JPH05333286A - 光束平坦化光学系 - Google Patents

光束平坦化光学系

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JPH05333286A
JPH05333286A JP4139545A JP13954592A JPH05333286A JP H05333286 A JPH05333286 A JP H05333286A JP 4139545 A JP4139545 A JP 4139545A JP 13954592 A JP13954592 A JP 13954592A JP H05333286 A JPH05333286 A JP H05333286A
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JP
Japan
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crystal
light beam
optical system
calcite
light
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JP4139545A
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English (en)
Inventor
Hideyuki Horiuchi
秀之 堀内
Isao Yamazaki
功夫 山崎
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 フローサイトメータのフローセル中の細胞に
幅が狭く中心部が平坦でエネルギー密度が高いレーザ光
を照射することのできる製作容易で小型、低価格の光束
平坦化光学系を提供する。また、上記レーザ光の形状を
拡大、縮小し、さらに4角形にできるようにする。 【構成】 集光レンズ2、または拡大、縮小レンズ系に
よりレーザ光を拡大、縮小してカルサイト(方解石)結
晶4に入射し、偏光方向が直交する平行な2光束7と8
を得て照射面上で重ね合わせる。また、2枚のカルサイ
ト結晶板4と21により一列に並ぶ4光束を得て照射面
上で重ね合わせ、また、2枚のカルサイト結晶板を相対
的に回転させるて正方形のスポットを得る。上記カルサ
イト結晶は補強用ガラス基板5、22等に接着後、研磨
して製作する。また、上記光束平坦化素子を集光レンズ
2と照射面6の間に挿入する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、フローサイトメータに
おいてフローセル中を流れる細胞にレーザ光束を効率良
く照射する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のフローサイトメータやレーザ加工
機においてはレーザ光束を効率よく集光することが要請
されている。フローサイトメータではフローセル内を通
過する細胞にレーザビ−ムを照射して細胞からの蛍光強
度または散乱強度を測定して細胞分析を行なう。この場
合、レーザビ−ム強度は一般にガウス型に分布するの
で、レーザビ−ムの中心が細胞を通過する場合と、中心
からずれている場合とでは細胞からの蛍光強度や散乱強
度に違いが生じるので、レーザビ−ムの強度分布を出来
るだけ光平坦にするようにしていた。
【0003】しかし、上記レーザビ−ム強度の平坦化に
より上記信号変動幅を低減できるものの信号強度が平均
的に低下し、検出感度が低まるという問題があった。特
開平1−279487号公報「流動細胞分析装置」およ
び特開平2−315099号公報「粒子分析装置」に
は、レーザビ−ムを2ないし4つに分割して位置をずら
して重ね合わせることにより、光束の平坦部分を拡大し
て上記問題を改善するようにしていた。
【0004】図2は上記レーザビ−ムを2分割した場合
の光学系の構成図である。直線偏光したレーザビ−ム1
は1/2波長板3によりその偏光方向を回転され、ウォ
ラストンプリズム9により位置がわずかに離れた2つの
光ビ−ム7と8に分離され、集光レンズ2により各分割
光を並行化して重ね合わせるようにする。ウォラストン
プリズム9は光学的に異方性の結晶を2枚、結晶軸方向
を直交させ、張り合わせ面の角度を端面とは非平行にし
て製作され、光ビ−ム7と8の偏光方向を互いに直交さ
せて光束間の干渉を防止する。上記光ビ−ム7と8は入
射光の偏光面の向きに応じた分岐角θで分かれ常光線と
異常光線に対応する。照射面における光のエネルギー密
度分布は2つの光束の和になる。
【0005】図3(B)の太い線は照射面6上における
光ビ−ム7と8の合成強度分布であり、中心部分の平坦
部分が広くなり、同時にエネルギー密度が増加すること
がわかる。これに対して通常の光学系により平坦部分を
広げようとすると、レーザ光束の分布は図3(A)のよ
うになり中心部のエネルギー密度が低下する。しかし、
上記図2のウォラストンプリズム9は製作が簡単でない
ため高価格であり、また、ウォラストンプリズム9と照
射面6間に集光レンズ2が入るため光学系が長くなると
いう問題があった。また、上記ウォラストンプリズムを
2組使用して光束を4分割することにより光束をさらに
平坦化できるものの、1つおきの光束間に干渉が起るた
め位相までを考慮した調整が必要となるという問題があ
った。
【0006】特開昭59−69728号公報には上記ウ
ォラストンプリズム(図2)の問題を改善する方法が開
示されている。すなわち、厚さの異なる複屈折結晶板と
1/2波長板を組合せたものにレ−ザ光を照射して出射
光を2分割し、さらに上記複屈折結晶板と1/2波長板
を組合せたものそれぞれ交互に複数個設けてレ−ザ光を
複数の出射光に分離して短軸と長軸との比の小さい楕円
状ビ−ムとし、走査時の反射強度を強めるようにしてい
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記特開昭59−69
728号公報に開示の方法には、レ−ザビ−ムを微小ス
ポット化して楕円状ビ−ムの形をさらに平坦で鋭くする
方法については開示されていなかった。また、レ−ザビ
−ムのスポットサイズを拡大、縮小して出力ビ−ムサイ
ズを自由に調節できないという問題もあった。さらに、
分割したしたレ−ザビ−ムの配置を上記一列の他に四角
形その他の形に各光間の相互干渉なく配列することもで
きなかった。本発明の目的は、上記分割したしたレ−ザ
ビ−ムのサイズや配置を調節することにより、フローサ
イトメータのフローセル中の各種の細胞にレーザ光束を
効率良く照射することができる小型、低価格で製作容易
な光束平坦化光学系を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、1/2波長板とカルサイト(方解石)結晶等の複屈
折性を有する光学結晶の前に上記入射光束を縮小あるい
は拡大する集光レンズまたは縮小・拡大光学系を設ける
ようにする。また、上記1/2波長板および複屈折性光
学結晶を光軸にそって複数組設けるようにする。また、
上記集光レンズにシリンドリカルレンズを用いるように
する。
【0009】さらに、第1の1/2波長板と第1の複屈
折性光学結晶により入射光束を2つに分離し、第2の1
/2波長板により45°回転して第2の複屈折性光学結
晶により一列に配列する4つの光束に分離するようにす
る。また、第1の複屈折性光学結晶に対して第2の複屈
折性光学結晶を90°回転して配置し、入射光束を四角
形状の4つの光束に分離するようにする。また、フロー
サイトメータ装置においては入射光束を上記光束平坦化
光学系を通して細胞に照射するようにする。
【0010】
【作用】上記集光レンズまたは縮小・拡大光学系は入射
光束を縮小あるいは拡大して1/2波長板と複屈折性光
学結晶に入射する。また、上記シリンドリカルレンズは
入射光のスポット形状を扁平に変化する。また、上記複
数組の1/2波長板と複屈折性光学結晶は入射光束を複
数に分割する
【0011】また、第1の1/2波長板と第1の複屈折
性光学結晶により入射光束を2つに分離し、第2の1/
2波長板により45°回転して第2の複屈折性光学結晶
に入射することにより入射光束を一列配列の4つの光束
に分離する。また、第1の複屈折性光学結晶に対して第
2の複屈折性光学結晶を90°回転することにより、入
射光束を四角形状の4つの光束に分離する。また、フロ
ーサイトメータ装置においては上記光束平坦化光学系に
より得られた入射光束を細胞に照射する。
【0012】
【実施例】
[実施例1]図1は本発明による光束平坦化光学系実施
例の構成図である。直線偏光したレーザ光束1は集光レ
ンズ2により集光されて1/2波長板3を通過し、カル
サイト(方解石)結晶4に入射される。カルサイト結晶
4の厚みが薄い場合にはカルサイト結晶4は補強光学ガ
ラス5により補強され、十分な厚さがある場合には補強
ガラス5を省略することができる。
【0013】レーザ光束1はカルサイト結晶4により偏
光方向が互い直交する異常光線7と常光線8に分離され
それぞれ光軸と平行に出射する。常光線8はカルサイト
結晶中を直進し、異常光線7は結晶中で光軸と約6°曲
げられる。異常光線7と常光線8間の距離dはカルサイ
ト結晶の厚さtに比例し、式(1)のように表される。 d=t・tan6° (1)
【0014】また、1/2波長板3は入射光束1の偏光
方向を45°回転させるのでカルサイト結晶4から出射
する常光線8と異常光線7の偏光方向は互いに直交して
相互に干渉することがなくなり、また、照射面6におけ
る異常光線7と常光線8のエネルギー強度が揃うので、
図3(B)に示すように照射面6における光のエネルギ
ー密度分布を両光束の和にすることができる。本発明で
は、集光レンズ2によりレーザ光束1を微細スポットに
集光するので異常光線7と常光線8もそれぞれ微細化さ
れ、照射面6上に形成される楕円光の分布を幅狭く鋭い
ものにすることができる。常光線7と常光線8の各スポ
ットサイズはレーザ光束1のサイズと集光レンズ2の焦
点距離により設定する。
【0015】また、上記エネルギー密度分布の形は使用
目的に応じて変える必要がある。エネルギー密度分布の
中心部を幅狭く出来るだけ平坦にする場合には集光レン
ズ2により常光線7と常光線8の各スポットサイズを小
さくし、同時にカルサイト結晶4の厚みを薄くして距離
dも小さくするようにする。また、エネルギー密度分布
を幅広く平坦にする場合には集光レンズ2により常光線
7と常光線8の各スポットサイズを広げ、同時にカルサ
イト結晶4の厚みを厚くして距離dを大きくするように
する。
【0016】カルサイト結晶4は補強光学ガラス5に接
着後、所定の厚さまで研磨して製作する。カルサイト結
晶4の厚みが薄い場合には補強光学ガラス5によりカル
サイト結晶4補強するようにしてその製作を容易化す
る。また、1/2波長板3とカルサイト結晶4を集光レ
ンズ2と照射面6間に組み込むため光軸方向の長さを比
較的短くすることができ、光学系を小さく構成すること
ができる。また、常光線8と異常光線7間の距離dはカ
ルサイト結晶4の面上の位置に依存しないからカルサイ
ト結晶4に入射するレ−ザ光束の位置調整を省略して組
立調整工程を簡素化することができる。
【0017】ただし、集光レンズ2の焦点合わせと、1
/2波長板3の偏光方向とカルサイト結晶4の角度を調
整する作業は必要である。なお、1/2波長板3は集光
レンズ2の手前に設けることもできる。以上により、製
作、調整等が容易で、コンパクトな光束平坦化光学系を
安価に提供することができる。
【0018】[実施例2]図4は本発明による他の光束
平坦化光学系実施例の構成図であり、幅の広い楕円光束
を得ることができる。図4においては、凹レンズ26と
凸レンズ27よりなるビ−ム拡大光学系の焦点距離を調
整して集光レンズ2に入射する光ビ−ムの大きさを拡大
する。
【0019】[実施例3]図5は本発明による光束平坦
化光学系の他の実施例の構成図である。図5において
は、集光レンズ2の替わりに2枚のシリンドリカルレン
ズ10と同11を用いて光束平坦化方向と平坦化しない
方向の光束集光サイズを別個に決定するようにしてい
る。すなわち、シリンドリカルレンズ10により光束平
坦化方向の光束幅を決め、シリンドリカルレンズ11に
より光束平坦化方向に直交する方向の光束幅を決定す
る。なお、光束平坦化方向に直交する方向の光束幅がシ
リンドリカルレンズ11の面内に納まる場合にはシリン
ドリカルレンズ11をカルサイト結晶4と照射面6の間
に挿入するようにしてもよい。
【0020】[実施例4]図6は本発明による光束平坦
化光学系の他の実施例の構成図であり、カルサイト結晶
を2個使用し、1/2波長板20によりカルサイト結晶
4から出た常光線および異常光線の偏光方向を再び45
°回転させると、照射面6に4つの光束が1列に並んで
集光されるので、カルサイト結晶4と21の厚さを適当
に選択して分離した4つの光束を重ね合わせることによ
り、さらに優れた光束平坦特性を得ることができる。こ
のとき、隣合う光束の偏光方向は直交するため、隣合う
光束同士の干渉が起こらない。1つ置きの光束間では偏
光方向が一致するため干渉が発生するがその強度は小さ
い。なお、22はカルサイト結晶21を補強する補強光
学ガラスである。
【0021】また、第1のカルサイト結晶4に対して第
2のカルサイト結晶21を90°回転して配置すると4
つの光束を四角形に配置することができ、この4つの光
束を重ね合わせて正方形スポットを得ることができる。
このような正方形のスポットはレ−ザ光束を大きな細胞
に一様に照射する場合にとくに有効である。
【0022】なお、本発明は上記各カルサイト結晶と同
様の性質を有する光学材料についても同様に適用するこ
とができる。また、本発明の適用範囲はフローサイトメ
ータばかりでなく、レーザ加工機やレーザプリンタなど
光束平坦化が必要な光学系に対し応用できる。
【0023】
【発明の効果】本発明により以下の効果を有する光束平
坦化光学系を提供し、例えばフローサイトメータにおけ
るレーザ光束の集光効率とその一様性を改善して細胞か
らの蛍光または散乱検出信号の変動を低減し、検出感度
を向上することができる。 (1)集光レンズまたは縮小光学系によりレーザ光束を
小さく集光し、1/2波長板とカルサイト結晶により光
束を分離するので、幅が狭く中心部が平坦でエネルギー
密度が高い光スポットを得ることができる。
【0024】(2)上記光スポット発生用の厚さの薄い
カルサイト結晶を、予め補強用ガラス基板に接着したカ
ルサイト結晶を研磨することにより容易に製作すること
ができる。 (3)拡大・縮小光学系部分を用いることにより光スポ
ットの形状を自在に拡大、縮小することができる。
【0025】(4)光スポットの形状はカルサイト結晶
面の光軸位置によらないので光軸位置調整を省略するこ
とができる。 (5)光束平坦化素子の構成が簡単なため製作が容易で
あり、集光レンズと照射面の間に光束平坦化素子を挿入
できるため、光学系全体を小型化できる。 (6)2枚のカルサイト結晶板を相対的に回転させるこ
とによりスポット形状を正方形化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光束平坦化光学系の構成図であ
る。
【図2】従来のウォラストンプリズムを使用した光束平
坦化光学系の構成図である。
【図3】光束を平坦化する光ビ−ムの強度分布図であ
る。
【図4】本発明による他の光束平坦化光学系の構成図で
ある。
【図5】シリンドリカルレンズを使用した本発明の光束
平坦化光学系の構成図である。
【図6】4光束による本発明の光束平坦化光学系の構成
図である。
【符号の説明】
1…レーザ光束、2…集光レンズ、3、20…1/2波
長板、4、21…カルサイト結晶、5、22…補強ガラ
ス板、6…照射面、7…異常光線、8…常光線、9…ウ
ォラストンプリズム、10、11…シリンドリカルレン
ズ。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 1/2波長板とカルサイト(方解石)結
    晶等の複屈折性を有する光学結晶により入射光束を常光
    線と異常光線に分離して照射面上にて重ねあわせる光束
    平坦化光学系において、上記光学結晶の前に上記入射光
    束を縮小あるいは拡大する集光レンズまたは縮小・拡大
    光学系を設けたことを特徴とする光束平坦化光学系。
  2. 【請求項2】 請求項1において、上記1/2波長板お
    よび複屈折性光学結晶を光軸にそって複数組設けたこと
    を特徴とする光束平坦化光学系。
  3. 【請求項3】 請求項1または2において、上記集光レ
    ンズをシリンドリカルレンズとしたことを特徴とする光
    束平坦化光学系。
  4. 【請求項4】 請求項2において、上記入射光束を第1
    の1/2波長板と第1の複屈折性光学結晶により2つの
    光束に分離し、第2の1/2波長板により45°回転し
    て第2の複屈折性光学結晶により一列に配列する4つの
    光束に分離するようにしたことを特徴とする光束平坦化
    光学系。
  5. 【請求項5】 請求項2において、第1の複屈折性光学
    結晶に対して第2の複屈折性光学結晶を90°回転して
    配置して、上記入射光束を四角形状に配置された4つの
    光束に分離するようにしたことを特徴とする光束平坦化
    光学系。
  6. 【請求項6】 入射光束を請求項1ないし5に記載の光
    束平坦化光学系を通して細胞に照射するようにしたこと
    を特徴とするフローサイトメータ装置。
JP4139545A 1992-06-01 1992-06-01 光束平坦化光学系 Pending JPH05333286A (ja)

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