JPH05341190A - 顕微鏡用焦準装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 速くかつ正確な微動焦準が行える顕微鏡用焦
準装置を得ることを目的とする。 【構成】 反射照明装置３の上部に設けられるレボルバ
ー２の微動焦準装置１４、１５、１４ａと、レボルバー
２と微動焦準装置１４、１５、１４ａとを連結する連結
装置１３、１３ａ、３ａ、１６、とを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は顕微鏡用焦準装置に関
し、特に液晶基板等の大型標本を観察するための顕微鏡
の顕微鏡用焦準装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の装置は図４のように構成
されていた。図４において、対物レンズ２１はレボルバ
ー２２に取り付けられ、レボルバー２２は反射照明装置
２３の下部に取り付けられている。反射照明装置２３
は、不図示の光源からの光をオプチカルファイバ等で受
け、ステージ２７上に載置された観察対象物からの光を
対物レンズ２１から接眼レンズ３０まで導く延長光学系
ユニット２８の下部に取り付けられている。

【０００３】延長光学系ユニット２８の上端部には接眼
レンズ３０が取り付いた鏡筒２９が固定されており、そ
して、延長光学系ユニット２８は、アーム２６に設けら
れた粗動用焦準機構２４を介して取り付けられていた。
アーム２６は、ステージ２７が載置されたベース２５上
に固定されていた。レボルバー２２は、反射照明装置の
下部に配置され、不図示の微動用焦準機構を内蔵し、レ
ボルバー２２に固定された対物レンズを数ミリ、焦準可
能にステージ２７の垂直方向に移動可能な構成をしてい
た。

【０００４】又、この他の従来のこの種の装置は、粗微
動駆動機構により反射照明装置ごとレボルバーに取り付
けられた対物レンズを焦準可能な様にステージの垂直方
向に移動可能な構成をしていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来の技術
において、対物レンズの微動焦準機構がレボルバーに内
蔵されたものでは、レボルバー自体が大きくなり、観察
に使用していない対物レンズが観察者側に出っ張る為、
邪魔になるという問題点があった。又、観察に使用して
いない対物レンズを観察者の反対側に配置しようとする
と、レボルバーが観察者側にきて、やはり邪魔になると
いう問題点があった。

【０００６】他の従来の技術における反射照明装置ごと
粗微動焦準する粗微動駆動機構では、非常に精密な動き
を要求される微動焦準時に重たい反射照明装置ごと動か
すのは慣性力があるため、大きなモータやより強固な機
構が必要で構造が大きくなると共に高価になるという問
題点があった。本発明は、この様な従来の問題点に鑑み
てなされたものであり、レボルバーを小型にし、迅速か
つ正確な微動焦準が行える顕微鏡用焦準装置を得ること
を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】反射照明装置（３）に設
けられるレボルバー（２）の微動焦準手段（１４、１
５、１４ａ）と、反射照明装置（３）を貫通し、レボル
バー（２）と微動焦準手段（１４、１５、１４ａ）とを
連結する連結手段（１３ａ、３ａ、１６、１３）とを設
けた。

【０００８】

【作用】本発明に於いては、対物レンズの微動焦準機構
をレボルバーとは別に反射照明装置に設け、微動を反射
照明装置ごと全体を動かすのではなく、比較的軽いレボ
ルバーだけを動かすので、微動焦準を速く正確に行うこ
とができる。さらに、微動焦準用の案内機構を反射照明
装置の内部に設けたので、レボルバーを観察者の反対側
に向け観察に使用しない対物レンズが邪魔にならない様
にできると共に、レボルバーが小型化にでき、観察時に
邪魔にならない構成とすることができる。

【０００９】

【実施例】本発明の顕微鏡用焦準装置が備えられた顕微
鏡の全体を図２に示す。図２に示す様に、対物レンズ１
はレボルバー２に取り付けられ、レボルバー２は反射照
明装置３の下部に取り付けられている。反射照明装置３
は反射照明装置３の上部に設けられた粗動駆動機構４に
よりアーム３に取り付けられている。ベース５の上に観
察対象物を載置するステージ７とアーム６が固定されて
おり、アーム６の観察者側には、接眼レンズ１０を取り
付けた鏡筒９が取り付けられている。

【００１０】アーム８には、対物レンズ２から鏡筒９ま
で光軸を延長する為の延長光学系ユニット８が固定され
ている。接眼レンズ１０を取り付けた鏡筒９はアーム６
の上に取り付けられている。図１は、本発明の顕微鏡用
焦準装置を示し、図２のＡ部の拡大断面図である。図１
に示す様に、反射照明装置３の内部には、反射照明用の
光学系１１ａ、１１ｂ、１１ｃと、対物レンズ１と不図
示の接眼レンズとの光路に斜設されるハーフミラー１２
とが配置されている。

【００１１】そして、反射照明装置３には、反射照明用
の光学系１１ｂと１１ｃの間を通るような貫通孔が形成
されている。反射照明装置３は、アーム６から突出した
突出部４に不図示の粗動駆動機構によりアーム６に取り
付けられている。反射照明装置３の下部のレボルバー２
取り付け位置には、レボルバー２と略同一形状の凹部が
設けられており、また、反射照明装置３の上部には円板
１４を備えたモータ１５が設けられている。

【００１２】モータ１５は反射照明装置３の上部枠内に
図示のない小ねじ等で固定されている。レボルバー２
は、複数の対物レンズ１を備えており、使用しない対物
レンズが観察者に対して、使用している対物レンズ１よ
り遠い位置に回転するように設けられている。

【００１３】レボルバー２の反射照明装置３への取り付
け面には、対物レンズ１の光軸と略同方向に突出するよ
うに連結板１３が設けられている。図３は図１のＢ−Ｂ
矢視断面図である。図３に示す様に、連結板１３は、上
部に長円の貫通孔を有し、モータ１５の軸に取り付けら
れた円板１４の中心から偏心した位置に取り付けられた
コマ１４ａが該長円に内装されることによって、モータ
１５とレボルバー２とを連結させることになる。

【００１４】また、連結板１３には、反射照明用の光学
系１１ｂと１１ｃとの間に位置するように、反射照明光
学系より径の大きい孔４１が形成されている。そして、
連結板１３は、反射照明装置３の内部のメスレースのＶ
溝３ａと連結板１３の側面のオスレースのＶ溝１３ａと
コロ１６により直線案内機構を構成しており（本実施例
では連結板１３の紙面左側のみ表示してあるが、紙面右
側にも同様の機構がある）、連結板１３と反射照明装置
３とで直線案内機構を構成している。

【００１５】以上のような構成において、対物レンズ１
の微動焦準は、モータ１５の回転により、円板１４を回
転させる。円板１４の中心から偏心した位置取り付けら
れたコマ１４ａが連結板１３の長円に内装されているの
で、モータ１５の回転により、連結板１３が紙面上下に
微動する。本実施例において、連結板１３の直線案内機
構３ａ、１３ａ、１６を反射照明装置３の内部に設けた
ので、反射照明装置３自体が大きくなることがない。

【００１６】本実施例では、モータ１５と円板１４とを
直接的に動力を伝達しているが、モータ１５と円板１４
は歯車列等で間接的に動力を伝達しても良い。また、モ
ータ１５の微動駆動装置は反射照明装置の上部ではな
く、反射照明装置内部や側面等、反射照明装置の下部以
外ならどこに設けてもよい。粗動駆動機構４は反射照明
装置３を不図示のモータ、動力伝達機構及び直進案内機
構で相対的に動かす。この粗動駆動機構４は、微動駆動
装置と実質的には同様な構成をしている。

【００１７】さらに、本実施例において、連結板１３の
直線案内機構はＶ溝３ａ、１３ａ、コロ１６により構成
されているが、コロ１６のかわりに球でもよく、また、
アリガイドでも良い。

【００１８】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、対物レン
ズの微動焦準機構を反射照明装置に設け、微動を反射照
明装置ごと全体を動かすのではなく、比較的軽いレボル
バーだけを動かすので、微動焦準を速く正確に行うこと
ができ、小型の微動駆動機構で微動焦準ができる。

【００１９】さらに、微動駆動機構が反射照明装置の下
部に突出しないのでレボルバーが小型になり、レボルバ
ーが観察者に対して反対側に向けられるため観察に使用
する対物レンズ以外が観察者の邪魔にならない利点もあ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図２のＡ部拡大断面図である。

【図２】本発明による実施例を示す顕微鏡全体の側面図
である。

【図３】図１のＢ−Ｂ矢視断面図である。

【図４】従来の顕微鏡全体を示す側面図である。

【符号の説明】

１ 対物レンズ ２ レボルバー ３ 反射照明装置 ４ 粗動駆動機構 ５ ベース ６ アーム ７ ステージ ８ 延長光学系ユニット ９ 鏡筒 １０ 接眼レンズ １３ 連結板 １４ 円板 １４ａ コマ １５ モータ １６ コロ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】反射照明装置と、前記反射照明装置の物体
   側に対物レンズを具備したレボルバーを備えた顕微鏡の
   顕微鏡用焦準装置において、 前記反射照明装置に設けられる前記レボルバーの微動焦
   準手段と、 前記反射照明装置を貫通し、前記レボルバーと前記微動
   焦準手段とを連結する連結手段と、を備えたことを特徴
   とする顕微鏡用焦準装置。