JPH05320623A - セラミック繊維研磨材 - Google Patents
セラミック繊維研磨材Info
- Publication number
- JPH05320623A JPH05320623A JP11074391A JP11074391A JPH05320623A JP H05320623 A JPH05320623 A JP H05320623A JP 11074391 A JP11074391 A JP 11074391A JP 11074391 A JP11074391 A JP 11074391A JP H05320623 A JPH05320623 A JP H05320623A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fiber
- alumina
- polishing
- abrasive
- ceramic fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000835 fiber Substances 0.000 title claims abstract description 92
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 title abstract description 9
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 54
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 50
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 abstract description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 abstract description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 abstract 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 6
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 238000007613 slurry method Methods 0.000 description 3
- 229910000997 High-speed steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 239000003630 growth substance Substances 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000972756 Boronia Species 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000572 Nylon 6/12 Polymers 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 description 1
- -1 borazone Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 取扱が容易で、研磨能力が高く、精密研磨に
適したセラミック繊維研磨材を提供する。 【構成】 粒子径が０．０２μｍ以上のα−アルミナ結
晶粒子で構成された多結晶アルミナ質セラミック繊維を
研磨成分として含有するセラミック繊維研磨材
適したセラミック繊維研磨材を提供する。 【構成】 粒子径が０．０２μｍ以上のα−アルミナ結
晶粒子で構成された多結晶アルミナ質セラミック繊維を
研磨成分として含有するセラミック繊維研磨材
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、研磨性能が高く精密研
磨に適したセラミック繊維研磨材に関する。
磨に適したセラミック繊維研磨材に関する。
【０００２】
