JPH05320615A - 物品の水切り乾燥兼表面保護用材料、および、その材料を使用した物品の水切り乾燥兼表面保護方法 - Google Patents

物品の水切り乾燥兼表面保護用材料、および、その材料を使用した物品の水切り乾燥兼表面保護方法

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JPH05320615A
JPH05320615A JP12493292A JP12493292A JPH05320615A JP H05320615 A JPH05320615 A JP H05320615A JP 12493292 A JP12493292 A JP 12493292A JP 12493292 A JP12493292 A JP 12493292A JP H05320615 A JPH05320615 A JP H05320615A
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drying
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draining
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water
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JP12493292A
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Masahiko Ito
正彦 伊東
Hideo Yamazaki
英男 山崎
Taiichiro Yoshimoto
泰一郎 吉本
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3M Japan Ltd
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I N G KK
Sumitomo 3M Ltd
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  • Materials Applied To Surfaces To Minimize Adherence Of Mist Or Water (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)
  • Extraction Or Liquid Replacement (AREA)
  • Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 物品の表面に存在する水を容易に除去するこ
とができ、物品に防湿、絶縁皮膜を形成することがで
き、爆発性がなく、しかもオゾン層破壊の問題を有する
フロンを含有しない、等の特徴を有する物品の水切り乾
燥兼表面保護用材料を提供する。 【構成】 1)弗素樹脂1×10-4重量%〜5.00重
量%、および2)パーフルオロカーボン、パーフルオロ
ポリエーテルまたは弗化炭化水素99.9999重量%
〜95.00重量%を含有することを特徴とする物品の
水切り乾燥兼表面保護用材料、及びこれを利用した物品
の水切り乾燥兼表面保護方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品、ガラス、レ
ンズ、メッキ製品、光ディスクあるいは、金属及び非金
属装置等の表面に存在する水分を容易に除去し、更に物
品表面に防湿、絶縁皮膜を形成することができる物品の
水切り乾燥兼表面保護用材料、および、その材料を使用
した物品の水切り乾燥兼表面保護方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】液晶、半導体ウエハーなどの電子部品、
光ディスク、メッキ製品、ガラス、レンズ、あるいは金
属、非金属製品(以下、物品と呼ぶ)などに付着した汚
染物の洗浄は、これらに付着している無機または有機質
などの多種類の汚染物に対して、それぞれの除去に適切
な溶液を用いて行なう必要がある。そして、これら汚染
物を物品から除去したのち、物品を純水等により洗浄す
ることが一般的であり、この水洗浄後に物品表面に存在
する水分を除去する工程(以下、水切り工程と呼ぶ)が
従来より種々考案されてきている。
【0003】従来から考案された代表的な水切り工程と
して、熱風乾燥法、遠心脱水法、減圧脱水法などが挙げ
られる。また、物品に残留した水分に含まれる汚染物に
よって生じる「水じみ」が問題となる物品に対しては、
精密洗浄として溶剤を用いた脱水乾燥方法が考えられて
いる。この精密洗浄法としては、主にイソプロピルアル
コールとフロン113(以下、フロンと呼ぶ)の組合せ
による水切り工程が一般的に採用されているが、近年、
フロン・エタノール共沸混合系及びフロン・界面活性剤
系による水切り工程が開発され、その高性能と多くの長
所から洗浄分野において急速に適用されてきている。
(SURFACE CONTROL & 洗浄設計 1985夏号)。
【0004】図5は前記文献に記載されたフロン・エタ
ノール共沸混合系による水切り工程の原理を示す説明図
である。図において、51は物品、52はフロンとエタ
ノールが4重量%で共沸化合物となった溶液、52aは
