JPH053352A - 積層型圧電アクチユエータおよびその製造方法 - Google Patents
積層型圧電アクチユエータおよびその製造方法Info
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- JPH053352A JPH053352A JP3159710A JP15971091A JPH053352A JP H053352 A JPH053352 A JP H053352A JP 3159710 A JP3159710 A JP 3159710A JP 15971091 A JP15971091 A JP 15971091A JP H053352 A JPH053352 A JP H053352A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 積層型圧電アクチュエータの駆動時における
応力集中を防止する。 【構成】 積層型圧電アクチュエータの側面にせり出し
部３ａ，３ｂを設け、内部電極２ａ，２ｂと外部電極４
ａ，４ｂとの間に生じた隙間を絶縁物質５で充填する。 【効果】 絶縁物質層が圧電セラミックス板からはがれ
にくく、積層型圧電アクチュエータの駆動時において応
力集中が防止でき、また、製造も簡単な積層型圧電アク
チュエータが提供できる。
応力集中を防止する。 【構成】 積層型圧電アクチュエータの側面にせり出し
部３ａ，３ｂを設け、内部電極２ａ，２ｂと外部電極４
ａ，４ｂとの間に生じた隙間を絶縁物質５で充填する。 【効果】 絶縁物質層が圧電セラミックス板からはがれ
にくく、積層型圧電アクチュエータの駆動時において応
力集中が防止でき、また、製造も簡単な積層型圧電アク
チュエータが提供できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、薄板状の圧電セラミ
ックス等からなる圧電セラミックス板と内部電極を交互
に積層した積層型圧電アクチュエータ及びその製造方法
に関する。
ックス等からなる圧電セラミックス板と内部電極を交互
に積層した積層型圧電アクチュエータ及びその製造方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、電歪効果によって伸縮運動等を行
なう圧電アクチュエータの一種として、例えば図４
（ａ）、（ｂ）に示すように圧電材料からなる膜または
薄板状の圧電セラミックス板（１）と内部電極（２
ａ）、（２ｂ）とを交互に積層し、前記内部電極（２
ａ）、（２ｂ）をそれぞれ外部電極（４ａ）、（４ｂ）
と接続したものや、図５に示すように圧電セラミックス
板（１）と内部電極（２ａ）、（２ｂ）とを交互に積層
し、一方の側面に一層おきに内部電極の端部に絶縁物質
を塗布して絶縁物質層（５）を形成し、他方の側面に
は、前記一方の側面において絶縁物質が塗布されなかっ
た内部電極の端部に絶縁物質を塗布して絶縁物質層
（５）をそれぞれ設けて積層体を作成し、この積層体の
両側面に外部電極（４ａ）、（４ｂ）として導電物質を
塗布した積層型圧電アクチュエータ（特公昭６３−１７
３５４）や、図６に示すように、圧電セラミックス板
（１）の表面に形成される内部電極（２ａ）、（２ｂ）
の周縁部に無電極部（６）を形成し、これら無電極部
（６）が一層おきに重なり合うように圧電セラミックス
板（１）を積層し、この後、この積層体の側面に外部電
極（４ａ）、（４ｂ）を内部電極（２ａ）、（２ｂ）お
よび無電極部（６）と交互に接するように形成したもの
（特開昭５８−１９６０７５）。あるいは、図７に示す
ように圧電セラミックス板（１）の側端面に、切欠き
（７）を一層おきに互い違いに形成し、これら切欠き
（７）を絶縁物質で充填して絶縁物質層（５）を形成
し、この後圧電セラミックス板（１）の両側面に外部電
極（４ａ）、（４ｂ）を形成したもの（特開昭６０−１
５４５８１）等種々の構造及び製法のものが提案されて
いる。
なう圧電アクチュエータの一種として、例えば図４
（ａ）、（ｂ）に示すように圧電材料からなる膜または
薄板状の圧電セラミックス板（１）と内部電極（２
ａ）、（２ｂ）とを交互に積層し、前記内部電極（２
