JPH053346A - 焦電アレイセンサ - Google Patents
焦電アレイセンサInfo
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- JPH053346A JPH053346A JP3123496A JP12349691A JPH053346A JP H053346 A JPH053346 A JP H053346A JP 3123496 A JP3123496 A JP 3123496A JP 12349691 A JP12349691 A JP 12349691A JP H053346 A JPH053346 A JP H053346A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 簡易で低コストの輻射温度分布測定装置用ア
レイセンサを提供する。 【構成】 焦電基板１０の表面に受光電極２０と補償電
極２１とを一対とした電極対を複数個配置し、基板１０
の裏面には該電極対と対峙する位置に対極３０、３１を
各々設け、受光電極２０は赤外線照射状態とし、かつ、
補償電極２１は赤外線遮光状態とした焦電アレイセンサ
である。
レイセンサを提供する。 【構成】 焦電基板１０の表面に受光電極２０と補償電
極２１とを一対とした電極対を複数個配置し、基板１０
の裏面には該電極対と対峙する位置に対極３０、３１を
各々設け、受光電極２０は赤外線照射状態とし、かつ、
補償電極２１は赤外線遮光状態とした焦電アレイセンサ
である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、赤外線、特に熱線を検
知する焦電アレイセンサに関する。
知する焦電アレイセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、赤外線、特に熱線を検知する焦電
センサは焦電効果を有する基材の両面に電極を設け、赤
外線照射により該電極間電位が変化することを利用して
検知するものである。材料としては硫酸グリシン系、ポ
リ弗化ビニリデン系、ＬｉＴａＯ3、ＰｂＴｉＯ3などの
強誘電体材料が用いられ、また、基材の形態は硫酸グリ
シン系、ＬｉＴａＯ3等は結晶体が用いられ、ＰｂＴｉ
Ｏ3系は結晶の形成が困難なことから焼結セラミックも
しくは薄膜技術により形成した薄膜を用いるのが一般的
である。
センサは焦電効果を有する基材の両面に電極を設け、赤
外線照射により該電極間電位が変化することを利用して
検知するものである。材料としては硫酸グリシン系、ポ
リ弗化ビニリデン系、ＬｉＴａＯ3、ＰｂＴｉＯ3などの
強誘電体材料が用いられ、また、基材の形態は硫酸グリ
シン系、ＬｉＴａＯ3等は結晶体が用いられ、ＰｂＴｉ
Ｏ3系は結晶の形成が困難なことから焼結セラミックも
しくは薄膜技術により形成した薄膜を用いるのが一般的
である。
【０００３】
【発明が解決しょうとする課題】薄膜センサは感度は高
いがコストと信頼性の点で問題が有り、それとは逆に、
結晶体やセラミック体は生産性および信頼性の点で優れ
ているという特徴がある。該結晶体やセラミック体を切
削・研磨加工により薄板化し、外基板上に電極を形成し
てセンサ素子をライン状に並べたアレイセンサを形成す
る場合、基板の温度変化や振動に対し敏感に出力電圧が
変化するという課題が有った。
いがコストと信頼性の点で問題が有り、それとは逆に、
結晶体やセラミック体は生産性および信頼性の点で優れ
ているという特徴がある。該結晶体やセラミック体を切
削・研磨加工により薄板化し、外基板上に電極を形成し
てセンサ素子をライン状に並べたアレイセンサを形成す
る場合、基板の温度変化や振動に対し敏感に出力電圧が
変化するという課題が有った。
【０００４】本発明は、上述の問題に鑑みて試されたも
ので、結晶体もしくはセラミック体を用いて低コストで
信頼性が高いアレイセンサを提供するものである。
ので、結晶体もしくはセラミック体を用いて低コストで
信頼性が高いアレイセンサを提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の課題を解
決するため、焦電効果を有する結晶体もしくはセラミッ
ク体基材の表面に赤外線受光部用電極と該電極と電気的
に接触した補償用の電極とを一対とした電極対を複数個
ライン状に所定間隔で配置し、該基板の裏面には該電極
対と対峙する位置に対極を各々設け、該対極から外部電
気回路への電極引出部をそれぞれ設けた構造とし、該赤
外線受光部用電極には赤外線照射状態となるよう受光窓
を設け、かつ、補償電極には赤外線遮光状態としたこと
を特徴とするものである。
決するため、焦電効果を有する結晶体もしくはセラミッ
ク体基材の表面に赤外線受光部用電極と該電極と電気的
に接触した補償用の電極とを一対とした電極対を複数個
ライン状に所定間隔で配置し、該基板の裏面には該電極
対と対峙する位置に対極を各々設け、該対極から外部電
気回路への電極引出部をそれぞれ設けた構造とし、該赤
外線受光部用電極には赤外線照射状態となるよう受光窓
を設け、かつ、補償電極には赤外線遮光状態としたこと
を特徴とするものである。
【０００６】
【作用】本発明は上述の構成によって、各センサ出力
が、基材の温度変化や、振動に影響されることなく、２
次元の入射赤外線量（熱量）を正確に測定することを可
能とするものである。
が、基材の温度変化や、振動に影響されることなく、２
次元の入射赤外線量（熱量）を正確に測定することを可
能とするものである。
【０００７】
【実施例】図１、図２および図３は本発明の一実施例を
説明するための焦電体部の概略構成を示すものであっ
て、図１に示すように切削・研磨加工により薄板化した
ＰｂＴｉＯ3等からなる焦電体基板１０の表面には、蒸
着もしくはスパッター法により受光電極２０と補償電極
２１を複数個設け、電極は各々電極接続部２２により電
気的に接続する構造とする。さらに、焦電体基板１０の
裏面には、蒸着もしくはスパッター法により、受光電極
２０と補償電極２１とに各々対峙する位置に受光電極用
対極３０および補償電極用対極３１を設け、各々外部回
路へ接続するための電極引出部３２を形成する。各電極
パターンはメタルマスク法でもホトリソグラフィによっ
てもよい。このとき、隣接する受光電極間距離は１０か
ら２００μｍとし、受光電極２０と補償電極２１間隔、
すなわち、電極接続部２２の長さは５００μｍから２ｍ
ｍがよい。また、受光電極と補償電極は同一面積である
ことが望ましいい。電極接続部および電極引出部におけ
る線巾は２０−１００μｍが良い。
説明するための焦電体部の概略構成を示すものであっ
て、図１に示すように切削・研磨加工により薄板化した
ＰｂＴｉＯ3等からなる焦電体基板１０の表面には、蒸
着もしくはスパッター法により受光電極２０と補償電極
２１を複数個設け、電極は各々電極接続部２２により電
気的に接続する構造とする。さらに、焦電体基板１０の
裏面には、蒸着もしくはスパッター法により、受光電極
２０と補償電極２１とに各々対峙する位置に受光電極用
対極３０および補償電極用対極３１を設け、各々外部回
路へ接続するための電極引出部３２を形成する。各電極
パターンはメタルマスク法でもホトリソグラフィによっ
てもよい。このとき、隣接する受光電極間距離は１０か
ら２００μｍとし、受光電極２０と補償電極２１間隔、
すなわち、電極接続部２２の長さは５００μｍから２ｍ
ｍがよい。また、受光電極と補償電極は同一面積である
ことが望ましいい。電極接続部および電極引出部におけ
る線巾は２０−１００μｍが良い。
【０００８】次に、図２に示すように焦電体基板１０の
受光表面前面には、赤外線選択透過窓４１を有する赤外
線選択透過基板４０を配置することにより、受光電極２
０にのみ赤外線５０が照射されるようにし、補償電極２
１に遮光状態とする。
受光表面前面には、赤外線選択透過窓４１を有する赤外
線選択透過基板４０を配置することにより、受光電極２
０にのみ赤外線５０が照射されるようにし、補償電極２
１に遮光状態とする。
【０００９】図３には焦電体基板１０と赤外線選択透過
基板４０および受光電極２０上に赤外線を集光するため
の赤外線透過レンズ６０とチョッパ７０との相対位置を
示す。当然のことながら、集光後の赤外線は赤外線選択
透過基板４０によって、補償電極２１側には照射され
ず、受光電極２０側のみに照射されものである。また、
赤外線５０はチョッパ７０により、断続的に入射するこ
とにより、焦電出力を得る。
基板４０および受光電極２０上に赤外線を集光するため
の赤外線透過レンズ６０とチョッパ７０との相対位置を
示す。当然のことながら、集光後の赤外線は赤外線選択
透過基板４０によって、補償電極２１側には照射され
ず、受光電極２０側のみに照射されものである。また、
赤外線５０はチョッパ７０により、断続的に入射するこ
とにより、焦電出力を得る。
【００１０】上述の赤外線選択透過基板４０は、電磁波
の遮蔽効果を有する金属材料を用いるのが好ましく、さ
らには、赤外線選択透過窓４１はシリコン薄板で覆って
もよい。また、赤外線選択透過基板４０は赤外線透過レ
ンズ６０と焦電体基板１０との中間に設けるのがよく、
焦電体基板１０上の数ｍｍ以下の位置に固定するのがよ
い。
の遮蔽効果を有する金属材料を用いるのが好ましく、さ
らには、赤外線選択透過窓４１はシリコン薄板で覆って
もよい。また、赤外線選択透過基板４０は赤外線透過レ
ンズ６０と焦電体基板１０との中間に設けるのがよく、
焦電体基板１０上の数ｍｍ以下の位置に固定するのがよ
い。
【００１１】図４には１つの受光部の等価回路の原理図
を示す。Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３は抵抗を示し、６０は増幅回
路であって、受光部２５とは焦電体基板１０を介して受
光電極２０と受光電極用対極３０とで形成されるもので
あり、補償部２６とは焦電体基板１０を介して補償電極
２１と補償電極用対極３１とで形成されるものである。
を示す。Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３は抵抗を示し、６０は増幅回
路であって、受光部２５とは焦電体基板１０を介して受
光電極２０と受光電極用対極３０とで形成されるもので
あり、補償部２６とは焦電体基板１０を介して補償電極
２１と補償電極用対極３１とで形成されるものである。
【００１２】図４において、焦電体基板の表面電荷（焦
電出力）は、一般に焦電体の温度変化や振動、または吸
着ガス種によって変動するものであり、補償部２６がな
い場合、受光部両端子の容量ドリフトがそのままＶOUT
出力として、検出され、入射赤外線５０のエネルギー変
化を正確に測定することができにくい。しかし、補償電
極部２６を設けることにより、上述の要因による変動成
分は、お互いに相殺され、出力端子の容量ドリフは発生
せず、受光部２５に赤外線が照射された場合にのみ、発
生し、受光部２５の表面電荷の変化を増幅しＶOUTとし
て検出可能となる。
電出力）は、一般に焦電体の温度変化や振動、または吸
着ガス種によって変動するものであり、補償部２６がな
い場合、受光部両端子の容量ドリフトがそのままＶOUT
出力として、検出され、入射赤外線５０のエネルギー変
化を正確に測定することができにくい。しかし、補償電
極部２６を設けることにより、上述の要因による変動成
分は、お互いに相殺され、出力端子の容量ドリフは発生
せず、受光部２５に赤外線が照射された場合にのみ、発
生し、受光部２５の表面電荷の変化を増幅しＶOUTとし
て検出可能となる。
【００１３】なお、変化量は、周囲温度で若干異なる
が、焦電体部の温度をモニターしフィールドバックする
ことにより、正確な赤外線エネルギー変化を測定でき
る。
が、焦電体部の温度をモニターしフィールドバックする
ことにより、正確な赤外線エネルギー変化を測定でき
る。
【００１４】実際に、受光電極部および補償電極部を同
一焦電体基板上に１０個アレイ状に形成し、画角８０度
の赤外線レンズ系を用いて測定した結果、アレイ状の方
向の１次元の温度分布を±０．２℃の精度で空間分解能
１０（８度）で正確に測定することができた。
一焦電体基板上に１０個アレイ状に形成し、画角８０度
の赤外線レンズ系を用いて測定した結果、アレイ状の方
向の１次元の温度分布を±０．２℃の精度で空間分解能
１０（８度）で正確に測定することができた。
【００１５】次に、焦電体基板１０と赤外線選択透過基
板４０と赤外線透過レンズ６０とチョッパー７０とを回
転部として一体化し、該回転部をステッピングモータに
機械的に接続し、受光電極のアレイ状方向（長軸方向）
を縦方向として、チョッピングをかけながら、ステッピ
ングモータを駆動させ、回転部を断続的に横方向に回転
させることによりセンサおよびレンズが面している方向
を左右に走査させながら、温度分布を測定した。測定
後、電気信号処理により各方向の縦の温度分布をつなぎ
合わせると、空間の２次元の反転温度分布が得られた。
横（左右）方向の空間分解能はステッピングモータの１
回の回転角に依存するものであり、例えば、３．６度回
転毎に信号入力し、トータル１８０度回転させた場合に
は、横方向の空間分解能は５０となり、縦方向の空間分
解能は上述の如く１０であるのでセンサ位置から見て縦
８０度、横１８０度の空間を±０．２℃の精度で空間分
解能１０×５０の分解能で温度分布を測定できた。
板４０と赤外線透過レンズ６０とチョッパー７０とを回
転部として一体化し、該回転部をステッピングモータに
機械的に接続し、受光電極のアレイ状方向（長軸方向）
を縦方向として、チョッピングをかけながら、ステッピ
ングモータを駆動させ、回転部を断続的に横方向に回転
させることによりセンサおよびレンズが面している方向
を左右に走査させながら、温度分布を測定した。測定
後、電気信号処理により各方向の縦の温度分布をつなぎ
合わせると、空間の２次元の反転温度分布が得られた。
横（左右）方向の空間分解能はステッピングモータの１
回の回転角に依存するものであり、例えば、３．６度回
転毎に信号入力し、トータル１８０度回転させた場合に
は、横方向の空間分解能は５０となり、縦方向の空間分
解能は上述の如く１０であるのでセンサ位置から見て縦
８０度、横１８０度の空間を±０．２℃の精度で空間分
解能１０×５０の分解能で温度分布を測定できた。
【００１６】以上、本発明のセンサを用いて、空間の２
次元温度分布測定が達成できた。なお、受光電極の形状
は入射画角の分解能で決定するものであり、上述の場
合、アレイ方向（縦）：横方向＝５：１とするのがよ
い。
次元温度分布測定が達成できた。なお、受光電極の形状
は入射画角の分解能で決定するものであり、上述の場
合、アレイ方向（縦）：横方向＝５：１とするのがよ
い。
【００１７】実施例１に記載した焦電体電極形状に関し
て、図５に示すように焦電体基板裏面に形成する補償電
極用対極を１つの幅広い電極で補償電極用共通電極３３
とする。このとき、補償電極用共通電極は焦電基板表面
に形成した全ての補償電極２１に対峙するように配置す
る。以上の構成とすることにより、補償電極用電極の電
極引出部３２が１つとなり、焦電体基板から外部の電気
回路への配線が極端に単純、簡単化することができた。
て、図５に示すように焦電体基板裏面に形成する補償電
極用対極を１つの幅広い電極で補償電極用共通電極３３
とする。このとき、補償電極用共通電極は焦電基板表面
に形成した全ての補償電極２１に対峙するように配置す
る。以上の構成とすることにより、補償電極用電極の電
極引出部３２が１つとなり、焦電体基板から外部の電気
回路への配線が極端に単純、簡単化することができた。
【００１８】図６には、焦電体基板上に形成する電極パ
ターンの１例を示す。図を示すように焦電体基板表面１
１には受光電極２０、電極接続部２２および補償電極２
１からなる電極群を２列設けた。このとき、列間の隣接
距離は受光電極間で１０−２００μｍとした。焦電基板
裏面１２には受光電極徒歩焦電極にそれぞれ対峙する位
置に受光電極用対極３０と補償電極用対極３１を設け
る。３２は各電極から外部電気回路へ接続するための電
極引出し部である。各電極の寸法は実施例１と同様であ
る。
ターンの１例を示す。図を示すように焦電体基板表面１
１には受光電極２０、電極接続部２２および補償電極２
１からなる電極群を２列設けた。このとき、列間の隣接
距離は受光電極間で１０−２００μｍとした。焦電基板
裏面１２には受光電極徒歩焦電極にそれぞれ対峙する位
置に受光電極用対極３０と補償電極用対極３１を設け
る。３２は各電極から外部電気回路へ接続するための電
極引出し部である。各電極の寸法は実施例１と同様であ
る。
【００１９】実際に、受光電極部および補償電極部を同
一焦電体基板上に１０個アレイ状に２列形成し、受光電
極部にのみ、赤外線照射を可能とする赤外線選択透過基
板を上部に配することにより、画角８０度の赤外線レン
ズ系を用いて測定した結果、２次元の温度分布を±０．
２℃の精度で空間分解能２×１０で正確に測定すること
ができた。
一焦電体基板上に１０個アレイ状に２列形成し、受光電
極部にのみ、赤外線照射を可能とする赤外線選択透過基
板を上部に配することにより、画角８０度の赤外線レン
ズ系を用いて測定した結果、２次元の温度分布を±０．
２℃の精度で空間分解能２×１０で正確に測定すること
ができた。
【００２０】次に、実施例１と同様に、焦電体基板と赤
外線選択透過基板と赤外線透過レンズとチョッパーとを
回転部として一体化し、該回転部をステッピングモータ
に機械的に接続し、受光電極のアレイ状方向（長軸方
向）を縦方向として、チョッピングをかけながら、ステ
ッピングモータを駆動させ、回転部を断続的に横方向に
回転させることによりセンサおよびレンズが面している
方向を左右に走査させながら、温度分布を測定した。測
定後、電気信号処理により各方向の縦の温度分布をつな
ぎ合わせると、空間の２次元の反転温度分布が得られ
た。横（左右）方向の空間分解能はステッピングモータ
の１回の回転角に依存するものであり、例えば、１ステ
ップ３．６度回転毎に信号入力し、トータル１８０度回
転させた場合には、横方向の空間分解能は１００とな
り、縦方向の空間分解能は上述の如く１０であるのでセ
ンサ位置から見て縦８０度、横１８０度の空間を±０．
２℃の精度で空間分解能１０＊１００の分解能で温度分
布を測定できた。
外線選択透過基板と赤外線透過レンズとチョッパーとを
回転部として一体化し、該回転部をステッピングモータ
に機械的に接続し、受光電極のアレイ状方向（長軸方
向）を縦方向として、チョッピングをかけながら、ステ
ッピングモータを駆動させ、回転部を断続的に横方向に
回転させることによりセンサおよびレンズが面している
方向を左右に走査させながら、温度分布を測定した。測
定後、電気信号処理により各方向の縦の温度分布をつな
ぎ合わせると、空間の２次元の反転温度分布が得られ
た。横（左右）方向の空間分解能はステッピングモータ
の１回の回転角に依存するものであり、例えば、１ステ
ップ３．６度回転毎に信号入力し、トータル１８０度回
転させた場合には、横方向の空間分解能は１００とな
り、縦方向の空間分解能は上述の如く１０であるのでセ
ンサ位置から見て縦８０度、横１８０度の空間を±０．
２℃の精度で空間分解能１０＊１００の分解能で温度分
布を測定できた。
【００２１】以上、本発明のセンサを用いて、空間の２
次元温度分布を測定する場合、実施例１より２倍の分解
能を向上させることができた。また、分解能を同じとす
るならば、走査時間を半減させることが可能であった。
次元温度分布を測定する場合、実施例１より２倍の分解
能を向上させることができた。また、分解能を同じとす
るならば、走査時間を半減させることが可能であった。
【００２２】図７は受光電極および補償電極と各対極と
の対峙状態を示すものであり、各々の引出電極および電
極接続部が極力対峙しないように設計することにより誤
動作を最小限に抑えることができる。
の対峙状態を示すものであり、各々の引出電極および電
極接続部が極力対峙しないように設計することにより誤
動作を最小限に抑えることができる。
【００２３】さらに、受光電極と補償電極は同一形状が
好ましいが、場合によっては図８に示す実施例のよう
に、受光電極と補償電極の面積を等しいものであれば、
形状は異ってもよく、そうすることによって、焦電体基
板裏面３２における電極引出部のひきまわしが容易とな
り、両サイドから電極を引き出すことができる。また、
引出し電極部を削減することを目的として、図９に示す
ように焦電体基板裏面に形成する補償電極用対極を１つ
の幅広い電極で補償電極用共通電極３３とする。このと
き、該補償電極用共通電極は焦電基板表面に形成した全
ての補償電極２１に対峙するように配置する。以上の構
成とすることにより、補償電極用電極の電極引出し部３
２が２つとなり、焦電体基板から外部の電気回路への配
線が極端に単純、簡単化することができた。
好ましいが、場合によっては図８に示す実施例のよう
に、受光電極と補償電極の面積を等しいものであれば、
形状は異ってもよく、そうすることによって、焦電体基
板裏面３２における電極引出部のひきまわしが容易とな
り、両サイドから電極を引き出すことができる。また、
引出し電極部を削減することを目的として、図９に示す
ように焦電体基板裏面に形成する補償電極用対極を１つ
の幅広い電極で補償電極用共通電極３３とする。このと
き、該補償電極用共通電極は焦電基板表面に形成した全
ての補償電極２１に対峙するように配置する。以上の構
成とすることにより、補償電極用電極の電極引出し部３
２が２つとなり、焦電体基板から外部の電気回路への配
線が極端に単純、簡単化することができた。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、本発明の赤外線を検知す
るアレイセンサにおいては、次に示すような効果があ
る。(1) 基材の温度変化や、振動によって発生する焦電
体表面の電荷密度変化は電気回路上、補償電極によって
相殺され、受光電極に照射された入射赤外線量（熱量）
を正確に測定することを可能とするものである。(2) 受
光部を２列とし、各々の引出し電極および電極接続部が
対峙しないようにすることにより、２次元でありながら
温度変化や、振動に左右されない誤動作を最小限に抑え
たセンサができる。
るアレイセンサにおいては、次に示すような効果があ
る。(1) 基材の温度変化や、振動によって発生する焦電
体表面の電荷密度変化は電気回路上、補償電極によって
相殺され、受光電極に照射された入射赤外線量（熱量）
を正確に測定することを可能とするものである。(2) 受
光部を２列とし、各々の引出し電極および電極接続部が
対峙しないようにすることにより、２次元でありながら
温度変化や、振動に左右されない誤動作を最小限に抑え
たセンサができる。
【図１】本発明の一実施例の焦電センサ−の焦電体部の
概略図
概略図
【図２】同焦電センサ−における焦電基板と赤外線選択
透過基板との相対位置関係図
透過基板との相対位置関係図
【図３】同焦電センサ−を構成要素とする測定装置の概
念図
念図
【図４】同測定装置の電気回路図
【図５】本発明の異なる実施例の焦電体部の概略図
【図６】焦電センサ−における具体的な電極パターンの
概略図
概略図
【図７】焦電センサ−における具体的な電極パターンの
概略図
概略図
【図８】焦電センサ−における具体的な電極パターンの
概略図
概略図
【図９】焦電センサ−における具体的な電極パターンの
概略図
概略図
１０ 焦電体基板
１１ 焦電体基板表面
１２ 焦電体基板裏面
２０ 受光電極
２１ 補償電極
２２ 電極接続部
２５ 受光部
２６ 補償部
３０ 受光電極用対極
３１ 補償電極用対極
３２ 電極引出部
３３ 補償電極用共通対極
４０ 赤外線選択透過基板
４１ 赤外線選択透過窓
５０ 赤外線
６０ 赤外線透過レンズ
７０ チョッパ
８０ 増幅回路
Claims (3)
- 【請求項１】 焦電効果を有する基板の表面に赤外線受
光電極と前記電極と電極接続部を介して電気的に接触し
た補償電極とを一対とした電極対を複数個ライン状に所
定間隔で配置し、前記基板の裏面には前記電極対と対峙
する位置に各々対極を設け、前記対極から外部電気回路
への取出用電極引出部をそれぞれ設け、前記赤外線受光
電極を赤外線照射用状態とし前記補償電極を赤外線遮光
状態とする赤外線選択透過基板を設けたことを特徴とす
る焦電アレイセンサ。 - 【請求項２】 電極対を複数個ライン状に所定間隔で２
列配置し、基板の裏面には前記電極対と対峙する位置に
対極を設け、前記対極から外部電気回路への取出用電極
引出部を前記基板表面に形成した電極接続部と非対峙状
態に設けたことを特徴とする請求項１記載の焦電アレイ
センサ。 - 【請求項３】 焦電効果を有する基板の裏面には受光電
極に対峙した位置にそれぞれ対極を設け、補償電極に対
峙する位置には１つの幅広い電極で共通の対極としたこ
とを特徴とする請求項１または２記載の焦電アレイセン
サ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03123496A JP3114235B2 (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 焦電アレイセンサ |
| US08/232,857 US5528038A (en) | 1991-05-07 | 1994-04-22 | Temperature distribution measurement apparatus and its application to a human body detecting system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03123496A JP3114235B2 (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 焦電アレイセンサ |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH053346A true JPH053346A (ja) | 1993-01-08 |
| JP3114235B2 JP3114235B2 (ja) | 2000-12-04 |
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ID=14862070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03123496A Expired - Fee Related JP3114235B2 (ja) | 1991-05-07 | 1991-05-28 | 焦電アレイセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3114235B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012056943A1 (ja) * | 2010-10-25 | 2012-05-03 | Ｎｅｃトーキン株式会社 | 焦電センサアレイ及び焦電型赤外線検出装置 |
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-
1991
- 1991-05-28 JP JP03123496A patent/JP3114235B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN103229028A (zh) * | 2010-10-25 | 2013-07-31 | Nec东金株式会社 | 热释电传感器阵列以及热释电型红外线检测装置 |
| US8766187B2 (en) | 2010-10-25 | 2014-07-01 | Nec Tokin Corporation | Pyroelectric sensor array and pyroelectric infrared detection device |
| TWI507667B (zh) * | 2010-10-25 | 2015-11-11 | Nec Tokin Corp | 熱電感測器陣列及熱電型紅外線檢測裝置 |
| JP5901533B2 (ja) * | 2010-10-25 | 2016-04-13 | Ｎｅｃトーキン株式会社 | 焦電センサアレイ及び焦電型赤外線検出装置 |
| WO2017221718A1 (ja) * | 2016-06-23 | 2017-12-28 | 株式会社村田製作所 | 赤外線検出素子、および、赤外線検出装置 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3114235B2 (ja) | 2000-12-04 |
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