JPH0533565B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0533565B2 JPH0533565B2 JP60062909A JP6290985A JPH0533565B2 JP H0533565 B2 JPH0533565 B2 JP H0533565B2 JP 60062909 A JP60062909 A JP 60062909A JP 6290985 A JP6290985 A JP 6290985A JP H0533565 B2 JPH0533565 B2 JP H0533565B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- crystal piece
- crystal
- cutting
- cut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、水晶片とフレームをつないでいる接
続部の切断においてバリを防止し、寸法精度を良
好にした水晶片の製造方法に関するものである。
続部の切断においてバリを防止し、寸法精度を良
好にした水晶片の製造方法に関するものである。
［従来の技術］
水晶振動子が電子分野において広く利用されて
きており、これに伴い小型化、高精度化、低コス
ト化を果たすためにフオトリソグラフイー法によ
るエツチング加工が行われている。
きており、これに伴い小型化、高精度化、低コス
ト化を果たすためにフオトリソグラフイー法によ
るエツチング加工が行われている。
第３図は、フオトリソグラフイー法によるエツ
チング加工によつて複数個同時に成形した音叉型
水晶片３１である。角音叉型水晶片３１は、１枚
のウエーハから同時に複数個成形され、それぞれ
フレーム３２に固定させるため接続部３３により
つながつている。そして接続部３３を切断して１
つ１つバラバラにして使用するものである。この
音叉型水晶片３１は、水晶のXYZ軸のＸ軸を基
軸としてＸ−Ｙ平面を反時計回りに角度を数度回
転させ周波数温度特性の零温度係数点を室温近辺
にしてあるもので、新たな座標軸はXY′Z′軸とな
り、Ｘ−Y′平面で主面はZ′軸に対し垂直になつて
いて、厚み方向がZ′軸である。そしてＸ軸、Y′軸
は図示したように音叉型水晶片の長手方向が
Y′軸となり、短辺方向がＸ軸である。第３図で
は音叉型水晶片３１はY′軸方向で接続部３３が
引出されフレーム３２に固定されている。また接
続部３３は、Y′軸方向の他にＸ軸方向から引出
して固定していることもある。そして各音叉型水
晶片３１を１つ１つバラバラに切断するときは、
第４図ａのように接続部４３の切断個所を他より
も幅を狭くしたり、第４図ｂのように接続部４
３′にハーフエツチングを施して切断しやすいよ
うにしてある。しかしながら音叉型水晶片には割
れやすい方向が存在しており、接続部をY′軸、
Ｘ軸方向から引出すと切断の際、切断個所の形状
が一様ではなく、切断のしかたによつては接続部
の一部が残余しバリ等となり、このため音叉型水
晶片の外形寸法が一定にならず、取り扱いにくい
ものとなつている。またフオトリソグラフイー法
によるエツチング加工によつて加工寸法精度が格
段に向上されているにもかかわらず、この接続部
の切断において外形寸法の精度が上げられない欠
点があつた。この為ワイヤーレゾナンズの発生が
生じ易く、特性上への影響も無視できないものと
なつていた。さらに個々に外形寸法が異なること
から自動化にも問題があつた。
チング加工によつて複数個同時に成形した音叉型
水晶片３１である。角音叉型水晶片３１は、１枚
のウエーハから同時に複数個成形され、それぞれ
フレーム３２に固定させるため接続部３３により
つながつている。そして接続部３３を切断して１
つ１つバラバラにして使用するものである。この
音叉型水晶片３１は、水晶のXYZ軸のＸ軸を基
軸としてＸ−Ｙ平面を反時計回りに角度を数度回
転させ周波数温度特性の零温度係数点を室温近辺
にしてあるもので、新たな座標軸はXY′Z′軸とな
り、Ｘ−Y′平面で主面はZ′軸に対し垂直になつて
いて、厚み方向がZ′軸である。そしてＸ軸、Y′軸
は図示したように音叉型水晶片の長手方向が
Y′軸となり、短辺方向がＸ軸である。第３図で
は音叉型水晶片３１はY′軸方向で接続部３３が
引出されフレーム３２に固定されている。また接
続部３３は、Y′軸方向の他にＸ軸方向から引出
して固定していることもある。そして各音叉型水
晶片３１を１つ１つバラバラに切断するときは、
第４図ａのように接続部４３の切断個所を他より
