JPH0532162Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0532162Y2 JPH0532162Y2 JP1986138026U JP13802686U JPH0532162Y2 JP H0532162 Y2 JPH0532162 Y2 JP H0532162Y2 JP 1986138026 U JP1986138026 U JP 1986138026U JP 13802686 U JP13802686 U JP 13802686U JP H0532162 Y2 JPH0532162 Y2 JP H0532162Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- polytetrafluoroethylene
- tubular body
- tubes
- porous
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
「考案の目的」
本考案は脱気用チユーブの考案に係り、各種液
体中に含有される気体分を除去するためのチユー
ブに関して通気量（脱気量）を高くし得ると共に
耐液圧性をも高く維持することができて効率的な
脱気をなすことのできる脱気用チユーブを提供し
ようとするものである。
体中に含有される気体分を除去するためのチユー
ブに関して通気量（脱気量）を高くし得ると共に
耐液圧性をも高く維持することができて効率的な
脱気をなすことのできる脱気用チユーブを提供し
ようとするものである。
産業上の利用分野
LSI洗浄用超純水や水系溶媒樹脂フイルム原
料、液体クロマトグラフイ水系溶媒液などの脱気
機構。
料、液体クロマトグラフイ水系溶媒液などの脱気
機構。
従来の技術
各種液体において空気その他の気体混入の好ま
しからざる場合に脱気することは従来から種々に
実施されている。即ち、例えばLSI洗浄用超純
水、水系溶媒樹脂フイルム原料あるいは液体クロ
マトグラフイ水系溶媒液などに関してそれぞれ脱
気装置が採用され、その含有気体を分離除去する
ことが行われており、斯うした目的で従来用いら
れているものとしてはポリテトラフルオロエチレ
ンの多孔質チユーブが一般的である。
しからざる場合に脱気することは従来から種々に
実施されている。即ち、例えばLSI洗浄用超純
水、水系溶媒樹脂フイルム原料あるいは液体クロ
マトグラフイ水系溶媒液などに関してそれぞれ脱
気装置が採用され、その含有気体を分離除去する
ことが行われており、斯うした目的で従来用いら
れているものとしてはポリテトラフルオロエチレ
ンの多孔質チユーブが一般的である。
考案が解決しようとする問題点
上記した従来のポリテトラフルオロエチレンに
よる多孔質チユーブは耐薬品性に優れ又好ましい
脱気作用をなすものであるが、通気量を高める
と、耐水圧性が低くなり、反対にこの耐水圧性を
高く維持しようとすると通気量の低いものとなら
ざるを得ない。即ちこれらの関係は第４図に示す
如くであつて、例えば通気量を５×10-2c.c.／cm2・
secから10×10-2c.c.／cm2・secに高めると耐液圧
（水圧）性が約0.9Kg／cm2から0.3Kg／cm2に低下し、
このようなチユーブとして一般的に要求される
0.8Kg／cm2の耐圧性が得られず、液圧が高く、し
かも通気量の多い効率的な脱気処理をなし得ない
のが従来市販されているポリテトラフルオロエチ
レン多孔質チユーブである。
よる多孔質チユーブは耐薬品性に優れ又好ましい
脱気作用をなすものであるが、通気量を高める
と、耐水圧性が低くなり、反対にこの耐水圧性を
高く維持しようとすると通気量の低いものとなら
ざるを得ない。即ちこれらの関係は第４図に示す
如くであつて、例えば通気量を５×10-2c.c.／cm2・
secから10×10-2c.c.／cm2・secに高めると耐液圧
（水圧）性が約0.9Kg／cm2から0.3Kg／cm2に低下し、
このようなチユーブとして一般的に要求される
0.8Kg／cm2の耐圧性が得られず、液圧が高く、し
かも通気量の多い効率的な脱気処理をなし得ない
のが従来市販されているポリテトラフルオロエチ
レン多孔質チユーブである。
従つてこのような従来の脱気用チユーブで脱気
量を高めるにはチユーブを長くして表面積を増加
するか、チユーブの本数を多くする方法しかない
が、前者は管内抵抗を増加するから液圧を高くす
ることが必要であり、後者は設備の大型化を招
き、何れにしても不利な設備、操業とならざるを
得ない。即ち今日における各種工業の高精度化は