【従来の技術】セラミックを研磨成分として含有する研
磨材として、ダイヤモンド、ボラゾン、アルミナ、炭化
珪素等の多結晶若しくは単結晶粒子よりなる粒子状研磨
材、あるいは、炭化珪素、アルミナ−シリカ等のセラミ
ック繊維を研磨成分とする繊維状研磨材が知られてい
る。粒子状研磨材は、一般にセラミック焼結体を粉砕し
て製造されており、結晶相は多結晶体で、研磨時には多
結晶粒子が崩れ、結晶粒子が徐々に破壊や脱落すること
によって被研磨物の表面を研磨していく。これらの粒子
状研磨材の研磨成分は、セラミック焼結体を粉砕したも
のであるため形状や粒子径が不揃いで、均一で滑らかな
研磨面を得るのは難しいという欠点がある。これに対し
繊維状研磨材は、研磨成分のセラミック繊維を一方向に
揃え樹脂で固めたり、一方向に並べたＵＤシ−トを積層
したものをブラシ状あるいは砥石状に構成し、主として
繊維の断面で研磨を行うものである。しかし、従来のセ
ラミック繊維研磨材に使用されるセラミック繊維は、通
常結晶構造を有しないアモルファス繊維、又は結晶が非
常に細かい低結晶性の繊維であり、繊維の側面部分は非
常に滑らかで、この側面部分には研磨能力がなく、研磨
は主として繊維の断面部分で行われる。この場合、研磨
面の粗さ、即ち研磨精度は、セラミック繊維の繊維径に
依存するが、アモルファス又は低結晶性繊維は固いた
め、研磨面のエッジ部分が崩れ難く、繊維径のバラツキ
により大きく影響を受け、研磨面が、不均一になるなど
問題点があった。
磨材として、ダイヤモンド、ボラゾン、アルミナ、炭化
珪素等の多結晶若しくは単結晶粒子よりなる粒子状研磨
材、あるいは、炭化珪素、アルミナ−シリカ等のセラミ
ック繊維を研磨成分とする繊維状研磨材が知られてい
る。粒子状研磨材は、一般にセラミック焼結体を粉砕し
て製造されており、結晶相は多結晶体で、研磨時には多
結晶粒子が崩れ、結晶粒子が徐々に破壊や脱落すること
によって被研磨物の表面を研磨していく。これらの粒子
状研磨材の研磨成分は、セラミック焼結体を粉砕したも
のであるため形状や粒子径が不揃いで、均一で滑らかな
研磨面を得るのは難しいという欠点がある。これに対し
繊維状研磨材は、研磨成分のセラミック繊維を一方向に
揃え樹脂で固めたり、一方向に並べたＵＤシ−トを積層
したものをブラシ状あるいは砥石状に構成し、主として
繊維の断面で研磨を行うものである。しかし、従来のセ
ラミック繊維研磨材に使用されるセラミック繊維は、通
常結晶構造を有しないアモルファス繊維、又は結晶が非
常に細かい低結晶性の繊維であり、繊維の側面部分は非
常に滑らかで、この側面部分には研磨能力がなく、研磨
は主として繊維の断面部分で行われる。この場合、研磨
面の粗さ、即ち研磨精度は、セラミック繊維の繊維径に
依存するが、アモルファス又は低結晶性繊維は固いた
め、研磨面のエッジ部分が崩れ難く、繊維径のバラツキ
により大きく影響を受け、研磨面が、不均一になるなど
問題点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、前記
従来技術の問題点を解決し、取扱が容易で、研磨能力が
高く、精密研磨に適したセラミック繊維研磨材を提供す
ることにある。
従来技術の問題点を解決し、取扱が容易で、研磨能力が
高く、精密研磨に適したセラミック繊維研磨材を提供す
ることにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記の目
的に鑑み鋭意検討の結果、結晶性の高い多結晶アルミナ
質セラミック繊維を用いることにより、前記課題を解決
できることを見出し本発明を完成した。すなわち、本発
明は、粒子径が０．０２μｍ以上のα−アルミナ結晶粒
子で構成された多結晶アルミナ質セラミック繊維を研磨
成分として含有することを特徴とするセラミック繊維研
磨材である。本発明の研磨材は、研磨成分として粒子径
が０．０２μｍ以上のα−アルミナ結晶粒子により一様
に構成された多結晶アルミナ質セラミック繊維を含有す
る。この多結晶アルミナ質セラミック繊維は、主として
α−アルミナ結晶粒子により構成されているので、繊維
の表面には結晶粒子径の約1／10〜1／4の深さに相当す
る凹凸が存在する。この凹凸及び繊維断面のエッジ部分
