JPH05322785A - 蛍光検出装置 - Google Patents
蛍光検出装置Info
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- JPH05322785A JPH05322785A JP12589292A JP12589292A JPH05322785A JP H05322785 A JPH05322785 A JP H05322785A JP 12589292 A JP12589292 A JP 12589292A JP 12589292 A JP12589292 A JP 12589292A JP H05322785 A JPH05322785 A JP H05322785A
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- filter
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- reflected light
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 エポキシ系樹脂よりなるプリント配線基板の
パターンを鮮明に表示することを可能にする蛍光検出装
置を提供する。 【構成】 本蛍光検出装置は、光源11と、被検査体31か
ら発生した蛍光32を透過する第１のフィルター14と、こ
の通過した蛍光32を受光して電気信号に変換する第１の
光電変換手段16と、被検査体31から反射光13の一部13-1
及びこれを通過させて第１のフィルター14に入射させる
とともに、残りの反射光13-2及びこれを反射する分割ミ
ラー21と、ミラー21により反射された反射光13-2及び蛍
光32-2の共通の光軸上に配設され、反射光13-2を選択的
に通過させる波長選択フィルター22と、フィルター14と
同じ光学特性を有する第２のフィルター23と、フィルタ
ー23から発生した蛍光24を受光して電気信号に変換する
第２の光電変換手段25と、光電変換手段16と25とに接続
し、入力した電気信号を減算する蛍光補正回路26とで構
成する。
パターンを鮮明に表示することを可能にする蛍光検出装
置を提供する。 【構成】 本蛍光検出装置は、光源11と、被検査体31か
ら発生した蛍光32を透過する第１のフィルター14と、こ
の通過した蛍光32を受光して電気信号に変換する第１の
光電変換手段16と、被検査体31から反射光13の一部13-1
及びこれを通過させて第１のフィルター14に入射させる
とともに、残りの反射光13-2及びこれを反射する分割ミ
ラー21と、ミラー21により反射された反射光13-2及び蛍
光32-2の共通の光軸上に配設され、反射光13-2を選択的
に通過させる波長選択フィルター22と、フィルター14と
同じ光学特性を有する第２のフィルター23と、フィルタ
ー23から発生した蛍光24を受光して電気信号に変換する
第２の光電変換手段25と、光電変換手段16と25とに接続
し、入力した電気信号を減算する蛍光補正回路26とで構
成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光を照射された被検査
体、例えば、基材がエポキシ系樹脂よりなるプリント配
線基板から発生する蛍光を検出する蛍光検出装置、特に
表示手段の画面にプリント配線基板のパターンを鮮明に
表示することを可能にする蛍光検出装置に関する。
体、例えば、基材がエポキシ系樹脂よりなるプリント配
線基板から発生する蛍光を検出する蛍光検出装置、特に
表示手段の画面にプリント配線基板のパターンを鮮明に
表示することを可能にする蛍光検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来の蛍光検出装置について図２
を参照して説明する。図２は、従来の蛍光検出装置の説
明図であって、同図(a) は蛍光検出装置の要部の模式的
な側面図、同図(b) はプリント配線基板と光電変換手段
が出力した電気信号との対応図である。
を参照して説明する。図２は、従来の蛍光検出装置の説
明図であって、同図(a) は蛍光検出装置の要部の模式的
な側面図、同図(b) はプリント配線基板と光電変換手段
が出力した電気信号との対応図である。
【０００３】従来の蛍光検出装置は、同図(a) で示すよ
うに、光源、例えば、波長が５００ｎｍ程度のレーザ光
12を発生するアルゴンレーザ11と、アルゴンレーザ11が
発生したレーザ光12を集光し、被検査体、例えば、基材
がエポキシ系樹脂よりなるプリント配線基板31に照射す
る集光レンズ10と、レーザ光12を照射されたプリント配
線基板31が発生する蛍光32は選択的に透過させるもの
の、レーザ光12と同じ波の反射光13は透過させない第１
のフィルター14と、光を受光して電気信号に変換する光
電変換手段、例えば、第１の光電子増倍管16（以降、第
１のホトマル16と呼称）とを含んで構成されていた。
うに、光源、例えば、波長が５００ｎｍ程度のレーザ光
12を発生するアルゴンレーザ11と、アルゴンレーザ11が
発生したレーザ光12を集光し、被検査体、例えば、基材
がエポキシ系樹脂よりなるプリント配線基板31に照射す
る集光レンズ10と、レーザ光12を照射されたプリント配
線基板31が発生する蛍光32は選択的に透過させるもの
の、レーザ光12と同じ波の反射光13は透過させない第１
のフィルター14と、光を受光して電気信号に変換する光
電変換手段、例えば、第１の光電子増倍管16（以降、第
１のホトマル16と呼称）とを含んで構成されていた。
【０００４】このように構成した従来の蛍光検出装置に
おいては、図２に示すように、矢印Ｒ方向に等速度で移
動するプリント配線基板31の表面にレーザ光12を照射
し、プリント配線基板31から発生させた蛍光32を第１の
フィルター14を通過させて第１のホトマル16に受光させ
ると、同図(b) に示すように第１のホトマル16はパルス
状の電気信号17を出力する。
おいては、図２に示すように、矢印Ｒ方向に等速度で移
動するプリント配線基板31の表面にレーザ光12を照射
し、プリント配線基板31から発生させた蛍光32を第１の
フィルター14を通過させて第１のホトマル16に受光させ
ると、同図(b) に示すように第１のホトマル16はパルス
状の電気信号17を出力する。
【０００５】同図(b) において、電気信号17のハイレベ
ルの電気信号17H は、プリント配線基板31のレーザ光12
の照射を受けて蛍光を発生する基材が露出した領域、す
なわち、基材露出領域31a をレーザ光12が照射している
状態を示すものであり、また、ロウレベルの電気信号17
L は、プリント配線基板31のレーザ光12の照射を受けて
も蛍光を発生しない配線パターン31b をレーザ光12が照
射している状態を示すものである。
ルの電気信号17H は、プリント配線基板31のレーザ光12
の照射を受けて蛍光を発生する基材が露出した領域、す
なわち、基材露出領域31a をレーザ光12が照射している
状態を示すものであり、また、ロウレベルの電気信号17
L は、プリント配線基板31のレーザ光12の照射を受けて
も蛍光を発生しない配線パターン31b をレーザ光12が照
射している状態を示すものである。
【０００６】したがって、プリント配線基板31の全表面
にレーザ光12の照射を行なって得た電気信号17を画像処
理し、表示手段、例えば、ＣＲＴ（図示せず）の表示面
上にプリント配線基板31の表面を表示すれば、その基材
露出領域31a は、例えば白模様、配線パターン31b は黒
模様で表示できることとなる。
にレーザ光12の照射を行なって得た電気信号17を画像処
理し、表示手段、例えば、ＣＲＴ（図示せず）の表示面
上にプリント配線基板31の表面を表示すれば、その基材
露出領域31a は、例えば白模様、配線パターン31b は黒
模様で表示できることとなる。
【０００７】ＣＲＴの表示面上に表示される画像の拡縮
は通常の技術により自在に行なえるから、プリント配線
基板31の表面をＣＲＴの表示面上で拡大すれば肉眼でも
そのパターン検査が可能となる。
は通常の技術により自在に行なえるから、プリント配線
基板31の表面をＣＲＴの表示面上で拡大すれば肉眼でも
そのパターン検査が可能となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところが、レーザ光12
を照射されたプリント配線基板31から発生した蛍光32が
第１のフィルター14に入射する際に、このプリント配線
基板31により反射されたレーザ光12の反射光13も第１の
フィルター14に入射し、この第１のフィルター14から蛍
光15を発生させることとなる。
を照射されたプリント配線基板31から発生した蛍光32が
第１のフィルター14に入射する際に、このプリント配線
基板31により反射されたレーザ光12の反射光13も第１の
フィルター14に入射し、この第１のフィルター14から蛍
光15を発生させることとなる。
【０００９】このために、プリント配線基板31の配線パ
ターン31b をレーザ光12が照射している時でも、反射光
13を入射した第１のフィルター14から発生した蛍光15を
第１のホトマル16が受光し、ノイズ (雑音電圧) として
の電気信号、すなわち、図２(b) においてローレベルの
電気信号17L を出力することとなる。
ターン31b をレーザ光12が照射している時でも、反射光
13を入射した第１のフィルター14から発生した蛍光15を
第１のホトマル16が受光し、ノイズ (雑音電圧) として
の電気信号、すなわち、図２(b) においてローレベルの
電気信号17L を出力することとなる。
【００１０】したがって、このように蛍光15により発生
した電気信号17L を含む電気信号17を画像処理し、プリ
ント配線基板31の表面をＣＲＴの画面上に表示すると、
このプリント配線基板31の基材露出領域31a と配線パタ
ーン31b との境界が不鮮明になるという問題があった。
した電気信号17L を含む電気信号17を画像処理し、プリ
ント配線基板31の表面をＣＲＴの画面上に表示すると、
このプリント配線基板31の基材露出領域31a と配線パタ
ーン31b との境界が不鮮明になるという問題があった。
【００１１】本発明は、このような問題を解消するため
になされたものであって、その目的は、表示手段の画面
にプリント配線基板のパターンとその境界を鮮明に表示
することを可能にする蛍光検出装置の提供にある。
になされたものであって、その目的は、表示手段の画面
にプリント配線基板のパターンとその境界を鮮明に表示
することを可能にする蛍光検出装置の提供にある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記目的は、図１に示す
ように、被検査体31に照射する光12を発生する光源11
と、この光12の照射により被検査体31から発生した蛍光
32を選択に透過する第１のフィルター14と、この第１の
フィルター14を通過した蛍光32を受光して電気信号に変
換する第１の光電変換手段16とを含んでなる蛍光検出装
置に、被検査体31と第１のフィルター14との間の蛍光32
の光路内に配設されて、被検査体31が反射した光12の反
射光13の一部13-1及び被検査体31から発生した蛍光32の
一部32-1を通過させて第１のフィルター14に入射させる
とともに、反射光13の残りの反射光13-2及び蛍光32の残
りの蛍光32-2とを反射する分割ミラー21と、分割ミラー
21により反射された反射光13-2及び蛍光32-2の共通の光
軸上に配設され、この反射光13-2を選択的に通過させる
波長選択フィルター22と、波長選択フィルター22を通過
した反射光13-2の光軸上に配設されて、第１のフィルタ
ー14と同じ光学特性を有する第２のフィルター23と、第
２のフィルター23に反射光13-2が入射した際、この第２
のフィルター23から発生した蛍光24を受光して電気信号
に変換する第２の光電変換手段25と、第１の光電変換手
段16と第２の光電変換手段25とに接続し、第１の光電変
換手段16から入力した電気信号から第２の光電変換手段
25から入力した電気信号を減算してなる電気信号を出力
する蛍光補回路26と、を付加してなることを特徴とする
蛍光検出装置により達成される。
ように、被検査体31に照射する光12を発生する光源11
と、この光12の照射により被検査体31から発生した蛍光
32を選択に透過する第１のフィルター14と、この第１の
フィルター14を通過した蛍光32を受光して電気信号に変
換する第１の光電変換手段16とを含んでなる蛍光検出装
置に、被検査体31と第１のフィルター14との間の蛍光32
の光路内に配設されて、被検査体31が反射した光12の反
射光13の一部13-1及び被検査体31から発生した蛍光32の
一部32-1を通過させて第１のフィルター14に入射させる
とともに、反射光13の残りの反射光13-2及び蛍光32の残
りの蛍光32-2とを反射する分割ミラー21と、分割ミラー
21により反射された反射光13-2及び蛍光32-2の共通の光
軸上に配設され、この反射光13-2を選択的に通過させる
波長選択フィルター22と、波長選択フィルター22を通過
した反射光13-2の光軸上に配設されて、第１のフィルタ
ー14と同じ光学特性を有する第２のフィルター23と、第
２のフィルター23に反射光13-2が入射した際、この第２
のフィルター23から発生した蛍光24を受光して電気信号
に変換する第２の光電変換手段25と、第１の光電変換手
段16と第２の光電変換手段25とに接続し、第１の光電変
換手段16から入力した電気信号から第２の光電変換手段
25から入力した電気信号を減算してなる電気信号を出力
する蛍光補回路26と、を付加してなることを特徴とする
蛍光検出装置により達成される。
【００１３】
【作用】本発明の蛍光検出装置においては、図１に示す
ように、被検査体31が反射した光12の反射光13及びこの
光12の照射により被検査体31から発生した蛍光32とを分
割ミラー21で分割し、この分割ミラー21を透過した反射
光13-1及び蛍光32-1を第１のフィルター14に入射させる
とともに、分割ミラー21が反射した反射光13-2及び蛍光
32-2とを波長選択フィルター22に入射している。
ように、被検査体31が反射した光12の反射光13及びこの
光12の照射により被検査体31から発生した蛍光32とを分
割ミラー21で分割し、この分割ミラー21を透過した反射
光13-1及び蛍光32-1を第１のフィルター14に入射させる
とともに、分割ミラー21が反射した反射光13-2及び蛍光
32-2とを波長選択フィルター22に入射している。
【００１４】第１の光電変換手段16は、反射光13-1が第
１のフィルター14に入射して発生させた蛍光15及び第１
のフィルター14をそのまま通過した蛍光32-1とを受光し
て変換した電気信号を蛍光補正回路26に入力し、また第
２の光電変換手段25は、波長選択フィルター22が選択的
に通過させた反射光13-2が第２のフィルター23に入射し
て発生させて蛍光24だけを受光して変換した電気信号を
蛍光補正回路26に入力する。
１のフィルター14に入射して発生させた蛍光15及び第１
のフィルター14をそのまま通過した蛍光32-1とを受光し
て変換した電気信号を蛍光補正回路26に入力し、また第
２の光電変換手段25は、波長選択フィルター22が選択的
に通過させた反射光13-2が第２のフィルター23に入射し
て発生させて蛍光24だけを受光して変換した電気信号を
蛍光補正回路26に入力する。
【００１５】蛍光補正回路26は、第１の光電変換手段16
から入力した電気信号から第２の光電変換手段25から入
力した電気信号を減算してなる電気信号、すなわち第１
の光電変換手段16が受光して光電変換した蛍光32-1に関
わる電気信号を出力する。
から入力した電気信号から第２の光電変換手段25から入
力した電気信号を減算してなる電気信号、すなわち第１
の光電変換手段16が受光して光電変換した蛍光32-1に関
わる電気信号を出力する。
【００１６】したがって、蛍光補正回路26が出力した電
気信号に基づいて、被検査体31、例えばプリント配線基
板31の表面を画像表示手段（図示せず）に画像として表
示させれば、その基材露出領域31a と配線パターン31b
及び基材露出領域31a と配線パターン31b との境界線は
鮮明に表示される。
気信号に基づいて、被検査体31、例えばプリント配線基
板31の表面を画像表示手段（図示せず）に画像として表
示させれば、その基材露出領域31a と配線パターン31b
及び基材露出領域31a と配線パターン31b との境界線は
鮮明に表示される。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の一実施例の蛍光検出装置につ
いて図１を参照して説明する。図１は、本発明の一実施
例の蛍光検出装置の説明図であって、同図(a) は蛍光検
出装置の要部の模式的な側面図、同図(b) はプリント配
線基板と光電変換手段が出力した電気信号との対応図で
ある。
いて図１を参照して説明する。図１は、本発明の一実施
例の蛍光検出装置の説明図であって、同図(a) は蛍光検
出装置の要部の模式的な側面図、同図(b) はプリント配
線基板と光電変換手段が出力した電気信号との対応図で
ある。
【００１８】なお、本明細書においては、同一部品、同
一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与して
ある。同図(a) に示すように本発明の一実施例の蛍光検
出装置は、図２を参照して説明した従来の蛍光検出装置
に、被検査体、例えば、プリント配線基板31と第１のフ
ィルター14との間の蛍光32の光路内に配設され、プリン
ト配線基板31を照射したレーザ光12の反射光13の一部の
反射光13-1及びこのプリント配線基板31から発生した蛍
光32の一部の蛍光32-1を通過させて第１のフィルター14
に入射させるとともに、反射光13の残りの反射光13-2及
び蛍光32の残りの蛍光32-2とを反射する分割ミラー21
と、分割ミラー21により反射された反射光13-2及び蛍光
32-2の共通の光軸上に配設され、この反射光13-2を選択
的に通過させる波長選択フィルター22と、波長選択フィ
ルター22を通過した反射光13-2の光軸上に配設されて、
第１のフィルター14と同じ光学特性、すなわち、蛍光32
は通過させるが反射光13は通過させない第２のフィルタ
ー23と、第２のフィルター23に反射光13-2が入射した
際、この第２のフィルター23から発生した蛍光24を受光
し、同図(b) に示すようなパルス状の電気信号27に変換
する第２の光電変換手段25と、第１の光電変換手段16と
第２の光電変換手段25とに接続し、第１の光電変換手段
16より入力した電気信号17から、第２の光電変換手段25
より入力した電気信号27を減算してなるパルス状の電気
信号28を出力する蛍光補正回路26、すなわち、アンプ26
a と減算回路26b とでなる蛍光補正回路26とを付加して
構成したものである。
一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与して
ある。同図(a) に示すように本発明の一実施例の蛍光検
出装置は、図２を参照して説明した従来の蛍光検出装置
に、被検査体、例えば、プリント配線基板31と第１のフ
ィルター14との間の蛍光32の光路内に配設され、プリン
ト配線基板31を照射したレーザ光12の反射光13の一部の
反射光13-1及びこのプリント配線基板31から発生した蛍
光32の一部の蛍光32-1を通過させて第１のフィルター14
に入射させるとともに、反射光13の残りの反射光13-2及
び蛍光32の残りの蛍光32-2とを反射する分割ミラー21
と、分割ミラー21により反射された反射光13-2及び蛍光
32-2の共通の光軸上に配設され、この反射光13-2を選択
的に通過させる波長選択フィルター22と、波長選択フィ
ルター22を通過した反射光13-2の光軸上に配設されて、
第１のフィルター14と同じ光学特性、すなわち、蛍光32
は通過させるが反射光13は通過させない第２のフィルタ
ー23と、第２のフィルター23に反射光13-2が入射した
際、この第２のフィルター23から発生した蛍光24を受光
し、同図(b) に示すようなパルス状の電気信号27に変換
する第２の光電変換手段25と、第１の光電変換手段16と
第２の光電変換手段25とに接続し、第１の光電変換手段
16より入力した電気信号17から、第２の光電変換手段25
より入力した電気信号27を減算してなるパルス状の電気
信号28を出力する蛍光補正回路26、すなわち、アンプ26
a と減算回路26b とでなる蛍光補正回路26とを付加して
構成したものである。
【００１９】このように構成した本発明の一実施例の蛍
光検出装置において、同図(a) に示すように、矢印Ｒ方
向に等速度で移動するプリント配線基板31の表面にレー
ザ光12を集光レンズ10を介して照射すると、この恰もプ
リント配線基板31を光源とするような光12の反射光13及
びこの光12の照射により基材露出領域31a から発生した
蛍光32とが発生して分割ミラー21に入射する。
光検出装置において、同図(a) に示すように、矢印Ｒ方
向に等速度で移動するプリント配線基板31の表面にレー
ザ光12を集光レンズ10を介して照射すると、この恰もプ
リント配線基板31を光源とするような光12の反射光13及
びこの光12の照射により基材露出領域31a から発生した
蛍光32とが発生して分割ミラー21に入射する。
【００２０】反射光13及び蛍光32とを入射した分割ミラ
ー21は、反射光13の一部である反射光13-1及び蛍光32の
一部である蛍光32-1を通過させて第１のフィルター14に
入射させるとともに、それぞれの残り、すなわち反射光
13-2及び蛍光32-2とを反射して波長選択フィルター22に
入射する。
ー21は、反射光13の一部である反射光13-1及び蛍光32の
一部である蛍光32-1を通過させて第１のフィルター14に
入射させるとともに、それぞれの残り、すなわち反射光
13-2及び蛍光32-2とを反射して波長選択フィルター22に
入射する。
【００２１】第１の光電変換手段、例えば、第１のホト
マル16は、反射光13-1が第１のフィルター14に入射して
発生させる蛍光15と第１のフィルター14をそのまま通過
した蛍光32-1とを受光して電気信号17に変換し、また、
第２の光電変換手段、例えば、第２のホトマル25は、波
長選択フィルター22が入射した反射光13-2及び蛍光32-2
の中から選択的に通過させた反射光13-2が第２のフィル
ター23に入射した際に、この第２のフィルター23から発
生した蛍光24を受光して電気信号27に変換する。
マル16は、反射光13-1が第１のフィルター14に入射して
発生させる蛍光15と第１のフィルター14をそのまま通過
した蛍光32-1とを受光して電気信号17に変換し、また、
第２の光電変換手段、例えば、第２のホトマル25は、波
長選択フィルター22が入射した反射光13-2及び蛍光32-2
の中から選択的に通過させた反射光13-2が第２のフィル
ター23に入射した際に、この第２のフィルター23から発
生した蛍光24を受光して電気信号27に変換する。
【００２２】蛍光補正回路26は、電気信号17を、その減
算回路26b に直接入力させ、また電気信号27については
アンプ26a により増幅調整して減算回路26b に入力し、
そして電気信号17から電気信号27を減算してなる電気信
号、すなわち、第１のホトマル16が光電変換した蛍光32
-1に関連する電気信号28( 図２において電気信号17から
電気信号17L を除いた電気信号) だけを出力する。
算回路26b に直接入力させ、また電気信号27については
アンプ26a により増幅調整して減算回路26b に入力し、
そして電気信号17から電気信号27を減算してなる電気信
号、すなわち、第１のホトマル16が光電変換した蛍光32
-1に関連する電気信号28( 図２において電気信号17から
電気信号17L を除いた電気信号) だけを出力する。
【００２３】したがって、プリント配線基板31の全表面
にレーザ光12の照射を行なって蛍光補正回路27から得ら
れた電気信号28を画像処理装置（図示せず）により画像
処理し、表示手段、例えばＣＲＴ（図示せず）にプリン
ト配線基板31の表面を表示すれば、基材露出領域31a 及
び配線パターン31b の表示は素より、基材露出領域31a
と配線パターン31b との境界線も鮮明に表示できること
となり、プリント配線基板31のパターン検査を正確に行
なうことが可能となる。
にレーザ光12の照射を行なって蛍光補正回路27から得ら
れた電気信号28を画像処理装置（図示せず）により画像
処理し、表示手段、例えばＣＲＴ（図示せず）にプリン
ト配線基板31の表面を表示すれば、基材露出領域31a 及
び配線パターン31b の表示は素より、基材露出領域31a
と配線パターン31b との境界線も鮮明に表示できること
となり、プリント配線基板31のパターン検査を正確に行
なうことが可能となる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、プリント
配線基板等の表面をＣＲＴ等の表示面に鮮明に表示する
ことを可能にする蛍光検出装置の提供を可能とする。
配線基板等の表面をＣＲＴ等の表示面に鮮明に表示する
ことを可能にする蛍光検出装置の提供を可能とする。
【図１】は、本発明の一実施例の蛍光検出装置の説明図
【図２】は、従来の蛍光検出装置の説明図
10は、集光レンズ、 11は、アルゴンレーザ (光源) 、 12は、レーザ光 (光) 、 13は,13-1,13-2は反射光、 14は、第１のフィルター、 15は、蛍光、 16は、第１のホトマル (第１の光電変換手段) 、 17は、電気信号、 17H は、ハイレベルの電気信号、 17L は、ローレベルの電気信号、 21は、分割ミラー、 22は、波長選択フィルター、 23は、第２のフィルター、 24は、蛍光、 25は、第２のホトマル (光電変換手段) 、 26は、蛍光補正回路、 26a は、アンプ、 26b は、減算回路、 27,28 は、電気信号、 31は、プリント配線基板 (被検査体) 、 31a は、基材露出領域、 31b は、配線パターン、 32,32-1,32-2は蛍光をそれぞれ示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 13/04 Ｍ 8509−4Ｅ
Claims (1)
- 【請求項１】 被検査体(31)に照射する光(12)を発生す
る光源(11)と、この光(12)の照射により被検査体(31)か
ら発生した蛍光(32)を選択に透過する第１のフィルター
(14)と、この第１のフィルター(14)を通過した蛍光(32)
を受光して電気信号に変換する第１の光電変換手段(16)
とを含んでなる蛍光検出装置に、 前記被検査体(31)と前記第１のフィルター(14)との間の
前記蛍光(32)の光軸上に配設されて、被検査体(31)が反
射した前記光(12)の反射光(13)の一部(13-1)及びこの被
検査体(31)から発生した前記蛍光(32)の一部(32-1)を通
過させて前記第１のフィルター(14)に入射させるととも
に、前記反射光(13)の残りの反射光(13-2)及び前記蛍光
(32)の残りの蛍光(32-2)とを反射する分割ミラー(21)
と、 前記分割ミラー(21)により反射された前記反射光(13-2)
及び前記蛍光(32-2)の共通の光軸上に配設されて、この
反射光(13-2)を選択的に通過させる波長選択フィルター
(22)と、 前記波長選択フィルター(22)を通過した反射光(13-2)の
光軸上に配設されて、前記第１のフィルター(14)と同じ
光学特性を有する第２のフィルター(23)と、 前記第２のフィルター(23)に前記反射光(13-2)が入射し
た際に、この第２のフィルター(23)から発生する蛍光(2
4)を受光して電気信号に変換する第２の光電変換手段(2
5)と、 前記第１の光電変換手段(16)と前記第２の光電変換手段
(25)とに接続し、第１の光電変換手段(16)から入力した
電気信号から第２の光電変換手段(25)から入力した電気
信号を減算してなる電気信号を出力する蛍光補正回路(2
6)と、を付加して構成したことを特徴とする蛍光検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12589292A JPH05322785A (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | 蛍光検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12589292A JPH05322785A (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | 蛍光検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05322785A true JPH05322785A (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=14921504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12589292A Withdrawn JPH05322785A (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | 蛍光検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05322785A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108663670A (zh) * | 2018-05-15 | 2018-10-16 | 武汉万集信息技术有限公司 | 激光雷达光机装置 |
-
1992
- 1992-05-19 JP JP12589292A patent/JPH05322785A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108663670A (zh) * | 2018-05-15 | 2018-10-16 | 武汉万集信息技术有限公司 | 激光雷达光机装置 |
| CN108663670B (zh) * | 2018-05-15 | 2021-06-01 | 武汉万集信息技术有限公司 | 激光雷达光机装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990803 |