液中における気体の存在もゆるがせにできないよ
うになつており、前記LSI洗浄水中のガスはLSI
表面に付着して後加工の妨害となり、樹脂系原料
中のガスはフイルム成形時その他におけるピンホ
ール発生原因となるなどの事由から脱気をなるべ
くコンパクトな設備において効率的に実施するこ
とについては強い要請があるにも拘わらず、この
ような要請に対し適切に応じ得ない。
量を高めるにはチユーブを長くして表面積を増加
するか、チユーブの本数を多くする方法しかない
が、前者は管内抵抗を増加するから液圧を高くす
ることが必要であり、後者は設備の大型化を招
き、何れにしても不利な設備、操業とならざるを
得ない。即ち今日における各種工業の高精度化は
液中における気体の存在もゆるがせにできないよ
うになつており、前記LSI洗浄水中のガスはLSI
表面に付着して後加工の妨害となり、樹脂系原料
中のガスはフイルム成形時その他におけるピンホ
ール発生原因となるなどの事由から脱気をなるべ
くコンパクトな設備において効率的に実施するこ
とについては強い要請があるにも拘わらず、この
ような要請に対し適切に応じ得ない。
「考案の構成」
問題点を解決するための手段
柔軟性を有するポリテトラフルオロエチレンチ
ユーブによる内側チユーブと外側チユーブを有
し、これら内外側チユーブの間にポリテトラフル
オロエチレンによる平均孔径が0.2〜0.8μmで、前
記内外側チユーブの平均孔径より小さい孔径の平
面的延伸多孔質フイルムで形成された管状体を介
装したことを特徴とする脱気用チユーブ。
ユーブによる内側チユーブと外側チユーブを有
し、これら内外側チユーブの間にポリテトラフル
オロエチレンによる平均孔径が0.2〜0.8μmで、前
記内外側チユーブの平均孔径より小さい孔径の平
面的延伸多孔質フイルムで形成された管状体を介
装したことを特徴とする脱気用チユーブ。
作 用
内外側チユーブの間にポリテトラフルオロエチ
レンによる平均孔径が0.2〜0.8μmで、前記内外側
チユーブの平均孔径より小さい平面的延伸多孔質
フイルムで形成された管状体を介装することによ
り該管状体が脱気作用の主体をなし、即ちその微
細孔組織と平面的延伸による薄層性は材質自体の
発水性と相俟つて通気性を適切に確保し、しかも
透水を有効に防止する。更にこのような平面的延
伸組織は好ましい強度性を有していて空孔率の高
い組織において耐水圧性の優れたものとなり効率
的な脱気を行わしめる。
レンによる平均孔径が0.2〜0.8μmで、前記内外側
チユーブの平均孔径より小さい平面的延伸多孔質
フイルムで形成された管状体を介装することによ
り該管状体が脱気作用の主体をなし、即ちその微
細孔組織と平面的延伸による薄層性は材質自体の
発水性と相俟つて通気性を適切に確保し、しかも
透水を有効に防止する。更にこのような平面的延
伸組織は好ましい強度性を有していて空孔率の高
い組織において耐水圧性の優れたものとなり効率
的な脱気を行わしめる。
管状体の内外側に位置する内側チユーブと外側
チユーブとは該管状体を適切に薄層化することを
可能とし、前記のような効率的脱気性を確保す
る。
チユーブとは該管状体を適切に薄層化することを
可能とし、前記のような効率的脱気性を確保す
る。
各チユーブおよび管状体が共にポリテトラフル
オロエチレンであることにより各部材のなじみが
よく、又耐熱性や耐薬品性などの特性においても
優れ、しかも各チユーブにおける孔径が比較的大
であることおよび管状体の空孔率が比較的大であ
ることは脱気用チユーブ全体に柔軟性を維持せし
め任意に屈曲せしめた自在な脱気設備を設計させ
る。
オロエチレンであることにより各部材のなじみが
よく、又耐熱性や耐薬品性などの特性においても
優れ、しかも各チユーブにおける孔径が比較的大
であることおよび管状体の空孔率が比較的大であ
ることは脱気用チユーブ全体に柔軟性を維持せし
め任意に屈曲せしめた自在な脱気設備を設計させ
る。
実施例
本考案によるものの具体的な実施態様を添附図
面に示すものについて説明すると、本考案におい
てもポリテトラフルオロエチレン多孔質チユーブ
を用いるが、第１図に示すようにこのポリテトラ
フルオロエチレン多孔質チユーブによるものを内
側チユーブ１と外側チユーブ３として用い、しか
もこれらチユーブ１，３の間に平面的延伸ポリテ
トラフルオロエチレン多孔質フイルム４による管
状体２を介装したものである。
面に示すものについて説明すると、本考案におい
てもポリテトラフルオロエチレン多孔質チユーブ
を用いるが、第１図に示すようにこのポリテトラ
フルオロエチレン多孔質チユーブによるものを内
側チユーブ１と外側チユーブ３として用い、しか