ａ）、（２ｂ）をそれぞれ外部電極（４ａ）、（４ｂ）
と接続したものや、図５に示すように圧電セラミックス
板（１）と内部電極（２ａ）、（２ｂ）とを交互に積層
し、一方の側面に一層おきに内部電極の端部に絶縁物質
を塗布して絶縁物質層（５）を形成し、他方の側面に
は、前記一方の側面において絶縁物質が塗布されなかっ
た内部電極の端部に絶縁物質を塗布して絶縁物質層
（５）をそれぞれ設けて積層体を作成し、この積層体の
両側面に外部電極（４ａ）、（４ｂ）として導電物質を
塗布した積層型圧電アクチュエータ（特公昭６３−１７
３５４）や、図６に示すように、圧電セラミックス板
（１）の表面に形成される内部電極（２ａ）、（２ｂ）
の周縁部に無電極部（６）を形成し、これら無電極部
（６）が一層おきに重なり合うように圧電セラミックス
板（１）を積層し、この後、この積層体の側面に外部電
極（４ａ）、（４ｂ）を内部電極（２ａ）、（２ｂ）お
よび無電極部（６）と交互に接するように形成したもの
（特開昭５８−１９６０７５）。あるいは、図７に示す
ように圧電セラミックス板（１）の側端面に、切欠き
（７）を一層おきに互い違いに形成し、これら切欠き
（７）を絶縁物質で充填して絶縁物質層（５）を形成
し、この後圧電セラミックス板（１）の両側面に外部電
極（４ａ）、（４ｂ）を形成したもの（特開昭６０−１
５４５８１）等種々の構造及び製法のものが提案されて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ような圧電アクチュエータには次のような問題点があっ
た。すなわち、図４における圧電アクチュエータは同図
（ｂ）に示されるように、内部電極（２ａ）、（２ｂ）
の面積が圧電セラミックス板（１）積層面側の面積より
も小さく、周辺部分では内部電極は存在しない。従っ
て、外部電極（４ａ）、（４ｂ）間に電圧を印加すると
内部電極（２ａ）、（２ｂ）の重なり合う部分のみ電界
強度が強くなり周辺部分の電界強度は弱くなる。このた
め圧電アクチュエータの周辺部分は電圧を印加してもほ
とんど変位しないため圧電アクチュエータ全体の変位量
が小さくなるという欠点がある。さらに、変位する部分
としない部分との境界に応力集中が起こり、高電圧を印
加した時や繰返し印加、長時間印加等をした際、圧電セ
ラミックス板（１）が機械的に破壊する恐れがあった。
ような圧電アクチュエータには次のような問題点があっ
た。すなわち、図４における圧電アクチュエータは同図
（ｂ）に示されるように、内部電極（２ａ）、（２ｂ）
の面積が圧電セラミックス板（１）積層面側の面積より
も小さく、周辺部分では内部電極は存在しない。従っ
て、外部電極（４ａ）、（４ｂ）間に電圧を印加すると
内部電極（２ａ）、（２ｂ）の重なり合う部分のみ電界
強度が強くなり周辺部分の電界強度は弱くなる。このた
め圧電アクチュエータの周辺部分は電圧を印加してもほ
とんど変位しないため圧電アクチュエータ全体の変位量
が小さくなるという欠点がある。さらに、変位する部分
としない部分との境界に応力集中が起こり、高電圧を印
加した時や繰返し印加、長時間印加等をした際、圧電セ
ラミックス板（１）が機械的に破壊する恐れがあった。
【０００４】一方、図５に示すような圧電アクチュエー
タでは上記図４の圧電アクチュエータの欠点は解決でき
るが、絶縁物質層（５）は電圧を印加しても変位しない
ため絶縁物質層（５）と圧電セラミックス板（１）との
間に応力集中が起こり、高電圧を印加した場合やくり返
し印加、長時間印加をした場合には、絶縁物質層（５）
にひびが入ったり、圧電セラミックス板（１）からはが
れたりするといった欠点や絶縁物質層（５）を設ける際
に高い精度が要求されるといった問題があった。
タでは上記図４の圧電アクチュエータの欠点は解決でき
るが、絶縁物質層（５）は電圧を印加しても変位しない
ため絶縁物質層（５）と圧電セラミックス板（１）との
間に応力集中が起こり、高電圧を印加した場合やくり返
し印加、長時間印加をした場合には、絶縁物質層（５）
にひびが入ったり、圧電セラミックス板（１）からはが
れたりするといった欠点や絶縁物質層（５）を設ける際
に高い精度が要求されるといった問題があった。
【０００５】また、図６のような圧電アクチュエータの