により研磨が行われる。また、この繊維は多結晶体であ
るので研磨の進行に伴い表面が崩れて行き、滑らかな研
磨が行われ、α−アルミナ結晶粒子自体は充分な硬度を
有するので研磨能力も大きい。なお、ここで使用される
繊維の断面形状は円形のみならず楕円形、星形など種々
の形状をとることができる。
的に鑑み鋭意検討の結果、結晶性の高い多結晶アルミナ
質セラミック繊維を用いることにより、前記課題を解決
できることを見出し本発明を完成した。すなわち、本発
明は、粒子径が０．０２μｍ以上のα−アルミナ結晶粒
子で構成された多結晶アルミナ質セラミック繊維を研磨
成分として含有することを特徴とするセラミック繊維研
磨材である。本発明の研磨材は、研磨成分として粒子径
が０．０２μｍ以上のα−アルミナ結晶粒子により一様
に構成された多結晶アルミナ質セラミック繊維を含有す
る。この多結晶アルミナ質セラミック繊維は、主として
α−アルミナ結晶粒子により構成されているので、繊維
の表面には結晶粒子径の約1／10〜1／4の深さに相当す
る凹凸が存在する。この凹凸及び繊維断面のエッジ部分
により研磨が行われる。また、この繊維は多結晶体であ
るので研磨の進行に伴い表面が崩れて行き、滑らかな研
磨が行われ、α−アルミナ結晶粒子自体は充分な硬度を
有するので研磨能力も大きい。なお、ここで使用される
繊維の断面形状は円形のみならず楕円形、星形など種々
の形状をとることができる。
【０００５】多結晶アルミナ質繊維としては、アルミナ
含有率９０％以上、好ましくは９５％以上であることが
望ましい。特に、アルミナ純度が９９％以上の繊維は、
電子部品など被研削面にＳｉ分など特定の不純分の残存
を嫌うものの研磨にも使用できるという利点がある。ア
ルミナ含有率が９０％未満ではα−アルミナ結晶が充分
成長せず良好な多結晶アルミナ質繊維が得られ難い。多
結晶アルミナ質セラミック繊維の製造方法は特に制限さ
れるものではなく、それ自体公知の多結晶アルミナ質セ
ラミック繊維の製造方法に従って製造したものを使用す
ればよいが、アルミナ前駆体の溶液にアルミナ粉末を分
散させ必要によりＭｇＯやＺｒＯ2等の結晶粒子成長調
整剤などを添加したスラリ−を紡糸後焼成するスラリ−
法が高純度の多結晶α−アルミナ繊維を得ることができ
るので特に好適である。α−アルミナ結晶粒子の大きさ
は、焼成温度、焼成時間あるいは結晶粒子成長調整剤の
使用などによって調整することができる。α−アルミナ
結晶粒子径及び多結晶アルミナ質セラミック繊維の繊維
径は、セラミック繊維研磨材の研磨性能及び研磨精度に
大きく影響する。本発明の研磨材においては、α−アル
ミナ結晶粒子径は、０．０２μｍ以上、好ましくは０．
１μｍ以上、多結晶アルミナ質セラミック繊維の繊維径
は１００μｍ以下とするのが望ましい。α−アルミナ結
晶粒子径が０．０２μｍ未満では繊維表面の凹凸による
研磨性能が低くなり、また、繊維径が１００μｍを越え
ると研磨面が粗くなり過ぎるほか、繊維自体の強度や取
扱性が低下するので好ましくない。
含有率９０％以上、好ましくは９５％以上であることが
望ましい。特に、アルミナ純度が９９％以上の繊維は、
電子部品など被研削面にＳｉ分など特定の不純分の残存
を嫌うものの研磨にも使用できるという利点がある。ア
ルミナ含有率が９０％未満ではα−アルミナ結晶が充分
成長せず良好な多結晶アルミナ質繊維が得られ難い。多
結晶アルミナ質セラミック繊維の製造方法は特に制限さ
れるものではなく、それ自体公知の多結晶アルミナ質セ
ラミック繊維の製造方法に従って製造したものを使用す
ればよいが、アルミナ前駆体の溶液にアルミナ粉末を分
散させ必要によりＭｇＯやＺｒＯ2等の結晶粒子成長調
整剤などを添加したスラリ−を紡糸後焼成するスラリ−
法が高純度の多結晶α−アルミナ繊維を得ることができ
るので特に好適である。α−アルミナ結晶粒子の大きさ
は、焼成温度、焼成時間あるいは結晶粒子成長調整剤の
使用などによって調整することができる。α−アルミナ
結晶粒子径及び多結晶アルミナ質セラミック繊維の繊維
径は、セラミック繊維研磨材の研磨性能及び研磨精度に
大きく影響する。本発明の研磨材においては、α−アル
ミナ結晶粒子径は、０．０２μｍ以上、好ましくは０．
１μｍ以上、多結晶アルミナ質セラミック繊維の繊維径
は１００μｍ以下とするのが望ましい。α−アルミナ結
晶粒子径が０．０２μｍ未満では繊維表面の凹凸による
研磨性能が低くなり、また、繊維径が１００μｍを越え
ると研磨面が粗くなり過ぎるほか、繊維自体の強度や取
扱性が低下するので好ましくない。
【０００６】本発明のセラミック繊維研磨材は、前記の
多結晶アルミナ質セラミック繊維を種々の形状に加工し
た研磨成分を主体として構成される。先ず、多結晶アル
ミナ質セラミック繊維を５ｍｍ以下の長さに切断したチ
ョップドファイバ−は粒子状研磨材の形で使用すること
ができる。すなわち、チョップドファイバ−を、必要に
より適当な助剤と共に水やアルコ−ル等の溶剤中に分散
させてスラリ−状の研磨材としたり、不織布や紙の表面
に接着させて布状、紙状の研磨材とする。この短繊維状
の研磨成分は、被研磨物と接触すると容易に圧壊し、微
細な粒子となるので滑らかな研磨が可能で精密研磨に好
適である。また、複数本の多結晶アルミナ質セラミック
繊維を収束したフィラメント糸を一方向に並べたＵＤシ
−トを作製し、このＵＤシ−トを不織布や紙の表面に接
着させシ−ト状の研磨材にしたり、ＵＤシ−トを任意に
角度を変えて積層し樹脂で固め、必要により切削加工を
施して棒状、板状等の成形研磨材とすることもできる。
このＵＤシ−トを使用したシ−ト状研磨材は、多結晶ア
ルミナ質セラミック繊維の側面部の研磨能力を利用した
ものである。また、成形研磨材は、繊維の断面部及び側
面部の研磨能力を利用したものであり、高い研磨能力を
有し、精密な研磨を行うことができる。さらに、多結晶
アルミナ質セラミック繊維のフィラメント糸を樹脂で被
覆するか、複数本のフィラメント糸を一方向に揃えて樹
脂で固めて紐状の研磨材とすることができる。この研磨
材を適当な長さに切断し、円盤状あるいは円筒状等の基
材に植生したブラシ状の研磨材は、特に優れた研磨性能
を示す。本発明のセラミック繊維研磨材の研磨成分であ
る多結晶アルミナ質セラミック繊維は、α−アルミナ結
晶粒子で構成されているため、繊維の断面及び側面の全
表面に凹凸があり、従来のセラミック繊維研磨材のよう
に繊維の断面のエッジ部分だけではなく全表面での研磨
が可能である。しかも多結晶体であり、被研磨物と接触
した部分から徐々に崩れていくため、滑らかで均一な研
磨が行われる。さらに、崩壊したα−アルミナ粒子自体
は硬度が高いので研磨能力は高い。本発明のセラミック
繊維研磨材は、研磨能力が高く、α−アルミナ粒子の粒
径あるいは繊維径を適宜調整することにより、粗削りか
ら精密研磨まで広範囲にわたって適用が可能な高性能研
磨材である。
多結晶アルミナ質セラミック繊維を種々の形状に加工し
た研磨成分を主体として構成される。先ず、多結晶アル
ミナ質セラミック繊維を５ｍｍ以下の長さに切断したチ
ョップドファイバ−は粒子状研磨材の形で使用すること
ができる。すなわち、チョップドファイバ−を、必要に
より適当な助剤と共に水やアルコ−ル等の溶剤中に分散
させてスラリ−状の研磨材としたり、不織布や紙の表面
に接着させて布状、紙状の研磨材とする。この短繊維状
の研磨成分は、被研磨物と接触すると容易に圧壊し、微
細な粒子となるので滑らかな研磨が可能で精密研磨に好
適である。また、複数本の多結晶アルミナ質セラミック
繊維を収束したフィラメント糸を一方向に並べたＵＤシ
−トを作製し、このＵＤシ−トを不織布や紙の表面に接
着させシ−ト状の研磨材にしたり、ＵＤシ−トを任意に
角度を変えて積層し樹脂で固め、必要により切削加工を
施して棒状、板状等の成形研磨材とすることもできる。
このＵＤシ−トを使用したシ−ト状研磨材は、多結晶ア
ルミナ質セラミック繊維の側面部の研磨能力を利用した
ものである。また、成形研磨材は、繊維の断面部及び側
面部の研磨能力を利用したものであり、高い研磨能力を
有し、精密な研磨を行うことができる。さらに、多結晶
アルミナ質セラミック繊維のフィラメント糸を樹脂で被
覆するか、複数本のフィラメント糸を一方向に揃えて樹
脂で固めて紐状の研磨材とすることができる。この研磨
材を適当な長さに切断し、円盤状あるいは円筒状等の基
材に植生したブラシ状の研磨材は、特に優れた研磨性能
