JPH053214Y2 - - Google Patents
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- JPH053214Y2 JPH053214Y2 JP8587U JP8587U JPH053214Y2 JP H053214 Y2 JPH053214 Y2 JP H053214Y2 JP 8587 U JP8587 U JP 8587U JP 8587 U JP8587 U JP 8587U JP H053214 Y2 JPH053214 Y2 JP H053214Y2
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- light
- unit
- optical
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- optical unit
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 33
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 15
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 5
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 8
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Supply, Installation And Extraction Of Printed Sheets Or Plates (AREA)
- Printing Methods (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この考案はシヨートアーク型の放電灯等からの
放射光を被照射物に導いて、被照射物を光処理す
る光処理装置に関するものである。
放射光を被照射物に導いて、被照射物を光処理す
る光処理装置に関するものである。
[従来の技術]
光照射によつて、接着剤、塗料、インク及びレ
ジスト等を硬化させたり、乾燥させたり、また、
逆に溶融させたり、軟化させたり、様々な処理を
することが行われている。そして、上記被照射物
である接着剤、塗料、インク、レジスト等の被照
射物はシヨートアーク型の放電灯等から発生する
光を利用して、被照射物の特定の処理部分に光照
射処理することによつて行われている。
ジスト等を硬化させたり、乾燥させたり、また、
逆に溶融させたり、軟化させたり、様々な処理を
することが行われている。そして、上記被照射物
である接着剤、塗料、インク、レジスト等の被照
射物はシヨートアーク型の放電灯等から発生する
光を利用して、被照射物の特定の処理部分に光照
射処理することによつて行われている。
そこで、上記被照射物の所望の部分に、上記シ
ヨートアーク型の放電灯等から発生する光を集光
して導く光処理装置が従来からある。
ヨートアーク型の放電灯等から発生する光を集光
して導く光処理装置が従来からある。
第3図は従来の光処理装置の側断面図であり、
1はシヨートアーク型の放電灯、2はこの放電灯
の放電アークの中心が、その第1焦点に位置する
ように配置された楕円集光鏡、3は前記楕円集光
鏡2からの光を反射する反射ミラー、4はこの反
射ミラー3からの光を遮断するためのシヤツタ
ー、5はこのシヤツター4を介した光束から熱線
をカツトするフイルタ、6は前記放電灯1、楕円
集光鏡2、反射ミラー3、シヤツター4を収納す
る灯体である。そして、この灯体6には被照射物
に対して、前記フイルタ5を介した光束を導出す
る種々の光フアイバのユニツトを、取付け可能に
した光フアイバのユニツト接合部7aが設けられ
ており、この光フアイバのユニツト接合部7aに
上述の如く光フアイバのユニツト14が取付け、
取はずし自在に行えるようになつている。
1はシヨートアーク型の放電灯、2はこの放電灯
の放電アークの中心が、その第1焦点に位置する
ように配置された楕円集光鏡、3は前記楕円集光
鏡2からの光を反射する反射ミラー、4はこの反
射ミラー3からの光を遮断するためのシヤツタ
ー、5はこのシヤツター4を介した光束から熱線
をカツトするフイルタ、6は前記放電灯1、楕円
集光鏡2、反射ミラー3、シヤツター4を収納す
る灯体である。そして、この灯体6には被照射物
に対して、前記フイルタ5を介した光束を導出す
る種々の光フアイバのユニツトを、取付け可能に
した光フアイバのユニツト接合部7aが設けられ
ており、この光フアイバのユニツト接合部7aに
上述の如く光フアイバのユニツト14が取付け、
取はずし自在に行えるようになつている。
尚、ネジ8はフアイバのユニツト14を光フア
イバのユニツト接合部7aに固定する為のもので
ある。
イバのユニツト接合部7aに固定する為のもので
ある。
上記のような光処理装置は、第1焦点に位置す
る放電灯1からの光が楕円集光鏡2によつて、反
射ミラー3、シヤツター4、フイルタ5を介して
第2焦点に集まる。この第2焦点の位置は、前記
ユニツト接合部7aの近傍に設けてあるので放電
灯1の光は、灯体6のユニツト接合部7aの近傍
に集光される。この第2焦点に集光された光は、
その後ユニツト接合部7aに接続されているフア
イバのユニツト14を経て、不図示の被照射物の
光処理部分に光照射される。
る放電灯1からの光が楕円集光鏡2によつて、反
射ミラー3、シヤツター4、フイルタ5を介して
第2焦点に集まる。この第2焦点の位置は、前記
ユニツト接合部7aの近傍に設けてあるので放電
灯1の光は、灯体6のユニツト接合部7aの近傍
に集光される。この第2焦点に集光された光は、
その後ユニツト接合部7aに接続されているフア
イバのユニツト14を経て、不図示の被照射物の
光処理部分に光照射される。
一般に被照射物は様々な形状、大きさ、構造の
ものがあり、また、その数も1つもしくは複数存
在することもある。従つて、光処理装置を上記の
ような被照射物に照射するためには、それに対応
してフアイバのユニツト14を選択する必要があ
る。例えば、被照射物が5個あるときは5分岐の
フアイバのユニツト14を選び、それを5つの被
照射物に分散させる。その場合のフアイバは通常
直径100〜250μm程度の素線数100本位を光学繊
維束として使用している。そのために従来の光処
理装置の灯体6には、被照射物の数、その被照射
物の光処理部分の大きさ、形状、構造に対応でき
るフアイバのユニツト14を取付けて光処理を行
つている。
ものがあり、また、その数も1つもしくは複数存
在することもある。従つて、光処理装置を上記の
ような被照射物に照射するためには、それに対応
してフアイバのユニツト14を選択する必要があ
る。例えば、被照射物が5個あるときは5分岐の
フアイバのユニツト14を選び、それを5つの被
照射物に分散させる。その場合のフアイバは通常
直径100〜250μm程度の素線数100本位を光学繊
維束として使用している。そのために従来の光処
理装置の灯体6には、被照射物の数、その被照射
物の光処理部分の大きさ、形状、構造に対応でき
るフアイバのユニツト14を取付けて光処理を行
つている。
[考案が解決しようとする問題点]
上記のような従来の装置においては、複雑な形
状、構造で微小面積の被照射物とか、被照射物に
光処理装置自体をあまり近付けることができない
ようなときは、それに応じたフアイバのユニツト
を選択することができるが、それ以外の場合に
は、高価で、光の利用効率の低いフアイバを必ず
しも用いなくてもよいような状態の被照射物に対
するときがある。そのような場合に、従来のフア
イバのみを用いた装置では、ユニツト接合部7a
がフアイバ専用の係合構造になつているため、レ
ンズ系のユニツトは接合できない。この場合、小
照射面積かつ高照度、または大照射面積かつ均一
照度等のさまざまな照射条件の要求に対し、対応
できないという問題があつた。また、フアイバを
用いた場合、被照射物に対して所望の照射強度を
得るために光源の出力を増すとフアイバの耐熱性
を考慮しなければならないという問題もあつた。
状、構造で微小面積の被照射物とか、被照射物に
光処理装置自体をあまり近付けることができない
ようなときは、それに応じたフアイバのユニツト
を選択することができるが、それ以外の場合に
は、高価で、光の利用効率の低いフアイバを必ず
しも用いなくてもよいような状態の被照射物に対
するときがある。そのような場合に、従来のフア
イバのみを用いた装置では、ユニツト接合部7a
がフアイバ専用の係合構造になつているため、レ
ンズ系のユニツトは接合できない。この場合、小
照射面積かつ高照度、または大照射面積かつ均一
照度等のさまざまな照射条件の要求に対し、対応
できないという問題があつた。また、フアイバを
用いた場合、被照射物に対して所望の照射強度を
得るために光源の出力を増すとフアイバの耐熱性
を考慮しなければならないという問題もあつた。
この考案はかかる従来の問題点を解決するため
になされたもので、どのような場所に配置され、
また、どのような大きさ、形状、構造の被照射物
に対しても、望ましい照射強度で最適な条件を有
する光学ユニツトの接続が可能な光処理装置を提
供することを目的とする。
になされたもので、どのような場所に配置され、
また、どのような大きさ、形状、構造の被照射物
に対しても、望ましい照射強度で最適な条件を有
する光学ユニツトの接続が可能な光処理装置を提
供することを目的とする。
[問題点を解決するための手段]
上記の目的を達成するために、この考案の光処
理装置はシヨートアーク型の放電灯と、この放電
灯のアークの中心部が第1焦点の位置となるよう
に配置された楕円集光鏡、もしくはこの楕円集光
鏡及び楕円集光鏡からの光束を反射させる反射ミ
ラーとをそれぞれ収納した灯体を具備し、この灯
体の外壁側部に、被照射物に対して、集光または
平行、または発散によつて最適に光照射する複数
種の光照射光学ユニツトを取付け自在にした構造
のユニツト接合部を設けた構造を有するものであ
る。
理装置はシヨートアーク型の放電灯と、この放電
灯のアークの中心部が第1焦点の位置となるよう
に配置された楕円集光鏡、もしくはこの楕円集光
鏡及び楕円集光鏡からの光束を反射させる反射ミ
ラーとをそれぞれ収納した灯体を具備し、この灯
体の外壁側部に、被照射物に対して、集光または
平行、または発散によつて最適に光照射する複数