場合、図４に示す圧電アクチュエータ同様圧電セラミッ
クス板（１）の無電極部（６）と重なり合う部分に電界
が加わらないため、この部分が無変位部分となる。この
ため、圧電セラミックス板（１）の無変位部分と変位部
分との境界に応力集中が起こり、破壊を招くという問題
があった。
場合、図４に示す圧電アクチュエータ同様圧電セラミッ
クス板（１）の無電極部（６）と重なり合う部分に電界
が加わらないため、この部分が無変位部分となる。この
ため、圧電セラミックス板（１）の無変位部分と変位部
分との境界に応力集中が起こり、破壊を招くという問題
があった。
【０００６】さらに、図７に示す積層型圧電アクチュエ
ータは、各圧電セラミックス板（１）にそれぞれ切欠き
（７）を形成しなければならず製造に手間がかかり、ま
た、高い精度も要求される。
ータは、各圧電セラミックス板（１）にそれぞれ切欠き
（７）を形成しなければならず製造に手間がかかり、ま
た、高い精度も要求される。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に請求項１に記載の発明は、圧電セラミックス板をその
一平面に形成した内部電極を介して複数枚積層して積層
体を形成し、前記積層体の相対向する側面にそれぞれ形
成した外部電極に対し前記内部電極を交互に接続した積
層型圧電アクチュエータにおいて、前記圧電セラミック
ス板を一方向に互い違いにずらして積層することによ
り、前記積層体の相対向する側面にそれぞれ前記圧電セ
ラミックス板のせり出し部を形成し、前記せり出し部の
間に形成された隙間にそれぞれ該隙間を埋める絶縁物質
層を形成し、前記せり出し部が形成された前記積層体の
相対向側面にそれぞれ前記外部電極を形成することによ
り、相対向する前記外部電極に対し前記内部電極を交互
に接続した積層型圧電アクチュエータとしたものであ
る。
に請求項１に記載の発明は、圧電セラミックス板をその
一平面に形成した内部電極を介して複数枚積層して積層
体を形成し、前記積層体の相対向する側面にそれぞれ形
成した外部電極に対し前記内部電極を交互に接続した積
層型圧電アクチュエータにおいて、前記圧電セラミック
ス板を一方向に互い違いにずらして積層することによ
り、前記積層体の相対向する側面にそれぞれ前記圧電セ
ラミックス板のせり出し部を形成し、前記せり出し部の
間に形成された隙間にそれぞれ該隙間を埋める絶縁物質
層を形成し、前記せり出し部が形成された前記積層体の
相対向側面にそれぞれ前記外部電極を形成することによ
り、相対向する前記外部電極に対し前記内部電極を交互
に接続した積層型圧電アクチュエータとしたものであ
る。
【０００８】請求項２に記載の発明は、前記請求項１の
絶縁物質層が弾性を有するものである。
絶縁物質層が弾性を有するものである。
【０００９】請求項３に記載の発明は、複数枚の圧電セ
ラミックス板の一平面にそれぞれ内部電極を形成し、複
数枚の前記圧電セラミックス板を前記内部電極を介して
積層して積層体を形成し、前記積層体の相対向する側面
にそれぞれ形成した外部電極に対し前記内部電極を交互
に接続する積層型圧電アクチュエータの製造方法におい
て、前記圧電セラミックス板を一方向に互い違いにずら
して積層することにより、前記積層の相対向する側面に
それぞれ前記圧電セラミックス板のせり出し部を形成
し、前記せり出し部の間に形成された隙間にそれぞれ該
隙間を埋める絶縁物質層を形成し、前記せり出し部が形
成された前記積層体の相対向側面にそれぞれ前記外部電
極を形成することにより、相対向する前記外部電極に対
し前記内部電極を交互に接続することとした積層型圧電
アクチュエータの製造方法である。
ラミックス板の一平面にそれぞれ内部電極を形成し、複
数枚の前記圧電セラミックス板を前記内部電極を介して
積層して積層体を形成し、前記積層体の相対向する側面
にそれぞれ形成した外部電極に対し前記内部電極を交互
に接続する積層型圧電アクチュエータの製造方法におい
て、前記圧電セラミックス板を一方向に互い違いにずら
して積層することにより、前記積層の相対向する側面に
それぞれ前記圧電セラミックス板のせり出し部を形成
し、前記せり出し部の間に形成された隙間にそれぞれ該
