JPH03189601A - ピンホール基板及びその作製方法 - Google Patents
ピンホール基板及びその作製方法Info
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- JPH03189601A JPH03189601A JP32916489A JP32916489A JPH03189601A JP H03189601 A JPH03189601 A JP H03189601A JP 32916489 A JP32916489 A JP 32916489A JP 32916489 A JP32916489 A JP 32916489A JP H03189601 A JPH03189601 A JP H03189601A
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- Japan
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- pinhole
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- light
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、球面波発生装置や共焦点顕微鏡等に用いるピ
ンホール基板に関するものである。
ンホール基板に関するものである。
〈従来の技術〉
第４図は螺旋状に配置された多数のピンホールを有する
ピンホール基板を用いた共焦点顕微鏡の一例を示す構成
図である。第４図において、図示しない光源からの出射
光は偏向子１ａ、ビームスプリッタ２を通ってピンホー
ル基板３に照射される。この照射光の内、ピンホール基
板３に螺旋状に配置された多数のピンホール３ａの幾つ
かを通過した光は、１／４波長板４、対物レンズ５を経
て試料６に集光される。試料６からの反射光は同一の光
路を通ってピンホール基板３のピンホール３ａの１つに
集光され、ピンホール３ａを通って、ビームスプリッタ
２、偏向子１ｂを経て接眼レンズ７を介して試料６の像
を目で捕らえることができる。この装置ではピンホール
基板３をモータ３ｂで一定速度で回転させており、ピン
ホール基板３の回転に伴うピンホール３ａの移動により
、試料６への集束光点を走査している。
ピンホール基板を用いた共焦点顕微鏡の一例を示す構成
図である。第４図において、図示しない光源からの出射
光は偏向子１ａ、ビームスプリッタ２を通ってピンホー
ル基板３に照射される。この照射光の内、ピンホール基
板３に螺旋状に配置された多数のピンホール３ａの幾つ
かを通過した光は、１／４波長板４、対物レンズ５を経
て試料６に集光される。試料６からの反射光は同一の光
路を通ってピンホール基板３のピンホール３ａの１つに
集光され、ピンホール３ａを通って、ビームスプリッタ
２、偏向子１ｂを経て接眼レンズ７を介して試料６の像
を目で捕らえることができる。この装置ではピンホール
基板３をモータ３ｂで一定速度で回転させており、ピン
ホール基板３の回転に伴うピンホール３ａの移動により
、試料６への集束光点を走査している。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら上記従来技術に示す螺旋状に配置された多
数のピンホール３ａを有するピンホール基板３に図示し
ない光源から光が照射された際、ピンホール３ａの開口
面積が１％とすれば、ピンホール３ａを通過する光はピ
ンホール基板３への全照射光の１％、即ち光の利用効率
が１％と非常に悪いものであるという課題があった。
数のピンホール３ａを有するピンホール基板３に図示し
ない光源から光が照射された際、ピンホール３ａの開口
面積が１％とすれば、ピンホール３ａを通過する光はピ
ンホール基板３への全照射光の１％、即ち光の利用効率
が１％と非常に悪いものであるという課題があった。
本発明は上記従来技術の課題を踏まえて成されたもので
あり、光利用効率を向上したピンホール基板を提供する
ことを目的としたものである。
あり、光利用効率を向上したピンホール基板を提供する
ことを目的としたものである。
く課題を解決するための手段〉
上記諜Ｕを解決するための本発明の構成は、ピンホール
が設けられた基板の入射光側の前記ピンホールの入口に
透明樹脂を球面状に硬化して形成されたマイクロレンズ
を備えた構成としたことを特徴とするものであり、その
作製方法として、ピンホールが設けられた基板の入射光
側の面に光硬化型透明樹脂を塗布し、次いで前記基板の
出射光側の面に強い強度の光を照射して前記ピンホール
から球面波を発生させて、前記光硬化型透明樹脂を球面
状に硬化させ、その後球面状に硬化した部分以外の樹脂
を除去することにより、前記ピンホルの入口に球面状の
マイクロレンズを形成させることを特徴とするものであ
る。
が設けられた基板の入射光側の前記ピンホールの入口に
透明樹脂を球面状に硬化して形成されたマイクロレンズ
を備えた構成としたことを特徴とするものであり、その
作製方法として、ピンホールが設けられた基板の入射光
側の面に光硬化型透明樹脂を塗布し、次いで前記基板の
出射光側の面に強い強度の光を照射して前記ピンホール
から球面波を発生させて、前記光硬化型透明樹脂を球面
状に硬化させ、その後球面状に硬化した部分以外の樹脂
を除去することにより、前記ピンホルの入口に球面状の
マイクロレンズを形成させることを特徴とするものであ
る。
〈作用〉
本発明によると、ピンホールの開口面積より広い面積を
有するマイクロレンズをピンホールの入射光側に設けて
おり、より多くの入射光をピンホールに集めることがで
きる。
有するマイクロレンズをピンホールの入射光側に設けて
おり、より多くの入射光をピンホールに集めることがで
きる。
く実總例〉
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明に係わるピンホール基板の一実施例を示
す構成図である。第１図において、ピンホール１０ｂが
設けられた基板１０ａの入射光側には、光硬化型透明樹
脂が球面状に硬化して成るマイクロレンズ１０ｃがピン
ホール１０ｂの入口部分に形成されている。ここで、第
２図は本発明に係わるピンホール基板の作製方法を示す
工程図である。第２図において、基板１０ａにはピンホ
ール１０ｂが設けである。この基板１０ａの入射光側に
光硬化型透明樹脂２０を塗布する（イ図）。
す構成図である。第１図において、ピンホール１０ｂが
設けられた基板１０ａの入射光側には、光硬化型透明樹
脂が球面状に硬化して成るマイクロレンズ１０ｃがピン
ホール１０ｂの入口部分に形成されている。ここで、第
２図は本発明に係わるピンホール基板の作製方法を示す
工程図である。第２図において、基板１０ａにはピンホ
ール１０ｂが設けである。この基板１０ａの入射光側に
光硬化型透明樹脂２０を塗布する（イ図）。
この時、ピンホール１０ｂの孔径は１〜数十μｍと小さ
いなめ、表面張力により光硬化型透明樹脂２０がピンホ
ール１０ｂを通って出射光側に漏れることはない、その
後、出射光側から強い強度の光を基板１０ａに照射させ
ると、ピンホール１０ｂを通った光は、光硬化型透明樹
脂２０が塗布された基板１０ａの入射光側に球面波とな
って発生する。光硬化型透明樹脂２０は、強い強度の光
が照射された部分が硬化していくため、球面波の照射さ
れた部分２０ａだけが球面状に硬化していく（四国）０
次に、硬化された以外の液状部分は洗い流して除去する
ことにより、基板１０ａには光硬化型透明樹脂２０が球
面状に硬化して成るマイクロレンズ１０Ｃ（球面状に硬
化した部分２０ａ）がピンホール１０ｂの入口部分に形
成される（ハス）、第１図に戻り、このピンホール基板
１０に図示しない光源から光が照射されると、マイクロ
レンズ１０ｃにより入射光がピンホール１０ｂの入口に
集められ、マイクロレンズ１０ｃがない構成のものに比
べて、より多くの光を集光できるなめ、光の利用効率を
向上することができる。なお、マイクロレンズ１０ｃが
ピンホール１０ｂの出射光側に設け゛であると、出射光
には波面収差が発生し、きれいな球面波を得ることがで
きないが、マイクロレンズ１０ｃをピンホール１０ｂの
入射光側に設けであるなめ、出射光は波面収差の小さい
、きれいな球面波となる。
いなめ、表面張力により光硬化型透明樹脂２０がピンホ
ール１０ｂを通って出射光側に漏れることはない、その
後、出射光側から強い強度の光を基板１０ａに照射させ
ると、ピンホール１０ｂを通った光は、光硬化型透明樹
脂２０が塗布された基板１０ａの入射光側に球面波とな
って発生する。光硬化型透明樹脂２０は、強い強度の光
が照射された部分が硬化していくため、球面波の照射さ
れた部分２０ａだけが球面状に硬化していく（四国）０
次に、硬化された以外の液状部分は洗い流して除去する
ことにより、基板１０ａには光硬化型透明樹脂２０が球
面状に硬化して成るマイクロレンズ１０Ｃ（球面状に硬
化した部分２０ａ）がピンホール１０ｂの入口部分に形
成される（ハス）、第１図に戻り、このピンホール基板
１０に図示しない光源から光が照射されると、マイクロ
レンズ１０ｃにより入射光がピンホール１０ｂの入口に
集められ、マイクロレンズ１０ｃがない構成のものに比
べて、より多くの光を集光できるなめ、光の利用効率を
向上することができる。なお、マイクロレンズ１０ｃが
ピンホール１０ｂの出射光側に設け゛であると、出射光
には波面収差が発生し、きれいな球面波を得ることがで
きないが、マイクロレンズ１０ｃをピンホール１０ｂの
入射光側に設けであるなめ、出射光は波面収差の小さい
、きれいな球面波となる。
第３図は本発明に係わるピンホール基板の他の作製方法
を示す図である。この作製方法では、ピンホール１０ｂ
が設けられた基板１０ａの出射光側から透明樹脂３０を
ピンホール１０ｂを通して圧力をかけて注入する。基板
１０ａの入射光側には表面張力により球面状に透明樹脂
３０が押出された部分３０ａが形成される。この球面状
に形成゛された透明樹脂３０ａを硬化させることにより
、ピンホール基板１０が作製できる。この作製方法に用
いる透明樹脂３０は光硬化型に限るものではなく、時間
硬化型や熱硬化型を用いても可能である。
を示す図である。この作製方法では、ピンホール１０ｂ
が設けられた基板１０ａの出射光側から透明樹脂３０を
ピンホール１０ｂを通して圧力をかけて注入する。基板
１０ａの入射光側には表面張力により球面状に透明樹脂
３０が押出された部分３０ａが形成される。この球面状
に形成゛された透明樹脂３０ａを硬化させることにより
、ピンホール基板１０が作製できる。この作製方法に用
いる透明樹脂３０は光硬化型に限るものではなく、時間
硬化型や熱硬化型を用いても可能である。
又、ガラス基板の片面に薄膜を形成させ、薄膜にピンホ
ールか設けであるような構成の場合においても、第２図
の作製方法によれば、本発明のピンホール基板を作製す
ることは可能であり、同様の効果を得ることができる。
ールか設けであるような構成の場合においても、第２図
の作製方法によれば、本発明のピンホール基板を作製す
ることは可能であり、同様の効果を得ることができる。
更に、マイクロレンズを１回で形成させるのではなく、
何回かに分けて形成させても良く、その場合、各層の屈
折率や粘性を変化させることにより、マイクロレンズ部
分の設計の自由度を広くすることができ、第２図に示す
作製方法だけでなく、第２図と第３図の作製方法を組合
せて用いても可能である。
何回かに分けて形成させても良く、その場合、各層の屈
折率や粘性を変化させることにより、マイクロレンズ部
分の設計の自由度を広くすることができ、第２図に示す
作製方法だけでなく、第２図と第３図の作製方法を組合
せて用いても可能である。
〈発明の効果〉
以上、実施例と共に具体的に説明したように、本発明に
よれば、光硬化や注入等の方法を用いて容易に形成でき
る球面状のマイクロレンズをピンホールの入射光側に設
けることにより、より多くの入射光をピンホールに集光
できるので、光の利用効率を向上できるピンホール基板
を実現することかできる。
よれば、光硬化や注入等の方法を用いて容易に形成でき
る球面状のマイクロレンズをピンホールの入射光側に設
けることにより、より多くの入射光をピンホールに集光
できるので、光の利用効率を向上できるピンホール基板
を実現することかできる。
第１図は本発明に係わるピンホール基板の一実籍例を示
す構成図、第２図は本発明に係わるピンホール基板の作
製方法を示す工程図、第３図は本発明に係わるピンホー
ル基板の他の作製方法を示す図、第４図は従来のピンホ
ール基板を用いた共焦点頴微鏡の構成図である。 １０・・・ピンホール基板、１０ａ・・・基板、１０ｂ
・・・ピンホール、１０ｃ・・・マイクロレンズ、２０
・・・光硬化型透明樹脂、２０ａ・・・球面状に硬化し
た部分。 第３図 第２ 図 第４図
す構成図、第２図は本発明に係わるピンホール基板の作
製方法を示す工程図、第３図は本発明に係わるピンホー
ル基板の他の作製方法を示す図、第４図は従来のピンホ
ール基板を用いた共焦点頴微鏡の構成図である。 １０・・・ピンホール基板、１０ａ・・・基板、１０ｂ
・・・ピンホール、１０ｃ・・・マイクロレンズ、２０
・・・光硬化型透明樹脂、２０ａ・・・球面状に硬化し
た部分。 第３図 第２ 図 第４図
Claims (2)
- （１）ピンホールが設けられた基板の入射光側の前記ピ
ンホールの入口に透明樹脂を球面状に硬化して形成され
たマイクロレンズを備えた構成としたことを特徴とする
ピンホール基板。 - （２）ピンホールが設けられた基板の入射光側の面に光
硬化型透明樹脂を塗布し、次いで前記基板の出射光側の
面に強い強度の光を照射して前記ピンホールから球面波
を発生させて、前記光硬化型透明樹脂を球面状に硬化さ
せ、その後球面状に硬化した部分以外の樹脂を除去する
ことにより、前記ピンホールの入口に球面状のマイクロ
レンズを形成させることを特徴とするピンホール基板の
作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32916489A JP2578376B2 (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | ピンホール基板及びその作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32916489A JP2578376B2 (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | ピンホール基板及びその作製方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03189601A true JPH03189601A (ja) | 1991-08-19 |
| JP2578376B2 JP2578376B2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=18218360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32916489A Expired - Fee Related JP2578376B2 (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | ピンホール基板及びその作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2578376B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0527714U (ja) * | 1991-09-13 | 1993-04-09 | 横河電機株式会社 | 透過型共焦点用光スキヤナ |
| JPH0533111U (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | 横河電機株式会社 | 共焦点用光スキヤナ |
| JPH0533109U (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | 横河電機株式会社 | 共焦点レ−ザ顕微鏡 |
| JPH0575719U (ja) * | 1992-03-23 | 1993-10-15 | 横河電機株式会社 | ピンホール走査型レーザ顕微鏡 |
| EP0727684A3 (en) * | 1991-10-31 | 1996-10-30 | Yokogawa Electric Corp | Confocal optical scanner |
| JPH11258409A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-24 | Kanagawa Acad Of Sci & Technol | 集光素子の製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102821828B1 (ko) * | 2019-08-28 | 2025-06-17 | 엘지전자 주식회사 | 전자 디바이스 |
-
1989
- 1989-12-19 JP JP32916489A patent/JP2578376B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0527714U (ja) * | 1991-09-13 | 1993-04-09 | 横河電機株式会社 | 透過型共焦点用光スキヤナ |
| JPH0533111U (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | 横河電機株式会社 | 共焦点用光スキヤナ |
| JPH0533109U (ja) * | 1991-10-14 | 1993-04-30 | 横河電機株式会社 | 共焦点レ−ザ顕微鏡 |
| EP0727684A3 (en) * | 1991-10-31 | 1996-10-30 | Yokogawa Electric Corp | Confocal optical scanner |
| JPH0575719U (ja) * | 1992-03-23 | 1993-10-15 | 横河電機株式会社 | ピンホール走査型レーザ顕微鏡 |
| JPH11258409A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-24 | Kanagawa Acad Of Sci & Technol | 集光素子の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2578376B2 (ja) | 1997-02-05 |
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