種の光照射光学ユニツトを取付け自在にした構造
のユニツト接合部を設けた構造を有するものであ
る。
[作用]
上記の構造にすることにより、この考案の光処
理装置は色々なフアイバの組を使用できるだけで
なく、レンズ系を組合わせて集光させた光学ユニ
ツトや、インテグレータを使つてインテグレータ
とレンズ系を組合わせて大きな面積の被照射物に
対して均一な光を照射する光学ユニツト等、全て
用いることができる。
理装置は色々なフアイバの組を使用できるだけで
なく、レンズ系を組合わせて集光させた光学ユニ
ツトや、インテグレータを使つてインテグレータ
とレンズ系を組合わせて大きな面積の被照射物に
対して均一な光を照射する光学ユニツト等、全て
用いることができる。
[実施例]
第1図はこの考案の光処理装置の一実施例の主
要部の概略を示す側断面図で、9,11はレン
ズ、10は反射ミラー、12はこれら光学系を収
納した光照射光学ユニツト、13は被照射物であ
る。また、第3図と同一符号は同一又は相当部分
を示す。
要部の概略を示す側断面図で、9,11はレン
ズ、10は反射ミラー、12はこれら光学系を収
納した光照射光学ユニツト、13は被照射物であ
る。また、第3図と同一符号は同一又は相当部分
を示す。
上記のように構成された装置において、灯体6
のユニツト接合部7bに光照射光学ユニツト12
の取付け部を嵌込んでネジ8を締めて固定する。
従つて、この灯体6に取付けるべき各々の光照射
光学ユニツトの取付け部の係合構造を同一形状寸
法に構成すれば光照射光学ユニツト相互の互換性
が得られる。そして、ユニツト接合部7bの近傍
に集光した光は光照射光学ユニツト12内のレン
ズ9、反射ミラー10、レンズ11を経て被照射
物13に照射される。この場合、フアイバを使用
した時に比べて2〜3倍の極めて高い放射照度が
得られている。
のユニツト接合部7bに光照射光学ユニツト12
の取付け部を嵌込んでネジ8を締めて固定する。
従つて、この灯体6に取付けるべき各々の光照射
光学ユニツトの取付け部の係合構造を同一形状寸
法に構成すれば光照射光学ユニツト相互の互換性
が得られる。そして、ユニツト接合部7bの近傍
に集光した光は光照射光学ユニツト12内のレン
ズ9、反射ミラー10、レンズ11を経て被照射
物13に照射される。この場合、フアイバを使用
した時に比べて2〜3倍の極めて高い放射照度が
得られている。
第2図はこの考案の他の実施例を示したもので
15はインテグレータレンズ、16はコリメータ
レンズであり、その他、第1図と同一符号は同一
又は相当部分を示す。
15はインテグレータレンズ、16はコリメータ
レンズであり、その他、第1図と同一符号は同一
又は相当部分を示す。
この第2図において、光照射光学ユニツトとし
ては、インテグレータレンズ15とコリメータレ
ンズ16等を組合わせたものを取付け部の係合構
造を同一にしておけば、このユニツト接合部7b
を介してネジ8によつて取付けることは自在にで
き、その場合は、大きな面積の被照射物に対して
平行で照度分布が均一な光照射をすることができ
る。例として、照射径が50〜200mm、均一度±3
%以内が得られている。照射径50〜200mmは光照
射光学ユニツトを必要照射径に合わせて選択でき
る。
ては、インテグレータレンズ15とコリメータレ
ンズ16等を組合わせたものを取付け部の係合構
造を同一にしておけば、このユニツト接合部7b
を介してネジ8によつて取付けることは自在にで
き、その場合は、大きな面積の被照射物に対して
平行で照度分布が均一な光照射をすることができ
る。例として、照射径が50〜200mm、均一度±3
%以内が得られている。照射径50〜200mmは光照
射光学ユニツトを必要照射径に合わせて選択でき
る。
以上のように取付部7bを光フアイバ以外の光
照射光学ユニツトが取付けられる構造にすること
により、被照射物における光の強度、配置場所、
大きさ、用途等に応じて光照射光学ユニツトの適
宜選択が可能となる。
照射光学ユニツトが取付けられる構造にすること
により、被照射物における光の強度、配置場所、
大きさ、用途等に応じて光照射光学ユニツトの適
宜選択が可能となる。
尚、この光処理装置においては、被照射物に対
する光処理の目的によつて所望の波長の光のみが
照射されるように、各光照射光学ユニツトもしく
は灯体本体にフイルタを設けて、不必要な光をカ
ツトするようにすることができるのは勿論であ
る。
する光処理の目的によつて所望の波長の光のみが
照射されるように、各光照射光学ユニツトもしく
は灯体本体にフイルタを設けて、不必要な光をカ
ツトするようにすることができるのは勿論であ
る。
[考案の効果]
以上説明したとおり、この考案はシヨートアー
ク型の放電灯と、この放電灯のアークが第1焦点
の位置となるように配置された楕円集光鏡、もし
くはこの楕円集光鏡及び楕円集光鏡からの光束を
反射させる反射ミラーとをそれぞれ収納した灯体
を具備し、この灯体の外壁側部に、被照射物の大
きさ等に合わせて照射する複数種の光照射光学ユ
ニツトを取付け自在にした構造のユニツト接合部
を設け、かつそれぞれの光照射光学ユニツトはユ
ニツト接合部に対して同一の係合構造を具えてな
る構成を有することにより、被照射物に適した光
照射光学ユニツトを適宜選択して、自在に取付