隙間を埋める絶縁物質層を形成し、前記せり出し部が形
成された前記積層体の相対向側面にそれぞれ前記外部電
極を形成することにより、相対向する前記外部電極に対
し前記内部電極を交互に接続することとした積層型圧電
アクチュエータの製造方法である。
【００１０】
【作用】本発明における積層型圧電アクチュエータ及び
その製造方法によれば、複数の圧電セラミックス板を一
方向に互い違いにずらして積層することにより、せり出
し部を設け、かつ、せり出し部の間に絶縁物質層を設け
るため、絶縁物質と圧電セラミックス板との密着性が高
くなり、絶縁物質がはがれたり割れたりしにくくなる。
また、前記構成のような圧電アクチュエータにおいて
は、せり出し部分の隙間が設けられた絶縁物質層によっ
て歪が吸収されるため、応力集中が緩和され、圧電セラ
ミックス板が割れにくく、圧電セラミックス板が伸縮運
動する際に、その動きが束縛されないこととなる。さら
に、前記せり出し部分の間の隙間に絶縁物質が埋め込ま
れることになるため絶縁物質層に応力が集中してひび等
が入っても絶縁物質層が欠落することがなくなる。しか
も、せり出し部によって内部電極と外部電極との間に十
分な距離が確保されるため確実な絶縁ができる。
その製造方法によれば、複数の圧電セラミックス板を一
方向に互い違いにずらして積層することにより、せり出
し部を設け、かつ、せり出し部の間に絶縁物質層を設け
るため、絶縁物質と圧電セラミックス板との密着性が高
くなり、絶縁物質がはがれたり割れたりしにくくなる。
また、前記構成のような圧電アクチュエータにおいて
は、せり出し部分の隙間が設けられた絶縁物質層によっ
て歪が吸収されるため、応力集中が緩和され、圧電セラ
ミックス板が割れにくく、圧電セラミックス板が伸縮運
動する際に、その動きが束縛されないこととなる。さら
に、前記せり出し部分の間の隙間に絶縁物質が埋め込ま
れることになるため絶縁物質層に応力が集中してひび等
が入っても絶縁物質層が欠落することがなくなる。しか
も、せり出し部によって内部電極と外部電極との間に十
分な距離が確保されるため確実な絶縁ができる。
【００１１】
【実施例】本発明の一実施例を図１乃至図３を参照し以
下に詳細に説明する。
下に詳細に説明する。
【００１２】図１〜図３は本発明の実施例における積層
型圧電アクチュエータの構造及び製造方法を示す図であ
る。これらの図に示すように、ＰＺＴ及びＰＬＺＴ等の
圧電セラミックス粉末と有機溶剤、有機バインダーを混
合したセラミックスグリーンシートを焼成し、所定の厚
さに切削した圧電セラミックス板（１）を作成する。前
記圧電セラミックス板（１）に銀ペースト等を塗布し、
内部電極（２ａ）、（２ｂ）を設ける。このようにして
形成された圧電セラミックス板（１）を図２に示すよう
に一方向に互い違いにずらして積層し、圧電セラミック
ス板の積層体を形成する。なお、この時圧電セラミック
ス板（１）は、圧電セラミックスの積層方向に垂直な面
の面積の３％〜５％ずらすのが好ましい。次に前記積層
体を熱圧着し、これによって得られた圧電セラミックス
板（１）の積層体のずれたせり出し部（３ａ）、（３
ｂ）がある面にそれぞれ、銀ペースト等導電物質により
外部電極（４ａ）、（４ｂ）を形成する。さらに、前記
せり出し部（３ａ）、（３ｂ）と外部電極（４ａ）、
（４ｂ）との隙間には、好ましくは弾性を有し、絶縁性
の高い樹脂やガラス等の絶縁物質を充填して内部電極
（２ａ）、（２ｂ）と外部電極（４ａ）、（４ｂ）との
絶縁をする絶縁物質層（５）を形成する。この時、外部
電極（４ａ）、（４ｂ）と絶縁物質層（５）は、図示す
るようにせり出し部（３ａ）、（３ｂ）がある側面の全
幅にわたり設けても、ある一定の幅でもって設けてもよ
い。
型圧電アクチュエータの構造及び製造方法を示す図であ
る。これらの図に示すように、ＰＺＴ及びＰＬＺＴ等の
圧電セラミックス粉末と有機溶剤、有機バインダーを混
合したセラミックスグリーンシートを焼成し、所定の厚
さに切削した圧電セラミックス板（１）を作成する。前
記圧電セラミックス板（１）に銀ペースト等を塗布し、
内部電極（２ａ）、（２ｂ）を設ける。このようにして
形成された圧電セラミックス板（１）を図２に示すよう