を示す。本発明のセラミック繊維研磨材の研磨成分であ
る多結晶アルミナ質セラミック繊維は、α−アルミナ結
晶粒子で構成されているため、繊維の断面及び側面の全
表面に凹凸があり、従来のセラミック繊維研磨材のよう
に繊維の断面のエッジ部分だけではなく全表面での研磨
が可能である。しかも多結晶体であり、被研磨物と接触
した部分から徐々に崩れていくため、滑らかで均一な研
磨が行われる。さらに、崩壊したα−アルミナ粒子自体
は硬度が高いので研磨能力は高い。本発明のセラミック
繊維研磨材は、研磨能力が高く、α−アルミナ粒子の粒
径あるいは繊維径を適宜調整することにより、粗削りか
ら精密研磨まで広範囲にわたって適用が可能な高性能研
磨材である。
【０００７】
【実施例】以下、実施例により本発明をさらに具体的に
説明する。 （実施例１）スラリ−法で製造したアルミナ純度９９．
５％で、結晶平均粒子径０．２μｍの多結晶アルミナよ
りなる繊維径１０μｍのアルミナ長繊維を、長さ１ｍｍ
にカットし、チョップドファイバ−とした。このチョッ
プドファイバ−をナイロン製の不織布に、不織布１ｃｍ
2当り０．２ｇの割合でエポキシ樹脂と共に接着させ、
研磨布を得た。この研磨布を用いて、表面粗さＲav４．
２μｍ、Ｒmax２１μｍのアルミニウム板を研磨したと
ころ表面粗さＲav０．２０μｍ、Ｒmax１．２μｍの研
磨面が得られた。
説明する。 （実施例１）スラリ−法で製造したアルミナ純度９９．
５％で、結晶平均粒子径０．２μｍの多結晶アルミナよ
りなる繊維径１０μｍのアルミナ長繊維を、長さ１ｍｍ
にカットし、チョップドファイバ−とした。このチョッ
プドファイバ−をナイロン製の不織布に、不織布１ｃｍ
2当り０．２ｇの割合でエポキシ樹脂と共に接着させ、
研磨布を得た。この研磨布を用いて、表面粗さＲav４．
２μｍ、Ｒmax２１μｍのアルミニウム板を研磨したと
ころ表面粗さＲav０．２０μｍ、Ｒmax１．２μｍの研
磨面が得られた。
【０００８】（実施例２）スラリ−法で製造したアルミ
ナ純度９９．５％で、結晶粒子径１〜３μｍの多結晶ア
ルミナからなる繊維径５０μｍのアルミナ長繊維を一方
向に並べ、エポキシ樹脂を用いて、厚さ１５０μｍ、繊
維の体積率５５％のＵＤシ−トを形成した。このＵＤシ
−トを紙に接着させて研磨紙を作製し、この研磨紙を用
いて、表面粗さＲav１８μｍ、Ｒmax４２μｍの鉄板の
表面を研磨した。その結果、表面粗さＲav０．９２μ
ｍ、Ｒmax３．０μｍの研磨面が得られた。
ナ純度９９．５％で、結晶粒子径１〜３μｍの多結晶ア
ルミナからなる繊維径５０μｍのアルミナ長繊維を一方
向に並べ、エポキシ樹脂を用いて、厚さ１５０μｍ、繊
維の体積率５５％のＵＤシ−トを形成した。このＵＤシ
−トを紙に接着させて研磨紙を作製し、この研磨紙を用
いて、表面粗さＲav１８μｍ、Ｒmax４２μｍの鉄板の
表面を研磨した。その結果、表面粗さＲav０．９２μ
ｍ、Ｒmax３．０μｍの研磨面が得られた。
【０００９】（実施例３）スラリ−法で製造したアルミ
ナ純度９５％でマグネシアを５％含み、繊維径１３μ
ｍ、結晶平均粒子径０．１μｍの多結晶繊維からなる繊
維径１３μｍのセラミック繊維を一方向に並べ、エポキ
シ樹脂を用いて、厚さ１１０μｍ、繊維の体積率６０％
のＵＤシ−トを形成した。このＵＤシ−トを交互に角度
を変えて積層後硬化し、厚さ１．３ｍｍ、幅１０ｍｍ、
長さ１００ｍｍの棒状砥石を作製した。この砥石を用い
て、表面粗さＲav４．８μｍ、Ｒmax１５μｍの高速度
鋼（ＳＫＤ４５）の研磨を行った。その結果本砥石によ
って研磨した表面の表面粗さは、Ｒav０．５１μｍ、Ｒ
max１．８μｍであった。
ナ純度９５％でマグネシアを５％含み、繊維径１３μ
ｍ、結晶平均粒子径０．１μｍの多結晶繊維からなる繊
維径１３μｍのセラミック繊維を一方向に並べ、エポキ
シ樹脂を用いて、厚さ１１０μｍ、繊維の体積率６０％
のＵＤシ−トを形成した。このＵＤシ−トを交互に角度
を変えて積層後硬化し、厚さ１．３ｍｍ、幅１０ｍｍ、
長さ１００ｍｍの棒状砥石を作製した。この砥石を用い
て、表面粗さＲav４．８μｍ、Ｒmax１５μｍの高速度
鋼（ＳＫＤ４５）の研磨を行った。その結果本砥石によ
