JPH05347008A - 垂直記録再生磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
垂直記録再生磁気ヘッドおよびその製造方法Info
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- JPH05347008A JPH05347008A JP15676992A JP15676992A JPH05347008A JP H05347008 A JPH05347008 A JP H05347008A JP 15676992 A JP15676992 A JP 15676992A JP 15676992 A JP15676992 A JP 15676992A JP H05347008 A JPH05347008 A JP H05347008A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】垂直記録再生磁気ヘッドに関し、主磁極の頂点
が最下方に突出する球面加工をなくし、また、主磁極の
接着剤による接着強度の問題および主磁極と磁気記録媒
体との接触面に接着剤が露出して摺動時の接触安定性が
悪くするなどの問題をなくすことを目的とするものであ
る。 【構成】磁気記録媒体との対面部に非磁性部材１を有す
る軟磁性凸部２の側面に、磁気記録媒体面に垂直に対面
する単磁極型の主磁極３が薄膜形成され、この軟磁性凸
部２に隣接して凹溝４を介して軟磁性リターンヨーク５
が形成され、前記一体化された軟磁性凸部２と主磁極３
に記録再生コイル６を巻回して構成したものである。
が最下方に突出する球面加工をなくし、また、主磁極の
接着剤による接着強度の問題および主磁極と磁気記録媒
体との接触面に接着剤が露出して摺動時の接触安定性が
悪くするなどの問題をなくすことを目的とするものであ
る。 【構成】磁気記録媒体との対面部に非磁性部材１を有す
る軟磁性凸部２の側面に、磁気記録媒体面に垂直に対面
する単磁極型の主磁極３が薄膜形成され、この軟磁性凸
部２に隣接して凹溝４を介して軟磁性リターンヨーク５
が形成され、前記一体化された軟磁性凸部２と主磁極３
に記録再生コイル６を巻回して構成したものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、コンピュータの外部
記憶装置として使用される磁気ディスク装置や磁気フレ
キシブル・ディスク（フロッピー）装置などの磁気記録
再生装置において、磁気ディスクやフロッピーなどの磁
気記録媒体に対して、情報の記録再生を行うための垂直
記録再生磁気ヘッドおよびその製造方法に関するもので
ある。
記憶装置として使用される磁気ディスク装置や磁気フレ
キシブル・ディスク（フロッピー）装置などの磁気記録
再生装置において、磁気ディスクやフロッピーなどの磁
気記録媒体に対して、情報の記録再生を行うための垂直
記録再生磁気ヘッドおよびその製造方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】近年の磁気記録再生装置では、コンピュ
ータの普及に伴い高密度・大容量化および高密度・小型
化など性能の向上の進歩がめざましい。従来一般の磁気
記録は、磁気記録媒体をその平面と平行に磁化する水平
記録方式が一般的であるが、記録密度を向上させる一つ
の方法として、磁気記録媒体をその平面と垂直に磁化す
る垂直記録方式が提案されている。
ータの普及に伴い高密度・大容量化および高密度・小型
化など性能の向上の進歩がめざましい。従来一般の磁気
記録は、磁気記録媒体をその平面と平行に磁化する水平
記録方式が一般的であるが、記録密度を向上させる一つ
の方法として、磁気記録媒体をその平面と垂直に磁化す
る垂直記録方式が提案されている。
【０００３】この垂直記録方式の垂直記録再生磁気ヘッ
ドの代表的な構造例を図面とともに説明すると、図１０
の（Ａ）は接触型の垂直記録再生磁気ヘッドの縦断面図
で、図１０の（Ｂ）は同底面図である。これらの図にお
いて、１２は磁性体ブロックで、この磁性体ブロック１
２の底面中央部を残して凹溝１２ａを形成して励磁極１
２ｂを形成し、この励磁極１２ｂに記録再生コイル１３