に一方向に互い違いにずらして積層し、圧電セラミック
ス板の積層体を形成する。なお、この時圧電セラミック
ス板（１）は、圧電セラミックスの積層方向に垂直な面
の面積の３％〜５％ずらすのが好ましい。次に前記積層
体を熱圧着し、これによって得られた圧電セラミックス
板（１）の積層体のずれたせり出し部（３ａ）、（３
ｂ）がある面にそれぞれ、銀ペースト等導電物質により
外部電極（４ａ）、（４ｂ）を形成する。さらに、前記
せり出し部（３ａ）、（３ｂ）と外部電極（４ａ）、
（４ｂ）との隙間には、好ましくは弾性を有し、絶縁性
の高い樹脂やガラス等の絶縁物質を充填して内部電極
（２ａ）、（２ｂ）と外部電極（４ａ）、（４ｂ）との
絶縁をする絶縁物質層（５）を形成する。この時、外部
電極（４ａ）、（４ｂ）と絶縁物質層（５）は、図示す
るようにせり出し部（３ａ）、（３ｂ）がある側面の全
幅にわたり設けても、ある一定の幅でもって設けてもよ
い。
【００１３】このようにして形成された積層型圧電アク
チュエータ（１０）は、一方の外部電極（４ａ）におい
て一層おきに内部電極（２ａ）に接続され、他方の外部
電極（４ｂ）は、前記一方の外部電極（４ａ）に接続さ
れなかった内部電極（２ｂ）に接続されており、電気的
に並列に電極が形成されている。そして、この積層型圧
電アクチュエータ（１０）は約１２０Ｖの分極電圧をか
けて分極処理（ポーリング）を施し、分極方向をそろえ
ることによって、圧電セラミックス板（１）が電圧印加
時にそれぞれ積層方向に変位するようにする。この時、
より高い電圧をかけた方が確実に分極方向をそろえるこ
とができるため、大きな変位や大きなトルクを得るため
には、より高い電圧をかけられるように内部電極（２
ａ）、（２ｂ）と外部電極（４ａ）、（４ｂ）との絶縁
を確実にすることが必要である。
チュエータ（１０）は、一方の外部電極（４ａ）におい
て一層おきに内部電極（２ａ）に接続され、他方の外部
電極（４ｂ）は、前記一方の外部電極（４ａ）に接続さ
れなかった内部電極（２ｂ）に接続されており、電気的
に並列に電極が形成されている。そして、この積層型圧
電アクチュエータ（１０）は約１２０Ｖの分極電圧をか
けて分極処理（ポーリング）を施し、分極方向をそろえ
ることによって、圧電セラミックス板（１）が電圧印加
時にそれぞれ積層方向に変位するようにする。この時、
より高い電圧をかけた方が確実に分極方向をそろえるこ
とができるため、大きな変位や大きなトルクを得るため
には、より高い電圧をかけられるように内部電極（２
ａ）、（２ｂ）と外部電極（４ａ）、（４ｂ）との絶縁
を確実にすることが必要である。
【００１４】なお、上記積層型圧電アクチュエータは、
予め焼成された圧電セラミックス板を用いて形成されて
いるが、薄い板状のグリーンシートを内部電極（２
ａ）、（２ｂ）を介して積層した後、焼成してもよい。
予め焼成された圧電セラミックス板を用いて形成されて
いるが、薄い板状のグリーンシートを内部電極（２
ａ）、（２ｂ）を介して積層した後、焼成してもよい。
【００１５】以上のようにして作成された積層型圧電ア
クチュエータは、せり出し部（３ａ）、（３ｂ）によっ
てそれぞれ形成された溝の部分に絶縁物質層（５）が埋
め込まれることになるため、絶縁物質層（５）の密着性
が高くなり、絶縁物質層（５）がはがれにくくなる。ま
た内部電極（２ａ）、（２ｂ）と外部電極（４ａ）、
（４ｂ）との絶縁をするのに切かき等も不要であり、圧
電セラミックス板（１）をずらして積層するだけでよい
ため、極めて簡単に製造できる。一方、圧電アクチュエ
ータの駆動時において、せり出し部（３ａ）、（３ｂ）
間に設けられた絶縁物質層によって歪が吸収されるた
め、応力集中が緩和され圧電セラミックス板（１）が割
れにくく、動きも束縛されない。さらに、せり出し部
（３ａ）、（３ｂ）によって確実な絶縁がされるため、
比較的高い駆動電圧や分極電圧がかけらられる。
クチュエータは、せり出し部（３ａ）、（３ｂ）によっ
てそれぞれ形成された溝の部分に絶縁物質層（５）が埋
め込まれることになるため、絶縁物質層（５）の密着性
が高くなり、絶縁物質層（５）がはがれにくくなる。ま
た内部電極（２ａ）、（２ｂ）と外部電極（４ａ）、
