JPH05334736A - 光記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ディスク状光記録媒体を製造するに当たり、
記録膜端部の形状不良により発生する有機保護膜の凹凸
を防止し、信頼性の十分に確保された光記録媒体の製造
方法を提供すること。 【構成】 ディスク状透明基板の信号面に記録膜をスパ
ッタ法等により形成したのち、スピンコート法等により
有機保護膜を積層する光記録媒体の製造方法において、
上記ディスク状基板に対し記録膜の付着防止を行うマス
クとして、例えば該マスク端部に段差をつけたマスクを
用いるか、マスク端部の形状を斜めにカットしたマスク
を用い、マスクの端面がディスク状透明基板と接してい
ない状態で記録膜を形成することを特徴とする光記録媒
体の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はディスク状光記録媒体の
製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】磁気光学効果（カー効果およびファラデ
ー効果）を利用して情報の書き換えが可能な光磁気記録
媒体は、高密度、大容量、可搬性であるなど多くの特徴
を持ち、近年、文書情報ファイル、ビデオ・ファイル、
コンピューター用外部メモリー、オーディオ用メモリー
などの多くの分野へ利用されつつある。

【０００３】一般に、光磁気記録媒体の記録層として
は、希土類遷移金属層が利用されている。ところで、こ
の希土類遷移金属層からなる記録層は酸化されやすいた
め、該記録層の両側を誘電体からなる保護層および、あ
るいは耐蝕性金属層で挟んだ構造とし、信頼性の向上が
図られている。しかし、記録媒体の内外端部では、該記
録層が誘電体保護層および、あるいは耐蝕性金属層によ
り覆われていない場合には、記録層内外端部からの酸
化、あるいは前記各層の剥離という問題があった。この
ため従来から、記録層、誘電体保護層および、あるいは
耐蝕性金属層（以下これら記録層、誘電体保護層およ
び、あるいは耐蝕性金属層からなる層を一括して記録膜
と記す）の形成後、該記録膜外端部および記録膜全体に
有機保護膜を形成し、上記問題を解決してきた。また、
上記有機保護膜の形成は量産性、及び均一性の点より一
般的にスピンコート法により行われてきた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この場
合新たな問題点が生じて来た。即ち、記録膜全体を有機
保護膜で被覆したディスク状光磁気記録媒体を用いる場
合、記録時あるいは再生時に情報の誤りが発生する場合
があることがわかった。そしてこの原因につき検討した
ところ、特に、記録膜の端部の形状、あるいはゴミの混
入などが原因となり、該記録膜を被覆する有機保護膜に
膜厚の不均一を生じ、この膜厚不均一による凹凸が前記
誤動作の原因となっていることがわかった。同様の問題
は、色素等の記録層を含む記録膜を備える追記型の光記
録媒体においても生ずる。

【０００５】有機保護膜の凹凸は、磁界変調方式の光磁
気記録媒体において特に問題となり、磁気ヘッドが光磁
気記録媒体と接触するタイプあるいは浮上磁気ヘッドタ
イプなどでは数ミクロンの有機保護膜の凹凸により磁気
ヘッドが光磁気記録媒体と衝突し、記録時あるいは再生
時に情報の誤りを発生する場合が生ずるのである。この
ため、有機保護膜の凹凸の発生を防止することはディス
ク状光記録媒体を製造する上で非常に重要な問題点であ
る。

【０００６】つまり、本発明の目的はディスク状光記録
媒体を製造するに当たり、記録膜端部の形状不良により
発生する有機保護膜の凹凸を防止し、信頼性の十分に確
保された光記録媒体の製造方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者は、ディスク状
光記録媒体において、有機保護膜の膜厚の凹凸を生じさ
せる原因となる記録膜端部が何ゆえに乱れるかにつき詳
細に検討し、その端部形状の異常が、その記録膜製造時
に発生することをつきとめた。即ち、ディスク状透明基
板上にスパッタ法等により記録膜を形成する場合、該デ
ィスク状基板の中心部並びに外周部には記録膜の付着防
止のためにマスクを取り付けてスパッタリングを行い、
記録膜を形成し、その後該膜の上面並びに端部を被覆す
るために前記の如く有機保護膜を形成するが、この有機
保護膜を形成するために、前記マスクを外す必要があ
る。しかるにそのマスクを外すとき、該マスクは、その
端部（面）が、形成された記録膜端部（面）と接触状態
にあると、該マスクの取り外しの際に、接触状態にある
記録膜端部をめくれ上がらせる現象が生ずる場合がある
ことがわかったのである。

【０００８】従って本発明によれば、上記の目的は、デ
ィスク状透明基板の信号面に記録膜をスパッタ法や真空
蒸着法等により形成した後、スピンコート法等により有
機保護膜を積層する光記録媒体の製造方法において、上
記透明基板に対し記録膜の付着防止を行うマスクの端面
が上記透明基板と接していない状態で記録膜を形成する
ことを特徴とする光記録媒体の製造方法、を提供する事
により達成される。なお、本発明の光記録媒体として
は、光磁気記録媒体、追記型光記録媒体などが挙げられ
る。また、本発明における透明基板を構成する材料とし
ては、ＰＭＭＡ、ＰＣなどの樹脂、あるいはガラスなど
を用いることができる。

