JPH0643814U - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案はハードディスク装置に搭載される薄
膜磁気ヘッドに関し、製造容易であり、かつ上下ポール
幅を同一に形成することを目的とする。 【構成】 スライダ部２２の後方端面にヘッド部２３が
形成されることにより薄膜磁気ヘッド２１が構成され
る。この場合、スライダ部２２よりヘッド部２３にかけ
て、下ポール３１と上ポール３３とを同一幅とする空気
溝２４，２５が形成される。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ハードディスク装置に搭載される薄膜磁気ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、コンピュータ、ワードプロセッサ等の記憶装置としてハードディスク ドライブ装置が知られている。このハードディスクドライブ装置を簡単に説明す ると、磁気ヘッドがアームの先端のスプリングアームに取り付けられアクチュエ ータが、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）により回動駆動され、スピンドルモータ で回転される磁気ディスクの所定トラック上に位置されるものである。

【０００３】 この場合、回転する磁気ディスクの周方向に対して空気の流れが発生し、該磁 気ディスクと磁気ヘッドに形成された空気ベアリング面との間に空気の流れが生 じることにより、該磁気ヘッドが浮動し、この浮動状態で磁気記録再生処理を行 うものである。

【０００４】 この磁気ヘッドには、バルク型と薄膜型とがある。

【０００５】 図３に、従来の薄膜磁気ヘッドを説明するための図を示す。図３（Ａ）に示す 薄膜磁気ヘッド１１は、セラミック等の非磁性材に長手方向の両端に浮動のため の空気ベアリング面１２ａ，１２ｂが形成されたスライダ１２における、該空気 ベアリング面１２ａ，１２ｂの後方にヘッド部１３ａ，１３ｂが形成されたもの である。なお、空気ベアリング面１２ａ，１２ｂの前方には、空気ベアリング面 １２ａ，１２ｂにエアを導くための傾斜面１２ｃ，１２ｄが形成される。

【０００６】 ヘッド部１３ａ，１３ｂは、それぞれ後述する薄膜による上ポール及び下ポー ル、パターンコイル１４ａ，１４ｂにより構成され、該パターンコイル１４ａ， １４ｂに導通するボンディングパッド１５ａ₁ ，１５ａ₂ ，１６ａ₁ ，１６ａ₂ がそれぞれ形成される。

【０００７】 この場合、図３（Ｂ）に示すように、幅Ａの下ポール１７上に非磁性材（図示 せず）を介在させて幅Ｂの上ポール１８が形成され、該非磁性材でギャッ（長さ Ｇ）１９が形成される。

【０００８】 ここで、従来の薄膜磁気ヘッドの製造工程を簡単に説明する。初めに、Ａｌ₃ −ＴｉＣ等のセラミックスからなるウェーハ上に、周知のフォトリソグラフィー 技術により所定の形状にパターニングした後、例えばスパッタリング法によりパ ーマロイ等のＦｅ−Ｎｉ系合金製の下ポール（下部磁性膜）１７を薄膜形成する 。

【０００９】 次に、コイルパターン１４ａ，１４ｂを渦巻き状に薄膜形成すると共に、ポー ル１７とコイルパターン１４ａ，１４ｂとの間に例えばスパッタリング法によっ てＳｉＯ₂ 等の絶縁物からなる層間絶縁膜を形成する。形成した層間絶縁膜を下 ポール１７とコイルパターン１４ａ，１４ｂとの絶縁を保つようパターニングし 、例えばイオンミーリング法によって下ポール１９近傍の層間絶縁膜を除去する 。

【００１０】 そして、ウェーハ及びポール１９上にＳｉＯ₂ からなるギャップ層１９を形成 した後、Ｆｅ−Ｎｉ系合金製の上コア磁性層を薄膜形成し、ギャップ層１９を介 して下ポール１７の上部に、下ポール１７と同一形状にパターニングして上ポー ル１８を形成するものである。

【００１１】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、上下ポール１７，１８及びギャップ層１９で形成されるトラック幅 は、上述の一連の薄膜成形工程で形成され、そのトラック幅精度は比較的容易に 得ることができる。ところが、上ポール１８を下ポール１７と同一の幅に形成し ようとすると、パターニング位置ずれによりトラック幅方向の寸法精度が劣化し て狭くなり、効率的な記録再生を行うことができない。

【００１２】 そのため、図３（Ｂ）に示すように、上ポール１８を下ポール１７（幅Ａ）よ り幅方向に少なく（幅Ｂ）形成することが行われている。しかし、図３（Ｃ）に 示すように上ポール１８の外側にも磁界２０が生じるフリンジング効果が発生し 、実行トラック幅Ｃは上ポール１８の幅Ｂより大きくなり、結果的にトラッキン グ精度の低下、エラーレート低下の原因になるという問題がある。

【００１３】 そこで、本考案は上記課題に鑑みなされたもので、製造容易であり、かつ上下 ポール幅を同一に形成する薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】

上記課題は、コイルパターンにより励磁される下部磁性膜と上部磁性膜とによ りギャップ層を形成させたヘッド部がスライダ部に形成され、記録媒体上で所定 のトラック幅により記録再生を行う薄膜磁気ヘッドにおいて、前記スライダ部の 所定位置より前記下部磁性膜及び上部磁性膜に、該下部磁性膜及び上部磁性膜を 同一幅にさせる溝が形成されることにより解決される。

【００１５】

【作用】

上述のように、スライダ部及び下部磁性膜、上部磁性膜に溝を形成して、該下 部磁性膜及び上部磁性膜を同一幅に形成する。

【００１６】 すなわち、スライダ部に形成する下部磁性膜及び上部磁性膜は当初トラック幅 より広く形成して、溝形成で幅規制することにより、パターン合せや露光エッチ ング工程での精度を高くする必要がなく容易に製造を行うことが可能となる。

【００１７】 また、下部磁性膜と上部磁性膜が同一幅であることから記録再生におけるフリ ンジング効果を低減することが可能となる。

【００１８】

【実施例】

図１に、本考案の一実施例の構成図を示す。図１（Ａ）は全体の斜視図、図１ （Ｂ）はヘッド部付近の概略図を示している。

【００１９】 図１（Ａ），（Ｂ）において、薄膜磁気ヘッド２１は、大別してスライダ部２ ２及びヘッド部２３により構成される。

【００２０】 スライダ部２２は、セラミックス等からなり、断面「Ｖ」字形状の空気溝２４ ，２５が形成されて、長手方向両端に浮上のための空気ベアリング面２６，２７ が配設され、中央にセンタレール２８が配設される。そして、空気ベアリング面 ２６，２７の前方端には、空気流を空気ベアリング面２６，２７に導くための傾 斜面２９，３０が形成される。

【００２１】 一方、ヘッド部２３は、図１（Ｂ）に示すように、スライダ部２２のセンター レール２８の位置における後方端面に下部磁性膜である下ポール３１が形成され 、絶縁膜のギャップ層３２を介在させて上部磁性膜である上ポール３３が形成さ れる。この下ポール３１、ギャップ層３２、上ポール３３は溝２４，２５及びセ ンターレール２８の断面形状と同様に形成される。すなわち、下ポール３１と上 ポール３３とは同一幅であり、その幅が実行トラック幅となる。

【００２２】 また、図１（Ａ）に戻って説明するに、ヘッド部２３は、下ポール３１、上ポ ール３３を励磁するパターンコイル３４が成膜により形成され、該パターンコイ ル３４の端部には接続端子としてボンディングパッド３５，３６が形成される。 このような薄膜磁気ヘッド２１の製造工程は、スライダ部２３（ウェハ）上に 下ポール３１及び上ポール３３を形成するまでは、前述の従来の製造工程と同様 である。但し、本考案においては、下ポール３１及び上ポール３３は、幅方向で 最終的なトラック幅Ｃより大きく形成される。従って、形成時では下ポール３１ 及び上ポール３３のパターン合せを容易とすることができ、露光エッチング工程 における精度においても高精度とする必要がない。特に。ポール厚が厚くなる程 、精度を必要とするが、本考案では高精度を必要としない。

【００２３】 そして、下ポール３１と上ポール３３の形成後、所望のトラック幅がセンタレ ール２８の幅となるように、スライダ部２２からヘッド部２３（下ポール３１及 び上ポール３３）にかけて空気溝２４，２５を形成するものである。すなわち、 この空気溝２４，２５の形成時に、下ポール３１及び上ポール３３をも加工して 、下ポール３１と上ポール３３の幅を同一し、正規のトラック幅まで絞り込むも のである。

【００２４】 空気溝２４，２５の加工形成は、例えば、スライディングマシンやダイシング マシン等の回転磁石を用いた機械的加工又はケミカルドライ等のエッチングによ る加工、又はレーザ加工やレーザアシストエッチング加工等種々の加工により形 成される。

【００２５】 このように、下ポール３１と上ポール３３の幅を容易に同一幅とすることがで き、記録再生におけるフリンジング効果を低減することができる。

【００２６】 次に、図２に、本考案の他の実施例の構成図を示す。図２の薄膜磁気ヘッド４ １は、図１における薄膜磁気ヘッド２１を同一基板上で連設させたものである。 この場合、さらに空気溝４２が形成されて浮動安定を図っている。

【００２７】 なお、上記実施例では、空気溝２４，２５を断面「Ｖ」形状とした場合を示し たが、矩形、円弧、台形等の何れの形状としても同様の効果を得ることができる 。また、空気溝２４，２５はスライダ部２２の長手方向全長に亘って形成する場 合を示したが、これに限る必要はなく、少くともヘッド部２３付近で形成されて いれば足りるものである。

【００２８】

【考案の効果】

以上のように、本考案によれば、下部磁性膜と上部磁性膜とを同一幅とする溝 を形成することにより、製造容易とすることができると共に、記録再生時におけ るフリンジング効果を低減することができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例の構成図である。

【図２】本考案の他の実施例の構成図である。

【図３】従来の薄膜磁気ヘッドを説明するための図であ
る。

【符号の説明】

２１ 薄膜磁気ヘッド ２２ スライダ部 ２３ ヘッド部 ２４，２５ 空気溝 ２６，２７ 空気ベアリング面 ２８ センタレール ２９，３０ 傾斜面 ３１ 下ポール ３２ ギャップ層 ３３ 上ポール ３４ パターンコイル ３５，３６ ボンディングパッド

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 コイルパターンにより励磁される下部磁
   性膜と上部磁性膜とによりギャップ層を形成させたヘッ
   ド部がスライダ部に形成され、記録媒体上で所定のトラ
   ック幅により記録再生を行う薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記スライダ部の所定位置より前記下部磁性膜及び上部
   磁性膜に、該下部磁性膜及び上部磁性膜を同一幅にさせ
   る溝が形成される構成とする薄膜磁気ヘッド。