（４ｂ）との絶縁をするのに切かき等も不要であり、圧
電セラミックス板（１）をずらして積層するだけでよい
ため、極めて簡単に製造できる。一方、圧電アクチュエ
ータの駆動時において、せり出し部（３ａ）、（３ｂ）
間に設けられた絶縁物質層によって歪が吸収されるた
め、応力集中が緩和され圧電セラミックス板（１）が割
れにくく、動きも束縛されない。さらに、せり出し部
（３ａ）、（３ｂ）によって確実な絶縁がされるため、
比較的高い駆動電圧や分極電圧がかけらられる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明により得ら
れる積層型圧電アクチュエータは、圧電セラミックス板
を一方向にずらしてせり出し部を設け、かつ、せり出し
部の間に設けられた隙間に絶縁物質層を設けるため、絶
縁物質層の密着性がよく、はがれにくいものとなる。
れる積層型圧電アクチュエータは、圧電セラミックス板
を一方向にずらしてせり出し部を設け、かつ、せり出し
部の間に設けられた隙間に絶縁物質層を設けるため、絶
縁物質層の密着性がよく、はがれにくいものとなる。
【００１７】また、せり出し部の間に設けた、絶縁物質
層によって歪が吸収されるため、圧電セラミックス板が
割れにくく、その動きも束縛されないこととなる。
層によって歪が吸収されるため、圧電セラミックス板が
割れにくく、その動きも束縛されないこととなる。
【００１８】さらにせり出し部によって外部電極と内部
電極との間に十分な距離が確保できるため、確実な絶縁
が可能であり、従来の積層型圧電セラミックスよりも比
較的高い駆動電圧や分極電圧をかけ得るものとなる。
電極との間に十分な距離が確保できるため、確実な絶縁
が可能であり、従来の積層型圧電セラミックスよりも比
較的高い駆動電圧や分極電圧をかけ得るものとなる。
【００１９】また、本発明による積層型圧電アクチュエ
ータの製造方法によれば、内部電極と外部電極との絶縁
をするための切欠き不要であるため、その手間を省くこ
とができる。
ータの製造方法によれば、内部電極と外部電極との絶縁
をするための切欠き不要であるため、その手間を省くこ
とができる。
【図１】本発明の実施例の積層型圧電アクチュエータの
正面図。
正面図。
【図２】図１に示された積層型圧電アクチュエータの圧
電セラミックス板の積層方法を示す斜視図。
電セラミックス板の積層方法を示す斜視図。
【図３】図１に示された積層型圧電アクチュエータの平
面図。
面図。
【図４】従来の積層型圧電アクチュエータの正面図及び
斜視図。
斜視図。
【図５】従来の積層型圧電アクチュエータの正面図。
【図６】従来の積層型圧電アクチュエータの斜視図。
【図７】従来の積層型圧電アクチュエータの正面図。
１ 圧電セラミックス板
２ａ，２ｂ 内部電極
３ａ，３ｂ せり出し部
４ａ，４ｂ 外部電極
５ 絶縁物質層
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電セラミックス板をその一平面に形成
した内部電極を介して複数枚積層して積層体を形成し、
前記積層体の相対向する側面にそれぞれ形成した外部電
極に対し前記内部電極を交互に接続した積層型圧電アク
チュエータにおいて、前記圧電セラミックス板を一方向
に互い違いにずらして積層することにより、前記積層体
の相対向する側面にそれぞれ前記圧電セラミックス板の
せり出し部を形成し、前記せり出し部の間に形成された
隙間にそれぞれ該隙間を埋める絶縁物質層を形成し、前
記せり出し部が形成された前記積層体の相対向側面にそ
れぞれ前記外部電極を形成することにより、相対向する
前記外部電極に対し前記内部電極を交互に接続したこと
を特徴とする積層型圧電アクチュエータ。 - 【請求項２】 前記絶縁物質層が弾性を有する絶縁物質
を含む請求項１に記載の積層型圧電アクチュエータ。 - 【請求項３】 複数枚の圧電セラミックス板の一平面に
それぞれ内部電極を形成し、複数枚の前記圧電セラミッ
クス板を前記内部電極を介して積層して積層体を形成
し、前記積層体の相対向する側面にそれぞれ形成した外
部電極に対し前記内部電極を交互に接続する積層型圧電
アクチュエータの製造方法において、前記圧電セラミッ
クス板を一方向に互い違いにずらして積層することによ
り、前記積層の相対向する側面にそれぞれ前記圧電セラ
ミックス板のせり出し部を形成し、前記せり出し部の間
に形成された隙間にそれぞれ該隙間を埋める絶縁物質層
を形成し、前記せり出し部が形成された前記積層体の相
対向側面にそれぞれ前記外部電極を形成することによ
り、相対向する前記外部電極に対し前記内部電極を交互
に接続することを特徴とする積層型圧電アクチュエータ
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3159710A JPH053352A (ja) | 1991-06-04 | 1991-06-04 | 積層型圧電アクチユエータおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3159710A JPH053352A (ja) | 1991-06-04 | 1991-06-04 | 積層型圧電アクチユエータおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH053352A true JPH053352A (ja) | 1993-01-08 |
Family
ID=15699602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3159710A Withdrawn JPH053352A (ja) | 1991-06-04 | 1991-06-04 | 積層型圧電アクチユエータおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH053352A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0711674A1 (en) | 1994-11-10 | 1996-05-15 | Crown Fancy Goods Co., Ltd. | Combined writing tool |
| WO2013167643A3 (de) * | 2012-05-08 | 2014-06-19 | Continental Automotive Gmbh | Verfahren zum elektrischen kontaktieren eines elektronischen bauelements als stapel und elektronisches bauelement mit einer kontaktierungsstruktur |
-
1991
- 1991-06-04 JP JP3159710A patent/JPH053352A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0711674A1 (en) | 1994-11-10 | 1996-05-15 | Crown Fancy Goods Co., Ltd. | Combined writing tool |
| WO2013167643A3 (de) * | 2012-05-08 | 2014-06-19 | Continental Automotive Gmbh | Verfahren zum elektrischen kontaktieren eines elektronischen bauelements als stapel und elektronisches bauelement mit einer kontaktierungsstruktur |
| US9691965B2 (en) | 2012-05-08 | 2017-06-27 | Continental Automotive Gmbh | Method for making electrical contact with an electronic component in the form of a stack, and electronic component having a contact-making structure |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980903 |