JPH05319930A - 金属炭化物製治具 - Google Patents
金属炭化物製治具Info
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- JPH05319930A JPH05319930A JP4126308A JP12630892A JPH05319930A JP H05319930 A JPH05319930 A JP H05319930A JP 4126308 A JP4126308 A JP 4126308A JP 12630892 A JP12630892 A JP 12630892A JP H05319930 A JPH05319930 A JP H05319930A
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Landscapes
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- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 カーボン基板等のように高温で熱処理するこ
とが必要な製品の製造に使用されるウエイト等の治具に
おいて、繰り返し使用することができると共に、生産性
を向上させることができる金属炭化物製治具を提供する
ことを目的とする。 【構成】 本発明に係る金属炭化物製治具は、純度が９
８重量％以上であり、融点が１５００℃以上、真密度が
１０ｇ／ｃｍ3 以上の金属炭化物又はこの金属炭化物を
含む複合炭化物を焼結させて前記金属炭化物の真密度の
９０％以上の密度とした焼結体からなる。
とが必要な製品の製造に使用されるウエイト等の治具に
おいて、繰り返し使用することができると共に、生産性
を向上させることができる金属炭化物製治具を提供する
ことを目的とする。 【構成】 本発明に係る金属炭化物製治具は、純度が９
８重量％以上であり、融点が１５００℃以上、真密度が
１０ｇ／ｃｍ3 以上の金属炭化物又はこの金属炭化物を
含む複合炭化物を焼結させて前記金属炭化物の真密度の
９０％以上の密度とした焼結体からなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超硬合金、炭化物及び
炭化物基サーメット等からなる部材を焼結又はＨＩＰ
（熱間静水圧加圧）処理する際に使用するウエイト及び
炉材（棚板、試料ケース及びＨＩＰ容器等）等の金属炭
化物製治具に関する。
炭化物基サーメット等からなる部材を焼結又はＨＩＰ
（熱間静水圧加圧）処理する際に使用するウエイト及び
炉材（棚板、試料ケース及びＨＩＰ容器等）等の金属炭
化物製治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、カーボン基板等の炭素製品
は、その製造工程において焼結又はＨＩＰ処理が施され
るが、この焼結又はＨＩＰ処理時に曲がりが発生しやす
い。この曲がりは、焼結炉及びＨＩＰ装置のヒーターか
らの輻射熱による熱的影響、容器（ＨＩＰ容器等）内の
温度分布のむら及び処理物の収縮時における残留応力の
解放等に起因するものである。この場合に、炭素製品上
にウエイトを載置して荷重を印加しつつ焼結又はＨＩＰ
処理すると、製品の曲がりを防止できることが知られて
いる。
は、その製造工程において焼結又はＨＩＰ処理が施され
るが、この焼結又はＨＩＰ処理時に曲がりが発生しやす
い。この曲がりは、焼結炉及びＨＩＰ装置のヒーターか
らの輻射熱による熱的影響、容器（ＨＩＰ容器等）内の
温度分布のむら及び処理物の収縮時における残留応力の
解放等に起因するものである。この場合に、炭素製品上
にウエイトを載置して荷重を印加しつつ焼結又はＨＩＰ
処理すると、製品の曲がりを防止できることが知られて
いる。
【０００３】炭素製品の焼結及びＨＩＰ処理は、通常２
０００乃至３０００℃の温度で行なわれる。従って、製
品を支える棚板及びＨＩＰ処理時に使用する容器等は、
耐熱性が優れていることから黒鉛製のものが使用され
る。また、焼結時又はＨＩＰ処理時に炭素製品上に載置
するウエイトも、黒鉛製のものが使用される。
０００乃至３０００℃の温度で行なわれる。従って、製
品を支える棚板及びＨＩＰ処理時に使用する容器等は、