エタノール水溶液、52bはフロン液、53は付着水、
54は容器、55は冷却部、55aは冷水である。さ
て、図5(a)において、物品51が溶液52中に浸漬
されると付着水53は比重差で浮力を受けるとともに、
溶液52中のエタノールが物品表面に浸透する。次に、
物品51はエタノール水溶液52aに覆われ、物品51
の表面エネルギーが低下し、付着水53は付着力が弱ま
り、浮力によって浮上分離する〔図5(b)〕。そし
て、付着水53が脱水された後、物品51を冷却部55
に引き上げると、物品表面は内側にエタノール水溶液5
2aと外側にフロン液52bが形成される〔図5
(c)〕。このとき、外側のフロン液は付着量が少ない
ので簡単に蒸発乾燥することができる。また、図6は前
記文献に記載されたフロン・エタノール共沸混合系によ
る水切り工程の装置を示す概略図である。この装置は、
4槽と回収器で構成されている。A槽は水を分離する槽
で、水で濡れた物品を同槽内の溶剤中に浴すると、エタ
ノールが作用し、付着水は汚染物とともに物品から剥離
され液の表面に浮上する。この水はポンプの循環流によ
りB槽に送られ、溶剤と比重差により分離されて回収器
に送られる。分離された水はほぼ50%のエタノール水
溶液になっているので、回収器で精溜し、水は約5%の
エタノール濃度で排水され、エタノールはC槽に戻され
る。D槽は蒸発槽で、A槽内の溶剤の清浄化と、A槽内
のエタノール濃度を一定にする作用がある。
【0005】次に、図7は前記文献に記載されたフロン
・界面活性剤系による水切り工程の原理を示す説明図で
ある。図において図5に示すものを除き、55bはフロ
ンを蒸発させるためのヒーター、56はフロンと界面活
性剤とを混合した溶液、56aは界面活性剤、57は蒸
気となったフロンである。まず、図7(a)において、
物品51が溶液52中に浸漬されると付着水53は比重
差で浮力を受けるとともに、溶液56中の界面活性剤が
物品表面に浸透する。次に、物品51は界面活性剤56
aに覆われ、物品51の表面エネルギーが低下し、付着
水53は付着力が弱まり、浮力によって浮上分離する
〔図7(b)〕。そして、付着水53が脱水された後、
物品51をフロンが蒸気状態となっている蒸気槽に入れ
界面活性剤を除去する(この作業をリンスという)。こ
のあと、物品51をフロンの蒸気から引き上げるとフロ
ン液が蒸発し乾燥することができる〔図7(c)〕。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の水
切り工程には下記のような問題があった。 a)熱風乾燥法、遠心脱水法、減圧脱水法などの方法
は、簡易に実施することが可能であるが、前述したよう
に「水じみ」が問題となる物品に対しては、十分な乾燥
を行なうことができなかった。 b)イソプロピルアルコールとフロンの組合せによる水
切り工程は、可燃性剤を使用するため、引火による爆発
という致命的欠陥があった。 c)フロン・エタノール共沸混合系及びフロン・界面活
性剤系による水切り工程は、フロンのオゾン破壊が環境
に対して悪影響を及ぼす恐れがある。一方、エタノール
はイソプロピルアルコールと同様に引火性がある。さら
に、前述したようにリンスなどの処理のため複雑な装置
が必要となり、特殊な管理と管理知識が必須となるため
容易に実施することができなかった。 d)イソプロピルアルコールとフロンの組合せによる水
切り工程及びイソプロピルアルコールとフロンの組合せ
による水切り工程においても、前述した「水じみ」を皆
無にすることはできなかった。 e)上記種々の水切り方法は、物品に残留した付着水の
除去にのみ言及しており、付着水除去後の物品の劣化、
電気絶縁についてはまったく考慮されていない。したが
って、防蝕などの劣化防止を行なう場合、水切り後さら
にシリコーン塗料、エポキシ塗料などの塗布工程が必要
となった。
【0007】本発明は上記のような問題を解決するため
になされたもので、物品の表面に存在する水分を容易に
除去し、更に物品を防湿、絶縁皮膜を形成することがで
きる物品の水切り乾燥兼表面保護用材料、および、その
材料を使用した物品の水切り乾燥兼表面保護方法を得る
ことを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記課題
を解決するため種々検討した結果、特定の弗素化ポリマ
ーを一定割合含有した組成物が、水切り乾燥兼表面保護
用材料に好適であることを見出し、本発明を完成させた
ものである。すなわち、1)弗素樹脂1×10-4重量%
〜5.00重量%、および2)パーフルオロカーボン、
パーフルオロポリエーテルまたは弗化炭化水素99.9
999重量%〜95.00重量%を含有することを特徴
とする物品の水切り乾燥兼表面保護用材料である。
【0009】ここで、弗素樹脂としては、含弗素ビニ
ル、ビニリデンポリマー、弗素化アクリレート等、例え
ば、ポリ四フッ化エチレン(PTFE)、N−低級アル
キルパーフルオロアルキルスルホンアミドアクリル酸、
N−低級アルキルパーフルオロアルキルスルホンアミド
アルキルメタクリレート、N−低級アルキルパーフルオ
ロアルキルスルホンアミドアルキルアクリレート等を挙
げることができる。その配合割合としては1×10-4重
量%〜5.00重量%であることが水切り乾燥と表面保
護の機能の点から必要であり、1×10-3重量%〜1.
