JPH05346562A - 液晶表示パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 第１の基板１１に第１のアライメントマーク
を、第２の基板１２に第２のアライメントマークをそれ
ぞれ形成し、この第１と第２のアライメントマークを用
いて第１と第２との基板とを貼り合わせるにあたり、第
１のアライメントマーク１６はＴ字形状とし、第２のア
ライメントマーク１７は逆Ｔ字形状とし、第１と第２の
アライメントマークの隙間が所定の一定寸法の箇所と、
第１と第２のアライメントマークの隙間が一定の寸法で
段階的にズレている箇所とを形成する。 【効果】 アライメントマークのエッチング精度によら
ず、一対の基板の張り合わせや、露光処理を精度良く行
うことが可能となり、表示品質が良好な液晶表示パネル
が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示パネルの製造
方法に関し、とくに微細なパターン寸法を有する電極パ
ターンを形成した２枚の基板を精度良く位置合わせを行
って貼り合わせる方法と、露光処理方法とに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】以下の説明では、それぞれアライメント
マークを形成した一対の基板を貼り合わせる例を用いて
説明する。

【０００３】現在、微細パターンを形成した一対の基板
を貼り合わせて液晶パネルを作成するときは、一般に雄
十字形状のアライメントマークと、雌十字形状のアライ
メントマークとを、それぞれの基板の相対する位置に形
成し、これらのアライメントマークを照合して、２枚の
基板を貼り合わせて、液晶パネルを形成している。

【０００４】従来例における基板の位置合わせを行い、
その後一対の基板を貼り合わせる方法を、図６から図８
を用いて説明する。

【０００５】まず図６に示すように、第１の基板１１上
には、金属材料や透明導電膜であるＩＴＯなどを用いて
ブラックマトリクスを形成し、その上にカラーフィルタ
−や保護膜などを多層に形成する。

【０００６】このとき、同時に金属材料や透明導電膜な
どの材料を用いて、雄十字形状を有する第１のアライメ
ントマーク１３を第１の基板１１の四隅位置に形成す
る。

【０００７】さらに、第２の基板１２の上には、金属材
料を使用しアクティブ素子などを形成する。同様にし
て、このとき同時に金属材料から形成する雌十字形状を
有する第２のアライメントマーク１４を、第１の基板１
１の第１のアライメントマーク１３の相対する位置の第
２の基板１２に設ける。

【０００８】この第１の基板１１上と第２の基板１２上
には、図示しないが、微細なパターン寸法を有する電極
パターンを形成している。この第１の基板１１と第２の
基板１２とは、シール材１５を用いて貼り合わせる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】液晶表示パネルの製造
方法にて通常にアライメントマークが形成された場合、
図７に示すように、雄十字形状の第１のアライメントマ
ーク１３と、雌十字形状の第２のアライメントマーク１
４との隙間１０は、設計値と同じように、精度良く形成
することができる。このため微細なパターンを有する画
素でも、相互位置がズレることなく、一対の基板を貼り
合わせることが可能である。

【００１０】アライメント工程は、第１のアライメント
マーク１３と第２のアライメントマーク１４との隙間１
０寸法を、複数のアライメントマーク全周囲にわたって
同一寸法にすることにより、一対の基板のアライメント
を行っている。

【００１１】しかしながら、第１の基板１１と第２の基
板１２とを重ね合わせるとき、露光処理、現像処理、エ
ッチング処理において、これらの処理条件がばらついて
エッチング過剰になってしまうと、アライメントマーク
は図８に示すように、第１のアラメントマーク１３と、
第２のアライメントマーク１４との隙間１０寸法が広が
ってしまう。このため第１の基板１１と第２の基板１２
に形成した第１のアライメントマーク１３と、第２のア
ライメントマーク１４とを合わせにくくなり、一対の基
板の貼り合わせ精度が劣化するため、画素位置がズレ
て、表示面積が小さくなる。

【００１２】さらに基板に形成する電極パターン配線幅
が２０μｍから１５μｍ程度の微細になると、アライメ
ント工程は、表示画素面積をなるべく大きく取りたいた
め、アライメントマーク同士を、プラスマイナス１〜２
μｍ程度の位置合わせ精度が要求される。

【００１３】高精細な電極パターンを有する液晶ビュー
ファインダーやハイビジョン対応の液晶プロジェクショ
ンなどに代表される液晶パネルの製造を行う場合、基板
に形成する透明導電膜からなる電極パターンのピッチ
は、３０μｍ以下と小さな寸法になる。

【００１４】このため、一対の基板を貼り合わせて液晶
表示パネルを作成する場合、画素位置のズレが発生する
と、表示面積の減少や、コントラストが低下する。

【００１５】本発明の目的は、上記課題を解決して、一
対の基板に形成する電極パターンの位置ズレの発生しな
い液晶パネルの製造方法を提供することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の液晶表示パネルの製造方法は、下記記載の
方法を採用する。

【００１７】本発明の液晶表示装置の製造方法は、第１
の基板に第１のアライメントマークを形成し、第２の基
板に第２のアライメントマークを形成し、この第１のア
ライメントマークと第２のアライメントマークとを使用
して第１の基板と第２の基板とを貼り合わせるにあた
り、第１のアライメントマークは複数のＴ字形状を有す
るアライメントマークとし、第２のアライメントマーク
は複数の逆Ｔ字形状を有するアライメントマークとし、
第１のアライメントマークと第２アライメントマークと
の隙間が所定の同一寸法の箇所と、第１のアライメント
マークと第２アライメントマークとの隙間が一定の寸法
で段階的にズレている箇所とを形成することを特徴とす
る。

【００１８】本発明の液晶表示装置の製造方法は、基板
に第１のアライメントマークを形成し、この第１のアラ
イメントマークを基準として第２のアライメントマーク
を用いて露光処理を行うにあたり、第１のアライメント
マークは複数のＴ字形状を有するアライメントマークと
し、第２のアライメントマークは複数の逆Ｔ字形状を有
するアライメントマークとし、第１のアライメントマー
クと第２のアライメントマークとの隙間が所定の同一寸
法の箇所と、第１のアライメントマークと第２のアライ
メントマークとの隙間が一定寸法で段階的にズレている
箇所と形成することを特徴とする。

【００１９】

【作用】本発明においては、微細パターンを形成した一
対の基板にシール材を形成した後に、２枚の基板の四隅
位置に設けたアライメントマークにて位置合わせを行う
とき、Ｔ字形状と逆Ｔ字形状とを有するアライメントマ
ークを使用してアライメント工程を行う。

【００２０】この結果、エッチング条件に、たとえバラ
ツキが発生しても、アライメントマーク寸法に関係なく
位置合わせが可能になる。さらにアライメントマークを
横方向と縦方向とに配列することにより、Ｘ方向とＹ方
向とのズレ量を、貼り合わせ前後で特別な測定装置が無
くても、測定できる。

【００２１】

【実施例】以下、図面を用いて本発明における液晶パネ
ルの製造方法を説明する。

【００２２】まず図２に示すように、２枚の第１の基板
１１と第２の基板１２には、それぞれ電極パターン（図
示せず）の形成と同時に、Ｔ字形状を有する第１のアラ
イメントマーク１６と、逆Ｔ字形状を有する第２のアラ
イメントマーク１７とを透明導電膜や金属材料を使って
形成する。本実施例では、図１に示すように、一対の第
１の基板１１と第２の基板１２との四隅位置で、かつ縦
方向と横方向のアライメントマークが直交するように、
Ｔ字形状の第１のアライメントマーク１６と逆Ｔ字形状
の第２のアライメントマーク１７とを配置する。

【００２３】本発明の製造方法に用いるアライメントマ
ークは、図１に示すように、Ｔ字形状の第１のアライメ
ントマーク１６と第２のアライメントマーク１７とを、
互いに逆向きになるように配置する。さらにこの第１の
アライメントマーク１６と第２のアライメントマーク１
７との隙間が一定寸法でアライメントマークの相対位置
のズレがないものと、第１のアライメントマーク１６と
第２のアライメントマーク１７とが所定の寸法で段階的
にズレるようにする。

【００２４】本発明においては、図１に示すように、第
１のアライメントマーク１６と第２のアライメントマー
ク１７との位置ズレがない箇所にズレ量がゼロというこ
とが解るように、「０」の目盛りをアライメントマーク
と同一材料で形成し、さらにズレ量に対応した数値の目
盛りをアライメントマークの近傍に形成している。

【００２５】さらにその後、図２に示すように、それぞ
れ所定の微細な電極パターンを形成した基板のうち、一
方の基板の第１の基板１１にシール材１５を印刷法で形
成する。このシール材１５は、エポキシ系の接着剤から
なる。

【００２６】その後、シール材を形成した第１の基板１
１と第２の基板１２との位置合わせの粗調である第１回
目のアライメント処理を行い、一対の基板を重ね合わせ
る。

【００２７】さらにその後、図３に示すように、プレス
機１８を用いて、対になった複数枚の液晶パネル基板１
９を重ねて加圧し、シール材１５と基板との接触面積を
増加させる。

【００２８】その後、第２回目のアライメント処理であ
る微調アライメントを行う。この第２回目のアライメン
ト処理は、図１に示すように、２枚の基板のそれぞれに
形成した第１のアライメントマーク１６と、第２のアラ
イメントマーク１７との目盛り「０」の箇所の隣接する
アライメントマーク間の隙間が均等になるように、図４
に示すような、ＣＣＤ２０を用いた画像処理装置などを
使用し、正確に合わせる。この結果、位置合わせ精度が
０．５μｍ以下の合わ精度で２枚の基板を貼り合わせる
ことができる。

【００２９】このときもしもエッチング過剰で、アライ
メントマークのパターン形状が細くなっていたり、太く
なっていたりしても、理想的なエッチングの場合と同様
に目盛り「０」の両隣から外側へと、Ｔ字形状アライメ
ントマークと逆Ｔ字形状アライメントマークとの隙間
が、左右対称に均等になるように横方向と縦方向を合致
させれば良い。

【００３０】その後、図５に示すように、重ね合わせた
液晶パネル基板１９の四隅を、光硬化タイプの接着剤２
１を、光照射装置２２を用いて、液晶パネル基板１９の
仮止めを行い、シール材硬化時にシール材が軟化して、
一対の基板位置ズレが発生しないようにした後、シール
材１５を硬化させて液晶表示パネルが完成する。接着剤
２１としては、前述の光硬化タイプの接着剤以外に、瞬
間接着剤も用いることができる。

【００３１】その後、液晶パネル基板の２枚の基板間に
液晶を注入して、液晶パネルが完成する。

【００３２】以上の説明においては、それぞれアライメ
ントマークを形成した一対の基板を貼り合わせる例で説
明したが、基板に形成する第１のアライメントマークを
基準として第２のアライメントマークを用いて露光処理
を行うときにも、本発明の製造方法は適用できる。

【００３３】

【発明の効果】上記説明のように本発明によれば、アラ
イメントマークのエッチングの精度によらず、一対の基
板の貼り合わせや露光処理を精度良く行うことが可能に
なり、表示面積が大きくなり、表示品質が良好な液晶表
示パネルが得られる。

【００３４】さらにもし、何らかの要因で一対の基板の
アライメント工程において、アライメントズレが発生し
たときは、Ｘ方向Ｙ方向のズレ量を、アライメントマー
ク領域を観察することにより、アライメントズレ量は測
定装置を用いずに数値として得ることができる。

【００３５】さらにそのうえ、微調整の第２回目のアラ
イメント処理に、液晶パネル基板の四隅位置の仮止めを
行っているので、第２回目のアライメント処理以降の工
程で基板の位置ズレは発生しない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液晶表示パネルの製造方法に用いるア
ライメントマークを示す平面図である。

【図２】本発明の液晶表示パネルの製造方法を示す斜視
図である。

【図３】本発明の液晶表示パネルの製造方法を示す斜視
図である。

【図４】本発明の液晶表示パネルの製造方法を示す斜視
図である。

【図５】本発明の液晶表示パネルの製造方法を示す斜視
図である。

【図６】従来の液晶表示パネルの製造方法を示す斜視図
である。

【図７】従来の液晶表示パネルの製造方法に用いるアラ
イメントマークを示す平面図である。

【図８】従来の液晶表示パネルの製造方法に用いるアラ
イメントマークを示す平面図である。

【符号の説明】

１１ 第１の基板 １２ 第２の基板 １５ シール材 １６ 第１のアライメントマーク １７ 第２のアライメントマーク

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の基板に第１のアライメントマーク
   を形成し、第２の基板に第２のアライメントマークを形
   成し、この第１のアライメントマークと第２のアライメ
   ントマークとを使用して第１の基板と第２の基板とを貼
   り合わせるにあたり、第１のアライメントマークは複数
   のＴ字形状を有するアライメントマークとし、第２のア
   ライメントマークは複数の逆Ｔ字形状を有するアライメ
   ントマークとし、第１のアライメントマークと第２アラ
   イメントマークとの隙間が所定の同一寸法の箇所と、第
   １のアライメントマークと第２アライメントマークとの
   隙間が一定の寸法で段階的にズレている箇所とを形成す
   ることを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
2. 【請求項２】 基板に第１のアライメントマークを形成
   し、この第１のアライメントマークを基準として第２の
   アライメントマークを用いて露光処理を行うにあたり、
   第１のアライメントマークは複数のＴ字形状を有するア
   ライメントマークとし、第２のアライメントマークは複
   数の逆Ｔ字形状を有するアライメントマークとし、第１
   のアライメントマークと第２のアライメントマークとの
   隙間が所定の同一寸法の箇所と、第１のアライメントマ
   ークと第２のアライメントマークとの隙間が一定寸法で
   段階的にズレている箇所と形成することを特徴とする液
   晶パネルの製造方法。