JPH0534372A - 回路基板の検査装置 - Google Patents
回路基板の検査装置Info
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- JPH0534372A JPH0534372A JP3216511A JP21651191A JPH0534372A JP H0534372 A JPH0534372 A JP H0534372A JP 3216511 A JP3216511 A JP 3216511A JP 21651191 A JP21651191 A JP 21651191A JP H0534372 A JPH0534372 A JP H0534372A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検査回路基板の被検査電極領域に対し、そ
の全体にわたって接続用電極を有する電極ボードを均一
な押圧状態で押圧させることができ、局部的な突出部の
影響が解消され、高い信頼性で被検査回路基板の電気的
性能を検査することのできる回路基板の検査装置を提供
することを目的とする。 【構成】 本発明回路基板の検査装置は、可撓性を有す
る絶縁性基板の一面に接続用電極を有してなる電極ボー
ドと、この電極ボードの他面側の空間を当該電極ボード
と共に包囲して加圧室を形成する加圧室形成部材と、こ
の加圧室内を、前記電極ボードが外方に膨出するよう加
圧状態に維持するための加圧機構とよりなる電極ボード
装置を有し、この加圧室内に接続用電極と検査回路とを
接続する配線を収納してなり、前記加圧室内が加圧状態
とされることにより、前記電極ボードを介してその一面
側に配置された被検査回路基板に対して押圧力が作用さ
れて電極ボードの接続用電極と被検査回路基板の被検査
電極とが電気的に接続されることを特徴とする。
の全体にわたって接続用電極を有する電極ボードを均一
な押圧状態で押圧させることができ、局部的な突出部の
影響が解消され、高い信頼性で被検査回路基板の電気的
性能を検査することのできる回路基板の検査装置を提供
することを目的とする。 【構成】 本発明回路基板の検査装置は、可撓性を有す
る絶縁性基板の一面に接続用電極を有してなる電極ボー
ドと、この電極ボードの他面側の空間を当該電極ボード
と共に包囲して加圧室を形成する加圧室形成部材と、こ
の加圧室内を、前記電極ボードが外方に膨出するよう加
圧状態に維持するための加圧機構とよりなる電極ボード
装置を有し、この加圧室内に接続用電極と検査回路とを
接続する配線を収納してなり、前記加圧室内が加圧状態
とされることにより、前記電極ボードを介してその一面
側に配置された被検査回路基板に対して押圧力が作用さ
れて電極ボードの接続用電極と被検査回路基板の被検査
電極とが電気的に接続されることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被検査回路基板の被検
査電極領域に、接続用電極を有する電極ボードを押圧さ
せた状態で当該被検査回路基板の電気的性能を検査する
ための回路基板の検査装置に関する。
査電極領域に、接続用電極を有する電極ボードを押圧さ
せた状態で当該被検査回路基板の電気的性能を検査する
ための回路基板の検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に集積回路などを搭載する回路基板
については、これらを搭載する前に回路基板上の配線パ
ターンが所期の性能を有することを確認するためにその
電気的特性を検査することが必要であるが、これを実行
するためには、被検査回路基板の被検査電極と検査用テ
スターとの電気的な接続を、適宜の接続手段によって達
成することが必要である。従前においては、プローブピ
ンを被検査電極に接触させる方式が採用されていたが、
このプローブピン方式では被検査電極の高密度化に十分
に対応することができない。
については、これらを搭載する前に回路基板上の配線パ
ターンが所期の性能を有することを確認するためにその
電気的特性を検査することが必要であるが、これを実行
するためには、被検査回路基板の被検査電極と検査用テ
スターとの電気的な接続を、適宜の接続手段によって達
成することが必要である。従前においては、プローブピ
ンを被検査電極に接触させる方式が採用されていたが、
このプローブピン方式では被検査電極の高密度化に十分
に対応することができない。
【０００３】そこで、検査用テスターに電気的に接続さ