もこれらチユーブ１，３の間に平面的延伸ポリテ
トラフルオロエチレン多孔質フイルム４による管
状体２を介装したものである。
前記管状体２を得るためには第２図に示すよう
に所要の幅をもつた多孔質フイルム４の両側を融
着５などしてパイプ状となし、このものを内側チ
ユーブ１の外側に覆着し、更にその外側にチユー
ブ３を覆着することによつて簡易に製作し得る。
に所要の幅をもつた多孔質フイルム４の両側を融
着５などしてパイプ状となし、このものを内側チ
ユーブ１の外側に覆着し、更にその外側にチユー
ブ３を覆着することによつて簡易に製作し得る。
前記した多孔質フイルム４はポリテトラフルオ
ロエチレン膜材を平面的に圧延、延伸して多孔組
織となし、即ち多数の微小結節部間に無数の微細
繊維がくもの巣状に形成したものとして得られる
ことは公知の通りで、ポリテトラフルオロエチレ
ンは平面的延伸により材質的に精度の高い多孔質
化が得られることは一般的に知られている通りで
あつて、その微細な繊維構造と樹脂自体の有する
撥水性とが相俟つて通気は許容するものの液体
（特に水）を通過せしめず、従つて本考案にあつ
てはこのようなフイルム４による管状体２が脱気
作用の主体をなすものである。このためその多孔
組織における孔径が重要であり、即ちフイルムで
あるからその厚さも30〜100μmのようにチユーブ
の場合よりは少なくとも数分の１以下とされた薄
いものとすることが通気量を大とする上において
枢要であり、又このような厚さに延伸などで容易
に成形し得るが、斯うした条件下において前記の
ような微細繊維間に形成される孔径としては0.2
〜0.8μm程度とする。即ちこの孔径が0.8μmを超
えるものにおいては耐液圧性が充分に得られず、
例えば1.0Kg／cm2以上の水圧条件で水分が一部透
過し、有効な脱気作用を求め得ない。一方孔径が
0.2μm以下ともなると通気性が適切に得られない
こととなる傾向が認められる。
ロエチレン膜材を平面的に圧延、延伸して多孔組
織となし、即ち多数の微小結節部間に無数の微細
繊維がくもの巣状に形成したものとして得られる
ことは公知の通りで、ポリテトラフルオロエチレ
ンは平面的延伸により材質的に精度の高い多孔質
化が得られることは一般的に知られている通りで
あつて、その微細な繊維構造と樹脂自体の有する
撥水性とが相俟つて通気は許容するものの液体
（特に水）を通過せしめず、従つて本考案にあつ
てはこのようなフイルム４による管状体２が脱気
作用の主体をなすものである。このためその多孔
組織における孔径が重要であり、即ちフイルムで
あるからその厚さも30〜100μmのようにチユーブ
の場合よりは少なくとも数分の１以下とされた薄
いものとすることが通気量を大とする上において
枢要であり、又このような厚さに延伸などで容易
に成形し得るが、斯うした条件下において前記の
ような微細繊維間に形成される孔径としては0.2
〜0.8μm程度とする。即ちこの孔径が0.8μmを超
えるものにおいては耐液圧性が充分に得られず、
例えば1.0Kg／cm2以上の水圧条件で水分が一部透
過し、有効な脱気作用を求め得ない。一方孔径が
0.2μm以下ともなると通気性が適切に得られない
こととなる傾向が認められる。
１例として平均孔径が0.2〜1μmで、膜厚が
65μmであり、空孔率85％のポリテトラフルオロ
エチレンフイルムの耐水圧値と通気量の関係は第
３図に示す如くであつて、耐水圧1.0Kg／cm2で通
気量10c.c.／cm2・secを充分に確保し、耐水圧0.5
Kg／cm2では30c.c.／cm2・secを充分に得しめること
ができる。
65μmであり、空孔率85％のポリテトラフルオロ
エチレンフイルムの耐水圧値と通気量の関係は第
３図に示す如くであつて、耐水圧1.0Kg／cm2で通
気量10c.c.／cm2・secを充分に確保し、耐水圧0.5
Kg／cm2では30c.c.／cm2・secを充分に得しめること
ができる。
前記したように脱気機能の主体はポリテトラフ
ルオロエチレンの平面的延伸による多孔質フイル
ム４による管状体２であることから内側チユーブ
１および外側チユーブ３の作用は、それが成程材
質的には同じポリテトラフルオロエチレン多孔質
体であつてもその技術的性格を従来の脱気用チユ
ーブの場合と異にしたものとなり、前記管状体２
の支持体ないし保護体となる。従つてその孔径、
厚さなどはこのような意味において決定されるこ
ととなり、その孔径については平面的延伸多孔質
フイルム４の孔径より大きい（従つて平面的延伸
多孔質フイルムの孔径はこれらのチユーブ１，３