耐熱性が優れていることから黒鉛製のものが使用され
る。また、焼結時又はＨＩＰ処理時に炭素製品上に載置
するウエイトも、黒鉛製のものが使用される。
【０００４】一方、超硬合金（ＷＣ−Ｃｏ系等）又は炭
化物サーメット｛Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−Ｎｉ系等｝からなる
部材を焼結又はＨＩＰ処理する場合は、通常、１３００
乃至１５００℃の温度で行なわれる。この超硬合金又は
炭化物サーメット等からなる部材を焼結又はＨＩＰ処理
するときには、棚板及びＨＩＰ容器は耐熱性が優れた黒
鉛製のものが使用され、ウエイトは密度が大きいＷＣ−
Ｃｏ系等の超硬合金からなるものが使用される。
化物サーメット｛Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−Ｎｉ系等｝からなる
部材を焼結又はＨＩＰ処理する場合は、通常、１３００
乃至１５００℃の温度で行なわれる。この超硬合金又は
炭化物サーメット等からなる部材を焼結又はＨＩＰ処理
するときには、棚板及びＨＩＰ容器は耐熱性が優れた黒
鉛製のものが使用され、ウエイトは密度が大きいＷＣ−
Ｃｏ系等の超硬合金からなるものが使用される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
治具には、以下に示す問題点がある。即ち、炭素製品の
焼結及びＨＩＰ処理は、通常２０００乃至３０００℃の
温度で行なわれるため、この温度でも炭素と反応しない
ことから黒鉛製の治具が使用されている。しかし、黒鉛
の密度は約２ｇ／ｃｍ3 と小さいため、ウエイトとして
使用するには大きな体積が必要であり、焼結炉又はＨＩ
Ｐ容器内の焼結スペースの大部分をウエイトが占めてし
まうことになる。従って、従来の黒鉛製のウエイトで
は、デッドスペースが大きく、一度に小量の製品しか処
理できないため、生産性が低い。焼結炉及びＨＩＰ容器
の有効体積は高温高圧になるほど小さくなるので、デッ
ドスペースを可及的に小さくすることは極めて重要であ
る。
治具には、以下に示す問題点がある。即ち、炭素製品の
焼結及びＨＩＰ処理は、通常２０００乃至３０００℃の
温度で行なわれるため、この温度でも炭素と反応しない
ことから黒鉛製の治具が使用されている。しかし、黒鉛
の密度は約２ｇ／ｃｍ3 と小さいため、ウエイトとして
使用するには大きな体積が必要であり、焼結炉又はＨＩ
Ｐ容器内の焼結スペースの大部分をウエイトが占めてし
まうことになる。従って、従来の黒鉛製のウエイトで
は、デッドスペースが大きく、一度に小量の製品しか処
理できないため、生産性が低い。焼結炉及びＨＩＰ容器
の有効体積は高温高圧になるほど小さくなるので、デッ
ドスペースを可及的に小さくすることは極めて重要であ
る。
【０００６】一方、超硬合金からなる部材の処理時にお
いて、超硬合金の主成分であるＷＣ−Ｃｏ系合金の共晶
温度は約１２８０℃であり、超硬合金からなる部材はこ
の温度以上に加熱することにより出現する液相を利用し
て焼結される。しかし、焼結処理時に、超硬合金からな
るウエイト中にも液相が生じ、１４５０℃以上の温度に
加熱されるとウエイトの変形が大きくなる。即ち、超硬
合金からなるウエイトは、多数回繰り返して使用するこ
とが困難であるという欠点がある。特に、超硬合金から
なるウエイトと黒鉛とが接触した状態で加熱されると、
ウエイト中の液相が炭素を吸収し、融点が低下してウエ
イトの変形がより一層大きくなる。これを防止するため
には、ウエイトと黒鉛との接触面にアルミナを塗布した
り、セラミックウールを敷く必要があり、煩雑である。
いて、超硬合金の主成分であるＷＣ−Ｃｏ系合金の共晶
温度は約１２８０℃であり、超硬合金からなる部材はこ
の温度以上に加熱することにより出現する液相を利用し
て焼結される。しかし、焼結処理時に、超硬合金からな
るウエイト中にも液相が生じ、１４５０℃以上の温度に
加熱されるとウエイトの変形が大きくなる。即ち、超硬
合金からなるウエイトは、多数回繰り返して使用するこ
とが困難であるという欠点がある。特に、超硬合金から
なるウエイトと黒鉛とが接触した状態で加熱されると、
ウエイト中の液相が炭素を吸収し、融点が低下してウエ
イトの変形がより一層大きくなる。これを防止するため
には、ウエイトと黒鉛との接触面にアルミナを塗布した
り、セラミックウールを敷く必要があり、煩雑である。
【０００７】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、超硬合金、炭化物基サーメット及び炭素製
品等の熱処理に繰り返し使用できると共に、製品の生産
性を向上できるウエイト及び炉材等の金属炭化物製治具
を提供することを目的とする。
のであって、超硬合金、炭化物基サーメット及び炭素製
品等の熱処理に繰り返し使用できると共に、製品の生産
性を向上できるウエイト及び炉材等の金属炭化物製治具
を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係る金属炭化物
製治具は、純度が９８重量％以上であり、融点が１５０
０℃以上、真密度が１０ｇ／ｃｍ3 以上の金属炭化物又
はこの金属炭化物を含む複合炭化物を焼結させて前記金
属炭化物の真密度の９０％以上の密度とした焼結体から
なることを特徴とする。
製治具は、純度が９８重量％以上であり、融点が１５０
０℃以上、真密度が１０ｇ／ｃｍ3 以上の金属炭化物又
はこの金属炭化物を含む複合炭化物を焼結させて前記金
属炭化物の真密度の９０％以上の密度とした焼結体から
なることを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明に係る金属炭化物製治具は、例えばＷ
Ｃ、Ｗ2 Ｃ及びＴａＣ等のように、融点が１５００℃以
上であり、真密度が１０ｇ／ｃｍ3 以上の金属炭化物又
はこの金属炭化物を含む複合炭化物からなり、ホットプ
レス、常圧焼結又はＨＩＰ処理等によりこの金属炭化物
又は金属炭化物を含む複合炭化物を焼結させて、前記金
属炭化物の真密度の９０％以上の密度としている。
Ｃ、Ｗ2 Ｃ及びＴａＣ等のように、融点が１５００℃以
上であり、真密度が１０ｇ／ｃｍ3 以上の金属炭化物又
はこの金属炭化物を含む複合炭化物からなり、ホットプ
レス、常圧焼結又はＨＩＰ処理等によりこの金属炭化物
又は金属炭化物を含む複合炭化物を焼結させて、前記金
属炭化物の真密度の９０％以上の密度としている。
【００１０】ＷＣの真密度は１５．５ｇ／ｃｍ3 、融点
は２５００℃であり、Ｗ2 Ｃの真密度は１７．２ｇ／ｃ
ｍ3 、融点は３０００℃である。また、ＴａＣの真密度
は１４．３ｇ／ｃｍ3 、融点は３８００℃である。これ
らの金属炭化物をウエイトとして使用すると、黒鉛又は
炭素材料からなるウエイトに比して、約１／７の体積で
同じ荷重を印加することができる。
は２５００℃であり、Ｗ2 Ｃの真密度は１７．２ｇ／ｃ
ｍ3 、融点は３０００℃である。また、ＴａＣの真密度
は１４．３ｇ／ｃｍ3 、融点は３８００℃である。これ
らの金属炭化物をウエイトとして使用すると、黒鉛又は
炭素材料からなるウエイトに比して、約１／７の体積で
同じ荷重を印加することができる。
【００１１】この場合に、金属炭化物の純度が９８重量
％未満の場合は、炭化物の融点の低下が大きいと共に、
焼結及びＨＩＰ工程において不純物（金属等）の蒸気に
より試料が汚染される虞れがある。従って、金属炭化物
の純度は９８重量％以上であることが必要である。
％未満の場合は、炭化物の融点の低下が大きいと共に、
焼結及びＨＩＰ工程において不純物（金属等）の蒸気に
より試料が汚染される虞れがある。従って、金属炭化物
の純度は９８重量％以上であることが必要である。
【００１２】なお、真密度の９０％以上の密度とは、真
密度が１０ｇ／ｃｍ3 以上であるので、焼結体の密度が
９ｇ／ｃｍ3 以上であることを意味する。ウエイトの密
度が９ｇ／ｃｍ3 未満の場合は、従来の黒鉛製ウエイト
に比して密度が４．５倍未満となり、焼結炉又はＨＩＰ
容器内のデッドスペースを削減する効果が十分でない。
密度が１０ｇ／ｃｍ3 以上であるので、焼結体の密度が
９ｇ／ｃｍ3 以上であることを意味する。ウエイトの密
度が９ｇ／ｃｍ3 未満の場合は、従来の黒鉛製ウエイト
に比して密度が４．５倍未満となり、焼結炉又はＨＩＰ
容器内のデッドスペースを削減する効果が十分でない。
【００１３】ところで、Ｗ及びＴａは、その真密度が夫
々１９．３ｇ／ｃｍ3 及び１６．６ｇ／ｃｍ3 と大き
く、融点が夫々３３８０℃及び２９８０℃と高い。この
ため、これらの金属によりウエイト等の治具を形成する
ことも考えられる。しかし、Ｗ又はＴａからなる治具
は、炭素、炭化物製品又は黒鉛治具中の炭素と反応し炭
化して割れ及び膨れを生じるため、繰り返し使用するこ
とが困難である。従って、これらの金属は、炭化物等の
焼結又はＨＩＰ処理等において使用するウエイト等の治
具としては不適当である。
々１９．３ｇ／ｃｍ3 及び１６．６ｇ／ｃｍ3 と大き
く、融点が夫々３３８０℃及び２９８０℃と高い。この
ため、これらの金属によりウエイト等の治具を形成する
ことも考えられる。しかし、Ｗ又はＴａからなる治具
は、炭素、炭化物製品又は黒鉛治具中の炭素と反応し炭
化して割れ及び膨れを生じるため、繰り返し使用するこ
とが困難である。従って、これらの金属は、炭化物等の
焼結又はＨＩＰ処理等において使用するウエイト等の治
具としては不適当である。
【００１４】また、ＴｉＣは、その融点が２９００℃と
高いものの、真密度が４．９ｇ／ｃｍ3 と小さいため、
ＴｉＣにより治具を形成しても、デッドスペースを削減
する効果を十分に得ることはできない。
高いものの、真密度が４．９ｇ／ｃｍ3 と小さいため、
ＴｉＣにより治具を形成しても、デッドスペースを削減
する効果を十分に得ることはできない。
【００１５】このようなことから、炭化物及び超硬合金
等からなる部材の熱処理に使用する治具としては、融点
が１５００℃以上であり、真密度が１０ｇ／ｃｍ3 以上
の金属炭化物又はこの金属炭化物を含む複合炭化物を焼
結させて前記金属炭化物の真密度の９０％以上としたも
のであることが必要である。なお、融点及び比重がこれ
ら条件を満足するものであれば、２種以上の炭化物の混
合物、固溶物又は化合物であってもよい。
等からなる部材の熱処理に使用する治具としては、融点
が１５００℃以上であり、真密度が１０ｇ／ｃｍ3 以上
の金属炭化物又はこの金属炭化物を含む複合炭化物を焼
結させて前記金属炭化物の真密度の９０％以上としたも
のであることが必要である。なお、融点及び比重がこれ
ら条件を満足するものであれば、２種以上の炭化物の混
合物、固溶物又は化合物であってもよい。
【００１６】
【実施例】次に、本発明の実施例についてその比較例と
比較して説明する。
比較して説明する。
【００１７】先ず、ホットプレス法（圧力が０．５ｔ／
ｃｍ2 、温度が２０００℃）によってＴａＣからなるウ
エイト（直径が５０ｍｍ、厚さが３０ｍｍ）を製作し、
このウエイト（実施例１）を用いて、直径が２インチ、
厚さが１ｍｍのＣ／Ｃコンポジット（炭素繊維を炭素マ
トリックス中に分散させた複合材料）基板をＨＩＰ処理
した。このときのＨＩＰ処理条件は、温度が２６００
℃、雰囲気がアルゴン雰囲気、圧力が１０００気圧、処
理時間が１時間である。そして、ＨＩＰ処理時における
デッドスペースの割合、不良率及びウエイトの繰り返し
使用が可能な回数を調べた。
ｃｍ2 、温度が２０００℃）によってＴａＣからなるウ
エイト（直径が５０ｍｍ、厚さが３０ｍｍ）を製作し、
このウエイト（実施例１）を用いて、直径が２インチ、
厚さが１ｍｍのＣ／Ｃコンポジット（炭素繊維を炭素マ
トリックス中に分散させた複合材料）基板をＨＩＰ処理
した。このときのＨＩＰ処理条件は、温度が２６００
℃、雰囲気がアルゴン雰囲気、圧力が１０００気圧、処
理時間が１時間である。そして、ＨＩＰ処理時における
デッドスペースの割合、不良率及びウエイトの繰り返し
使用が可能な回数を調べた。
【００１８】また、比較のために、Ｗ（比較例１）及び
黒鉛（比較例２）からなるウエイトを使用し、その他は
実施例１と同様の条件でＣ／Ｃコンポジット基板のＨＩ
Ｐ処理を実施した。更に、ウエイトを使用しないでＣ／
Ｃコンポジット基板のＨＩＰ処理を実施した（比較例
３）。そして、ＨＩＰ処理時におけるデッドスペースの
割合、不良率及びウエイトの繰り返し使用が可能な回数
を調べた。
黒鉛（比較例２）からなるウエイトを使用し、その他は
実施例１と同様の条件でＣ／Ｃコンポジット基板のＨＩ
Ｐ処理を実施した。更に、ウエイトを使用しないでＣ／
Ｃコンポジット基板のＨＩＰ処理を実施した（比較例
３）。そして、ＨＩＰ処理時におけるデッドスペースの
割合、不良率及びウエイトの繰り返し使用が可能な回数
を調べた。
【００１９】これらの結果を、ウエイトの材質及び密度
（ウエイト製造時の密度：即ち、ＴａＣはホットプレス
後の密度、Ｗ2 Ｃ及びＷは焼結後の密度）と併せて下記
表１にまとめて示す。
（ウエイト製造時の密度：即ち、ＴａＣはホットプレス
後の密度、Ｗ2 Ｃ及びＷは焼結後の密度）と併せて下記
表１にまとめて示す。
【００２０】
【表１】
【００２１】この表１から明らかなように、実施例１の
ウエイトを使用した場合は、デッドスペースが少ないと
共に不良率も低かった。また、この実施例１のウエイト
は、２０回以上繰り返して使用することが可能であっ
た。一方、比較例１（Ｗ）のウエイトを使用した場合
は、デッドスペースが少なく、且つ不良率が小さいもの
の、ウエイトに割れ又は膨れが発生した。このため、比
較例１ウエイトは２回しか使用できなかった。また、比
較例２（黒鉛）のウエイトを使用した場合は、デッドス
ペースが大きいため、生産効率が低かった。更に、ウエ
イトを使用しない場合（比較例３）は、不良率が高かっ
た。
ウエイトを使用した場合は、デッドスペースが少ないと
共に不良率も低かった。また、この実施例１のウエイト
は、２０回以上繰り返して使用することが可能であっ
た。一方、比較例１（Ｗ）のウエイトを使用した場合
は、デッドスペースが少なく、且つ不良率が小さいもの
の、ウエイトに割れ又は膨れが発生した。このため、比
較例１ウエイトは２回しか使用できなかった。また、比
較例２（黒鉛）のウエイトを使用した場合は、デッドス
ペースが大きいため、生産効率が低かった。更に、ウエ
イトを使用しない場合（比較例３）は、不良率が高かっ
た。
【００２２】次に、実施例２として、ＴａＣからなるウ
エイトをホットプレス法（圧力が０．５ｔ／ｃｍ2 、温
度が２０００℃）により製造した。また、実施例３，４
として、ＷＣ及びＷ2 ＣからなるウエイトをＣＩＰ（冷
間等方加工プレス）成形（圧力が１．５ｔ／ｃｍ2 ）及
び常圧焼結（Ａｒ雰囲気中、焼結温度が１９００℃）に
より製造した。そして、これらのウエイトを使用して、
縦が５０ｍｍ、横が５０ｍｍ、厚さが５ｍｍのバインダ
レス超硬チップ（ＷＣ−ＴａＣ系）を焼結させた。この
ときの焼結条件は、温度が１９００℃、雰囲気がアルゴ
ン雰囲気、圧力が１気圧である。
エイトをホットプレス法（圧力が０．５ｔ／ｃｍ2 、温
度が２０００℃）により製造した。また、実施例３，４
として、ＷＣ及びＷ2 ＣからなるウエイトをＣＩＰ（冷
間等方加工プレス）成形（圧力が１．５ｔ／ｃｍ2 ）及
び常圧焼結（Ａｒ雰囲気中、焼結温度が１９００℃）に
より製造した。そして、これらのウエイトを使用して、
縦が５０ｍｍ、横が５０ｍｍ、厚さが５ｍｍのバインダ
レス超硬チップ（ＷＣ−ＴａＣ系）を焼結させた。この
ときの焼結条件は、温度が１９００℃、雰囲気がアルゴ
ン雰囲気、圧力が１気圧である。
【００２３】そして、処理時における焼結炉内のデッド
スペースの割合、不良率及びウエイトの繰り返し使用が
可能な回数を調べた。
スペースの割合、不良率及びウエイトの繰り返し使用が
可能な回数を調べた。
【００２４】また、比較のために、Ｗ（比較例４）、Ｔ
ｉＣ（比較例５）及び黒鉛（比較例６）からなるウエイ
トを使用して、実施例２乃至４と同様に焼結を行なっ
た。更に、比較例７として、ウエイトを使用しないで焼
結を行なった。そして、処理時におけるデッドスペース
の割合、不良率及びウエイトの繰り返し使用が可能な回
数を調べた。
ｉＣ（比較例５）及び黒鉛（比較例６）からなるウエイ
トを使用して、実施例２乃至４と同様に焼結を行なっ
た。更に、比較例７として、ウエイトを使用しないで焼
結を行なった。そして、処理時におけるデッドスペース
の割合、不良率及びウエイトの繰り返し使用が可能な回
数を調べた。
【００２５】これらの結果を、ウエイトの材質及び密度
と併せて下記表２にまとめて示す。
と併せて下記表２にまとめて示す。
【００２６】
【表２】
【００２７】この表２から明らかなように、実施例２乃
至４のウエイトを使用した場合は、いずれもデッドスペ
ースが少ないと共に不良率も低く、且つウエイトは２０
回以上繰り返して使用することができた。一方、比較例
４（Ｗ）のウエイトは、割れ又は膨れが発生したため、
２回しか使用できなかった。また、比較例５，６のウエ
イトを使用した場合は、いずれもデッドスペースが大き
く、生産効率が低かった。更に、ウエイトを使用しない
比較例７においては、不良率が高かった。
至４のウエイトを使用した場合は、いずれもデッドスペ
ースが少ないと共に不良率も低く、且つウエイトは２０
回以上繰り返して使用することができた。一方、比較例
４（Ｗ）のウエイトは、割れ又は膨れが発生したため、
２回しか使用できなかった。また、比較例５，６のウエ
イトを使用した場合は、いずれもデッドスペースが大き
く、生産効率が低かった。更に、ウエイトを使用しない
比較例７においては、不良率が高かった。
【００２８】次に、ＷＣからなるウエイト及び棚板を使
用して、サーメット（ＴｉＣ−５％Ｍｏ2 Ｃ−５％Ｎ
ｉ）を焼結した（実施例５）。このときの焼結条件は、
温度が１５５０℃、雰囲気が窒素雰囲気、圧力が１０To
rrである。また、実施例６として、黒鉛からなる棚板を
使用した以外は実施例５と同様にして、サーメットを焼
結させた。更に、比較例８として、黒鉛からなるウエイ
ト及び棚板を使用した以外は実施例５と同様にして、サ
ーメットを焼結させた。更にまた、比較例９として、ウ
エイトを使用せず、その他は比較例８と同様にして、サ
ーメットを焼結させた。
用して、サーメット（ＴｉＣ−５％Ｍｏ2 Ｃ−５％Ｎ
ｉ）を焼結した（実施例５）。このときの焼結条件は、
温度が１５５０℃、雰囲気が窒素雰囲気、圧力が１０To
rrである。また、実施例６として、黒鉛からなる棚板を
使用した以外は実施例５と同様にして、サーメットを焼
結させた。更に、比較例８として、黒鉛からなるウエイ
ト及び棚板を使用した以外は実施例５と同様にして、サ
ーメットを焼結させた。更にまた、比較例９として、ウ
エイトを使用せず、その他は比較例８と同様にして、サ
ーメットを焼結させた。
【００２９】そして、処理時における焼結炉内のデッド
スペースの割合、不良率及びウエイトの繰り返し使用が
可能な回数を調べた。
スペースの割合、不良率及びウエイトの繰り返し使用が
可能な回数を調べた。
【００３０】これらの結果を、ウエイト及び棚板の材質
と併せて下記表３にまとめて示す。
と併せて下記表３にまとめて示す。
【００３１】
【表３】
【００３２】この表３から明らかなように、実施例５，
６は、いずれもデッドスペースが少ないと共に不良率が
低く、ウエイトは２０回以上の繰り返し使用にも耐える
ものであった。一方、比較例８はデッドスペースが大き
いため生産性が低く、比較例９は不良率が高いという難
点がある。
６は、いずれもデッドスペースが少ないと共に不良率が
低く、ウエイトは２０回以上の繰り返し使用にも耐える
ものであった。一方、比較例８はデッドスペースが大き
いため生産性が低く、比較例９は不良率が高いという難
点がある。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る金属炭
化物製治具は、融点が１５００℃以上、真密度が１０ｇ
／ｃｍ3 以上の金属炭化物又はこの金属炭化物を含む複
合炭化物を焼結させて前記金属炭化物の真密度の９０％
以上の密度としているから、繰り返し使用することが可
能であると共に、熱処理時のデッドスペースを削減でき
て、カーボン基板等のように高温で熱処理する製品の生
産性を向上させることができる。特に、ＨＩＰ容器の有
効体積は超高温になるほど小さくなるので、デッドスペ
ースを小さくできる本発明は極めて有用である。
化物製治具は、融点が１５００℃以上、真密度が１０ｇ
／ｃｍ3 以上の金属炭化物又はこの金属炭化物を含む複
合炭化物を焼結させて前記金属炭化物の真密度の９０％
以上の密度としているから、繰り返し使用することが可
能であると共に、熱処理時のデッドスペースを削減でき
て、カーボン基板等のように高温で熱処理する製品の生
産性を向上させることができる。特に、ＨＩＰ容器の有
効体積は超高温になるほど小さくなるので、デッドスペ
ースを小さくできる本発明は極めて有用である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高田 悟 兵庫県神戸市中央区脇浜町１丁目３番18号 株式会社神戸製鋼所神戸本社内
Claims (2)
- 【請求項１】 純度が９８重量％以上であり、融点が１
５００℃以上、真密度が１０ｇ／ｃｍ3 以上の金属炭化
物又はこの金属炭化物を含む複合炭化物を焼結させて前
記金属炭化物の真密度の９０％以上の密度とした焼結体
からなることを特徴とする金属炭化物製治具。 - 【請求項２】 前記金属炭化物は、ＴａＣ、ＷＣ及びＷ
2 Ｃからなる群から選択された少なくとも１種の炭化物
であることを特徴とする請求項１に記載の金属炭化物製
治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4126308A JPH05319930A (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | 金属炭化物製治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4126308A JPH05319930A (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | 金属炭化物製治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05319930A true JPH05319930A (ja) | 1993-12-03 |
Family
ID=14931978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4126308A Pending JPH05319930A (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | 金属炭化物製治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05319930A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008535757A (ja) * | 2005-04-06 | 2008-09-04 | ノース・キャロライナ・ステイト・ユニヴァーシティ | 耐火材料の高密度成形品及びその製造方法 |
| US12024435B2 (en) | 2018-02-13 | 2024-07-02 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Sintered metal carbide and heat-resistant member for silicon carbide semiconductor manufacturing device comprising same |
-
1992
- 1992-05-19 JP JP4126308A patent/JPH05319930A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008535757A (ja) * | 2005-04-06 | 2008-09-04 | ノース・キャロライナ・ステイト・ユニヴァーシティ | 耐火材料の高密度成形品及びその製造方法 |
| US8414677B2 (en) | 2005-04-06 | 2013-04-09 | North Carolina State University | Dense, shaped articles constructed of a refractory material and methods of preparing such articles |
| US12024435B2 (en) | 2018-02-13 | 2024-07-02 | Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. | Sintered metal carbide and heat-resistant member for silicon carbide semiconductor manufacturing device comprising same |
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