00重量%であることが好ましい。
【0010】また、パーフルオロカーボンとしては、そ
の沸点が29℃〜270℃のもの、パーフルオロポリエ
ーテルとしては、その沸点が70℃〜270℃のもの、
弗化炭化水素としては、その沸点が−50℃〜60℃の
ものを好適に使用することができる。特に、その沸点が
水の沸点(100℃)以上のものを使用することによ
り、後述するように、沸点の差を利用して効率よく水切
りを行なうことができる。なお、パーフルオロカーボン
等を弗素樹脂に配合するのは、弗素樹脂だけでは物品
(被保護対象物)を被覆することが困難であるからであ
る。
【0011】さらに、物品の水切り乾燥兼表面保護用材
料によって乾燥され、かつ表面を被覆保護された物品に
関しては、物品表面の被覆保護の厚みは、1ミクロン〜
5ミクロンが好適である。即ち、1ミクロン以下の場
合、後述する物品を保護する効果が乏しくなる。一方、
5ミクロン以上の場合、物品の尖った部分(例えば、針
状物)に均一に被覆することが難しい。従って、厚さ1
ミクロンから5ミクロンの被覆保護膜を形成することが
望ましい。
【0012】さらに、前記水切り乾燥兼表面保護用材料
を使用した物品の水切り乾燥兼表面保護方法を提供す
る。まず、第1番目の方法として、1)付着水を帯びた
被保護対象物を水切り乾燥兼表面保護用材料中に浸漬す
る工程、2)水切り乾燥兼表面保護用材料を超音波振動
させる工程、3)被保護対象物を水切り乾燥兼表面保護
用材料から引き上げる工程、を含む方法を提供する。
【0013】また、第2番目の物品の水切り乾燥兼表面
保護方法として、1)付着水を帯びた被保護対象物を水
切り乾燥兼表面保護用材料中に浸漬する工程、2)水切
り乾燥兼表面保護用材料を攪拌させる工程、3)被保護
対象物を水切り乾燥兼表面保護用材料から引き上げる工
程、を含む方法を提供する。ここで、水切り乾燥兼表面
保護用材料を攪拌させるとは、周知の物理的手段を用い
て水切り乾燥兼表面保護用材料を流動させることであ
る。
【0014】次に、第3番目の物品の水切り乾燥兼表面
保護方法として、1)水切り乾燥兼表面保護用材料を付
着水を帯びた被保護対象物に噴霧又は噴出する工程、
2)水切り乾燥兼表面保護用材料によって被覆された被
保護対象物を乾燥させる工程を含む方法を提供する。
【0015】さらに、第4番目の物品の水切り乾燥兼表
面保護方法として、1)付着水を帯びた被保護対象物を
水切り乾燥兼表面保護用材料中に浸漬する工程、2)被
保護対象物を水切り乾燥兼表面保護用材料中において揺
動する工程、3)被保護対象物を水切り乾燥兼表面保護
用材料から引き上げる工程、を含む方法を提供する。
【0016】
【実施例】以下、本発明を実施例によって詳細に説明す
る。最初に本発明に係る物品の水切り乾燥兼表面保護用
材料の実施例について説明する。弗素樹脂としては住友
スリーエム社製「フロラード722」を用いた。ここで
は、上記の原料を用いたが、これに限定されるものでな
くポリ四フッ化エチレン(PTFE)、例えば旭硝子社
製「サイトップ」又はデュポン社製「テフロンAF−1
600,AF−2400」などを使用してもよい。な
お、弗素樹脂として弗素化アクリレート、例えば、前述
したようにN−低級アルキルパーフルオロアルキルスル
ホンアミドアクリル酸、N−低級アルキルパーフルオロ
アルキルスルホンアミドアルキルメタクリレート、N−
低級アルキルパーフルオロアルキルスルホンアミドアル
キルアクリート等を使用することもできる。
【0017】弗素樹脂に配合するものとして本実施例に
おいてはパーフルオロカーボンを使用した。(以下、こ
の配合物を溶液と呼ぶ)。なお、上記実施例において
は、パーフルオロカーボンを用いたがパーフルオロエー
テルや弗化炭化水素を用いてもよい。次に、本発明に係
る物品の水切り乾燥兼表面保護材料を使用した物品の水
切り乾燥兼表面保護方法の実施例について被覆保護され
た物品を含め順次説明する。
【0018】図1〜図4は本発明に係る物品の水切り乾
燥兼表面保護方法を示す説明図である。図において、1
1は電子部品に代表される物品(被保護対象物)、12
は「フロラード722」を重量比0.12%(弗素樹脂
0.0024%)となるようパーフルオロカーボンに配
合した溶液、12aは弗素樹脂膜、12bはパーフルオ
ロカーボンからなる被膜、13は付着水、14は溶液1
2を入れるための容器、21はスクリュウ等の物理的に
溶液12を攪拌するための攪拌装置、32は噴霧状若し
くは噴出(シャワー状)させた溶液12である。
【0019】さて、図1(a)に示すように物品11を
溶液12中に浸漬すると、付着水13は比重差で浮力を
受ける。このとき、溶液12中に含まれる弗素樹脂が物
品11の表面に浸透する。次に、同図(b)のように物
品11は弗素樹脂で覆われ弗素樹脂膜12aを形成する
ことになる。一方、付着水13は弗素樹脂により表面エ
ネルギーが低下するため、浮力によって溶液12上に浮
上分離する。このとき、物品11の表面に残留している
付着水13を万遍なく振り払うため、溶液12に超音波
振動を加えることが有効である。
【0020】次に、物品11を溶液12より引き上げ
る。このとき、溶液12から取り出された物品11には
弗素樹脂膜12aの外側にパーフルオロカーボンの被膜
12bが形成されることになる〔図1(c)〕。ここ
で、特筆すべきは、同図(b)の工程で溶液12上に浮
上分離した付着水13が引き上げられる物品11の近傍
にあっても再度物品11に付着することがない。即ち、
物品11の表面には、撥水性及び撥油性を有する弗素樹
脂膜12aが形成しているため、一旦物品11から分離
した付着水13が再び物品11に付着することがない。
【0021】従って、フロン・エタノール共沸混合系に
よる水切り工程で説明したような大掛りな付着水を回収
する装置などを設ける必要がない。次に、図1(d)に
示すように、完全に物品11を溶液12から引き上げる
と、前述したように物品11の表面に弗素樹脂膜12a
とパーフルオロカーボンの被膜12bが同時に形成され
ることになる。そして、被膜12bの付着量が少ないた
め短時間に蒸発乾燥することができる。これにより、物
品11の表面には、溶液12の配合割合にもよるが1ミ
クロンから5ミクロンの樹脂膜12aを形成することに
なる。
【0022】周知のように樹脂膜12aは撥水性及び撥
油性を有するばかりでなく、亜硫酸ガス等の腐食性ガス
雰囲気においても電子部品を保護することができる。従
って、物品11の保護材料として樹脂膜12aが十分機
能することがわかる。また、この後図示していないが物
品11と樹脂膜12aとの付着力を向上させるため、温
度100℃5分間の温風乾燥を行なってもよい。さら
に、このとき沸点の差による蒸発分離を行なうことが有
効である。
【0023】即ち、パーフルオロカーボンの沸点を10
0℃を越えるもの(例えば、沸点110℃のもの)を使
用し、温風乾燥の温度を例えば120℃とすれば、何れ
の温度も水の沸点100℃を越えているため、仮に樹脂
膜12bに付着水13が残留したとしても、温風乾燥時
に完全に付着水13を蒸発させた後でなければ皮膜12
bを蒸発させることができない。従って、より完璧な付
着水13の水切り工程を行なうことが可能になる。
【0024】このように本実施例は「フロラード72
2」を0.12重量%の割合(弗素樹脂0.0024重
量%)で混合した溶液を用いることにより、物品の表面
に存在する水分を容易に除去し、更に物品11に防湿
性、絶縁性を有する弗素樹脂膜を形成するなど優れた効
果を得ることができる。また、図2は他の実施例を示す
説明図である。この実施例の場合、溶液12をスクリュ
ウで代表される攪拌装置21を使用する。即ち、図1
(b)においては、超音波振動を用いて物品11から付
着水13の分離を促進していた。しかし、この超音波は
物品の特定の形状に集中する性質を有しており、物品の
種類によっては共振などにより物品11の機能低下、破
壊を招く恐れがある。このため、超音波を使用する場
合、物品11の種類を見極めなければならない。これに
対し図2に示す方法は、溶液12を攪拌するため超音波
のような弊害が無く、全ての物品に使用することが可能
である。
【0025】次に、図3は他の実施例を示す説明図であ
る。これは、図2と反対に物品11自体を揺動するもの
である。この方法は、超音波振動や攪拌装置21を必要
とせず、容易に実施することが可能である。さらに、図
4は他の実施例を示すものである。即ち、物品11を溶
液12中に浸漬するのではなく、噴霧若しくはシャワー
状に噴射32した場合を示している。これは、物品11
の形状が比較的凹凸が少なく容易に水切りを行ないたい
場合や、工程上短時間に水切りを行ないたい場合に適し
ている。
【0026】
【発明の効果】以上説明のように本発明は、物品の表面
に存在する水分を容易に除去し、更に物品を防湿、絶縁
被膜を形成することができる物品の水切り乾燥兼表面保
護用材料、および、その材料を使用した物品の水切り乾
燥兼表面保護方法を得ることができるので、 a)本発明は、被保護対象物に残留している水を完全分
離できるため、「水じみ」が問題となる物品に対しても
十分な乾燥を行なうことができる; b)本発明は、可燃性の材料を使用することがないた
め、引火による爆発の恐れがない; c)本発明は、フロン類を使用しないためオゾン破壊な
ど環境に対して悪影響を及ぼす恐れがない。また、一旦
被保護対象物から分離した水が再付着することがないた
め、回収装置のような複雑な装置が不要となる。さら
に、水切り工程を常温で行なうことが出来るため、加熱
装置や分解酸化した材料を還元する脱酸装置が不要であ
る; d)水切りと同時に弗素樹脂の形成を行なうので、水除
去後の被保護対象物の腐食劣化、絶縁性の劣化を防止す
ることができる。これにより、従来行なわれていた水切
り後のシリコーン塗料、エポキシ塗料などの塗布工程を
省くことができる; など、極めて優れた効果を奏することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明による物品の水切り乾燥兼表面保
護方法を示す図である。
【図2】図2は本発明による物品の水切り乾燥兼表面保
護方法を示す図である。
【図3】図3は本発明による物品の水切り乾燥兼表面保
護方法を示す図である。
【図4】図4は本発明による物品の水切り乾燥兼表面保
護方法を示す図である。
【図5】図5は従来技術のフロン・エタノール共沸混合
系による水切り工程の原理を示す図である。
【図6】図6は従来技術のフロン・エタノール共沸混合
系による水切り工程の装置を示す概略図である。
【図7】図7は従来技術のフロン・界面活性剤系による
水切り工程の原理を示す説明図である。
【符号の説明】
11…物品(被保護対象物) 12…水切り乾燥兼表面保護用材料 12a…弗素樹脂膜 12b…パーフルオロカーボン被膜 13…付着水 21…攪拌装置 32…噴霧又は噴出させた水切り乾燥兼表面保護用材料
フロントページの続き (72)発明者 吉本 泰一郎 東京都杉並区高円寺北2−24−5 株式会 社アイ・エヌ・ジー内

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 1)弗素樹脂1×10-4重量%〜5.0
    0重量%、および2)パーフルオロカーボン、パーフル
    オロポリエーテルまたは弗化炭化水素99.9999重
    量%〜95.00重量%を含有することを特徴とする物
    品の水切り乾燥兼表面保護用材料。
  2. 【請求項2】前記パーフルオロカーボン、パーフルオロ
    ポリエーテルまたは弗化炭化水素の沸点が100℃以上
    である請求項1記載の物品の水切り乾燥兼表面保護用材
    料。
  3. 【請求項3】 請求項1または2に記載の水切り乾燥兼
    表面保護用材料によって乾燥され、かつ表面を被覆保護
    された物品。
  4. 【請求項4】 表面の被覆保護の厚みが1ミクロン〜5
    ミクロンである請求項3記載の物品。
  5. 【請求項5】 処理すべき物品に請求項1又は2に記載
    の水切り乾燥兼表面保護用材料を付着せしめ、次に乾燥
    することを特徴とする方法。
  6. 【請求項6】 請求項1または2に記載の水切り乾燥兼
    表面保護用材料を使用した物品の水切り乾燥兼表面保護
    方法であって、 付着水を帯びた被保護対象物を前記水切り乾燥兼表面保
    護用材料中に浸漬する工程と、 前記水切り乾燥兼表面保護用材料を超音波振動させる工
    程と前記被保護対象物を前記水切り乾燥兼表面保護用材
    料から引き上げる工程と、を含むことを特徴とする物品
    の水切り乾燥兼表面保護方法。
  7. 【請求項7】 請求項1または2に記載の水切り乾燥兼
    表面保護用材料を使用した物品の水切り乾燥兼表面保護
    方法であって、 付着水を帯びた被保護対象物を前記水切り乾燥兼表面保
    護用材料中に浸漬する工程と、 前記水切り乾燥兼表面保護用材料を攪拌する工程と、 前記被保護対象物を前記水切り乾燥兼表面保護用材料か
    ら引き上げる工程と、を含むことを特徴とする物品の水
    切り乾燥兼表面保護方法。
  8. 【請求項8】 請求項1または2に記載の水切り乾燥兼
    表面保護用材料を使用した物品の水切り乾燥兼表面保護
    方法であって、 前記水切り乾燥兼表面保護用材料を付着水を帯びた被保
    護対象物に噴霧又は噴出する工程と、 前記水切り乾燥兼表面保護用材料によって被覆された前
    記被保護対象物を乾燥させる工程と、 を含むことを特徴する物品の水切り乾燥兼表面保護方
    法。
  9. 【請求項9】 請求項1または2に記載の水切り乾燥兼
    表面保護用材料を使用した物品の水切り乾燥兼表面保護
    方法であって、 付着水を帯びた被保護対象物を前記水切り乾燥兼表面保
    護用材料中に浸漬する工程と、 前記被保護対象物を前記水切り乾燥兼表面保護用材料中
    において揺動させる工程と、 前記被保護対象物を前記水切り乾燥兼表面保護用材料か
    ら引き上げる工程と、を含むことを特徴とする物品の水
    切り乾燥兼表面保護方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002092670A3 (en) * 2001-05-14 2003-11-13 Du Pont Fluoropolymer compositions comprising a fluor-containing liquid

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2002092670A3 (en) * 2001-05-14 2003-11-13 Du Pont Fluoropolymer compositions comprising a fluor-containing liquid

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