を巻回する。
ドの代表的な構造例を図面とともに説明すると、図１０
の（Ａ）は接触型の垂直記録再生磁気ヘッドの縦断面図
で、図１０の（Ｂ）は同底面図である。これらの図にお
いて、１２は磁性体ブロックで、この磁性体ブロック１
２の底面中央部を残して凹溝１２ａを形成して励磁極１
２ｂを形成し、この励磁極１２ｂに記録再生コイル１３
を巻回する。
【０００４】１４ａ，１４ｂはセラミックなどの非磁性
体で形成された主磁極支持部材で、その一方の主磁極支
持部材１４ａの、他方の主磁極支持部材１４ｂとの接合
面の中央部に、主磁極１４ｃを形成し、この主磁極１４
ｃが形成された主磁極支持部材１４ａと主磁極支持部材
１４ｂとを接着剤１４ｄを介して接合して主磁極ブロッ
ク１４が形成され、この主磁極ブロック１４を前記磁性
体ブロック１２の底面に、主磁極ブロック１４の主磁極
１４ｃが磁性体ブロック１２の励磁極１２ｂに接触する
ように接着剤１５を介して接合し、主磁極ブロック１４
の主磁極１４ｃの頂点が最下方に突出するように、主磁
極ブロック１４の周囲を研磨して磁気ヘッド素子Ｈが形
成される。なお、図示しないが、この磁気ヘッド素子Ｈ
を支持部材に接合して接触型の垂直記録再生磁気ヘッド
が構成される。
体で形成された主磁極支持部材で、その一方の主磁極支
持部材１４ａの、他方の主磁極支持部材１４ｂとの接合
面の中央部に、主磁極１４ｃを形成し、この主磁極１４
ｃが形成された主磁極支持部材１４ａと主磁極支持部材
１４ｂとを接着剤１４ｄを介して接合して主磁極ブロッ
ク１４が形成され、この主磁極ブロック１４を前記磁性
体ブロック１２の底面に、主磁極ブロック１４の主磁極
１４ｃが磁性体ブロック１２の励磁極１２ｂに接触する
ように接着剤１５を介して接合し、主磁極ブロック１４
の主磁極１４ｃの頂点が最下方に突出するように、主磁
極ブロック１４の周囲を研磨して磁気ヘッド素子Ｈが形
成される。なお、図示しないが、この磁気ヘッド素子Ｈ
を支持部材に接合して接触型の垂直記録再生磁気ヘッド
が構成される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記のような接触型の
垂直記録再生磁気ヘッドは、薄膜形成技術では複雑とな
る巻線工程を、手巻きコイルにすることで製造を容易に
したものであるが、主磁極ブロック１４の主磁極１４ｃ
の頂点が最下方に突出する球面加工が複雑であると、い
う問題があった。
垂直記録再生磁気ヘッドは、薄膜形成技術では複雑とな
る巻線工程を、手巻きコイルにすることで製造を容易に
したものであるが、主磁極ブロック１４の主磁極１４ｃ
の頂点が最下方に突出する球面加工が複雑であると、い
う問題があった。
【０００６】また、前記磁性体ブロック１２および主磁
極ブロック１４はきわめて小さなものであり、したがっ
て、主磁極支持部材１４ａ，１４ｂの接着剤１４ｄによ
る接着強度および磁性体ブロック１２と主磁極ブロック
１４との接着剤１５による接着強度が充分に得られない
こと、および磁気記録媒体との接触面に前記接着剤１４
ｄが露出し、摺動時の接触安定性が悪くなる、という問
題があった。
極ブロック１４はきわめて小さなものであり、したがっ
て、主磁極支持部材１４ａ，１４ｂの接着剤１４ｄによ
る接着強度および磁性体ブロック１２と主磁極ブロック
１４との接着剤１５による接着強度が充分に得られない
こと、および磁気記録媒体との接触面に前記接着剤１４
ｄが露出し、摺動時の接触安定性が悪くなる、という問
題があった。
【０００７】さらに、前記主磁極ブロック１４の厚み
は、磁気記録再生特性に大きく影響するので、薄くする
ことが重要である。しかし、磁性体ブロック１２と主磁
極ブロック１４との接着方式では、主磁極ブロック１４
は、強度不足となるため、その厚さを５０〜１００μｍ
程度以下に薄くすることが困難であり、それが磁気記録
再生特性の改善の障害となっている。
は、磁気記録再生特性に大きく影響するので、薄くする
ことが重要である。しかし、磁性体ブロック１２と主磁
極ブロック１４との接着方式では、主磁極ブロック１４
は、強度不足となるため、その厚さを５０〜１００μｍ
程度以下に薄くすることが困難であり、それが磁気記録
