JPH0533111U - 共焦点用光スキヤナ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 回転摺動部の要らない小型の共焦点用光スキ
ャナを実現する。 【構成】 複数のピンホ−ルが形成されたピンホ−ル基
板１１を走査させピンホ−ル基板を通過したレ−ザ光を
試料に照射する共焦点用光スキャナにおいて、ピンホ−
ル基板は正方または六方に配置形成された複数のピンホ
−ルを有し、このピンホ−ル基板をＸおよびＹ方向に動
作させるための２次元アクチュエ−タ２３，２５を備え
たことを特徴とする。また、前記共焦点用光スキャナに
おいて、その焦点位置にピンホ−ル基板が配置されるよ
うに一体化されると共に、ピンホ−ル基板に正方または
六方に配置形成された複数のピンホ−ルとは光軸に対し
て同位置となるように配置形成された複数のマイクロレ
ンズを有する集光基板２１を備えたことを特徴とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、共焦点顕微鏡などに用いるピンホ−ル基板を走査する共焦点用光ス キャナの走査手段に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

図３は共焦点用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡の従来例を示す構成図である 。図３において、図示しない光源からの出射光は、偏向子１ａ、ビ−ムスプリッ タ２を通って、基板３ａに複数のピンホ−ル３ｂが螺旋状に形成されているピン ホ−ル基板３に照射される。この照射光の内、ピンホ−ル基板３に螺旋状に配置 された多数のピンホ−ル３ｂの幾つかを通過した光は、１／４波長板５、対物レ ンズ６を経て試料７に集光される。試料７からの反射光は、同一の光路を通って 、ピンホ−ル基板３のピンホ−ル３ｂの１つに集光され、ピンホ−ル３ｂを通っ て、ビ−ムスプリッタ２、偏向子１ｂを経て、接眼レンズ８を介して、試料７の 像を目で捕らえることができる。この装置では、ピンホ−ル基板３をモ−タ４で 一定速度で回転させており、ピンホ−ル基板３の回転に伴うピンホ−ル３ｂの移 動により、試料７への集束光点を走査している。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記従来技術に示す共焦点用光スキャナにおいて、光の走査手 段は、螺旋状に配置形成された複数のピンホ−ル３ｂを有するピンホ−ル基板３ をモ−タ４で一定速度で回転させることにより、ピンホ−ル基板３を通過した光 を試料７に対して走査させている。したがって、走査手段として、ピンホ−ル基 板３を回転させるためにモ−タ４を用いており、大型で、また、回転摺動部があ るため、耐久性も弱く、振動も大きいという課題があった。

【０００４】 本考案は上記従来技術の課題を踏まえて成されたものであり、回転摺動部の要 らない小型の共焦点用光スキャナを提供することを目的としたものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するための本考案の構成は、 複数のピンホ−ルが形成されたピンホ−ル基板を走査させ、このピンホ−ル基 板を通過したレ−ザ光を試料に照射する共焦点用光スキャナにおいて、 前記ピンホ−ル基板は正方または六方に配置形成された前記複数のピンホ−ル を有し、このピンホ−ル基板をＸおよびＹ方向に動作させるための２次元アクチ ュエ−タを備えた構成としたことを特徴とするものである。 また、前記共焦点用光スキャナにおいて、 その焦点位置に前記ピンホ−ル基板が配置されるように一体化されると共に、 前記ピンホ−ル基板に正方または六方に配置形成された前記複数のピンホ−ルと は光軸に対して同位置となるように配置形成された複数のマイクロレンズを有す る集光基板を備えた構成としたことを特徴とするものである。

【０００６】

【作用】

本考案によれば、正方または六方に配置形成された複数のピンホ−ルを有する ピンホ−ル基板をアクチュエ−タによりＸおよびＹ方向に駆動させて試料への照 射光を走査している。したがって、モ−タではなく、２次元アクチュエ−タを用 いて走査を行う構成であり、回転摺動部の要らない小型の装置にできる。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案を図面に基づいて説明する。 図１は本考案の共焦点用光スキャナに用いられるピンホ−ル基板部分の一実施 例を示す構成図およびそれを用いた場合のピンホ−ルの走査図である。 図１（イ）において、１１はピンホ−ル基板であり、このピンホ−ル基板１１ には、複数のピンホ−ルが正方に配置されて形成してある。１２はピンホ−ル基 板１１を支持する支持板である。１３はピンホ−ル基板１１を支持板１２を介し てＸ方向に駆動させるＸ方向アクチュエ−タであり、例えば、ＰＺＴを用いてい る。１４はＸ方向アクチュエ−タ１３を支持する支持板である。１５はピンホ− ル基板１１を支持板１４を介してＹ方向に駆動させるＹ方向アクチュエ−タであ り、例えば、ＰＺＴを用いており、他端は固定部に固定されている。このような 構成のピンホ−ル基板１１は、Ｘ方向およびＹ方向に直交した２つのアクチュエ −タ１３，１５により２次元に駆動される。この時、ピンホ−ル基板１１に正方 に配置形成された複数のピンホ−ルそれぞれが図１（ロ）に示すようにラスタ走 査される。なお、このピンホ−ル基板部分を用いた共焦点用光スキャナとしての 動作は、図３装置と同様であるため、その説明は省略するが、このピンホ−ル基 板部分により共焦点効果を得ることができる。したがって、モ−タではなく、２ 次元アクチュエ−タを用いて光走査を行うため、小型化が可能となり、また、回 転摺動部が要らないため、耐久性も向上できる。

【０００８】 なお、上記実施例において、ピンホ−ル基板１１に形成された複数のピンホ− ルの配置は正方に限るものではなく、六方でも良い。また、ピンホ−ル基板１１ を２次元方向に動作させるためのアクチュエ−タは、ＰＺＴに限らず、静電場を 用いたものであっても良い。

【０００９】 図２は本考案の共焦点用光スキャナに用いられるピンホ−ル基板部分の他の実 施例を示す構成図である。なお、図２において図１と同一要素には同一符号を付 して重複する説明は省略する。 図２（イ）および（ロ）において、２１は複数のマイクロレンズが正方または 六方に配置されて形成された集光基板であり、この集光基板６に形成された複数 のマイクロレンズは、ピンホ−ル基板１１に形成された複数のピンホ−ルと光軸 に対して同一配置とされている。また、集光基板２１に形成されたマイクロレン ズの焦点位置にピンホ−ル基板１１に形成されたピンホ−ルがそれぞれ配置され るように、支持板２２により支持されている。２３は集光基板２１およびピンホ −ル基板１１を支持板２２を介してＸ方向に駆動させるＸ方向アクチュエ−タで ある。２４はＸ方向アクチュエ−タ２３を支持する支持板である。２５は集光基 板２１およびピンホ−ル基板１１を支持板２４を介してＹ方向に駆動させるＹ方 向アクチュエ−タであり、他端は固定部に固定されている。このような構成の集 光基板２１およびピンホ−ル基板１１は、Ｘ方向およびＹ方向に直交した２つの アクチュエ−タ２３，２５により２次元に同時に駆動されると共に、ピンホ−ル 基板１１の前に一体で配置した集光基板２１により、図１の装置より、光利用効 率を向上でき、ピンホ−ル基板１１からの表面反射も低減できる効果がある。な お、図示はしないが、図２のピンホ−ル基板部分を用いた共焦点用光スキャナに おいても、ピンホ−ル基板部分により共焦点効果を得ることができる。

【００１０】

【考案の効果】

以上、実施例と共に具体的に説明したように、本考案によれば、モ−タではな く、２次元アクチュエ−タを用いて、光走査を行うため、ピンホ−ル基板の面積 は光束径程度で良く、アクチュエ−タも小さいため、小型化が可能となり、また 、回転摺動部が要らないため、耐久性も向上できる共焦点用光スキャナを実現で きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の共焦点用光スキャナに用いられるピン
ホ−ル基板部分の一実施例を示す構成図およびそれを用
いた場合のピンホ−ルの走査図である。

【図２】本考案の共焦点用光スキャナに用いられるピン
ホ−ル基板部分の他の実施例を示す構成図である。

【図３】共焦点用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡の一
例を示す構成図である。

【符号の説明】

１１ ピンホ−ル基板 １２、１４、２２、２４ 支持板 １３、１５、２３、２５ アクチュエ−タ ２１ 集光基板

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のピンホ−ルが形成されたピンホ−
   ル基板を走査させ、このピンホ−ル基板を通過したレ−
   ザ光を試料に照射する共焦点用光スキャナにおいて、 前記ピンホ−ル基板は正方または六方に配置形成された
   前記複数のピンホ−ルを有し、このピンホ−ル基板をＸ
   およびＹ方向に動作させるための２次元アクチュエ−タ
   を備えた構成としたことを特徴とする共焦点用光スキャ
   ナ。
2. 【請求項２】 請求項１記載の共焦点用光スキャナにお
   いて、 その焦点位置に前記ピンホ−ル基板が配置されるように
   一体化されると共に、前記ピンホ−ル基板に正方または
   六方に配置形成された前記複数のピンホ−ルとは光軸に
   対して同位置となるように配置形成された複数のマイク
   ロレンズを有する集光基板を備えた構成としたことを特
   徴とする共焦点用光スキャナ。