も幅を狭くしたり、第４図ｂのように接続部４
３′にハーフエツチングを施して切断しやすいよ
うにしてある。しかしながら音叉型水晶片には割
れやすい方向が存在しており、接続部をY′軸、
Ｘ軸方向から引出すと切断の際、切断個所の形状
が一様ではなく、切断のしかたによつては接続部
の一部が残余しバリ等となり、このため音叉型水
晶片の外形寸法が一定にならず、取り扱いにくい
ものとなつている。またフオトリソグラフイー法
によるエツチング加工によつて加工寸法精度が格
段に向上されているにもかかわらず、この接続部
の切断において外形寸法の精度が上げられない欠
点があつた。この為ワイヤーレゾナンズの発生が
生じ易く、特性上への影響も無視できないものと
なつていた。さらに個々に外形寸法が異なること
から自動化にも問題があつた。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明は、前述した欠点を改善したものであつ
て、接続部の切断においてバリを生ぜず、外形寸
法精度を向上させた水晶片の製造方法である。
て、接続部の切断においてバリを生ぜず、外形寸
法精度を向上させた水晶片の製造方法である。
［発明の構成］
本発明の目的を達成させるため本発明では、フ
オトリソグラフイー法によりエツチング加工し、
水晶片とフレームとを固定するための接続部を該
水晶片の一側面から引き出し、該接続部を切断加
工する水晶片の製造方法において、該水晶片のＸ
軸を基軸として時計方向で6°あるいは反時計方向
に6°回転した方向に設けた構成の水晶片の製造方
法である。
オトリソグラフイー法によりエツチング加工し、
水晶片とフレームとを固定するための接続部を該
水晶片の一側面から引き出し、該接続部を切断加
工する水晶片の製造方法において、該水晶片のＸ
軸を基軸として時計方向で6°あるいは反時計方向
に6°回転した方向に設けた構成の水晶片の製造方
法である。
［作用及び実施例］
第１図ａ，ｂは、本発明の実施例を示すもので
第１図ａは平面図、第１図ｂは、本発明を説明す
る為の角度を表わすものである。
第１図ａは平面図、第１図ｂは、本発明を説明す
る為の角度を表わすものである。
第１図ｂは、第３図と同様のカツトアングルの
ウエーハであり主面がZ′軸を垂直にカツトしてお
り、水平方向はＸ軸、垂直方向はY′軸である。
そして、通常は音叉型水晶片のフレームとの接続
部をY′軸、Ｘ軸にして引出されているものであ
る。
ウエーハであり主面がZ′軸を垂直にカツトしてお
り、水平方向はＸ軸、垂直方向はY′軸である。
そして、通常は音叉型水晶片のフレームとの接続
部をY′軸、Ｘ軸にして引出されているものであ
る。
本発明はＸ軸を基軸としてZ′軸の回りで時計方
向に6°回転させた個所に接続部を設けるものであ
るが、Ｘ軸は図示したように３方向に存在しそれ
ぞれ120°の間隔になつていて、本発明はそれぞれ
のＸ軸に対して6°回転させた個所において接続部
を設けたものである。
向に6°回転させた個所に接続部を設けるものであ
るが、Ｘ軸は図示したように３方向に存在しそれ
ぞれ120°の間隔になつていて、本発明はそれぞれ
のＸ軸に対して6°回転させた個所において接続部
を設けたものである。
また、軸の対称性からＸ軸に対して反時計方向
に6°回転させたものであつても時計方向に回転さ
せた時と同じ効果が得られることになる。
に6°回転させたものであつても時計方向に回転さ
せた時と同じ効果が得られることになる。
第１図ａは、第１図ｂのＸ軸（X1）から時計
方向に6°回転させた方向を利用して接続部１３を
設けたものであつて、音叉型水晶片１１のＸ軸寄
りから接続部１３を設けてフレーム１２に固定さ
れている。なお、切断個所には従来どおり、切断
しやすいようにハーフエツチングや幅を狭めた
り、この二つを組合わせているものである。この
ようにすることにより接続部１３を切断する場合
に、割れ易い方向が音叉型水晶片の一辺と平行に
なり切断においてシヤープに切断できるため、音
叉型水晶片１１の外形水晶片１１の外形寸法の精
度を上げることができ、また取り扱い易いものと
なり、自動化にも良いものとなる。なお、図で示
すように接続部１３の破線の部分で切断するもの
であるが、6°回転させていることから音叉型水晶
片１１の下部を左右対称に角を加工してあるもの
であるが、外形寸法にはほとんど影響しないもの
となつている。
方向に6°回転させた方向を利用して接続部１３を
設けたものであつて、音叉型水晶片１１のＸ軸寄
りから接続部１３を設けてフレーム１２に固定さ
れている。なお、切断個所には従来どおり、切断
しやすいようにハーフエツチングや幅を狭めた
り、この二つを組合わせているものである。この
ようにすることにより接続部１３を切断する場合
に、割れ易い方向が音叉型水晶片の一辺と平行に
なり切断においてシヤープに切断できるため、音
叉型水晶片１１の外形水晶片１１の外形寸法の精
度を上げることができ、また取り扱い易いものと
なり、自動化にも良いものとなる。なお、図で示
すように接続部１３の破線の部分で切断するもの
であるが、6°回転させていることから音叉型水晶
片１１の下部を左右対称に角を加工してあるもの
であるが、外形寸法にはほとんど影響しないもの
となつている。
また、Ｘ軸の関係からX2軸、X3軸等の利用も
考えられるがX3軸の場合、音叉型水晶片の場合、
先端部での支持は強度的に弱いためと、先端部が
周波数に大きく影響するため、接続部の切断のバ
ラツキが即ち周波数のバラツキとなつて現われる
ため、使用しないものである。
考えられるがX3軸の場合、音叉型水晶片の場合、
先端部での支持は強度的に弱いためと、先端部が
周波数に大きく影響するため、接続部の切断のバ
ラツキが即ち周波数のバラツキとなつて現われる
ため、使用しないものである。
第２図は、他の実施例を表す平面図である。図
は水晶片としてよく利用されるATカツト水晶片
２１であり新たな軸はXY′Z′で、軸方向は水平方
向がＸ軸、垂直方向がZ′軸である。このＸ−Z′平
面においても第１図ｂの角度の図において、
Y′軸をZ′軸と置換することにより利用することが
出来る。つまり第２図は第１図ｂのX2軸を利用
したものであり、接続部２３はX2軸方向から引
出しているものでフレーム２２に伸びているもの
である。この時の角度は、Z′軸から時計方向に
36°回転した個所である。そして破線部分が切断
個所である。
は水晶片としてよく利用されるATカツト水晶片
２１であり新たな軸はXY′Z′で、軸方向は水平方
向がＸ軸、垂直方向がZ′軸である。このＸ−Z′平
面においても第１図ｂの角度の図において、
Y′軸をZ′軸と置換することにより利用することが
出来る。つまり第２図は第１図ｂのX2軸を利用
したものであり、接続部２３はX2軸方向から引
出しているものでフレーム２２に伸びているもの
である。この時の角度は、Z′軸から時計方向に
36°回転した個所である。そして破線部分が切断
個所である。
これによつても水晶片の割れ易い方向となるた
めATカツト水晶片２１の外形寸法精度を向上さ
せることが出来、また自動化にも有利となつてい
る。
めATカツト水晶片２１の外形寸法精度を向上さ
せることが出来、また自動化にも有利となつてい
る。
なお、Ｘ軸からの回転角度は6°とあるが、その
範囲は6°±2°で有効な効果を及ぼす。
範囲は6°±2°で有効な効果を及ぼす。
また本発明では、圧電効果を利用する振動板に
限らず、単に圧電効果を利用しない水晶片として
使用されるものの製造方法であつても良い。
限らず、単に圧電効果を利用しない水晶片として
使用されるものの製造方法であつても良い。
［本発明の効果］
本発明は、フオトリソグラフイー法によるエツ
チング加工により水晶片を成形しフレームとの間
に接続部を設け、この接続部をＸ軸に対して時計
方向、反時計方向に6°回転させた個所に設けたも
のであつて、これによつて割れ易い方向となるた
めに接続部を切断して水晶片を使用する場合に水
晶片の一辺と平行に切断することが出来るためバ
リ等が生ぜず外形寸法も精度よく加工でき、その
結果、諸特性が均一となり製造の自動化にも大い
に役立つものとなつた。
チング加工により水晶片を成形しフレームとの間
に接続部を設け、この接続部をＸ軸に対して時計
方向、反時計方向に6°回転させた個所に設けたも
のであつて、これによつて割れ易い方向となるた
めに接続部を切断して水晶片を使用する場合に水
晶片の一辺と平行に切断することが出来るためバ
リ等が生ぜず外形寸法も精度よく加工でき、その
結果、諸特性が均一となり製造の自動化にも大い
に役立つものとなつた。
また、本発明により接続部の切断において特に
ハーフエツチング加工や幅を狭める等の加工をす
る必要がなく工数の低減に役立ち、ソスト的にも
有利となつた。
ハーフエツチング加工や幅を狭める等の加工をす
る必要がなく工数の低減に役立ち、ソスト的にも
有利となつた。
第１図ａ、第２図は、本発明の水晶片の平面
図。第１図ｂは、角度を説明するための図。第３
図は、従来のフオトリソグラフイー法によるエツ
チング加工による水晶片である。第４図ａ，ｂ
は、接続部の切断を容易にするためのａは平面
図、ｂは斜視図である。 １１，２１……水晶片、１２，２２……フレー
ム、１３，２３……接続部。
図。第１図ｂは、角度を説明するための図。第３
図は、従来のフオトリソグラフイー法によるエツ
チング加工による水晶片である。第４図ａ，ｂ
は、接続部の切断を容易にするためのａは平面
図、ｂは斜視図である。 １１，２１……水晶片、１２，２２……フレー
ム、１３，２３……接続部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ フオトリソグラフイー法によりエツチング加
工し、水晶片とフレームとを固定するための接続
部を該水晶片の一側面から引き出し、該接続部を
切断加工する水晶片の製造方法において、該水晶
片のＸ軸を基軸として時計方向で6°あるいは反時
計方向に6°回転した方法に設けた水晶片の製造方
法。 ２ 該水晶片の主面がZ′軸と垂直に交叉するＸ−
Y′平面であることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の水晶片の製造方法。 ３ 該水晶片の主面がY′軸と垂直に交叉するＸ
−Z′平面であることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の水晶片の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6290985A JPS61220508A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 水晶片の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6290985A JPS61220508A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 水晶片の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61220508A JPS61220508A (ja) | 1986-09-30 |
| JPH0533565B2 true JPH0533565B2 (ja) | 1993-05-19 |
Family
ID=13213849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6290985A Granted JPS61220508A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 水晶片の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61220508A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4507551B2 (ja) * | 2003-10-22 | 2010-07-21 | エプソントヨコム株式会社 | 水晶振動素子とその製造方法、及びその水晶振動素子を用いた表面実装型水晶デバイス |
| JP2016146595A (ja) * | 2015-02-09 | 2016-08-12 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片の製造方法、ウェハー、振動片、振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体 |
| JP7077539B2 (ja) | 2017-06-23 | 2022-05-31 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5375077U (ja) * | 1976-11-26 | 1978-06-22 | ||
| JPS5513552A (en) * | 1978-07-14 | 1980-01-30 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Crystal vibrator |
| JPS5937722A (ja) * | 1982-08-26 | 1984-03-01 | Matsushima Kogyo Co Ltd | 縦振動型圧電振動子 |
-
1985
- 1985-03-26 JP JP6290985A patent/JPS61220508A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61220508A (ja) | 1986-09-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |