JPH0533488B2 - - Google Patents
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- JPH0533488B2 JPH0533488B2 JP59079216A JP7921684A JPH0533488B2 JP H0533488 B2 JPH0533488 B2 JP H0533488B2 JP 59079216 A JP59079216 A JP 59079216A JP 7921684 A JP7921684 A JP 7921684A JP H0533488 B2 JPH0533488 B2 JP H0533488B2
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- Japan
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- lab
- cathode
- discharge
- discharge display
- base electrode
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/20—Constructional details
- H01J11/22—Electrodes, e.g. special shape, material or configuration
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J17/00—Gas-filled discharge tubes with solid cathode
- H01J17/02—Details
- H01J17/04—Electrodes; Screens
- H01J17/06—Cathodes
- H01J17/063—Indirectly heated cathodes, e.g. by the discharge itself
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/20—Constructional details
- H01J11/22—Electrodes, e.g. special shape, material or configuration
- H01J11/32—Disposition of the electrodes
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、放電表示装置の製造方法特にその
LaB6陰極の形成法に関する。
LaB6陰極の形成法に関する。
背景技術とその問題点
近年、放電表示装置特にXYマトリツクスの直
流型放電表示パネル（プラズマ・デイスプレイ・
パネル（PDP）の開発が進められている。この
放電表示パネルでは通常陽極及び陰極として共に
Niが使用されてきている。しかしNiは放電のス
パツタリングに対して弱く、Ni陰極は数秒も経
ないうちに劣化してしまう。この為、放電表示パ
ネルにおいては水銀Hgを封入し電極表面に付着
させることによつてスパツタリングを抑えてき
た。
流型放電表示パネル（プラズマ・デイスプレイ・
パネル（PDP）の開発が進められている。この
放電表示パネルでは通常陽極及び陰極として共に
Niが使用されてきている。しかしNiは放電のス
パツタリングに対して弱く、Ni陰極は数秒も経
ないうちに劣化してしまう。この為、放電表示パ
ネルにおいては水銀Hgを封入し電極表面に付着
させることによつてスパツタリングを抑えてき
た。
一方、本出願人が開発した直流型放電表示パネ
ルは、独自の駆動方式即ちトリガー放電方式を用
いているため、特に大容量XYマトリツクスパネ
ルに適用した場合、各表示セルの放電特性（トリ
ガー放電及び主放電の特性）を或る程度均一化す
る必要がある。しかし水銀Hgを封入した放電表
示パネルでは経時変化によつて水銀の不均一分布
が発生するので、長時間にわたつて均一な放電特
性を保つことが難しい。このため、水銀が封入さ
れない放電表示パネルが望まれている。例えばコ
ツクピツト等の密室で使用する放電表示パネルに
おいては危険性を考慮して水銀を使用しないこと
が要求されている。
ルは、独自の駆動方式即ちトリガー放電方式を用
いているため、特に大容量XYマトリツクスパネ
ルに適用した場合、各表示セルの放電特性（トリ
ガー放電及び主放電の特性）を或る程度均一化す
る必要がある。しかし水銀Hgを封入した放電表
示パネルでは経時変化によつて水銀の不均一分布
が発生するので、長時間にわたつて均一な放電特
性を保つことが難しい。このため、水銀が封入さ
れない放電表示パネルが望まれている。例えばコ
ツクピツト等の密室で使用する放電表示パネルに
おいては危険性を考慮して水銀を使用しないこと
が要求されている。
また一般的にXYマトリツクス型の放電表示パ
ネルでは、消費電力の低減、長寿命化、高放電効
率化、低駆動電圧化等が求められている。一方、
陰極材料としてLaB6が注目されている。この
LaB6は、放電維持電圧が低く、物理的、化学的
に安定な物質なので、上記の要求に合つている。
ネルでは、消費電力の低減、長寿命化、高放電効
率化、低駆動電圧化等が求められている。一方、
陰極材料としてLaB6が注目されている。この
LaB6は、放電維持電圧が低く、物理的、化学的
に安定な物質なので、上記の要求に合つている。
しかし乍ら、このLaB6陰極は未だ実用化に至
つていない。その理由は薄膜蒸着法やプラズマ溶
射法では製造工程が複雑でコスト高なこと、特に
大容量、大画面での比較的均一な電極形成が難し
いことによる。また低コストで他のパネル構造と
共に厚巻印刷法での形成が出来ないことも原因し
ている。
つていない。その理由は薄膜蒸着法やプラズマ溶
射法では製造工程が複雑でコスト高なこと、特に
大容量、大画面での比較的均一な電極形成が難し
いことによる。また低コストで他のパネル構造と
共に厚巻印刷法での形成が出来ないことも原因し
ている。
すなわち、LaB6陰極を厚膜印刷法で形成する
場合、印刷塗布後に800〜900℃，N2雰囲気で焼
成するのが一般的である。しかし、放電表示パネ
ルでは基板がガラスのために600℃程度しか温度
を上げられないこと、他の電極、バリアなどの構
造物が酸化物系で通常空気中で焼成すること等の
ために、LaB6陰極の形成が困難である。また
LaB6は融点が2300℃程度と多角、600℃程度の焼
成温度では焼結されないため、形成後の抵抗は
109Ωか或いはそれ以上になつてしまう。厚膜印
刷法を採用すれば、LaB6粒子同志の結合力を得
るために一般にフリツトガラス等のバインダー物
質が混入されるが、このように形成後の抵抗が高
いものにさらにガラスバインダを入れることは出
来ない。
場合、印刷塗布後に800〜900℃，N2雰囲気で焼
成するのが一般的である。しかし、放電表示パネ
ルでは基板がガラスのために600℃程度しか温度
を上げられないこと、他の電極、バリアなどの構
造物が酸化物系で通常空気中で焼成すること等の
ために、LaB6陰極の形成が困難である。また
LaB6は融点が2300℃程度と多角、600℃程度の焼
成温度では焼結されないため、形成後の抵抗は
109Ωか或いはそれ以上になつてしまう。厚膜印
刷法を採用すれば、LaB6粒子同志の結合力を得
るために一般にフリツトガラス等のバインダー物
質が混入されるが、このように形成後の抵抗が高
いものにさらにガラスバインダを入れることは出
来ない。
発明の目的
本発明は、上述の点に鑑み、厚膜印刷法によつ
てLaB6陰極の形成を可能にした放電表示装置の
製造方法を提供するものである。
てLaB6陰極の形成を可能にした放電表示装置の
製造方法を提供するものである。
発明の概要
本発明は、LaB6粉末に対して20〜40重量％の
アルカリガラス粉末を混合してなるLaB6ペース
を下地電極上に塗布し、焼成、排気工程の後に高
電流ガス放電により活性化し、下地電極上に
LaB6陰極を形成するようにした放電表示装置の
製造方法である。
アルカリガラス粉末を混合してなるLaB6ペース
を下地電極上に塗布し、焼成、排気工程の後に高
電流ガス放電により活性化し、下地電極上に
LaB6陰極を形成するようにした放電表示装置の
製造方法である。
この発明の製法によれば、厚膜印刷法によつて
LaB6陰極を容易に形成することができ、低電圧
駆動、長寿命、高放電効率等すぐれた特性を有す
る放電表示装置が得られる。
LaB6陰極を容易に形成することができ、低電圧
駆動、長寿命、高放電効率等すぐれた特性を有す
る放電表示装置が得られる。
実施例
先づ、第１図を用いて本発明に適用される放電
表示装置の一例を説明する。図は、トリガー放電
方式の直流型放電表示パネルに適用した場合であ
る。この表示パネル１は前面ガラス基板２、背面
ガラス基板３及びこれらに挾まれたXYマトリツ
クス形状の陽極４、陰極５から成り、各陽極４は
絶縁性のバリア６によつて仕切られている。背面
ガラス基板３では陰極５の下部に絶縁誘電層７を
介して例えばAlよりなるトリガー電極８が陰極
５と平行に設けられる。この表示パネル１の製造
は、次のようにしてなされる。先づ前面ガラス基
板１上に陽極４と絶縁性のバリア６が厚膜印刷法
によつて形成される。また背面ガラス基板３上に
トリガー電極８、絶縁誘電層７及び陰極５が順次
厚膜印刷法によつて形成される。これら各構成部
は印刷後、焼成される。次にこの２枚のガラス基
板２及び３を陽極４と陰極５とが互に直交するよ
うに対向して配し、フリツトシールされる。その
後、加熱排気、ガス封入（例えばNe−Arガス）
及び最終封入等の工程を経て完成される。
表示装置の一例を説明する。図は、トリガー放電
方式の直流型放電表示パネルに適用した場合であ
る。この表示パネル１は前面ガラス基板２、背面
ガラス基板３及びこれらに挾まれたXYマトリツ
クス形状の陽極４、陰極５から成り、各陽極４は
絶縁性のバリア６によつて仕切られている。背面
ガラス基板３では陰極５の下部に絶縁誘電層７を
介して例えばAlよりなるトリガー電極８が陰極
５と平行に設けられる。この表示パネル１の製造
は、次のようにしてなされる。先づ前面ガラス基
板１上に陽極４と絶縁性のバリア６が厚膜印刷法
によつて形成される。また背面ガラス基板３上に
トリガー電極８、絶縁誘電層７及び陰極５が順次
厚膜印刷法によつて形成される。これら各構成部
は印刷後、焼成される。次にこの２枚のガラス基
板２及び３を陽極４と陰極５とが互に直交するよ
うに対向して配し、フリツトシールされる。その
後、加熱排気、ガス封入（例えばNe−Arガス）
及び最終封入等の工程を経て完成される。
かかる放電表示パネル１においては、陽極４と
陰極５に夫々選択的に駆動電圧が印加されること
によつて、その選択された陽極４と陰極５間の交
点で放電発光され、例えば線順次的に表示され
る。特にこの表示パネル１では陽極４及び陰極５
間の放電に先立つてトリガー電極８にトリガー電
圧が与えられ、これによつてトリガー電極８に対
応する部分の絶縁誘電層７上に壁電圧が誘起さ
れ、此処と選択された陰極５間で瞬時の放電がな
され、陰極５に沿つたガス空間がイオン化される
ことによつて以後の選択された陽極４及び陰極５
間の放電を容易にしている。
陰極５に夫々選択的に駆動電圧が印加されること
によつて、その選択された陽極４と陰極５間の交
点で放電発光され、例えば線順次的に表示され
る。特にこの表示パネル１では陽極４及び陰極５
間の放電に先立つてトリガー電極８にトリガー電
圧が与えられ、これによつてトリガー電極８に対
応する部分の絶縁誘電層７上に壁電圧が誘起さ
れ、此処と選択された陰極５間で瞬時の放電がな
され、陰極５に沿つたガス空間がイオン化される
ことによつて以後の選択された陽極４及び陰極５
間の放電を容易にしている。
本発明は、かかる放電表示パネルにおける陰極
５をLaB6陰極で構成し、このLaB6陰極を厚膜印
刷法によつて形成するものである。以下、本発明
の実施例を述べる。
５をLaB6陰極で構成し、このLaB6陰極を厚膜印
刷法によつて形成するものである。以下、本発明
の実施例を述べる。
本発明では、予めLaB6粉末と無機バインダと
適当なピークル（溶媒）から成るLaB6ペースト
を作製する。原料のLaB6粉末は数μm以下好まし
くは１〜3μmの平均粒径とし、粒径5μm以上の粒
子が全体の５％以下であるものを使う。普通
LaB6粉末は十分焼結状態からほぐされていない
ので、粒径が大きい場合にはボールミル等によつ
てさらに微粉末にする。無機バインダとしてはア
ルカリガラスを用いる。これは爾後の活性化工程
において或る程度のイオン電気伝導が必要だから
である。添加量はLaB6粉末１重量部に対してア
ルカリガラス微粉末を0.2〜0.4重量部とする。ア
ルカリガラス微粉末の添加量が少な過ぎると活性
化にむらが発生し、多過ぎると活性化が困難にな
る。
適当なピークル（溶媒）から成るLaB6ペースト
を作製する。原料のLaB6粉末は数μm以下好まし
くは１〜3μmの平均粒径とし、粒径5μm以上の粒
子が全体の５％以下であるものを使う。普通
LaB6粉末は十分焼結状態からほぐされていない
ので、粒径が大きい場合にはボールミル等によつ
てさらに微粉末にする。無機バインダとしてはア
ルカリガラスを用いる。これは爾後の活性化工程
において或る程度のイオン電気伝導が必要だから
である。添加量はLaB6粉末１重量部に対してア
ルカリガラス微粉末を0.2〜0.4重量部とする。ア
ルカリガラス微粉末の添加量が少な過ぎると活性
化にむらが発生し、多過ぎると活性化が困難にな
る。
そして、第２図Ａに示すように先づ背面ガラス
基板３に形成された絶縁誘電層７上に形成すべき
陰極パターンに沿つて導電ペースト例えばNiペ
ーストを印刷塗布し、焼成してNi下地電極１０
を形成する。このNi下地電極１０は爾後形成さ
れるLaB6陰極への電流供給用のリード線となる
ものである。
基板３に形成された絶縁誘電層７上に形成すべき
陰極パターンに沿つて導電ペースト例えばNiペ
ーストを印刷塗布し、焼成してNi下地電極１０
を形成する。このNi下地電極１０は爾後形成さ
れるLaB6陰極への電流供給用のリード線となる
ものである。
次に第２図Ｂに示すようにこのNi下地電極１
０上に前記のLaB6ペーストを積層印刷して後500
℃〜600℃の乾燥空気中で30分間焼成し、LaB6層
１１を形成する。焼成後のLaB6層１１の抵抗は
高く109Ω以上になる。
０上に前記のLaB6ペーストを積層印刷して後500
℃〜600℃の乾燥空気中で30分間焼成し、LaB6層
１１を形成する。焼成後のLaB6層１１の抵抗は
高く109Ω以上になる。
次に、前述のように例えばNiよりなる陽極４
及びバリア６が形成された前面ガラス基板２とか
かる背面ガラス基板３とのフリツトシール、加熱
排気、所要ガスの封入及び最終封入を行つて後、
陽極４及びNi下地電極１０間に所定電圧を印加
し、高電流でのガス放電による活性化処理（カソ
ードフオーミング）を行う。この活性化処理で
LaB6層１０の表面（所謂放電面）にはガラスが
存在しなくなり、LaB6自身が表面に露出すると
共に、さらに局部的な熱効果によつてLaB6粒子
間で焼結が起り、表面が融けてつながつたような
状態になる。これによつて導通がとれてLaB6層
の抵抗が下る。斯くして第２図Ｃに示すように
Ni下地電極１０上にLaB6陰極１２が形成され
る。
及びバリア６が形成された前面ガラス基板２とか
かる背面ガラス基板３とのフリツトシール、加熱
排気、所要ガスの封入及び最終封入を行つて後、
陽極４及びNi下地電極１０間に所定電圧を印加
し、高電流でのガス放電による活性化処理（カソ
ードフオーミング）を行う。この活性化処理で
LaB6層１０の表面（所謂放電面）にはガラスが
存在しなくなり、LaB6自身が表面に露出すると
共に、さらに局部的な熱効果によつてLaB6粒子
間で焼結が起り、表面が融けてつながつたような
状態になる。これによつて導通がとれてLaB6層
の抵抗が下る。斯くして第２図Ｃに示すように
Ni下地電極１０上にLaB6陰極１２が形成され
る。
活性化時の電流値は２〜5Acm2程度である。活
性化時の維持電圧の推移を第３図に示す。但し図
は電流密度3A／cm2で0.5秒オン−0.5秒オフの活性
化処理である。第３図から明らかなように当初は
放電開始電圧も高く（200V以上）且つバラツキ
も大きい。しかし、時間経過にしたがつて放電維
持電圧は下降し２〜３時間で安定化する。またバ
ラツキも１時間経過位から小さくなる。
性化時の維持電圧の推移を第３図に示す。但し図
は電流密度3A／cm2で0.5秒オン−0.5秒オフの活性
化処理である。第３図から明らかなように当初は
放電開始電圧も高く（200V以上）且つバラツキ
も大きい。しかし、時間経過にしたがつて放電維
持電圧は下降し２〜３時間で安定化する。またバ
ラツキも１時間経過位から小さくなる。
活性化後の通常駆動領域での維持電圧は110V
程度になる。因みにNi陰極の場合は150V程度で
ある。
程度になる。因みにNi陰極の場合は150V程度で
ある。
かかる本発明製法によれば、下地電極上に
LaB6ペーストを印刷塗布し、焼成して後、排気
工程等の後で高電流ガス放電による活性化を行う
ことにより、所謂厚膜印刷法によるLaB6陰極の
形成が可能となる。そして、このLaB6ペースト
にはガラスバインダが混合されているので、
LaB6粒子間の結合力及び下地電極との接着力が
強く、フリツトシール工程で多少LaB6陰極がこ
すれても容易に剥離することがない。またガラス
バインダとしてはイオン電気伝導のあるアルカリ
ガラスを用いるので、後の活性化処理が確実に行
える。またLaB6ペースト層の焼成処理は500℃〜
600℃程度で且つ空気中で行うので、背面ガラス
基板を損傷させることがなく、又他の酸化物系の
構造物にも悪影響を与えない。
LaB6ペーストを印刷塗布し、焼成して後、排気
工程等の後で高電流ガス放電による活性化を行う
ことにより、所謂厚膜印刷法によるLaB6陰極の
形成が可能となる。そして、このLaB6ペースト
にはガラスバインダが混合されているので、
LaB6粒子間の結合力及び下地電極との接着力が
強く、フリツトシール工程で多少LaB6陰極がこ
すれても容易に剥離することがない。またガラス
バインダとしてはイオン電気伝導のあるアルカリ
ガラスを用いるので、後の活性化処理が確実に行
える。またLaB6ペースト層の焼成処理は500℃〜
600℃程度で且つ空気中で行うので、背面ガラス
基板を損傷させることがなく、又他の酸化物系の
構造物にも悪影響を与えない。
尚、上例ではトリガー放電方式の直流型放電表
示パネルに適用したが、その他の放電表示パネル
のLaB6陰極形成にも適用できる。
示パネルに適用したが、その他の放電表示パネル
のLaB6陰極形成にも適用できる。
発明の効果
上述せる本発明によれば、下地電極上にLaB6
ペーストを印刷塗布し、焼成する工程と、その後
の高電流ガス放電による活性化処理によつて、所
謂厚膜印刷法によつてLaB6電極を容易に形成す
ることができる。
ペーストを印刷塗布し、焼成する工程と、その後
の高電流ガス放電による活性化処理によつて、所
謂厚膜印刷法によつてLaB6電極を容易に形成す
ることができる。
そして、このLaB6ペーストはガラスバインダ
が混合されているので、接着力は強いLaB6陰極
が得られる。またこのガラスバインダとしてイオ
ン電気伝導のあるアルカリガラスを用い、且つこ
のアルカリガラス粉末はLaB6粉末に対して20〜
40重量％の範囲で混合したことにより、良好に活
性化処理が出来るものである。
が混合されているので、接着力は強いLaB6陰極
が得られる。またこのガラスバインダとしてイオ
ン電気伝導のあるアルカリガラスを用い、且つこ
のアルカリガラス粉末はLaB6粉末に対して20〜
40重量％の範囲で混合したことにより、良好に活
性化処理が出来るものである。
このようにLaB6陰極が厚膜印刷法で形成でき
るので、大容量、大面積の放電表示装置の作製が
可能となる。またLaB6陰極の形成工程が蒸着法
等に比較して簡単となる且つ低コストで得られ
る。
るので、大容量、大面積の放電表示装置の作製が
可能となる。またLaB6陰極の形成工程が蒸着法
等に比較して簡単となる且つ低コストで得られ
る。
一方、LaB6陰極の形成が可能となることから、
次のような利点がある。放電表示装置において、
低駆動電圧化ができ、IC化による回路コストの
低減が図れる。低消費電力化ができる。LaB6が
耐スパツタ性にすぐれ、化学的、物理的に安定で
あり、且つ低駆動電圧によつてスパツタ電圧も低
くなつているので放電表示装置の寿命を伸ばすこ
とができる。放電効率の向上即ち低消費電力で高
発光輝度が実現できる。さらに水銀の封入が不要
となり、この種放電表示装置の用途の拡大が図れ
る。
次のような利点がある。放電表示装置において、
低駆動電圧化ができ、IC化による回路コストの
低減が図れる。低消費電力化ができる。LaB6が
耐スパツタ性にすぐれ、化学的、物理的に安定で
あり、且つ低駆動電圧によつてスパツタ電圧も低
くなつているので放電表示装置の寿命を伸ばすこ
とができる。放電効率の向上即ち低消費電力で高
発光輝度が実現できる。さらに水銀の封入が不要
となり、この種放電表示装置の用途の拡大が図れ
る。
第１図は本発明に適用される放電表示装置の一
例を示す構成図、第２図Ａ〜Ｃは本発明による
LaB6陰極の形成法の一例を示す工程図、第３図
は活性化処理時の維持電圧の推移を示す特性図で
ある。 ２は前面ガラス基板、３は背面ガラス基板、４
は陽極、５は陰極、６はバリア、７は絶縁誘電
層、８はトリガー電極、１０は下地電極、１２は
LaB6陰極である。
例を示す構成図、第２図Ａ〜Ｃは本発明による
LaB6陰極の形成法の一例を示す工程図、第３図
は活性化処理時の維持電圧の推移を示す特性図で
ある。 ２は前面ガラス基板、３は背面ガラス基板、４
は陽極、５は陰極、６はバリア、７は絶縁誘電
層、８はトリガー電極、１０は下地電極、１２は
LaB6陰極である。
Claims (1)
- １ LaB6粉末に対して20〜40重量％のアルカリ
ガラス粉末を混合してなるペーストを下地電極上
に塗布し、焼成、排気工程の後に高電流ガス放電
により活性化し、前記下地電極上にLaB6陰極を
形成して成る放電表示装置の製造方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59079216A JPS60221926A (ja) | 1984-04-19 | 1984-04-19 | 放電表示装置の製造方法 |
| CA000478802A CA1251418A (en) | 1984-04-19 | 1985-04-11 | Method of producing discharge display device |
| US06/721,955 US4599076A (en) | 1984-04-19 | 1985-04-11 | Method of producing discharge display device |
| KR1019850002507A KR930000380B1 (ko) | 1984-04-19 | 1985-04-15 | 방전표시장치의 제조방법 |
| EP85302738A EP0160459B1 (en) | 1984-04-19 | 1985-04-18 | Methods of producing discharge display devices |
| DE8585302738T DE3576607D1 (de) | 1984-04-19 | 1985-04-18 | Verfahren zur herstellung von anzeigeentladungsgeraeten. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59079216A JPS60221926A (ja) | 1984-04-19 | 1984-04-19 | 放電表示装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60221926A JPS60221926A (ja) | 1985-11-06 |
| JPH0533488B2 true JPH0533488B2 (ja) | 1993-05-19 |
Family
ID=13683730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59079216A Granted JPS60221926A (ja) | 1984-04-19 | 1984-04-19 | 放電表示装置の製造方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4599076A (ja) |
| EP (1) | EP0160459B1 (ja) |
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