って研磨した表面の表面粗さは、Ｒav０．５１μｍ、Ｒ
max１．８μｍであった。
【００１０】（実施例４）実施例１で用いたアルミナ繊
維２０００本からなるフィラメント糸をナイロン樹脂
（ナイロン６１２）でコ−テイングし、直径０．７ｍｍ
の連続長繊維状の砥石を作製した。得られた砥石は可撓
性のあるものであった。この研磨用長繊維砥石を長さ１
００ｍｍにカットし二つ折りにしたもの５０００本を、
直径５０ｍｍφ、長さ１００ｍｍのロ−ラ−に繊維の断
面を同心円周面に揃え治具で固定させて研磨ブラシを作
製し、回転数２０００ｒｐｍにて５分間、表面粗さＲav
１８μｍ、Ｒmax４２μｍの鉄板の表面研磨を行った。
その結果鉄板の表面は研磨され表面粗さＲav０．２５μ
ｍ、Ｒmax０．９２μｍの研磨面が得られた。
維２０００本からなるフィラメント糸をナイロン樹脂
（ナイロン６１２）でコ−テイングし、直径０．７ｍｍ
の連続長繊維状の砥石を作製した。得られた砥石は可撓
性のあるものであった。この研磨用長繊維砥石を長さ１
００ｍｍにカットし二つ折りにしたもの５０００本を、
直径５０ｍｍφ、長さ１００ｍｍのロ−ラ−に繊維の断
面を同心円周面に揃え治具で固定させて研磨ブラシを作
製し、回転数２０００ｒｐｍにて５分間、表面粗さＲav
１８μｍ、Ｒmax４２μｍの鉄板の表面研磨を行った。
その結果鉄板の表面は研磨され表面粗さＲav０．２５μ
ｍ、Ｒmax０．９２μｍの研磨面が得られた。
【００１１】（比較例１）原料繊維として、アルミナ８
０％及びシリカ２０％を含有し、結晶粒子径０．００５
μｍ（測定限界）以下のδ−Ａｌ2Ｏ3及び無定形ＳｉＯ
2を主成分とする繊維径１０μｍのアルミナ−シリカ長
繊維を用いた以外は、実施例１と同様にして研磨布を作
製した。この研磨布を用いて、表面粗さＲav４．２μ
ｍ、Ｒmax２１μｍのアルミニウム板を研磨したところ
表面粗さＲav１．６μｍ、Ｒmax６．１μｍの研磨面が
得られた。
０％及びシリカ２０％を含有し、結晶粒子径０．００５
μｍ（測定限界）以下のδ−Ａｌ2Ｏ3及び無定形ＳｉＯ
2を主成分とする繊維径１０μｍのアルミナ−シリカ長
繊維を用いた以外は、実施例１と同様にして研磨布を作
製した。この研磨布を用いて、表面粗さＲav４．２μ
ｍ、Ｒmax２１μｍのアルミニウム板を研磨したところ
表面粗さＲav１．６μｍ、Ｒmax６．１μｍの研磨面が
得られた。
【００１２】（比較例２）原料繊維として、アルミナ８
５％及びシリカ１５％を含有し、結晶粒子径０．００５
μｍ（測定限界）以下のγ−Ａｌ2Ｏ3及び無定形ＳｉＯ
2を主成分とする繊維径１５μｍのアルミナ−シリカ長
繊維を用いた以外は、実施例２と同様にしてＵＤシ−ト
形成し、これを紙に接着させて研磨紙を作製し、この研
磨紙を用いて鉄板の表面を研磨した。しかし、研磨効果
は全く認められなかった。
５％及びシリカ１５％を含有し、結晶粒子径０．００５
μｍ（測定限界）以下のγ−Ａｌ2Ｏ3及び無定形ＳｉＯ
2を主成分とする繊維径１５μｍのアルミナ−シリカ長
繊維を用いた以外は、実施例２と同様にしてＵＤシ−ト
形成し、これを紙に接着させて研磨紙を作製し、この研
磨紙を用いて鉄板の表面を研磨した。しかし、研磨効果
は全く認められなかった。
【００１３】（比較例３）原料繊維として、アルミナ６
２％、シリカ２４％及びボロニア１４％を含有し、結晶
粒子径０．０１μｍの９Ａｌ2Ｏ3２Ｂ2Ｏ3及び無定形Ｓ
ｉＯ2を主成分とする繊維径１２μｍのアルミナ−シリ
カ−ボロニア長繊維を用いた以外は、実施例３と同様に
してＵＤシ−トの棒状砥石を作製した。この砥石を用い
て、表面粗さＲav４．８μｍ、Ｒmax１５μｍの高速度
鋼（ＳＫＤ４５）の研磨を行った。その結果本砥石によ
って研磨した表面の表面粗さは、Ｒav２．５μｍ、Ｒma
x１５μｍであった。
２％、シリカ２４％及びボロニア１４％を含有し、結晶
粒子径０．０１μｍの９Ａｌ2Ｏ3２Ｂ2Ｏ3及び無定形Ｓ
ｉＯ2を主成分とする繊維径１２μｍのアルミナ−シリ
カ−ボロニア長繊維を用いた以外は、実施例３と同様に
してＵＤシ−トの棒状砥石を作製した。この砥石を用い
て、表面粗さＲav４．８μｍ、Ｒmax１５μｍの高速度
鋼（ＳＫＤ４５）の研磨を行った。その結果本砥石によ
って研磨した表面の表面粗さは、Ｒav２．５μｍ、Ｒma
x１５μｍであった。
【００１４】
【発明の効果】本発明の多結晶セラミック繊維を研磨成
分として含有する研磨材は、従来のアモルファス繊維又
は低結晶性繊維では製造できなかった、繊維の全表面が
研磨能を有する研磨材であり、さらに繊維の使用形態を
変えたり、α−アルミナ結晶の粒子径や繊維径を変える
ことによって仕上げ研磨から粗研磨までの広い範囲にわ
たって適用可能な研磨材である。
分として含有する研磨材は、従来のアモルファス繊維又
は低結晶性繊維では製造できなかった、繊維の全表面が
研磨能を有する研磨材であり、さらに繊維の使用形態を
変えたり、α−アルミナ結晶の粒子径や繊維径を変える
ことによって仕上げ研磨から粗研磨までの広い範囲にわ
たって適用可能な研磨材である。
Claims (1)
- 【請求項１】 粒子径が０．０２μｍ以上のα−アルミ
ナ結晶粒子で構成された多結晶アルミナ質セラミック繊
維を研磨成分として含有することを特徴とするセラミッ
ク繊維研磨材
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11074391A JPH05320623A (ja) | 1991-04-17 | 1991-04-17 | セラミック繊維研磨材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11074391A JPH05320623A (ja) | 1991-04-17 | 1991-04-17 | セラミック繊維研磨材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05320623A true JPH05320623A (ja) | 1993-12-03 |
Family
ID=14543408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11074391A Pending JPH05320623A (ja) | 1991-04-17 | 1991-04-17 | セラミック繊維研磨材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05320623A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000263447A (ja) * | 1999-01-14 | 2000-09-26 | Taimei Chemicals Co Ltd | 研磨材 |
| EP1084998A1 (fr) * | 1999-09-20 | 2001-03-21 | Pem Abrasifs-Refractaires | Fibres céramiques pour le renforcement de matériaux réfractaires. |
| WO2016109728A1 (en) | 2014-12-30 | 2016-07-07 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive articles and methods for forming same |
-
1991
- 1991-04-17 JP JP11074391A patent/JPH05320623A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000263447A (ja) * | 1999-01-14 | 2000-09-26 | Taimei Chemicals Co Ltd | 研磨材 |
| EP1084998A1 (fr) * | 1999-09-20 | 2001-03-21 | Pem Abrasifs-Refractaires | Fibres céramiques pour le renforcement de matériaux réfractaires. |
| FR2798653A1 (fr) * | 1999-09-20 | 2001-03-23 | Pem Abrasifs Refractaires | Fibres ceramiques pour le renforcement de materiaux refractaires |
| US6649552B1 (en) | 1999-09-20 | 2003-11-18 | Pem Abrasifs Refractaires | Ceramic fibers for the reinforcement of refractory materials |
| WO2016109728A1 (en) | 2014-12-30 | 2016-07-07 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive articles and methods for forming same |
| JP2018508368A (ja) * | 2014-12-30 | 2018-03-29 | サンーゴバン アブレイシブズ，インコーポレイティド | 研磨物品及びそれを形成させる方法 |
| EP3240655B1 (en) | 2014-12-30 | 2022-09-28 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive articles and methods for forming same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5129919A (en) | Bonded abrasive products containing sintered sol gel alumina abrasive filaments | |
| JP2509379B2 (ja) | 研摩材結合体、研摩材粒子製造方法及び研摩材結合体の研削性能向上方法 | |
| EP0395087B1 (en) | Bonded abrasive products | |
| CA2015319C (en) | Sintered sol gel alumina abrasive filaments | |
| US5244477A (en) | Sintered sol gel alumina abrasive filaments | |
| US5185012A (en) | Coated abrasive material containing abrasive filaments | |
| US5372620A (en) | Modified sol-gel alumina abrasive filaments | |
| JP3042749B2 (ja) | 微結晶質アルミナのフィラメント状粒子を含む研磨工具 | |
| EP0495536B1 (en) | Vitrified grinding wheel | |
| WO2010075041A2 (en) | Rigid or flexible, macro-porous abrasive article | |
| JPH04226862A (ja) | 砥粒物品 | |
| KR20110019427A (ko) | 고공극율 유리질 초연마 제품들 및 그 제조 방법 | |
| WO2011056680A2 (en) | Vitreous bonded abrasive | |
| KR102639639B1 (ko) | 소결된, 다결정, 평탄형, 기하학적 구조의 세라믹 연삭 요소, 그 제조를 위한 방법, 및 그 사용 | |
| US5104424A (en) | Abrasive article | |
| JPH05320623A (ja) | セラミック繊維研磨材 | |
| JPS62251077A (ja) | ビトリフアイド砥石 | |
| JPH0985627A (ja) | 研削用砥石 | |
| JP2539631Y2 (ja) | 仮撚ディスク | |
| JP3143651B2 (ja) | アルミナ質砥石の製造方法 | |
| JPH0639727A (ja) | 研磨及び研削用樹脂フィラメント | |
| JPH0215976A (ja) | ダイヤモンド膜付き薄板回転工具 | |
| JP2509379C (ja) |