れた接続用電極を設けてなる電極ボードを用い、この電
極ボードを、適宜の弾性エラストマーシート状コネクタ
を介してまたは介さずに、被検査電極が配置された被検
査電極領域に押圧させ、この押圧力によって被検査電極
と電極ボードの接続用電極との電気的な接続を実現する
方式が知られている。そして、この方式においては、従
来、電極ボード、必要なシート状コネクタおよび被検査
回路基板を積重させた状態で挟圧する適宜の挟圧機構が
利用されている。
れた接続用電極を設けてなる電極ボードを用い、この電
極ボードを、適宜の弾性エラストマーシート状コネクタ
を介してまたは介さずに、被検査電極が配置された被検
査電極領域に押圧させ、この押圧力によって被検査電極
と電極ボードの接続用電極との電気的な接続を実現する
方式が知られている。そして、この方式においては、従
来、電極ボード、必要なシート状コネクタおよび被検査
回路基板を積重させた状態で挟圧する適宜の挟圧機構が
利用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな方式の検査装置においては、当該電極ボードを全体
に均一な押圧状態で被検査回路基板に押圧させることが
困難である、という問題点がある。すなわち、電極ボー
ドは、その基体として一般に可撓性の絶縁性基板が用い
られていて全体として撓みや反りなどが生じ易いもので
あるため、仮に挟圧機構が電極ボードの全面に均一な押
圧力を作用させ得るものであっても、電極ボードそれ自
体に局部的な撓みや反りがある場合には、その影響によ
って均一な押圧状態を達成することができない。また、
電極ボードに撓みや反りがない場合においても、局部的
な均一押圧状態が達成されない場合が多々ある。例え
ば、被検査回路基板またはコネクタにその表面から突出
して形成されたワイア配線部などがある場合には、その
ような局部的な突出部のために広い面積範囲において良
好な押圧状態が阻害されるようになり、結局電気的な接
続の信頼性が大幅に低いものとなる。
うな方式の検査装置においては、当該電極ボードを全体
に均一な押圧状態で被検査回路基板に押圧させることが
困難である、という問題点がある。すなわち、電極ボー
ドは、その基体として一般に可撓性の絶縁性基板が用い
られていて全体として撓みや反りなどが生じ易いもので
あるため、仮に挟圧機構が電極ボードの全面に均一な押
圧力を作用させ得るものであっても、電極ボードそれ自
体に局部的な撓みや反りがある場合には、その影響によ
って均一な押圧状態を達成することができない。また、
電極ボードに撓みや反りがない場合においても、局部的
な均一押圧状態が達成されない場合が多々ある。例え
ば、被検査回路基板またはコネクタにその表面から突出
して形成されたワイア配線部などがある場合には、その
ような局部的な突出部のために広い面積範囲において良
好な押圧状態が阻害されるようになり、結局電気的な接
続の信頼性が大幅に低いものとなる。
【０００５】本発明は、被検査回路基板の被検査電極領
域に対し、その全体にわたって接続用電極を有する電極
ボードを均一な押圧状態で押圧させることができ、局部
的な突出部の影響が解消され、高い信頼性で被検査回路
基板の電気的性能を検査することのできる回路基板の検
査装置を提供することを目的とする。
域に対し、その全体にわたって接続用電極を有する電極
ボードを均一な押圧状態で押圧させることができ、局部
的な突出部の影響が解消され、高い信頼性で被検査回路
基板の電気的性能を検査することのできる回路基板の検
査装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の回路基板の検査
装置は、可撓性を有する絶縁性基板の一面に接続用電極
を有してなる電極ボードと、この電極ボードの他面側の
空間を当該電極ボードと共に包囲して加圧室を形成する
加圧室形成部材と、この加圧室内を、前記電極ボードが
外方に膨出するよう加圧状態に維持するための加圧機構
とよりなる電極ボード装置を有してなり、前記加圧室内
が加圧状態とされることにより、前記電極ボードを介し
てその一面側に配置された被検査回路基板に対して押圧
力が作用されて電極ボードの接続用電極と被検査回路基
板の被検査電極とが電気的に接続されることを特徴とす
る。
装置は、可撓性を有する絶縁性基板の一面に接続用電極
を有してなる電極ボードと、この電極ボードの他面側の
空間を当該電極ボードと共に包囲して加圧室を形成する
加圧室形成部材と、この加圧室内を、前記電極ボードが
外方に膨出するよう加圧状態に維持するための加圧機構
とよりなる電極ボード装置を有してなり、前記加圧室内
が加圧状態とされることにより、前記電極ボードを介し
てその一面側に配置された被検査回路基板に対して押圧
力が作用されて電極ボードの接続用電極と被検査回路基
板の被検査電極とが電気的に接続されることを特徴とす
る。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例について具体的に説
明すると、図１は、本発明に係る回路基板の検査装置の
一例における構成を示す。１０は電極ボードであって、
この電極ボード１０は、例えばガラス繊維強化エポキシ
樹脂よりなる可撓性の絶縁性基板１１の下面に、接続用
電極１２が例えばその表面から僅かに突出する状態で形
成されると共に、上面には引出し用電極１３が形成さ
れ、当該基板１１内を伸びる層内配線１４により、接続
用電極１２の各々が引出し用電極１３に電気的に接続さ
れている。
明すると、図１は、本発明に係る回路基板の検査装置の
一例における構成を示す。１０は電極ボードであって、
この電極ボード１０は、例えばガラス繊維強化エポキシ
樹脂よりなる可撓性の絶縁性基板１１の下面に、接続用
電極１２が例えばその表面から僅かに突出する状態で形
成されると共に、上面には引出し用電極１３が形成さ
れ、当該基板１１内を伸びる層内配線１４により、接続
用電極１２の各々が引出し用電極１３に電気的に接続さ
れている。
【０００８】このような電極ボード１０と、他の加圧室
形成部材とにより、加圧室２０が構成されている。すな
わち、電極ボード１０の基板１１の上面の外周縁部に剛
性の材質よりなる周壁２１が気密に設けられると共に、
この周壁２１を介して前記電極ボード１０と対向するよ
う剛性の材質よりなる基台板２２が気密に設けられ、こ
れらの周壁２１および基台板２２と、電極ボード１０と
によって加圧室２０が画成されている。
形成部材とにより、加圧室２０が構成されている。すな
わち、電極ボード１０の基板１１の上面の外周縁部に剛
性の材質よりなる周壁２１が気密に設けられると共に、
この周壁２１を介して前記電極ボード１０と対向するよ
う剛性の材質よりなる基台板２２が気密に設けられ、こ
れらの周壁２１および基台板２２と、電極ボード１０と
によって加圧室２０が画成されている。
【０００９】更に、この加圧室２０内を加圧状態に維持
するための加圧機構が設けられている。この例において
は、加圧機構は圧縮空気供給機構によって構成されてい
る。すなわち、周壁２１を貫通して加圧室２０内に開口
する通気管２５が設けられ、この通気管２５に圧縮空気
源２６が接続されると共に圧力調整バルブ２７が介挿さ
れている。
するための加圧機構が設けられている。この例において
は、加圧機構は圧縮空気供給機構によって構成されてい
る。すなわち、周壁２１を貫通して加圧室２０内に開口
する通気管２５が設けられ、この通気管２５に圧縮空気
源２６が接続されると共に圧力調整バルブ２７が介挿さ
れている。
【００１０】また、図示の例においては、加圧室２０の
周壁２１を貫通してパイプ１５が設けられており、各引
出し用電極１３から伸びるリードワイア１６の束がパイ
プ１５により、外部に設けられた検査用テスター（図示
せず）に導かれている。このようなリードワイア１６の
代わりに、例えば電極ボード１０の基板１１の上面上を
伸びる配線を設け、これにより引出し用電極１３と検査
用テスターとの電気的な接続を達成することも可能であ
る。また、パイプ１５の代わりにコネクターを介して引
出し用電極１３とテスターとの電気的な接続を達成する
ことも可能である。
周壁２１を貫通してパイプ１５が設けられており、各引
出し用電極１３から伸びるリードワイア１６の束がパイ
プ１５により、外部に設けられた検査用テスター（図示
せず）に導かれている。このようなリードワイア１６の
代わりに、例えば電極ボード１０の基板１１の上面上を
伸びる配線を設け、これにより引出し用電極１３と検査
用テスターとの電気的な接続を達成することも可能であ
る。また、パイプ１５の代わりにコネクターを介して引
出し用電極１３とテスターとの電気的な接続を達成する
ことも可能である。
【００１１】
【作用】以上のような構成の電極ボード装置により、次
のようにして被検査回路基板の検査が実行される。すな
わち、電極ボード１０の下面側に被検査回路基板３０を
その被検査電極領域が電極ボード１０に対面するよう配
置し、この被検査回路基板３０を反対側の面において、
剛性の材質よりなる対向基台板３５によって支持する。
このように電極ボード１０と対向基台板３５との間に被
検査回路基板３０を介在させた状態において、対向基台
板３５を前記基台板２２に対して離間しないよう、すな
わち対向基台板３５が下方に移動することがないよう、
適宜の拘束手段によって拘束する。この拘束手段として
は、例えば対向基台板３５と基台板２２との両者を貫通
して上下方向に伸びる拘束ボルト３６などを利用するこ
とができるが、これに限定されるものではなく、他の種
々の緊締手段乃至拘束手段を利用することができる。
のようにして被検査回路基板の検査が実行される。すな
わち、電極ボード１０の下面側に被検査回路基板３０を
その被検査電極領域が電極ボード１０に対面するよう配
置し、この被検査回路基板３０を反対側の面において、
剛性の材質よりなる対向基台板３５によって支持する。
このように電極ボード１０と対向基台板３５との間に被
検査回路基板３０を介在させた状態において、対向基台
板３５を前記基台板２２に対して離間しないよう、すな
わち対向基台板３５が下方に移動することがないよう、
適宜の拘束手段によって拘束する。この拘束手段として
は、例えば対向基台板３５と基台板２２との両者を貫通
して上下方向に伸びる拘束ボルト３６などを利用するこ
とができるが、これに限定されるものではなく、他の種
々の緊締手段乃至拘束手段を利用することができる。
【００１２】このように、電極ボード装置の電極ボード
１０と対向基台板３５との間に被検査回路基板３０が介
在され、かつ基台板２２に対して対向基台板３５が拘束
された状態において、圧縮空気源２６を駆動すると共に
圧力調整バルブ２７を調整することにより通気管２５を
介して圧縮空気を加圧室２０内に導入し、加圧室２０内
の圧力を外部環境より加圧状態に維持させる。この加圧
状態における圧力の大きさは特に限定されるものではな
いが、通常は外気圧の１．１〜１．５倍程度でよく、従
って通常の環境においては１．１〜１．５気圧とされる
が、圧力の上限はそれ以上に高くてもよい。
１０と対向基台板３５との間に被検査回路基板３０が介
在され、かつ基台板２２に対して対向基台板３５が拘束
された状態において、圧縮空気源２６を駆動すると共に
圧力調整バルブ２７を調整することにより通気管２５を
介して圧縮空気を加圧室２０内に導入し、加圧室２０内
の圧力を外部環境より加圧状態に維持させる。この加圧
状態における圧力の大きさは特に限定されるものではな
いが、通常は外気圧の１．１〜１．５倍程度でよく、従
って通常の環境においては１．１〜１．５気圧とされる
が、圧力の上限はそれ以上に高くてもよい。
【００１３】加圧室２０が以上のように加圧状態に維持
されると、電極ボード１０の外周縁部は周壁２１を介し
て基台板２２に拘束されているため、可撓性の基板１１
は全体が下方に膨出するようになる。そして、電極ボー
ド１０は、加圧室２０内の圧力による押圧力により、そ
の下面全体が被検査回路基板３０の被検査電極領域に均
一に押圧された状態となる。その結果、電極ボード１０
に形成された接続用電極１２は、被検査回路基板３０の
被検査電極領域における被検査電極に均一な押圧力で接
触されることとなり、被検査回路基板３０の被検査電極
と電極ボード１０の接続用電極１２との電気的な接続が
達成される。
されると、電極ボード１０の外周縁部は周壁２１を介し
て基台板２２に拘束されているため、可撓性の基板１１
は全体が下方に膨出するようになる。そして、電極ボー
ド１０は、加圧室２０内の圧力による押圧力により、そ
の下面全体が被検査回路基板３０の被検査電極領域に均
一に押圧された状態となる。その結果、電極ボード１０
に形成された接続用電極１２は、被検査回路基板３０の
被検査電極領域における被検査電極に均一な押圧力で接
触されることとなり、被検査回路基板３０の被検査電極
と電極ボード１０の接続用電極１２との電気的な接続が
達成される。
【００１４】そして、被検査回路基板３０の被検査電極
と電極ボード１０の接続用電極１２との電気的な接続が
達成される結果、当該被検査電極が、電極ボード１０を
介して検査用テスターに電気的に接続され、当該被検査
回路基板３０について所要の電気的な検査が行われる。
と電極ボード１０の接続用電極１２との電気的な接続が
達成される結果、当該被検査電極が、電極ボード１０を
介して検査用テスターに電気的に接続され、当該被検査
回路基板３０について所要の電気的な検査が行われる。
【００１５】然るに、電極ボード１０は、加圧室２０内
が加圧状態とされることによってその全体が等しい面圧
となって膨出するように変形されるため、加圧室内に個
々の接続用電極と検査用テスターを電気的に接続する配
線等が存在しても、基本的に、当該電極ボード１０の各
部分による被検査電極領域に対する押圧状態が均一とな
り、当該電極ボード１０に撓みや反りが存在する場合に
はそれらが矯正された状態となる。更に、例えば被検査
回路基板３０に多少の凹凸があって局部的な変形が電極
ボード１０に生ずるべき場合においても、それらの局部
的な突出部の影響が及ぶ範囲が狭く抑制され、従って電
極ボード１０の被検査電極に対する電気的な接続の信頼
性がきわめて高いものとなる。
が加圧状態とされることによってその全体が等しい面圧
となって膨出するように変形されるため、加圧室内に個
々の接続用電極と検査用テスターを電気的に接続する配
線等が存在しても、基本的に、当該電極ボード１０の各
部分による被検査電極領域に対する押圧状態が均一とな
り、当該電極ボード１０に撓みや反りが存在する場合に
はそれらが矯正された状態となる。更に、例えば被検査
回路基板３０に多少の凹凸があって局部的な変形が電極
ボード１０に生ずるべき場合においても、それらの局部
的な突出部の影響が及ぶ範囲が狭く抑制され、従って電
極ボード１０の被検査電極に対する電気的な接続の信頼
性がきわめて高いものとなる。
【００１６】図２は本発明の他の実施例を示す。この例
において、電極ボード１０はいわゆるユニバーサル型の
ものとされており、その下面には接続用電極１２が標準
格子点位置において表面から僅かに突出した状態で設け
られている。そして、この電極ボード１０の下面側に
は、導電路が厚み方向に伸びる弾性導電シート４０が配
置され、更にこの弾性導電シート４０と被検査回路基板
３０との間にオフグリッドボード４１が介挿されてい
る。
において、電極ボード１０はいわゆるユニバーサル型の
ものとされており、その下面には接続用電極１２が標準
格子点位置において表面から僅かに突出した状態で設け
られている。そして、この電極ボード１０の下面側に
は、導電路が厚み方向に伸びる弾性導電シート４０が配
置され、更にこの弾性導電シート４０と被検査回路基板
３０との間にオフグリッドボード４１が介挿されてい
る。
【００１７】この例において、弾性導電シート４０は、
適宜の材質よりなるエラストマーシート中に多数の導電
路形成部が表面から突出して形成され、この導電路形成
部に導電性粒子が配向した状態に分散されてなるもので
ある。しかし、他の弾性導電シートを使用することもで
きる。例えばエラストマーシート中に単に導電性粒子が
分散されてなるもの、または必要に応じて更に厚み方向
に柱状に配向されたものなどを用いることができ、特に
絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が密に充填され
てなる複数の導電部が相互に絶縁部によって絶縁され、
導電部が絶縁部の外表面から突出し、厚み方向に多数の
導電路が形成された導電性エラストマーシートを接触安
定性の観点から好適に利用することができる。この導電
性エラストマーシートは、厚み方向に圧縮されたときに
その方向に導電路が形成される感圧導電性シートであっ
てもよい。導電性粒子としては、例えばニッケル、鉄、
コバルトなどの磁性を示す金属の粒子、これらの金属の
合金の粒子、磁性を示す金属または合金の粒子の表面に
金、銀、パラジウム、ロジウムなどのメッキを施したも
の、非磁性金属粒子、ガラスビーズなどの無機質粒子ま
たはポリマー粒子に、ニッケル、コバルトなどの導電性
磁性体のメッキを施したものなどを挙げることができ、
その粒径は例えば３〜２００μｍ、好ましくは１０〜１
００μｍである。
適宜の材質よりなるエラストマーシート中に多数の導電
路形成部が表面から突出して形成され、この導電路形成
部に導電性粒子が配向した状態に分散されてなるもので
ある。しかし、他の弾性導電シートを使用することもで
きる。例えばエラストマーシート中に単に導電性粒子が
分散されてなるもの、または必要に応じて更に厚み方向
に柱状に配向されたものなどを用いることができ、特に
絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が密に充填され
てなる複数の導電部が相互に絶縁部によって絶縁され、
導電部が絶縁部の外表面から突出し、厚み方向に多数の
導電路が形成された導電性エラストマーシートを接触安
定性の観点から好適に利用することができる。この導電
性エラストマーシートは、厚み方向に圧縮されたときに
その方向に導電路が形成される感圧導電性シートであっ
てもよい。導電性粒子としては、例えばニッケル、鉄、
コバルトなどの磁性を示す金属の粒子、これらの金属の
合金の粒子、磁性を示す金属または合金の粒子の表面に
金、銀、パラジウム、ロジウムなどのメッキを施したも
の、非磁性金属粒子、ガラスビーズなどの無機質粒子ま
たはポリマー粒子に、ニッケル、コバルトなどの導電性
磁性体のメッキを施したものなどを挙げることができ、
その粒径は例えば３〜２００μｍ、好ましくは１０〜１
００μｍである。
【００１８】前記オフグリッドボード４１は、可撓性の
絶縁性基板の上面において、標準格子点の適宜の位置に
第１の接続用電極が表面から僅かに突出するよう形成さ
れると共に、下面において被検査回路基板３０の被検査
電極に対応した位置に第２の接続用電極が表面から僅か
に突出するよう形成され、更に第１の接続用電極と第２
の接続用電極とが層内配線により電気的に接続された、
ピッチ変換機能を有するコネクタである。
絶縁性基板の上面において、標準格子点の適宜の位置に
第１の接続用電極が表面から僅かに突出するよう形成さ
れると共に、下面において被検査回路基板３０の被検査
電極に対応した位置に第２の接続用電極が表面から僅か
に突出するよう形成され、更に第１の接続用電極と第２
の接続用電極とが層内配線により電気的に接続された、
ピッチ変換機能を有するコネクタである。
【００１９】図２の例においては、以上の事項以外は図
１の例と同様とされ、加圧室２０内が加圧状態とされる
ことにより、電極ボード１０の膨出による押圧状態が弾
性導電シート４０およびオフグリッドボード４１を介し
て被検査回路基板３０に作用され、その結果、被検査回
路基板３０の被検査電極が、オフグリッドボード４１お
よび弾性導電シート４０を介して電極ボード１０の接続
用電極１２に電気的に接続される。従って、既述の例と
同様にして所期の電気的な接続を確実に達成することが
できると共に、高い信頼性で被検査回路基板についての
検査を行うことができる。
１の例と同様とされ、加圧室２０内が加圧状態とされる
ことにより、電極ボード１０の膨出による押圧状態が弾
性導電シート４０およびオフグリッドボード４１を介し
て被検査回路基板３０に作用され、その結果、被検査回
路基板３０の被検査電極が、オフグリッドボード４１お
よび弾性導電シート４０を介して電極ボード１０の接続
用電極１２に電気的に接続される。従って、既述の例と
同様にして所期の電気的な接続を確実に達成することが
できると共に、高い信頼性で被検査回路基板についての
検査を行うことができる。
【００２０】以上、本発明の実施例を説明したが、本発
明においては種々の変形を加えることが可能である。ま
た、被検査回路基板が両面に被検査電極を有する場合に
は、電極ボード装置を当該被検査回路基板の両面に適用
することができる。
明においては種々の変形を加えることが可能である。ま
た、被検査回路基板が両面に被検査電極を有する場合に
は、電極ボード装置を当該被検査回路基板の両面に適用
することができる。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、被検査回路基板の被検
査電極領域に対し、その全体にわたって接続用電極を有
する電極ボードを均一な押圧状態で押圧させることがで
き、局部的な突出部の影響が解消され、高い信頼性で被
検査回路基板の電気的性能を検査することができる。
査電極領域に対し、その全体にわたって接続用電極を有
する電極ボードを均一な押圧状態で押圧させることがで
き、局部的な突出部の影響が解消され、高い信頼性で被
検査回路基板の電気的性能を検査することができる。
【図１】本発明の一実施例における回路基板の検査装置
の構成を示す説明用断面図である。
の構成を示す説明用断面図である。
【図２】本発明の他の実施例における回路基板の検査装
置の構成を示す説明用断面図である。
置の構成を示す説明用断面図である。
１０ 電極ボード １１ 基板 １２ 接続用電極 １３ 引出し用電極 １４ 層内配線 １５ パイプ １６ リードワイア ２０ 加圧室 ２１ 周壁 ２２ 基台板 ２５ 通気管 ２６ 圧縮空気源 ２７ 圧力調整バルブ ３０ 被検査回路基板 ３５ 対向基台板 ４０ 導電性エラストマーシート ４１ オフグリッドボード
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 可撓性を有する絶縁性基板の一面に接続
用電極を有してなる電極ボードと、この電極ボードの他
面側の空間を当該電極ボードと共に包囲して加圧室を形
成する加圧室形成部材と、この加圧室内を、前記電極ボ
ードが外方に膨出するよう加圧状態に維持するための加
圧機構とよりなる電極ボード装置を有し、この加圧室内
に接続用電極と検査回路とを接続する配線を収納してな
り、 前記加圧室内が加圧状態とされることにより、前記電極
ボードを介してその一面側に配置された被検査回路基板
に対して押圧力が作用されて電極ボードの接続用電極と
被検査回路基板の被検査電極とが電気的に接続されるこ
とを特徴とする回路基板の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3216511A JPH0534372A (ja) | 1991-08-02 | 1991-08-02 | 回路基板の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3216511A JPH0534372A (ja) | 1991-08-02 | 1991-08-02 | 回路基板の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0534372A true JPH0534372A (ja) | 1993-02-09 |
Family
ID=16689580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3216511A Pending JPH0534372A (ja) | 1991-08-02 | 1991-08-02 | 回路基板の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0534372A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1151998A (ja) * | 1997-08-04 | 1999-02-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリント配線板の検査装置 |
| JP2000206169A (ja) * | 1999-01-11 | 2000-07-28 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
| JP2005338061A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Feinmetall Gmbh | 検査品の電気的検査のための検査装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6325564A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-02-03 | シ−メンス、アクチエンゲゼルシヤフト | マイクロエレクトロニクスの被検査デバイス用電気的接触装置 |
-
1991
- 1991-08-02 JP JP3216511A patent/JPH0534372A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6325564A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-02-03 | シ−メンス、アクチエンゲゼルシヤフト | マイクロエレクトロニクスの被検査デバイス用電気的接触装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1151998A (ja) * | 1997-08-04 | 1999-02-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリント配線板の検査装置 |
| JP2000206169A (ja) * | 1999-01-11 | 2000-07-28 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
| JP2005338061A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Feinmetall Gmbh | 検査品の電気的検査のための検査装置 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
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