting tangled with the motor and causing a malfunction.
上記不具合を改善するものとてし第4図に示す
ように各軸駆動用モータa,b,cを本体ケース
dの上部に設けて、これらモータa,b,cの駆
動を3重に設けられた回転軸e,f,g及びベベ
ルギヤhを介してノズル本体へ伝達することによ
り、ノズル本体を3軸(A軸、B軸、C軸)方向
へ回動できるようにしたものも提案されている。 To improve the above-mentioned problem, as shown in Fig. 4, motors a, b, and c for driving each axis are provided on the upper part of the main body case d, and the driving of these motors a, b, and c is tripled. It has also been proposed that the nozzle body can be rotated in three axes (A-axis, B-axis, C-axis) by transmitting the information to the nozzle body through the rotational axes e, f, g and bevel gear h. ing.
考案が解決しようとする問題点
しかし上記のようなノズル装置では、例えばA
軸回転時B軸のベベルギヤh、駆動側が固定さ
れ、従動側が回転されることから、手首姿勢を一
定に維持するためにはB軸モータbを回転させて
つれ回り量を補正する必要があつた。Problems to be solved by the invention However, in the above nozzle device, for example, A.
When the shaft rotates, the drive side of the B-axis bevel gear h is fixed and the driven side rotates, so in order to maintain a constant wrist posture, it was necessary to rotate the B-axis motor b to correct the amount of rotation. .
このため常に補正量を演算してB軸モータbを
補正量に応じて制御しなければならず、演算回路
などを必要として制御系が複雑になると共に、位
置決め割出し精度が機械的なバツクラツシユや電
気的な応答誤差により悪くなるなどの欠点もあつ
た。 Therefore, it is necessary to constantly calculate the correction amount and control the B-axis motor b according to the correction amount, which requires a calculation circuit and the like, which complicates the control system. There were also drawbacks such as deterioration due to electrical response errors.
この考案は上記欠点を除去する目的でなされた
ものである。 This invention was made for the purpose of eliminating the above-mentioned drawbacks.
問題点を解決するための手段及び作用
本体ケース8に設けられたA軸モータにより駆
動されてノズル本体27をA軸方向へ回転するA
軸駆動軸15と、該A軸駆動15に回転自在に支
承され、かつA軸駆動軸15側に取付けられたB
軸モータ10により回転されて上記ノズル本体2
7をB軸方向へ回転するB軸駆動軸20と上記駆
動軸に支承され、かつB軸駆動軸20側に取付け
られたC軸モータ11により回転されて上記ノズ
ル本体27をC軸方向へ回転するC軸駆動軸33
とからなるノズル装置を具備することにより、複
雑な演算処理を必要とせずに各軸の制御を可能に
したレーザ加工機。Means and action for solving the problem The nozzle body 27 is rotated in the A-axis direction by being driven by the A-axis motor provided in the main body case 8.
A shaft drive shaft 15 and a B shaft rotatably supported by the A shaft drive shaft 15 and attached to the A shaft drive shaft 15 side.
The nozzle body 2 is rotated by a shaft motor 10.
7 in the B-axis direction, and a C-axis motor 11 supported by the drive shaft and attached to the B-axis drive shaft 20 side rotates the nozzle body 27 in the C-axis direction. C-axis drive shaft 33
A laser processing machine that is equipped with a nozzle device that makes it possible to control each axis without the need for complex arithmetic processing.
実施例
この考案の一実施例を第1図ないし第3図に示
す図面を参照して詳述する。Embodiment An embodiment of this invention will be described in detail with reference to the drawings shown in FIGS. 1 to 3.
第1図はレーザ加工機の全体を示すもので、こ
の図において1はベツド、2は該ベツド1上に配
置されてY軸方向へ移動自在なテーブルで、この
テーブル2上に加工すべきワーク3が載置され
る。 Figure 1 shows the entire laser processing machine. In this figure, 1 is a bed, and 2 is a table placed on the bed 1 and movable in the Y-axis direction. 3 is placed.
4はベツド1の両側より立設されたコラムで、
このコラム4の上部に水平方向にクロスビーム5
が横架されていると共に、上記クロスビーム5
に、クロスビーム5の長手方向(X軸方向)へ移
動自在にサドル6が支承され、このサドル6に上
下方向(Z軸方向)へ移動自在にラム7が取付け
られている。 4 is a column erected from both sides of bed 1,
A cross beam 5 is placed horizontally on the top of this column 4.
is suspended horizontally, and the cross beam 5
A saddle 6 is supported on the cross beam 5 so as to be movable in the longitudinal direction (X-axis direction), and a ram 7 is attached to this saddle 6 so as to be movable in the vertical direction (Z-axis direction).
そして上記ラム7の下端部に、3軸、すなわち
A軸、B軸及びC軸方向へ回動自在な手首部50
を介してノズル本体27が設けられている。 A wrist portion 50 is attached to the lower end of the ram 7 and is rotatable in three axes, that is, the A-axis, B-axis, and C-axis directions.
A nozzle body 27 is provided through the nozzle body 27.
上記手首部50は第2図に示すようにZ軸方向
へ移動自在なラム7の下部に本体ケース8が収容
されていて、この本体ケース8の上部にA軸モー
タ9が、そして本体ケース8内にB軸モータ10
及びC軸モータ11が設けられている。 As shown in FIG. 2, the wrist portion 50 has a main body case 8 housed in the lower part of the ram 7 that is movable in the Z-axis direction, an A-axis motor 9 in the upper part of the main body case 8, and the main body case 8. B-axis motor 10 inside
and a C-axis motor 11 are provided.
そしてA軸モータ9の回転は減速機12より駆
動ギヤ13を及び従動ギヤ14を介してA軸駆動
軸15へ伝えられ、A軸駆動軸15が回転される
ようになつている。A軸駆動軸15は中空軸で内
部を後述するようにレーザ光が通る案内筒として
の機能を有すると共に、下端部はほぼ直角に屈曲
されていて、この屈曲部15a内にレーザ光を
90°屈折するミラー16が設置されている。 The rotation of the A-axis motor 9 is transmitted from the reducer 12 to the A-axis drive shaft 15 via the drive gear 13 and the driven gear 14, so that the A-axis drive shaft 15 is rotated. The A-axis drive shaft 15 is a hollow shaft that functions as a guide tube through which the laser beam passes, as will be described later, and its lower end is bent at an almost right angle, so that the laser beam can be guided into the bent portion 15a.
A mirror 16 that refracts 90 degrees is installed.
またB軸モータ10は、上記A軸駆動軸15の
途中に突設されギヤケース15b上に設置されて
いて、このB軸モータ10の回転は、減速機17
より駆動ギヤ18及び従動ギヤ19を介してB軸
駆動軸20へ伝達されるようになつている。 Further, the B-axis motor 10 is protruded from the middle of the A-axis drive shaft 15 and installed on the gear case 15b, and the rotation of the B-axis motor 10 is controlled by the reduction gear 17.
The power is transmitted to the B-axis drive shaft 20 via the drive gear 18 and the driven gear 19.
上記B軸駆動軸20は軸受け21を介してA軸
駆動軸15の外周部に回転自在に支承されている
と共に、下端部に設けられたベベルギヤ22によ
り、A軸駆動軸15の屈曲部15aに軸受け23
を介して支承されたB軸連動軸24に連動され、
B軸駆動軸20の回転とともにB軸連動軸24が
回転されるようになつている。 The B-axis drive shaft 20 is rotatably supported on the outer circumference of the A-axis drive shaft 15 via a bearing 21, and is attached to the bent portion 15a of the A-axis drive shaft 15 by a bevel gear 22 provided at the lower end. Bearing 23
Interlocked with the B-axis interlocking shaft 24 supported via the
The B-axis interlocking shaft 24 is rotated together with the rotation of the B-axis drive shaft 20.
そしてこのB軸連動軸24の先端にレーザ光案
内筒25が取付けられている。上記レーザ光案内
筒25はほぼ逆L字形をなす中空筒より形成され
ていて、屈曲部内に、上記A軸駆動部15の屈曲
部15a内に設けられたミラー16により屈折さ
れたレーザ光をさらに90°屈折するミラー26が
設けられていると共に、上記レーザ光案内筒25
の下端にノズル本体27がスプライン係合28さ
れている。 A laser beam guide cylinder 25 is attached to the tip of this B-axis interlocking shaft 24. The laser beam guide tube 25 is formed of a hollow tube having a substantially inverted L shape, and the laser beam refracted by the mirror 16 provided in the bent portion 15a of the A-axis drive section 15 is further guided into the bent portion. A mirror 26 that refracts 90° is provided, and the laser beam guide tube 25
A nozzle body 27 is spline engaged 28 at the lower end of the nozzle body 27 .
一方C軸モータ11はB軸駆動軸20の上端部
に固着されたギヤケース29上に設置されている
と共に、このC軸モータ11の回転は減速機30
より駆動ギヤ31及び従動ギヤ32を介してC軸
駆動軸33へ伝達されるようになつている。 On the other hand, the C-axis motor 11 is installed on a gear case 29 fixed to the upper end of the B-axis drive shaft 20, and the rotation of the C-axis motor 11 is controlled by a reducer 30.
The signal is transmitted to the C-axis drive shaft 33 via the drive gear 31 and the driven gear 32.
C軸駆動軸33はB軸駆動軸20の外周部に軸
受け34を介して支承されていると共に、下端部
に設けられたベベルギヤ35により、上記B軸連
動軸24に軸受け36を介して支承されたC軸連
動軸37に連動されている。 The C-axis drive shaft 33 is supported on the outer circumference of the B-axis drive shaft 20 via a bearing 34, and is also supported on the B-axis interlocking shaft 24 via a bearing 36 by a bevel gear 35 provided at the lower end. It is interlocked with a C-axis interlocking shaft 37.
そしてC軸連動軸37の先端は、ベベルギヤ3
8により、上記レーザ光案内筒25の先端部に軸
受け38を介して支承された先端筒39に連動さ
れている。 The tip of the C-axis interlocking shaft 37 is connected to the bevel gear 3.
8, it is interlocked with a tip tube 39 supported at the tip of the laser beam guide tube 25 via a bearing 38.
上記先端筒39は送りねじ40によりノズル本
体27に螺合されていて、先端筒39の回転に伴
い、ノズル本体27がC軸方向に移動されると共
に、先端筒39、C軸連動軸37の外周部は、本
体ケース8に軸受け41を介して支承されたカバ
ー42に覆れて、塵埃などから保護されている。 The tip tube 39 is screwed into the nozzle body 27 by a feed screw 40, and as the tip tube 39 rotates, the nozzle body 27 is moved in the C-axis direction, and the tip tube 39 and the C-axis interlocking shaft 37 are rotated. The outer peripheral portion is covered by a cover 42 supported by the main body case 8 via a bearing 41, and is protected from dust and the like.
一方図示しないレーザ発振器より発振されたレ
ーザ光は、本体ケース8の上方に設けられたレー
ザ光案内筒43よりA軸駆動軸15の上方へ導び
かれ、さらにミラー44,16及びにより屈折さ
れてレーザ光案内筒25の先端に設けられた集光
レンズ45へ導びかれ、この集光レンズ45によ
りテーブル上に載置されたワークへ照射されて、
ワーク3の加工が行なえるようになつている。 On the other hand, a laser beam emitted from a laser oscillator (not shown) is guided above the A-axis drive shaft 15 from a laser beam guide tube 43 provided above the main body case 8, and is further refracted by mirrors 44, 16 and the like. The laser beam is guided to a condensing lens 45 provided at the tip of the laser beam guide tube 25, and is irradiated by this condensing lens 45 onto a workpiece placed on a table.
Workpiece 3 can now be processed.
次に作用を説明すると、ワーク3を加工するに
当つてノズル本体27軸24が回動されるため、
このB軸連動軸24に取付けられたレーザ光案内
筒25がB軸方向へ±90°回転される。 Next, to explain the operation, since the nozzle body 27 shaft 24 is rotated when processing the workpiece 3,
The laser beam guide cylinder 25 attached to this B-axis interlocking shaft 24 is rotated by ±90° in the B-axis direction.
このときB軸駆動軸20とともにC軸駆動軸3
3も一体に回転されると共に、A軸駆動軸15は
本体ケース8に固定された状態になる。 At this time, together with the B-axis drive shaft 20, the C-axis drive shaft 3
3 are also rotated together, and the A-axis drive shaft 15 is fixed to the main body case 8.
次にノズル本体27をC軸方向へ移動させる場
合は、C軸モータ11によりC軸駆動軸33を回
転させる。C軸駆動軸33の回転はC軸連動軸3
7より先端筒39へ伝えられて先端筒39が回転
され、これによつて先端筒39と送りねじ40で
螺合されたノズル本体27がC軸方向へ移動され
ると共に、このときA軸及びB軸駆動軸15,2
0は本体ケース8に固定された状態となる。 Next, when moving the nozzle body 27 in the C-axis direction, the C-axis drive shaft 33 is rotated by the C-axis motor 11. The rotation of the C-axis drive shaft 33 is caused by the C-axis interlocking shaft 3.
7 to the tip tube 39, which rotates the tip tube 39. As a result, the nozzle body 27, which is screwed together with the tip tube 39 by the feed screw 40, is moved in the C-axis direction, and at this time, the A-axis and B-axis drive shaft 15, 2
0 is in a state fixed to the main body case 8.
以上のようにA軸モータ9、B軸モータ10及
びC軸モータ11を回転させることにより、ノズ
ル本体27をA軸、B軸及びC軸方向へ自由に回
転できることから、これらの組合せによりワーク
3の所定個所を自由に加工できると共に、各軸モ
ータ9ないし11へ直接指令値を入力してノズル
本体7の位置決めが行なえるようになる。 By rotating the A-axis motor 9, B-axis motor 10, and C-axis motor 11 as described above, the nozzle body 27 can be freely rotated in the A-axis, B-axis, and C-axis directions. The nozzle body 7 can be positioned freely by inputting command values directly to the motors 9 to 11 for each axis.
例えば第3図に示すような立体形状のワーク3
を加工する際、ワーク3の寸法精度にバラツキが
あつてC軸方向へ補正しながら加工する場合、従
来では補正値をX,Y,Z軸方向へ分配してノズ
ル本体27をC軸方向へをA軸方向へ回転させる
べく、A軸モータ9を回転させると、このモータ
9の回転はA軸駆動軸15へ伝えられてA軸駆動
軸15がA軸方向へ回転し、このときA軸駆動軸
15に支承されているB軸、C軸の駆動軸20,
33も一体となつて回転される。 For example, a three-dimensional workpiece 3 as shown in Figure 3
When machining, if there are variations in the dimensional accuracy of the workpiece 3 and the workpiece 3 is processed while being corrected in the C-axis direction, conventionally the correction values are distributed in the X, Y, and Z-axis directions and the nozzle body 27 is moved in the C-axis direction. When the A-axis motor 9 is rotated in order to rotate the B-axis and C-axis drive shafts 20 supported by the drive shaft 15,
33 are also rotated together.
次にノズル本体27をB軸方向へ回転すべくB
軸モータ10を回転させると、B軸モータ10の
回転はB軸駆動軸20へ伝えられ、さらにB軸連
動補正する必要があつたが、この考案によれば、
C軸モータ11へ補正値を直接入力することによ
り補正できることから、補正値の複雑な演算処理
も必要なくなる。 Next, in order to rotate the nozzle body 27 in the direction of the B axis,
When the axis motor 10 is rotated, the rotation of the B-axis motor 10 is transmitted to the B-axis drive shaft 20, and it is necessary to further correct the B-axis interlocking, but according to this invention,
Since the correction can be performed by directly inputting the correction value to the C-axis motor 11, there is no need for complicated calculation processing of the correction value.
またこれによつて電気的な応答性も改善され
る。 This also improves electrical responsiveness.
考案の効果
この考案は以上詳述したように、A軸モータ、
B軸モータ及びC軸モータに直接指令値を入力す
ることにより、ノズル本体をA軸、B軸及びC軸
方向に回転制御できるようにしたことから、従来
のような3軸演算処理が不用となる。これによつ
て電気的応答誤差が改善されると共に、機械的バ
ツクラツシユを最小にできることから、位置決め
精度の向上が図れる。Effects of the invention As detailed above, this invention has an A-axis motor,
By inputting command values directly to the B-axis motor and C-axis motor, the nozzle body can be rotated in the A-axis, B-axis, and C-axis directions, eliminating the need for conventional 3-axis calculation processing. Become. This improves electrical response errors and minimizes mechanical backlash, thereby improving positioning accuracy.
また手首部の構造を従来のものに比べて簡素化
できると共に、突出部がないため、ワークに接近
して加工ができ、これによつて加工範囲が拡大す
ると同時に、配線ケーブルなどがからんで故障の
原因となる虞れもない。 In addition, the structure of the wrist part can be simplified compared to conventional ones, and since there is no protruding part, machining can be performed closer to the workpiece, which expands the machining range and also causes problems due to wiring cables getting tangled. There is no possibility that it will cause
図面はこの考案の一実施例を示し、第1図は全
体図、第2図は手首部の断面図、第3図は作用説
明図、第4図は従来の説明図である。
8はケース本体、9はA軸モータ、10はB軸
モータ、11はC軸モータ、15はA軸駆動軸、
20はB軸駆動軸、33はC軸駆動軸、27はノ
ズル本体。
The drawings show one embodiment of this invention, and FIG. 1 is an overall view, FIG. 2 is a sectional view of the wrist, FIG. 3 is an explanatory view of the operation, and FIG. 4 is an explanatory view of the conventional device. 8 is the case body, 9 is the A-axis motor, 10 is the B-axis motor, 11 is the C-axis motor, 15 is the A-axis drive shaft,
20 is a B-axis drive shaft, 33 is a C-axis drive shaft, and 27 is a nozzle body.
Claims (1)
動されてノズル本体27をA軸方向へ回転するA
軸駆動軸15と、該A軸駆動実施例15に回転自
在に支承され、かつA軸駆動軸15側に取付けら
れたB軸モータ10により回転されて上記ノズル
本体27を、上記A軸と直交するB軸方向へ回転
するB軸駆動軸20と、上記B軸駆動軸20に支
承され、かつB軸駆動軸20側に取付けられたC
軸モータ11により回転されて、上記ノズル本体
27を光軸と一致するC軸へ移動するC軸駆動軸
33とよりなるノズル装置を具備してなるレーザ
加工機。A which rotates the nozzle body 27 in the A-axis direction by being driven by the A-axis motor 9 provided in the main body case 8.
The nozzle body 27 is rotated by the shaft drive shaft 15 and the B-axis motor 10 rotatably supported by the A-axis drive embodiment 15 and attached to the A-axis drive shaft 15 side, so that the nozzle body 27 is orthogonal to the A-axis. A B-axis drive shaft 20 that rotates in the B-axis direction, and a C-axis drive shaft that is supported by the B-axis drive shaft 20 and attached to the B-axis drive shaft 20 side.
A laser processing machine comprising a nozzle device including a C-axis drive shaft 33 that is rotated by a shaft motor 11 and moves the nozzle body 27 to the C-axis that coincides with the optical axis.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986087154U JPH05314Y2 (en) | 1986-06-10 | 1986-06-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986087154U JPH05314Y2 (en) | 1986-06-10 | 1986-06-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62199284U JPS62199284U (en) | 1987-12-18 |
| JPH05314Y2 true JPH05314Y2 (en) | 1993-01-06 |
Family
ID=30944118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986087154U Expired - Lifetime JPH05314Y2 (en) | 1986-06-10 | 1986-06-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05314Y2 (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02108489A (en) * | 1988-10-17 | 1990-04-20 | Fanuc Ltd | Wrist mechanism for articulated laser robot |
| JPH02200390A (en) * | 1989-01-30 | 1990-08-08 | Fanuc Ltd | Wrist structure of industrial laser robot |
| ITTO20100936A1 (en) * | 2010-11-25 | 2012-05-26 | Windco S R L | LASER MACHINE AND PROCEDURES FOR ITS USE. |
-
1986
- 1986-06-10 JP JP1986087154U patent/JPH05314Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62199284U (en) | 1987-12-18 |
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