の孔径より小）ものとする。なお前記フイルム４
による管状体２の汚れ、疵を防止し、耐薬品性や
耐熱性などの要求される場合においても、このポ
リテトラフルオロエチレンによるチユーブ１，３
が適切であつて、特に液体クロマトグラフイ用の
脱気チユーブなどでは溶出を考慮することが必要
で前記のようなポリテトラフルオロエチレンによ
る多孔質チユーブがこの点においても有効であ
る。
ルオロエチレンの平面的延伸による多孔質フイル
ム４による管状体２であることから内側チユーブ
１および外側チユーブ３の作用は、それが成程材
質的には同じポリテトラフルオロエチレン多孔質
体であつてもその技術的性格を従来の脱気用チユ
ーブの場合と異にしたものとなり、前記管状体２
の支持体ないし保護体となる。従つてその孔径、
厚さなどはこのような意味において決定されるこ
ととなり、その孔径については平面的延伸多孔質
フイルム４の孔径より大きい（従つて平面的延伸
多孔質フイルムの孔径はこれらのチユーブ１，３
の孔径より小）ものとする。なお前記フイルム４
による管状体２の汚れ、疵を防止し、耐薬品性や
耐熱性などの要求される場合においても、このポ
リテトラフルオロエチレンによるチユーブ１，３
が適切であつて、特に液体クロマトグラフイ用の
脱気チユーブなどでは溶出を考慮することが必要
で前記のようなポリテトラフルオロエチレンによ
る多孔質チユーブがこの点においても有効であ
る。
本考案によるものの若干の製造例について説明
すると、以下の如くである。
すると、以下の如くである。
製造例 １
外径7.2mm、内径6.0mm、空孔率が50％で、孔径
が3.5μmのポリテトラフルオロエチレンによる内
側チユーブ１の外側に、厚さ50μm、空孔率85％、
孔径0.45μmの平面的延伸ポリテトラフルオロエ
チレンフイルムによる管状体２を被覆し、更にそ
の外側に外径10.0mm、内径8.0mmで空孔率、孔径
が前記内側チユーブ１と同じである外側チユーブ
３を覆着して本考案による製品を得た。
が3.5μmのポリテトラフルオロエチレンによる内
側チユーブ１の外側に、厚さ50μm、空孔率85％、
孔径0.45μmの平面的延伸ポリテトラフルオロエ
チレンフイルムによる管状体２を被覆し、更にそ
の外側に外径10.0mm、内径8.0mmで空孔率、孔径
が前記内側チユーブ１と同じである外側チユーブ
３を覆着して本考案による製品を得た。
斯うした本考案チユーブ内に25℃の水溶液を
1.5Kg／cm2の圧力で流入し、しかもチユーブの外
側を70cmHgの真空状として脱気処理したときに
管状体２を通過して外側に出る空気量は、8.0×
10-2c.c.／cm2・secであり、内部の水はチユーブ１
を透過して管状体２に達するが、該管状体２から
滲み出ることなしに有効な脱気処理をなすことが
でき、設備のコンパクト化を図ることだできた。
1.5Kg／cm2の圧力で流入し、しかもチユーブの外
側を70cmHgの真空状として脱気処理したときに
管状体２を通過して外側に出る空気量は、8.0×
10-2c.c.／cm2・secであり、内部の水はチユーブ１
を透過して管状体２に達するが、該管状体２から
滲み出ることなしに有効な脱気処理をなすことが
でき、設備のコンパクト化を図ることだできた。
製造例 ２
外径7.2mm、内径6.0mm、空孔率が70％で、孔径
が1.0μmのポリテトラフルオロエチレンによる内
側チユーブ１に対し、厚さ50μm、空孔率85％、
孔径0.8μmのポリテトラフルオロエチレン多孔質
フイルムによる管状体２を重合し、更にその外側
に外径10.0mm、内径8.0mm、空孔率70％で、孔径
が1.0μmのポリテトラフルオロエチレンチユーブ
３を覆装して本考案の製品を得た。
が1.0μmのポリテトラフルオロエチレンによる内
側チユーブ１に対し、厚さ50μm、空孔率85％、
孔径0.8μmのポリテトラフルオロエチレン多孔質
フイルムによる管状体２を重合し、更にその外側
に外径10.0mm、内径8.0mm、空孔率70％で、孔径
が1.0μmのポリテトラフルオロエチレンチユーブ
３を覆装して本考案の製品を得た。
このものに対し、製造例１におけると同じ条件
で脱気処理した場合、その脱気可能量は、5.0×
10-2c.c.／cm2・secであり、内部の水が漏出するこ
とのないことは製造例１と同じであつた。
で脱気処理した場合、その脱気可能量は、5.0×
10-2c.c.／cm2・secであり、内部の水が漏出するこ
とのないことは製造例１と同じであつた。
「考案の効果」
以上説明したような本考案によるときは高い耐
液圧性と高通気性とを具備した高性能な脱気用チ