け、取はずしができる。従つて被照射物が狭い場
所もしくはマイクロ素子、微小部分等の微小領域
の場合から大きな面積、広い場所等、いずれの場
所、大きさであつても光処理することが可能とな
つた。
ク型の放電灯と、この放電灯のアークが第1焦点
の位置となるように配置された楕円集光鏡、もし
くはこの楕円集光鏡及び楕円集光鏡からの光束を
反射させる反射ミラーとをそれぞれ収納した灯体
を具備し、この灯体の外壁側部に、被照射物の大
きさ等に合わせて照射する複数種の光照射光学ユ
ニツトを取付け自在にした構造のユニツト接合部
を設け、かつそれぞれの光照射光学ユニツトはユ
ニツト接合部に対して同一の係合構造を具えてな
る構成を有することにより、被照射物に適した光
照射光学ユニツトを適宜選択して、自在に取付
け、取はずしができる。従つて被照射物が狭い場
所もしくはマイクロ素子、微小部分等の微小領域
の場合から大きな面積、広い場所等、いずれの場
所、大きさであつても光処理することが可能とな
つた。
第1図はこの考案の光処理装置の一実施例の主
要部の概略を示す側断面図、第2図はこの考案の
他の実施例の主要部の概略を示す断面図、第3図
は従来の光処理装置の側断面図である。 図中、1……放電灯、2……楕円集光鏡、3…
…反射ミラー、6……灯体、7a,7b……ユニ
ツト接合部、8……ネジ、9……レンズ、12…
…光学ユニツト、13……被照射物、14……光
フアイバのユニツト、15……インテグレータレ
ンズ、16……コリメータレンズ。
要部の概略を示す側断面図、第2図はこの考案の
他の実施例の主要部の概略を示す断面図、第3図
は従来の光処理装置の側断面図である。 図中、1……放電灯、2……楕円集光鏡、3…
…反射ミラー、6……灯体、7a,7b……ユニ
ツト接合部、8……ネジ、9……レンズ、12…
…光学ユニツト、13……被照射物、14……光
フアイバのユニツト、15……インテグレータレ
ンズ、16……コリメータレンズ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) シヨートアーク型の放電灯と、この放電灯の
アークが第1焦点の位置となるように配置され
た楕円集光鏡、もしくはこの楕円集光鏡及び楕
円集光鏡からの光束を反射させる反射ミラーと
をそれぞれ収納した灯体を具備し、この灯体の
外壁側部に、被照射物に対して最適に光照射す
る複数種の光照射光学ユニツトを取付け自在に
した構造のユニツト接合部を設け、かつそれぞ
れの光照射光学ユニツトはユニツト接合部に対
して同一の係合構造を具えてなることを特徴と
する光処理装置。 (2) 複数種の光照射光学ユニツトは少くとも1本
のフアイバを用いた光学ユニツトと、レンズ系
を組合わせた光学ユニツトと、インテグレータ
とレンズ系の組合わせた光学ユニツトの3つの
うち、いずれか1つの光学ユニツトであること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第(1)項記
載の光処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8587U JPH053214Y2 (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8587U JPH053214Y2 (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63111931U JPS63111931U (ja) | 1988-07-19 |
| JPH053214Y2 true JPH053214Y2 (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=30776755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8587U Expired - Lifetime JPH053214Y2 (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH053214Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2759890B2 (ja) * | 1989-11-24 | 1998-05-28 | ウシオ電機株式会社 | 露光装置 |
| JP2795947B2 (ja) * | 1990-01-17 | 1998-09-10 | ウシオ電機株式会社 | 光学ユニット |
| JP4642543B2 (ja) * | 2005-05-09 | 2011-03-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 周縁露光装置、塗布、現像装置及び周縁露光方法 |
-
1987
- 1987-01-06 JP JP8587U patent/JPH053214Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63111931U (ja) | 1988-07-19 |
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