再生特性の改善の障害となっている。
【０００８】この発明は、前記主磁極ブロック１４の主
磁極１４ｃの頂点が最下方に突出する球面加工をなく
し、また、主磁極支持部材１４ａ，１４ｂの接着剤１４
ｄによる接着および磁性体ブロック１２と主磁極ブロッ
ク１４との接着剤１５による接着をなくすことにより接
着強度の問題をなくし、また、磁気記録媒体との接触面
に前記接着剤１５が露出して摺動時の接触安定性が悪く
なることをなくし、また、強度の関係で前記主磁極ブロ
ック１４の厚みをあまり薄くすることができず、それが
磁気記録再生特性の改善の障害となる、といった問題を
なくすことを目的とするものである。
磁極１４ｃの頂点が最下方に突出する球面加工をなく
し、また、主磁極支持部材１４ａ，１４ｂの接着剤１４
ｄによる接着および磁性体ブロック１２と主磁極ブロッ
ク１４との接着剤１５による接着をなくすことにより接
着強度の問題をなくし、また、磁気記録媒体との接触面
に前記接着剤１５が露出して摺動時の接触安定性が悪く
なることをなくし、また、強度の関係で前記主磁極ブロ
ック１４の厚みをあまり薄くすることができず、それが
磁気記録再生特性の改善の障害となる、といった問題を
なくすことを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明の垂直記録再生
磁気ヘッドは、前記目的を達成するために、磁気記録媒
体との対面部に非磁性部材１を有する軟磁性凸部２の側
面に、磁気記録媒体面に垂直に対面する単磁極型の主磁
極３が薄膜形成され、この軟磁性凸部２に隣接して凹溝
４を介して軟磁性リターンヨーク５が形成され、前記一
体化された軟磁性凸部２と主磁極３に記録再生コイル６
を巻回して構成したものである。
磁気ヘッドは、前記目的を達成するために、磁気記録媒
体との対面部に非磁性部材１を有する軟磁性凸部２の側
面に、磁気記録媒体面に垂直に対面する単磁極型の主磁
極３が薄膜形成され、この軟磁性凸部２に隣接して凹溝
４を介して軟磁性リターンヨーク５が形成され、前記一
体化された軟磁性凸部２と主磁極３に記録再生コイル６
を巻回して構成したものである。
【００１０】
【作用】この発明の垂直記録再生磁気ヘッドは、前記の
ように構成されているため、従来のような、主磁極ブロ
ックの主磁極の頂点が最下方に突出する球面加工がなく
製造が簡単となり、また、従来のように強度の関係で主
磁極ブロックをあまり薄くすることができず、それが磁
気記録再生特性の改善の障害となる、といった問題がな
くなる。
ように構成されているため、従来のような、主磁極ブロ
ックの主磁極の頂点が最下方に突出する球面加工がなく
製造が簡単となり、また、従来のように強度の関係で主
磁極ブロックをあまり薄くすることができず、それが磁
気記録再生特性の改善の障害となる、といった問題がな
くなる。
【００１１】また、この発明は、磁気記録媒体との対面
部に非磁性部材１を有する軟磁性凸部２の側面に、接着
剤によらず薄膜形成によって、磁気記録媒体面に垂直に
対面する単磁極型の主磁極３が形成されているので、接
着強度の問題や接着剤が磁気記録媒体との接触面に露出
して、摺動時の接触安定性が悪くなる、といった問題が
なくなる。
部に非磁性部材１を有する軟磁性凸部２の側面に、接着
剤によらず薄膜形成によって、磁気記録媒体面に垂直に
対面する単磁極型の主磁極３が形成されているので、接
着強度の問題や接着剤が磁気記録媒体との接触面に露出
して、摺動時の接触安定性が悪くなる、といった問題が
なくなる。
【００１２】
【実施例】以下、この発明の垂直記録再生磁気ヘッドの
実施例を図面に従って詳細に説明する。図１はこの発明
の垂直記録再生磁気ヘッドの第一の実施例で、その
（Ａ）図は断面図で、（Ｂ）図は底面図であり、２は磁
気記録媒体との対面部に非磁性部材１を有する軟磁性凸
部で、この軟磁性凸部２は軟磁性体であるフェライトブ
ロックの端部に凹溝４を穿設することによって形成さ
れ、また、この凹溝４に隣接して軟磁性リターンヨーク
５が形成される。
実施例を図面に従って詳細に説明する。図１はこの発明
の垂直記録再生磁気ヘッドの第一の実施例で、その
（Ａ）図は断面図で、（Ｂ）図は底面図であり、２は磁
気記録媒体との対面部に非磁性部材１を有する軟磁性凸
部で、この軟磁性凸部２は軟磁性体であるフェライトブ
ロックの端部に凹溝４を穿設することによって形成さ
れ、また、この凹溝４に隣接して軟磁性リターンヨーク
５が形成される。
【００１３】前記軟磁性凸部２の側面に、磁気記録媒体
面に垂直に対面するCoZrNbなどの磁性体の単磁極型の主
磁極３が後述するような方法で薄膜形成されて、前記軟
磁性凸部２と主磁極３とが一体化されており、この一体
化された軟磁性凸部２と主磁極３に記録再生コイル６を
巻回して垂直記録再生磁気ヘッドが構成される。なお、
図示しないが、軟磁性リターンヨーク５のエッジノイズ
を低減するために、軟磁性リターンヨークの磁気記録媒
体との対向面の前面にガラスを埋め込んでもよい。
面に垂直に対面するCoZrNbなどの磁性体の単磁極型の主
磁極３が後述するような方法で薄膜形成されて、前記軟
磁性凸部２と主磁極３とが一体化されており、この一体
化された軟磁性凸部２と主磁極３に記録再生コイル６を
巻回して垂直記録再生磁気ヘッドが構成される。なお、
図示しないが、軟磁性リターンヨーク５のエッジノイズ
を低減するために、軟磁性リターンヨークの磁気記録媒
体との対向面の前面にガラスを埋め込んでもよい。
【００１４】図２はこの発明の垂直記録再生磁気ヘッド
の第二の実施例で、その（Ａ）図は断面図で、（Ｂ）図
は底面図であり、この実施例は（Ｂ）図に示すように、
底面に機械加工やイオンミルなどの周知の技術を用いて
スライダー面（浮上面）７が加工され、このスライダー
面７の空気流入端にテーパ７ａが形成されており、これ
によってスライダー面７と主磁極３が磁気記録媒体面か
ら僅かに浮上するか、主磁極３のみが磁気記録媒体面に
接触するようにすることができる。
の第二の実施例で、その（Ａ）図は断面図で、（Ｂ）図
は底面図であり、この実施例は（Ｂ）図に示すように、
底面に機械加工やイオンミルなどの周知の技術を用いて
スライダー面（浮上面）７が加工され、このスライダー
面７の空気流入端にテーパ７ａが形成されており、これ
によってスライダー面７と主磁極３が磁気記録媒体面か
ら僅かに浮上するか、主磁極３のみが磁気記録媒体面に
接触するようにすることができる。
【００１５】また、前記のようなスライダー面（浮上
面）の加工を行わず、垂直記録再生磁気ヘッドへの支持
ばね部材（図示しない）の取付け角度の設定により、垂
直記録再生磁気ヘッドを傾けて、主磁極３のみが磁気記
録媒体面に接触するようにすることができる。
面）の加工を行わず、垂直記録再生磁気ヘッドへの支持
ばね部材（図示しない）の取付け角度の設定により、垂
直記録再生磁気ヘッドを傾けて、主磁極３のみが磁気記
録媒体面に接触するようにすることができる。
【００１６】次に、この発明の垂直記録再生磁気ヘッド
の製造方法を図３以下に従って詳細に説明する。先ず、
図３の（Ａ）の平面図、（Ｂ）の側断面図に示すよう
に、軟磁性体であるフェライトのウエハ基板８に前記非
磁性部材１を形成するための凹溝９を形成する。この凹
溝９の形成には種々な方法がある。
の製造方法を図３以下に従って詳細に説明する。先ず、
図３の（Ａ）の平面図、（Ｂ）の側断面図に示すよう
に、軟磁性体であるフェライトのウエハ基板８に前記非
磁性部材１を形成するための凹溝９を形成する。この凹
溝９の形成には種々な方法がある。
【００１７】その凹溝９の形成方法の一例は、周知の機
械加工により形成する。また、溝９の形成の他の方法
は、凹溝９の形成部分を残してレジスト膜を形成し、そ
の後、この凹溝９の形成部分をイオンミルなどの周知の
技術を用いてエッチングし、前記レジスト膜を有機溶剤
などで除去して凹溝９を形成する。
械加工により形成する。また、溝９の形成の他の方法
は、凹溝９の形成部分を残してレジスト膜を形成し、そ
の後、この凹溝９の形成部分をイオンミルなどの周知の
技術を用いてエッチングし、前記レジスト膜を有機溶剤
などで除去して凹溝９を形成する。
【００１８】次に、図４の（Ａ）の平面図、（Ｂ）の側
断面図に示すように、前記のように形成した凹溝９にガ
ラス溶融やアルミナ膜、ダイヤモンドライクカーボン膜
などを薄膜形成して非磁性部材１′を埋め込み、その上
を平面化した後に主磁極３となるCoZrNbなどの磁性膜
３′をスパッタリングなどの周知の技術を用いて成膜す
る。
断面図に示すように、前記のように形成した凹溝９にガ
ラス溶融やアルミナ膜、ダイヤモンドライクカーボン膜
などを薄膜形成して非磁性部材１′を埋め込み、その上
を平面化した後に主磁極３となるCoZrNbなどの磁性膜
３′をスパッタリングなどの周知の技術を用いて成膜す
る。
【００１９】次に、図５の（Ａ）の平面図、（Ｂ）の側
断面図に示すように、主磁極３の形状にレジスト膜を形
成し、このレジスト膜以外の磁性膜を化学エッチングや
イオンミルなどの周知の技術を用いてエッチングし、前
記レジスト膜を有機溶剤などを用いて除去して主磁極３
を形成する。
断面図に示すように、主磁極３の形状にレジスト膜を形
成し、このレジスト膜以外の磁性膜を化学エッチングや
イオンミルなどの周知の技術を用いてエッチングし、前
記レジスト膜を有機溶剤などを用いて除去して主磁極３
を形成する。
【００２０】前記主磁極３の他の形成方法としては、図
示しないが、前記非磁性部材１′を埋め込み、その上を
平面化したウエハ基板８に、主磁極３の形状を残してレ
ジスト膜を形成し、その上に前記主磁極３となるCoZrNb
などの磁性膜３′をスパッタリングなどの周知の技術を
用いて成膜し、前記レジスト膜をその上に形成された磁
性膜ごと有機溶剤などを用いて除去することにより、主
磁極３が形成される。主磁極３の形成後、SiO2やアルミ
ナなどの絶縁性保護膜を成膜してウエハプロセスを終了
する。
示しないが、前記非磁性部材１′を埋め込み、その上を
平面化したウエハ基板８に、主磁極３の形状を残してレ
ジスト膜を形成し、その上に前記主磁極３となるCoZrNb
などの磁性膜３′をスパッタリングなどの周知の技術を
用いて成膜し、前記レジスト膜をその上に形成された磁
性膜ごと有機溶剤などを用いて除去することにより、主
磁極３が形成される。主磁極３の形成後、SiO2やアルミ
ナなどの絶縁性保護膜を成膜してウエハプロセスを終了
する。
【００２１】次に、図６の（Ａ）の平面図、（Ｂ）の側
断面図に示すように、図５の線Ｌに沿ってウエハ基板８
を接断して複数個の磁気ヘッドコアが一列に連接された
磁気ヘッドコア群１０を切出し、次に、図７の（Ａ）の
平面図、（Ｂ）の正面図、（Ｃ）の側断面図に示すよう
に、前記非磁性部材１′を残して主磁極３に沿って凹溝
４を穿設する。
断面図に示すように、図５の線Ｌに沿ってウエハ基板８
を接断して複数個の磁気ヘッドコアが一列に連接された
磁気ヘッドコア群１０を切出し、次に、図７の（Ａ）の
平面図、（Ｂ）の正面図、（Ｃ）の側断面図に示すよう
に、前記非磁性部材１′を残して主磁極３に沿って凹溝
４を穿設する。
【００２２】次に、図８の（Ａ）の平面図、（Ｂ）の正
面図、（Ｃ）の側断面図に示すように、前記凹溝４を穿
設した磁気ヘッドコア群１０を複数個（図に示す実施例
においては３個）連接させ、前記主磁極３，３の間に一
括して凹溝１１を穿設した後に線Ｌに沿って切出すと、
図１に示すような、磁気記録媒体との対面部に非磁性部
材１を有する軟磁性凸部２の側面に、磁気記録媒体面に
垂直に対面する単磁極型の主磁極３が薄膜形成され、こ
の軟磁性凸部２に隣接して凹溝４を介して軟磁性リター
ンヨーク５が形成された磁気ヘッドコアが形成される。
面図、（Ｃ）の側断面図に示すように、前記凹溝４を穿
設した磁気ヘッドコア群１０を複数個（図に示す実施例
においては３個）連接させ、前記主磁極３，３の間に一
括して凹溝１１を穿設した後に線Ｌに沿って切出すと、
図１に示すような、磁気記録媒体との対面部に非磁性部
材１を有する軟磁性凸部２の側面に、磁気記録媒体面に
垂直に対面する単磁極型の主磁極３が薄膜形成され、こ
の軟磁性凸部２に隣接して凹溝４を介して軟磁性リター
ンヨーク５が形成された磁気ヘッドコアが形成される。
【００２３】次に、図９の（Ａ）の平面図、（Ｂ）の側
断面図に示すように、前記一体化された軟磁性凸部２と
主磁極３に記録再生コイル６を巻回して、垂直記録再生
磁気ヘッドを構成することができる。
断面図に示すように、前記一体化された軟磁性凸部２と
主磁極３に記録再生コイル６を巻回して、垂直記録再生
磁気ヘッドを構成することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の垂直記
録再生磁気ヘッドは、磁気記録媒体との対面部に非磁性
部材を有する軟磁性凸部の側面に、磁気記録媒体面に垂
直に対面する単磁極型の主磁極が薄膜形成され、この軟
磁性凸部に隣接して凹溝を介して軟磁性リターンヨーク
が形成され、前記一体化された軟磁性凸部と主磁極に記
録再生コイルを巻回して構成したので、従来のような、
主磁極ブロックの主磁極の頂点が最下方に突出する球面
加工がなく製造が簡単となり、また、従来のよに強度の
関係で主磁極ブロックをあまり薄くすることができず、
それが磁気記録再生特性の改善の障害となる、といった
問題がなくなる。
録再生磁気ヘッドは、磁気記録媒体との対面部に非磁性
部材を有する軟磁性凸部の側面に、磁気記録媒体面に垂
直に対面する単磁極型の主磁極が薄膜形成され、この軟
磁性凸部に隣接して凹溝を介して軟磁性リターンヨーク
が形成され、前記一体化された軟磁性凸部と主磁極に記
録再生コイルを巻回して構成したので、従来のような、
主磁極ブロックの主磁極の頂点が最下方に突出する球面
加工がなく製造が簡単となり、また、従来のよに強度の
関係で主磁極ブロックをあまり薄くすることができず、
それが磁気記録再生特性の改善の障害となる、といった
問題がなくなる。
【００２５】さらに、この発明は、磁気記録媒体との対
面部に非磁性部材を有する軟磁性凸部の側面に、接着剤
によらず薄膜形成によって、磁気記録媒体面に垂直に対
面する単磁極型の主磁極が形成されているので、接着強
度の問題や接着剤が磁気記録媒体との接触面に露出し
て、摺動時の接触安定性が悪くなる、といった問題がな
くなり、優れた性能を有する垂直記録再生磁気ヘッドを
提供することができる。
面部に非磁性部材を有する軟磁性凸部の側面に、接着剤
によらず薄膜形成によって、磁気記録媒体面に垂直に対
面する単磁極型の主磁極が形成されているので、接着強
度の問題や接着剤が磁気記録媒体との接触面に露出し
て、摺動時の接触安定性が悪くなる、といった問題がな
くなり、優れた性能を有する垂直記録再生磁気ヘッドを
提供することができる。
【図１】この発明の垂直記録再生磁気ヘッドの第一の実
施例を示す図である。
施例を示す図である。
【図２】この発明の垂直記録再生磁気ヘッドの第二の実
施例を示す図である。
施例を示す図である。
【図３】ウエハ基板に非磁性部材を形成する凹溝を形成
する工程を示す図である。
する工程を示す図である。
【図４】ウエハ基板に形成した凹溝に非磁性部材を形成
しその上に軟磁性体膜を形成する工程を示す図である。
しその上に軟磁性体膜を形成する工程を示す図である。
【図５】ウエハ基板に形成した軟磁性体膜をエッチング
して主磁極を形成する工程を示す図である。
して主磁極を形成する工程を示す図である。
【図６】ウエハ基板を切断して複数個の磁気ヘッドコア
が一列に連接された磁気ヘッドコア群を切出す工程を示
す図である。
が一列に連接された磁気ヘッドコア群を切出す工程を示
す図である。
【図７】磁気ヘッドコア群に形成された主磁極に沿って
凹溝を形成し軟磁性凸部を形成する工程を示す図であ
る。
凹溝を形成し軟磁性凸部を形成する工程を示す図であ
る。
【図８】個々の磁気ヘッドコアを切出す工程を示す図で
ある。
ある。
【図９】磁気ヘッドコアに形成された軟磁性凸部に付設
した主磁極に記録再生コイルを巻回する工程を示す図で
ある。
した主磁極に記録再生コイルを巻回する工程を示す図で
ある。
【図１０】従来の垂直記録再生磁気ヘッドを示す図であ
る。
る。
１ 非磁性部材 １′ 非磁性部材 ２ 軟磁性凸部 ３ 主磁極 ３′ 磁性膜 ４ 凹溝 ５ 軟磁性リターンヨーク ６ 記録再生コイル ７ スライダー面 ７ａ テーパ ８ ウエハ基板 ９ 凹溝 １０ 磁気ヘッドコア群 １１ 凹溝 １２ 磁性体ブロック １２ａ 凹溝 １２ｂ 励磁極 １３ 記録再生コイル １４ 主磁極ブロック １４ａ 主磁極支持部材 １４ｂ 主磁極支持部材 １４ｃ 主磁極 １４ｄ 接着剤 １５ 接着剤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若松 弘晃 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】磁気記録媒体との対面部に非磁性部材
（１）を有する軟磁性凸部（２）の側面に、磁気記録媒
体面に垂直に対面する単磁極型の主磁極（３）が薄膜形
成され、この軟磁性凸部（２）に隣接して凹溝（４）を
介して軟磁性リターンヨーク（５）が形成され、前記一
体化された軟磁性凸部（２）と主磁極（３）に記録再生
コイル（６）を巻回して構成したことを特徴とする垂直
記録再生磁気ヘッド。 - 【請求項２】軟磁性体のウエハ基板に、形成される磁気
ヘッドの数に応じて、磁気ヘッドの主磁極が付設された
軟磁性凸部の先端に有する非磁性部材を形成する工程
と、 この非磁性部材の上に主磁極の先端部が位置するよう
に、主磁極を形成する工程と、 ウエハ基板を切断して、複数個の磁気ヘッドコアが一列
に連接された磁気ヘッドコア群を切出し、前記非磁性部
材を残して主磁極に沿って凹溝を穿設する工程と、 前記磁気ヘッドコア群を個々の磁気ヘッドコアに切出す
工程と、 この磁気ヘッドコアの一体化された軟磁性凸部と主磁極
に記録再生コイルを巻回する工程とを含んでなることを
特徴とする、垂直記録再生磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15676992A JPH05347008A (ja) | 1992-06-16 | 1992-06-16 | 垂直記録再生磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15676992A JPH05347008A (ja) | 1992-06-16 | 1992-06-16 | 垂直記録再生磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05347008A true JPH05347008A (ja) | 1993-12-27 |
Family
ID=15634916
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15676992A Withdrawn JPH05347008A (ja) | 1992-06-16 | 1992-06-16 | 垂直記録再生磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05347008A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998016932A1 (en) * | 1996-10-17 | 1998-04-23 | Sony Corporation | Discoidal recording medium, head slider and recording and/or playback apparatus |
| US7532434B1 (en) * | 2001-09-06 | 2009-05-12 | Schreck Erhard T | Recessed write pole for perpendicular recording |
-
1992
- 1992-06-16 JP JP15676992A patent/JPH05347008A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998016932A1 (en) * | 1996-10-17 | 1998-04-23 | Sony Corporation | Discoidal recording medium, head slider and recording and/or playback apparatus |
| US7532434B1 (en) * | 2001-09-06 | 2009-05-12 | Schreck Erhard T | Recessed write pole for perpendicular recording |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |