JPH05332696A - 熱交換装置 - Google Patents
熱交換装置Info
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- JPH05332696A JPH05332696A JP13902792A JP13902792A JPH05332696A JP H05332696 A JPH05332696 A JP H05332696A JP 13902792 A JP13902792 A JP 13902792A JP 13902792 A JP13902792 A JP 13902792A JP H05332696 A JPH05332696 A JP H05332696A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、液漏れを早期に発見し、漏れた液
体がハロゲンランプなどのエネルギー源にかかることの
ないようにした安全機能を備えた熱交換装置を提供する
ことを目的とする。 【構成】 本発明では、ハロゲンランプ４と、液体流路
３との間に窒素ガスを封入した密閉空間６を介在させ、
密閉空間６にとりつけられた温度センサ９および圧力セ
ンサ１０によりこの密閉空間６の温度と圧力を検出する
ことにより液漏れを検出するようにしたことを特徴とす
る。
体がハロゲンランプなどのエネルギー源にかかることの
ないようにした安全機能を備えた熱交換装置を提供する
ことを目的とする。 【構成】 本発明では、ハロゲンランプ４と、液体流路
３との間に窒素ガスを封入した密閉空間６を介在させ、
密閉空間６にとりつけられた温度センサ９および圧力セ
ンサ１０によりこの密閉空間６の温度と圧力を検出する
ことにより液漏れを検出するようにしたことを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱交換装置に係り、特
にその熱交換部の薬液等の漏れ検出に関する。
にその熱交換部の薬液等の漏れ検出に関する。
【０００２】
【従来の技術】強腐食性薬液を一般産業用に用いる場合
は、該液温によって反応速度が大幅に変化するため、常
に、液温の制御には綿密な注意を払う必要がある。
は、該液温によって反応速度が大幅に変化するため、常
に、液温の制御には綿密な注意を払う必要がある。
【０００３】そこで、液温の制御を行うために恒温槽等
のいろいろな温度制御装置が開発されている。
のいろいろな温度制御装置が開発されている。
【０００４】このような温度制御装置の１つに、図４に
示すように、処理液の充填された反応槽１０１から、配
管１０２を介して、ポンプ１０３によって処理液を循環
せしめ、熱交換部１０４で熱交換を行い、フィルタ１０
５を介して温度制御および不純物除去のなされた処理液
を反応槽に戻すように構成されたものがある。
示すように、処理液の充填された反応槽１０１から、配
管１０２を介して、ポンプ１０３によって処理液を循環
せしめ、熱交換部１０４で熱交換を行い、フィルタ１０
５を介して温度制御および不純物除去のなされた処理液
を反応槽に戻すように構成されたものがある。
【０００５】従来の熱交換部は、図５にその一例を示す
如く、ハロゲンランプ２０４と、この周りを覆う円筒状
の石英ガラスからなる内筒２０３と、さらにこの外側に
配設された外筒２０１とからなり、この外筒２０１と内
筒２０３との間に形成される空間２０５に、処理容器か
らパイプ等で導出されてくる液体、例えば半導体処理薬
液に対し温度制御を行なうようになっている。
如く、ハロゲンランプ２０４と、この周りを覆う円筒状
の石英ガラスからなる内筒２０３と、さらにこの外側に
配設された外筒２０１とからなり、この外筒２０１と内
筒２０３との間に形成される空間２０５に、処理容器か
らパイプ等で導出されてくる液体、例えば半導体処理薬
液に対し温度制御を行なうようになっている。
【０００６】ところで、この装置では流体流路が石英ガ
ラスで形成されているが、長期にわたって使用している
と薬液により劣化が生じ、孔蝕、割れ等を生じることが
ある。このような流路の破損によって熱源であるハロゲ
ンランプに液体がかかると急激な冷却による破損、漏
電、液体の蒸発によるガスの発生、爆発等の危険があっ
た。 これは熱源がハロゲンランプである場合のみなら
ず、薬液により劣化を生じるペルチェ素子等の冷却源な
どの場合にも適用可能である。
ラスで形成されているが、長期にわたって使用している
と薬液により劣化が生じ、孔蝕、割れ等を生じることが
ある。このような流路の破損によって熱源であるハロゲ
ンランプに液体がかかると急激な冷却による破損、漏
電、液体の蒸発によるガスの発生、爆発等の危険があっ
た。 これは熱源がハロゲンランプである場合のみなら
ず、薬液により劣化を生じるペルチェ素子等の冷却源な
どの場合にも適用可能である。
【０００７】本発明は、前記実情に鑑みてなされたもの
で、液漏れを早期に発見し、漏れた液体がハロゲンラン
プなどのエネルギー源にかかることのないようにした安
全機能を備えた熱交換装置を提供することを目的とす
る。
で、液漏れを早期に発見し、漏れた液体がハロゲンラン
プなどのエネルギー源にかかることのないようにした安
全機能を備えた熱交換装置を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そこで本発明の熱交換装
置は、熱源または冷却源からなるエネルギー源と、前記
エネルギー源の周りに配設された内筒と中間筒とからな
り、不活性気体を気密的に充填した密閉空間部と、前記
中間筒との間の空間に、前記エネルギー源とのエネルギ
ー授受を行う液体の流路を構成する外筒と、前記密閉空
間部の圧力および温度を測定し、前記中間筒または内筒
からの液体の漏れを検出する検出部とを具備したことを
特徴とする。
置は、熱源または冷却源からなるエネルギー源と、前記
エネルギー源の周りに配設された内筒と中間筒とからな
り、不活性気体を気密的に充填した密閉空間部と、前記
中間筒との間の空間に、前記エネルギー源とのエネルギ
ー授受を行う液体の流路を構成する外筒と、前記密閉空
間部の圧力および温度を測定し、前記中間筒または内筒
からの液体の漏れを検出する検出部とを具備したことを
特徴とする。
【０００９】また本発明の第２の熱交換装置は、ハロゲ
ンランプからなる熱源と、前記熱源の周りに配設された
内筒と中間筒とからなり、不活性気体を気密的に充填し
た密閉空間部と、前記中間筒との間の空間に、前記エネ
ルギー源とのエネルギー授受を行う液体の流路を構成す
る外筒と、前記密閉空間部の圧力および温度を測定し、
前記中間筒または内筒からの液体の漏れを検出する検出
部と、前記検出部の漏れ検出に応じて、前記ハロゲンラ
ンプへの給電を停止する安全装置とを具備したことを特
徴とする。
ンランプからなる熱源と、前記熱源の周りに配設された
内筒と中間筒とからなり、不活性気体を気密的に充填し
た密閉空間部と、前記中間筒との間の空間に、前記エネ
ルギー源とのエネルギー授受を行う液体の流路を構成す
る外筒と、前記密閉空間部の圧力および温度を測定し、
前記中間筒または内筒からの液体の漏れを検出する検出
部と、前記検出部の漏れ検出に応じて、前記ハロゲンラ
ンプへの給電を停止する安全装置とを具備したことを特
徴とする。
【００１０】また望ましくは、安全装置の漏れ検出に対
応して気体制御手段を駆動し、前記密閉空間部への不活
性気体の流入および流出を制御するようにしている。
応して気体制御手段を駆動し、前記密閉空間部への不活
性気体の流入および流出を制御するようにしている。
【００１１】
【作用】上記第１の構成によれば、流路と熱エネルギー
源との間に不活性ガスを封入した密閉空間部を設け、こ
の圧力および温度を測定し、ボイルシャルルの法則によ
り、密閉空間内の気体のモル量を検知しているため、液
漏れが生じて密閉空間で蒸発し気体となり総モル量が上
昇するのを検出すれば、極めて容易に気体の漏れがある
か否かを検出することが可能となる。また中間筒は破損
して液漏れが生じても内筒によってエネルギー源との間
は遮断されているため、エネルギー源に薬液がかかるこ
とはない。さらにまた不活性ガスを用いているため、密
閉空間部で漏れてきた薬液と反応するおそれもない。
源との間に不活性ガスを封入した密閉空間部を設け、こ
の圧力および温度を測定し、ボイルシャルルの法則によ
り、密閉空間内の気体のモル量を検知しているため、液
漏れが生じて密閉空間で蒸発し気体となり総モル量が上
昇するのを検出すれば、極めて容易に気体の漏れがある
か否かを検出することが可能となる。また中間筒は破損
して液漏れが生じても内筒によってエネルギー源との間
は遮断されているため、エネルギー源に薬液がかかるこ
とはない。さらにまた不活性ガスを用いているため、密
閉空間部で漏れてきた薬液と反応するおそれもない。
【００１２】また、第２によれば、第１と同様に気体の
漏れを検出し、気体の漏れが検出された場合は、安全装
置によってハロゲンランプへの給電を停止するようにし
ているため、仮に内筒が破損して液漏れを生じてもハロ
ゲンランプの点灯が停止されるため、反応性は低くなり
爆発反応等は抑制される。
漏れを検出し、気体の漏れが検出された場合は、安全装
置によってハロゲンランプへの給電を停止するようにし
ているため、仮に内筒が破損して液漏れを生じてもハロ
ゲンランプの点灯が停止されるため、反応性は低くなり
爆発反応等は抑制される。
【００１３】加えて、液漏れが生じハロゲンランプの点
灯が停止されると密閉空間内の圧力も下がるため、薬液
が流れ込み易くなるが、このとき、密閉空間部への気体
の供給を制御することにより、内部の気体の圧力を一定
に保つようにし、薬液が密閉空間に漏れないようにする
ことができる。
灯が停止されると密閉空間内の圧力も下がるため、薬液
が流れ込み易くなるが、このとき、密閉空間部への気体
の供給を制御することにより、内部の気体の圧力を一定
に保つようにし、薬液が密閉空間に漏れないようにする
ことができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
つつ詳細に説明する。
つつ詳細に説明する。
【００１５】図１(a) および(b) は、本発明実施例の液
体加熱装置の要部を示す図であり、図２はこの全体図で
ある。
体加熱装置の要部を示す図であり、図２はこの全体図で
ある。
【００１６】この液体加熱装置は、ハロゲンランプ４
と、液体流路となる空間５との間に窒素ガスを封入した
密閉空間６を介在させ、密閉空間６にとりつけられた温
度センサ９および圧力センサ１０によりこの密閉空間６
の温度と圧力を検出することにより液漏れを検出するよ
うにしたことを特徴とする。
と、液体流路となる空間５との間に窒素ガスを封入した
密閉空間６を介在させ、密閉空間６にとりつけられた温
度センサ９および圧力センサ１０によりこの密閉空間６
の温度と圧力を検出することにより液漏れを検出するよ
うにしたことを特徴とする。
【００１７】すなわち、この装置は、ハロゲンランプ４
と、この周りを覆う円筒状の石英ガラスからなる内筒３
と、この外側に配設された石英ガラス製の中間筒２と、
さらにこの外側に配設された外筒１とからなり、この外
筒１と内筒３との間に形成される空間５に、処理容器か
らパイプ等で導出されてくる液体、例えば半導体処理薬
液に対し温度制御を行なうようになっている。
と、この周りを覆う円筒状の石英ガラスからなる内筒３
と、この外側に配設された石英ガラス製の中間筒２と、
さらにこの外側に配設された外筒１とからなり、この外
筒１と内筒３との間に形成される空間５に、処理容器か
らパイプ等で導出されてくる液体、例えば半導体処理薬
液に対し温度制御を行なうようになっている。
【００１８】また、さらにこの装置は安全装置１１およ
び制御部１２を具備しており、この密閉空間６への気体
の供給および排出は供給口７および排出口８を介してな
されるが、温度センサ９および圧力センサ１０の出力
は、制御部１２に接続され、この温度または圧力変化に
よって制御部１２から液漏れ発生信号が発生され、安全
装置１１に信号が伝えられハロゲンランプの点灯が停止
されるようになっている。 一方、ハロゲンランプの点
灯停止により温度が低下して、温度センサ９の出力が低
下すると制御部１２を介して、流量制御装置１３および
圧力調整装置１４に伝えられ、不活性気体供給源１５か
ら気体の供給が開始され、密閉空間６内の圧力が調整さ
れ、流路５内の薬液が密閉空間６に流入するのを防止す
るようになっている。
び制御部１２を具備しており、この密閉空間６への気体
の供給および排出は供給口７および排出口８を介してな
されるが、温度センサ９および圧力センサ１０の出力
は、制御部１２に接続され、この温度または圧力変化に
よって制御部１２から液漏れ発生信号が発生され、安全
装置１１に信号が伝えられハロゲンランプの点灯が停止
されるようになっている。 一方、ハロゲンランプの点
灯停止により温度が低下して、温度センサ９の出力が低
下すると制御部１２を介して、流量制御装置１３および
圧力調整装置１４に伝えられ、不活性気体供給源１５か
ら気体の供給が開始され、密閉空間６内の圧力が調整さ
れ、流路５内の薬液が密閉空間６に流入するのを防止す
るようになっている。
【００１９】次にこの装置の動作について図３のフロー
チャートを参照しつつ説明する。
チャートを参照しつつ説明する。
【００２０】流路５には半導体処理液が流されているも
のとする。
のとする。
【００２１】まず、装置の運転に先立ち、ハロゲンラン
プ４を点灯し（ステップ３０１）、不活性気体供給源１
５から流量制御装置１３および圧力調整装置１４を介し
て気体の供給が行われ（ステップ３０２）、密閉空間内
の圧力が定常状態になるまで供給を続行する。
プ４を点灯し（ステップ３０１）、不活性気体供給源１
５から流量制御装置１３および圧力調整装置１４を介し
て気体の供給が行われ（ステップ３０２）、密閉空間内
の圧力が定常状態になるまで供給を続行する。
【００２２】そして、温度センサ９および圧力センサ１
０の出力が定常状態にあるか否かを判断し（ステップ３
０３）、定常状態であると判断されると、気体の供給を
停止すると共に、この出力を制御部１２に初期状態とし
て記憶させておく（ステップ３０４）。
０の出力が定常状態にあるか否かを判断し（ステップ３
０３）、定常状態であると判断されると、気体の供給を
停止すると共に、この出力を制御部１２に初期状態とし
て記憶させておく（ステップ３０４）。
【００２３】このようにして熱交換が続行されるが、温
度センサ９および圧力センサ１０の出力が定常状態にあ
るか否かを制御部１２で判断し（ステップ３０５）、気
体のみかけのモル数が上昇すると制御部から液漏れ発生
信号が発生され、安全装置１１に信号が伝えられハロゲ
ンランプの点灯が停止される（ステップ３０６）。
度センサ９および圧力センサ１０の出力が定常状態にあ
るか否かを制御部１２で判断し（ステップ３０５）、気
体のみかけのモル数が上昇すると制御部から液漏れ発生
信号が発生され、安全装置１１に信号が伝えられハロゲ
ンランプの点灯が停止される（ステップ３０６）。
【００２４】そして圧力センサ１０の出力が定常状態に
あるか否かを判断し（ステップ３０７）、温度下降によ
る圧力低下が検出されると再び不活性気体供給源１５か
ら流量制御装置１３および圧力調整装置１４を介して気
体の供給が行われ（ステップ３０８）、密閉空間内の圧
力が初期状態と同一となったか否かを判断し（ステップ
３０９）、密閉空間内の圧力が定常状態になるまで供給
を続行する。
あるか否かを判断し（ステップ３０７）、温度下降によ
る圧力低下が検出されると再び不活性気体供給源１５か
ら流量制御装置１３および圧力調整装置１４を介して気
体の供給が行われ（ステップ３０８）、密閉空間内の圧
力が初期状態と同一となったか否かを判断し（ステップ
３０９）、密閉空間内の圧力が定常状態になるまで供給
を続行する。
【００２５】この間に流路から半導体処理液を流出さ
せ、液漏れのなくなった状態で中間筒を取り替える（ス
テップ３１０）。
せ、液漏れのなくなった状態で中間筒を取り替える（ス
テップ３１０）。
【００２６】このようにして処理液がハロゲンランプ空
間に漏れないようにすることができ、装置の破損、爆発
を防止し、安全性の高い熱交換を行うことができる。
間に漏れないようにすることができ、装置の破損、爆発
を防止し、安全性の高い熱交換を行うことができる。
【００２７】なお、前記実施例では、熱エネルギー源と
してハロゲンランプを用いた例について説明したが、こ
れに限定されることなく、ペルチェ素子等、他の熱エネ
ルギー源を用いても良い。
してハロゲンランプを用いた例について説明したが、こ
れに限定されることなく、ペルチェ素子等、他の熱エネ
ルギー源を用いても良い。
【００２８】また、液漏れが検出されるとハロゲンラン
プの点灯を停止し、気体を供給したが、かならずしもこ
れは不可欠ではない。特に冷却装置の場合は不要であ
る。
プの点灯を停止し、気体を供給したが、かならずしもこ
れは不可欠ではない。特に冷却装置の場合は不要であ
る。
【００２９】加えて、装置形状については適宜変更可能
であることはいうまでもない。また密閉空間に供給する
不活性ガスとしては窒素、アルゴンあるいは他のガスで
もよい。またこの装置は熱輻射により半導体処理液を加
熱するものであるため、密閉空間に封入する気体として
は熱吸収率の低い気体であるのがのぞましい。
であることはいうまでもない。また密閉空間に供給する
不活性ガスとしては窒素、アルゴンあるいは他のガスで
もよい。またこの装置は熱輻射により半導体処理液を加
熱するものであるため、密閉空間に封入する気体として
は熱吸収率の低い気体であるのがのぞましい。
【００３０】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば、液漏れが早期に検出され、安全性の高い熱交換を続
行することが可能となる。
ば、液漏れが早期に検出され、安全性の高い熱交換を続
行することが可能となる。
【図１】本発明実施例の熱交換装置を示す図
【図２】同発明実施例の熱交換装置の全体図
【図３】同発明実施例の熱交換装置の動作を示すフロー
チャート図
チャート図
【図４】従来例の温度制御装置を示す図
【図５】従来例の熱交換装置を示す図
１０１ 反応槽、 １０２ 配管、 １０３ ポンプ、 １０４ 熱交換部、 １０５ フィルタ、 ２０１ 外筒、 ２０３ 内筒 ２０４ ハロゲンランプ、 ２０５ 流路、 １ 外筒、 ２ 中間筒 ３ 内筒 ４ ハロゲンランプ、 ５ 流路、 ６ 密閉空間 ７ 供給口 ８ 排出口 ９ 温度センサ １０ 圧力センサ、 １１ ランプ制御装置 １２ 制御装置、 １３ 流量制御装置 １４ 圧力制御装置 １５ 気体供給装置
Claims (3)
- 【請求項１】 熱源または冷却源からなるエネルギー源
と、 前記エネルギー源の周りに配設された内筒と中間筒とか
らなり、不活性気体を気密的に充填した密閉空間部と、 前記中間筒との間の空間に、前記エネルギー源とのエネ
ルギー授受を行う液体の流路を形成する外筒と、 前記密閉空間部の圧力および温度変化を検出し、前記中
間筒または内筒からの液体の漏れを検出する検出部とを
具備したことを特徴とする熱交換装置。 - 【請求項２】 ハロゲンランプからなる熱源と、 前記熱源の周りに配設された内筒と中間筒とからなり、
不活性気体を気密的に充填した密閉空間部と、 前記中間筒との間の空間に、前記エネルギー源とのエネ
ルギー授受を行う液体の流路を構成する外筒と、 前記密閉空間部の圧力および温度変化を検出し、前記中
間筒または内筒からの液体の漏れを検出する検出部と、 前記検出部の漏れ検出に応じて、前記ハロゲンランプへ
の給電を停止する安全装置とを具備したことを特徴とす
る熱交換装置。 - 【請求項３】 安全装置の漏れ検出に対応して駆動され
前記密閉空間部への不活性気体の流入および流出を制御
する気体制御手段を具備したことを特徴とする請求項
(2) 記載の熱交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13902792A JP3148773B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 熱交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13902792A JP3148773B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 熱交換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05332696A true JPH05332696A (ja) | 1993-12-14 |
| JP3148773B2 JP3148773B2 (ja) | 2001-03-26 |
Family
ID=15235760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13902792A Expired - Fee Related JP3148773B2 (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 熱交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3148773B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6347661B2 (en) | 1998-05-27 | 2002-02-19 | Smc Corporation | Cooling/heating apparatus for semiconductor processing liquid |
| JP2007032867A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Osaka Gas Co Ltd | 熱供給システム |
-
1992
- 1992-05-29 JP JP13902792A patent/JP3148773B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6347661B2 (en) | 1998-05-27 | 2002-02-19 | Smc Corporation | Cooling/heating apparatus for semiconductor processing liquid |
| JP2007032867A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Osaka Gas Co Ltd | 熱供給システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3148773B2 (ja) | 2001-03-26 |
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