JPH05334644A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH05334644A JPH05334644A JP16193392A JP16193392A JPH05334644A JP H05334644 A JPH05334644 A JP H05334644A JP 16193392 A JP16193392 A JP 16193392A JP 16193392 A JP16193392 A JP 16193392A JP H05334644 A JPH05334644 A JP H05334644A
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- JP
- Japan
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- film
- substrate
- medium
- target
- magnetic recording
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 垂直保磁力および飽和磁化の大きい磁気記録
媒体を提供する。 【構成】 基板１上に、ＲＦマグネトロンスパッタ法に
よりＶを０．１〜１０ａｔ％添加したＣｏＣｒＴａ垂直
磁化膜２を形成する。
媒体を提供する。 【構成】 基板１上に、ＲＦマグネトロンスパッタ法に
よりＶを０．１〜１０ａｔ％添加したＣｏＣｒＴａ垂直
磁化膜２を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハード磁気ディスク等
の磁気記録媒体に関し、特に超高記録密度記録用の垂直
磁気記録媒体に関する。
の磁気記録媒体に関し、特に超高記録密度記録用の垂直
磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録媒体はコンピュータの記憶装置
に用いられ、一般に記録媒体の長手方向に磁化させてい
る。しかし、この磁化方式では記録密度に限界がある。
そこで、超高記録密度に適した垂直磁気記録の実用化を
目指して研究開発が精力的に進められている。垂直記録
方式は、記録信号が短波長になると、つまり記録密度が
増大すると、減磁界が小さくなり記録磁化が安定化する
という原理的な性質があるため長手記録方式より高密度
記録に有利である。この記録方式の媒体としては、スパ
ッタあるいは蒸着などにより形成されるＣｏＣｒおよび
ＣｏＣｒＴａ合金等の磁性膜が優れたものとして提案さ
れている（日本応用磁気学会誌，Vol.8，No.1，1984，1
7p）。
に用いられ、一般に記録媒体の長手方向に磁化させてい
る。しかし、この磁化方式では記録密度に限界がある。
そこで、超高記録密度に適した垂直磁気記録の実用化を
目指して研究開発が精力的に進められている。垂直記録
方式は、記録信号が短波長になると、つまり記録密度が
増大すると、減磁界が小さくなり記録磁化が安定化する
という原理的な性質があるため長手記録方式より高密度
記録に有利である。この記録方式の媒体としては、スパ
ッタあるいは蒸着などにより形成されるＣｏＣｒおよび
ＣｏＣｒＴａ合金等の磁性膜が優れたものとして提案さ
れている（日本応用磁気学会誌，Vol.8，No.1，1984，1
7p）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、さらに高出
力、高記録密度の媒体を得るためには、垂直保磁力、飽
和磁化を改善する必要がある。本発明の目的は、再生出
力および記録密度を向上させるために、垂直保磁力およ
び飽和磁化を改善した磁気記録媒体を提供することにあ
る。
力、高記録密度の媒体を得るためには、垂直保磁力、飽
和磁化を改善する必要がある。本発明の目的は、再生出
力および記録密度を向上させるために、垂直保磁力およ
び飽和磁化を改善した磁気記録媒体を提供することにあ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、スパッタ法に
より基板上に形成された垂直磁化膜を有する磁気記録媒
体において、垂直磁化膜がＣｏＣｒＴａ系合金に第４元
素としてＶを添加したものからなることを特徴とする磁
気記録媒体である。ここで、Ｖの添加量は、０．１ａｔ
％以上，１０ａｔ％以下であることが好ましい。
より基板上に形成された垂直磁化膜を有する磁気記録媒
体において、垂直磁化膜がＣｏＣｒＴａ系合金に第４元
素としてＶを添加したものからなることを特徴とする磁
気記録媒体である。ここで、Ｖの添加量は、０．１ａｔ
％以上，１０ａｔ％以下であることが好ましい。
【０００５】
【作用】ＣｏＣｒＴａ膜に第４元素としてＶを含有させ
ることにより、高保磁力の磁気記録媒体が得られる。ま
た、この時、飽和磁化も大きくなり、高出力が得られ
る。
ることにより、高保磁力の磁気記録媒体が得られる。ま
た、この時、飽和磁化も大きくなり、高出力が得られ
る。
【０００６】
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。
本実施例にはＲＦマグネトロン方式のスパッタ装置を用
い、図１に示すような磁気記録媒体を作製した。図中、
１は基板、２はＣｏＣｒＴａＶ合金膜である。基板１は
ＮｉＰ／Ａｌ基板を用いた。ターゲットは、磁性膜用と
して８２Ｃｏ−１７Ｃｒ−１Ｔａ（ａｔ％）合金とＶチ
ップ（１ｃｍ角）を組み合わせた複合ターゲット、保護
膜用としてカーボンターゲットをそれぞれ用いた。表１
に成膜条件の詳細を示す。
本実施例にはＲＦマグネトロン方式のスパッタ装置を用
い、図１に示すような磁気記録媒体を作製した。図中、
１は基板、２はＣｏＣｒＴａＶ合金膜である。基板１は
ＮｉＰ／Ａｌ基板を用いた。ターゲットは、磁性膜用と
して８２Ｃｏ−１７Ｃｒ−１Ｔａ（ａｔ％）合金とＶチ
ップ（１ｃｍ角）を組み合わせた複合ターゲット、保護
膜用としてカーボンターゲットをそれぞれ用いた。表１
に成膜条件の詳細を示す。
【０００７】
【表１】
【０００８】まず、ＣｏＣｒＴａ合金ターゲット上にの
せるＶチップの個数を変えてＶの添加量を変化させ、種
々のＣｏＣｒＴａＶ合金膜（１５００オングストロー
ム）を形成した。図２に、Ｖの添加量に対する保磁力
（Ｈc⊥）の変化を示す。なお、組成はＥＰＭＡにより
分析し、磁気特性はＶＳＭにより測定した。その結果、
図２よりＶ添加量が０．１ａｔ％以上，１０ａｔ％以下
で、ＣｏＣｒＴａ膜に比べて高保磁力となることがわか
る。図３に、Ｖの添加量に対する飽和磁化（Ｍs）の変
化を示す。これより、Ｖ添加量が０．１ａｔ％以上，１
０ａｔ％以下で、ＣｏＣｒＴａ膜に比べて飽和磁化が大
きくなることがわかる。
せるＶチップの個数を変えてＶの添加量を変化させ、種
々のＣｏＣｒＴａＶ合金膜（１５００オングストロー
ム）を形成した。図２に、Ｖの添加量に対する保磁力
（Ｈc⊥）の変化を示す。なお、組成はＥＰＭＡにより
分析し、磁気特性はＶＳＭにより測定した。その結果、
図２よりＶ添加量が０．１ａｔ％以上，１０ａｔ％以下
で、ＣｏＣｒＴａ膜に比べて高保磁力となることがわか
る。図３に、Ｖの添加量に対する飽和磁化（Ｍs）の変
化を示す。これより、Ｖ添加量が０．１ａｔ％以上，１
０ａｔ％以下で、ＣｏＣｒＴａ膜に比べて飽和磁化が大
きくなることがわかる。
【０００９】次に、本発明媒体の記録再生特性について
述べる。ここで用いた媒体は、Ｖを２ａｔ％添加のＣｏ
ＣｒＴａＶ膜（１５００オングストローム）で、保護膜
としてカーボン（２００オングストローム）を成膜して
いる（媒体Ａ）。また、比較のため同じ基板でＣｏＣｒ
Ｔａ合金膜（１５００オングストローム）の従来媒体も
作製した（媒体Ｂ）。表２に、これらの媒体の磁気特性
を示す。
述べる。ここで用いた媒体は、Ｖを２ａｔ％添加のＣｏ
ＣｒＴａＶ膜（１５００オングストローム）で、保護膜
としてカーボン（２００オングストローム）を成膜して
いる（媒体Ａ）。また、比較のため同じ基板でＣｏＣｒ
Ｔａ合金膜（１５００オングストローム）の従来媒体も
作製した（媒体Ｂ）。表２に、これらの媒体の磁気特性
を示す。
【００１０】
【表２】
【００１１】図４に、上記の本発明の媒体Ａと従来媒体
Ｂについて、薄膜磁気ヘッドにより、Ｒ／Ｗ特性を比較
した結果を示す。これから本発明の媒体は従来媒体に比
べて再生出力および記録密度が改善されていることがわ
かる。
Ｂについて、薄膜磁気ヘッドにより、Ｒ／Ｗ特性を比較
した結果を示す。これから本発明の媒体は従来媒体に比
べて再生出力および記録密度が改善されていることがわ
かる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明により媒体
の垂直保磁力および飽和磁化が高められ、再生出力およ
び記録密度等が改善された。
の垂直保磁力および飽和磁化が高められ、再生出力およ
び記録密度等が改善された。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気記録媒体の断面図である。
【図２】磁気特性で保磁力のＣｏＣｒＴａ膜へのＶ添加
量依存性を示す図である。
量依存性を示す図である。
【図３】磁気特性で飽和磁化のＣｏＣｒＴａ膜へのＶ添
加量依存性を示す図である。
加量依存性を示す図である。
【図４】本発明媒体の記録密度特性を従来媒体と比較し
て示す図である。
て示す図である。
１ 基板 ２ ＣｏＣｒＴａＶ合金膜
Claims (2)
- 【請求項１】 スパッタ法により基板上に形成された垂
直磁化膜を有する磁気記録媒体において、垂直磁化膜が
ＣｏＣｒＴａ系合金に第４元素としてＶを添加したもの
からなることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 Ｖの添加量が０．１ａｔ％以上，１０ａ
ｔ％以下である請求項１記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16193392A JPH05334644A (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16193392A JPH05334644A (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05334644A true JPH05334644A (ja) | 1993-12-17 |
Family
ID=15744800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16193392A Pending JPH05334644A (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05334644A (ja) |
-
1992
- 1992-05-29 JP JP16193392A patent/JPH05334644A/ja active Pending
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