【０００９】

【作用】透明基板上の記録膜端部のめくれ上がりによ
り、その被覆層となる有機保護膜に凹凸が発生する原因
は、上記の如く、マスクの端部が部分的に透明基板に接
触した状態でスパッタリング等を行うと、形成された記
録膜がその端部でマスクとくっついて形成され、したが
って、記録膜を形成したのちマスクを取り除こうとする
と、マスクに接触している部分の記録膜がめくれ上がる
ものである。したがって、このような端部でのめくれ上
がった状態でスピンコート法等により有機保護膜を形成
すると、めくれ上がった記録膜により有機材料の流れが
妨げられ、有機保護膜に凹凸ができるのである。

【００１０】従って本発明においては、記録膜付着防止
のためのマスク端部と透明基板が接触していない状態で
スパッタリング、真空蒸着等を行い、透明基板上に記録
膜を形成することにより、該記録膜は、その端部で該マ
スク端部と接触する事なく形成されるので、マスクを取
り外しても、それによって記録膜端部がめくれ上がるこ
とはなくなり、したがって、有機保護膜の凹凸の発生を
防止することが可能となるものである。

【００１１】マスク端部が透明基板に接触しない方法と
しては、図１または図２の模式図で示すような方法が代
表的に挙げられる。図１はマスク端部に段差をつける方
法で、中心部並びに外周部のマスク４に、それぞれ段差
部５を設け、基板２に対して該マスク端部が接触してい
ない状態とするので、スパッタリングにより形成される
記録膜３はマスク４と接触することがなく、したがって
マスク４の取り外し動作によって該記録膜端部がめくれ
上がることはなくなる。なお、マスク４に設ける段差量
（高さ）としては、少なくとも、基板の厚み方向での歪
み量以上が必要で、したがって、具体的には、０．１ｍ
ｍ以上とすることが望ましい。図２はマスク端部の形状
を斜めにカットする方法で、この方法でもマスク４端部
を斜めにカットしたカット部６を設けることにより図１
の場合と同じ作用効果が得られるものである。

【００１２】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。

【００１３】実施例１： ８インチカソードを各チャン
バーに搭載したインライン式マグネトロンスパッタ装置
を使用して、以下の成膜を行った。まず、各チャンバー
を５×１０^-5Ｐａとなるまで真空排気した後、基板ホル
ダーに、図１に示すように、端部に高さ０．１ｍｍ、幅
２ｍｍの段差を付けたマスクと透明樹脂基板を装着して
真空槽内に挿入し、反応性スパッタ法により膜厚１００
ｎｍの誘電体保護層を形成した。この後、別のスパッタ
室に該基板を移動し、ＴｂＦｅＣｏ膜を２５ｎｍの厚み
で前記誘電体保護層に積層した。さらに、別のスパッタ
室にて前記誘電体保護層と同一条件にて３５ｎｍの膜厚
で窒化シリコンの誘電体保護層を積層した。最後に、膜
厚５０ｎｍのアルミニュウム合金層を積層し、４層膜構
成の光磁気記録媒体を作製した。この後、スパッタ装置
より基板ホルダーを取り出し、マスクを外したのち、ス
ピンコート法により記録媒体信号面全体に厚さ１０μｍ
の有機保護層を形成した。このとき、有機保護膜に記録
膜端部が原因となる凹凸は発生しなかった。

【００１４】実施例２： 基板ホルダーに、図２で示す
ように、端部の形状を高さ０．５ｍｍ、幅１ｍｍで斜め
にしたマスクをつけた状態で実施例１と同様の４層膜構
成の光磁気記録媒体をスパッタ法にて作製し、マスクを
取り外した後、スピンコート法により実施例１と同様の
有機保護膜を記録膜全面に形成した。このときも、有機
保護膜には記録膜端部が原因となる凹凸は発生しなかっ
た。

【００１５】比較例１： 基板ホルダーに、図３に示す
ように、マスクの端部が透明樹脂基板と接触した状態で
実施例１と同様の４層膜構成の光磁気記録媒体をスパッ
タ法にて作製し、外端部マスクを取り外した後、スピン
コート法により実施例１と同様の有機保護膜を記録層全
面に形成した。この時の、有機保護膜には記録膜が原因
である高さ２μｍの凹凸が発生した。

【００１６】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、記録膜
が原因となる有機保護膜の凹凸がない信頼性の高い光記
録媒体を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】基板ホルダーに基板とマスクを装着したときの
状態を示す本発明による基板装着断面構造図の一例で、
マスクとして、その端部に段差をつけたマスクを用いる
場合の例である。

【図２】基板ホルダーに基板とマスクを装着したときの
状態を示す本発明による基板装着断面構造図の他の一例
で、マスクとして、その端部の形状を斜めにカットした
形状のマスクを用いる場合の例である。

【図３】従来法による、基板ホルダーに基板とマスクを
装着したときの状態を示す基板装着断面構造図である。

【符号の説明】

１ 基板ホルダー ２ 透明樹脂基板 ３ 光記録膜 ４ マスク ５ マスク段差部 ６ マスク斜めカット部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ディスク状透明基板の信号面に記録膜を
   形成したのち有機保護膜を積層する光記録媒体の製造方
   法において、上記透明基板に対し記録膜の付着防止を行
   うマスクの端面が上記透明基板と接していない状態で記
   録膜を形成することを特徴とする光記録媒体の製造方
   法。