ユーブを提供し得るもので、各種工業の高精度化
に必要な処理液の脱気処理を小型な機構において
高効率且つ低コストに実施し得るものであるから
工業的にその効果の大きい考案である。
液圧性と高通気性とを具備した高性能な脱気用チ
ユーブを提供し得るもので、各種工業の高精度化
に必要な処理液の脱気処理を小型な機構において
高効率且つ低コストに実施し得るものであるから
工業的にその効果の大きい考案である。
図面は本考案の技術的内容を示すものであつ
て、第１図は本考案によるチユーブの断面図、第
２図はそのポリテトラフルオロエチレン多孔質フ
イルムによる管状体の斜面図、第３図はこのポリ
テトラフルオロエチレン多孔質フイルムの１例に
ついての耐水圧と通気量の関係を示した図表、第
４図は従来のポリテトラフルオロエチレン多孔質
チユーブの耐水圧と通気量の関係を示した図表で
ある。 然して前記第１，２図において、１は多孔質チ
ユーブによる内側チユーブ、２は管状体、３は多
孔質チユーブによる外側チユーブ、４は前記管状
体を形成するポリテトラフルオロエチレン多孔質
フイルム、５は融着部を示すものである。
て、第１図は本考案によるチユーブの断面図、第
２図はそのポリテトラフルオロエチレン多孔質フ
イルムによる管状体の斜面図、第３図はこのポリ
テトラフルオロエチレン多孔質フイルムの１例に
ついての耐水圧と通気量の関係を示した図表、第
４図は従来のポリテトラフルオロエチレン多孔質
チユーブの耐水圧と通気量の関係を示した図表で
ある。 然して前記第１，２図において、１は多孔質チ
ユーブによる内側チユーブ、２は管状体、３は多
孔質チユーブによる外側チユーブ、４は前記管状
体を形成するポリテトラフルオロエチレン多孔質
フイルム、５は融着部を示すものである。
Claims (1)
- 柔軟性を有するポリテトラフルオロエチレンチ
ユーブによる内側チユーブと外側チユーブを有
し、これら内外側チユーブの間にポリテトラフル
オロエチレンによる平均孔径が0.2〜0.8μmで、前
記内外側チユーブの平均孔径より小さい孔径の平
面的延伸多孔質フイルムで形成された管状体を介
装したことを特徴とする脱気用チユーブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986138026U JPH0532162Y2 (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986138026U JPH0532162Y2 (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6343609U JPS6343609U (ja) | 1988-03-23 |
| JPH0532162Y2 true JPH0532162Y2 (ja) | 1993-08-18 |
Family
ID=31042630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986138026U Expired - Lifetime JPH0532162Y2 (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0532162Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2780331B2 (ja) * | 1989-04-28 | 1998-07-30 | 日東電工株式会社 | 液体の脱気方法 |
| JP5133039B2 (ja) * | 2007-12-07 | 2013-01-30 | 日東電工株式会社 | ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜およびその製造方法ならびに防水通気フィルタ |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5173350U (ja) * | 1974-12-04 | 1976-06-09 | ||
| JPS5343883U (ja) * | 1976-09-17 | 1978-04-14 |
-
1986
- 1986-09-10 JP JP1986138026U patent/JPH0532162Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6343609U (ja) | 1988-03-23 |
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