JPH0535557Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0535557Y2 JPH0535557Y2 JP2634286U JP2634286U JPH0535557Y2 JP H0535557 Y2 JPH0535557 Y2 JP H0535557Y2 JP 2634286 U JP2634286 U JP 2634286U JP 2634286 U JP2634286 U JP 2634286U JP H0535557 Y2 JPH0535557 Y2 JP H0535557Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- insulating
- insulating stand
- expansion
- stand
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 13
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 5
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この考案は電子線照射装置などに使用する電子
銃装置に関する。
銃装置に関する。
（従来の技術）
電子銃装置を備えた電子線照射装置として第３
図に示すような構成のものは既に知られている。
同図において１は内部を真空とされた容器、２は
筒状の電極、３は電子銃装置、４はそのフイラメ
ント、５はグリツド、６は電子線取出し用の窓で
ある。
図に示すような構成のものは既に知られている。
同図において１は内部を真空とされた容器、２は
筒状の電極、３は電子銃装置、４はそのフイラメ
ント、５はグリツド、６は電子線取出し用の窓で
ある。
フイラメント４はたとえば2200〜2300°K程度
の高温に熱せられることによつて電子が放射され
る。放射された電子はグリツド５により電極２の
外部に取出される。そして電極２と容器１との間
に印加されてある電圧により、窓６から外部に放
射される。
の高温に熱せられることによつて電子が放射され
る。放射された電子はグリツド５により電極２の
外部に取出される。そして電極２と容器１との間
に印加されてある電圧により、窓６から外部に放
射される。
ところでこのような電子線照射装置に使用され
る従来の電子銃装置として、第４図に示すような
構成のものが知られている。これは対をなす絶縁
台７，８にフイラメント４の各端部を挿通すると
ともに、絶縁台上をフイラメントの長さ方向に沿
つてスライド自在の金具９と、これにネジなどに
よつて取り付けられる固定金具１０との間に、前
記フイラメント４の絶縁台から抜き出た先端を挟
むようにして固定して構成してある。
る従来の電子銃装置として、第４図に示すような
構成のものが知られている。これは対をなす絶縁
台７，８にフイラメント４の各端部を挿通すると
ともに、絶縁台上をフイラメントの長さ方向に沿
つてスライド自在の金具９と、これにネジなどに
よつて取り付けられる固定金具１０との間に、前
記フイラメント４の絶縁台から抜き出た先端を挟
むようにして固定して構成してある。
金具９はたとえば絶縁台７，８上において千鳥
状に位置しており、これによつて各フイラメント
４は直列に接続されるようになつている。この構
成において、前記のようにフイラメント４は通電
によつて高温に熱せられるので、これによつて膨
張して長くなる。またその通電を止めれば再び収
縮する。このような膨張、収縮に応じて金具９は
スライドしてその膨張、収縮を吸収する。
状に位置しており、これによつて各フイラメント
４は直列に接続されるようになつている。この構
成において、前記のようにフイラメント４は通電
によつて高温に熱せられるので、これによつて膨
張して長くなる。またその通電を止めれば再び収
縮する。このような膨張、収縮に応じて金具９は
スライドしてその膨張、収縮を吸収する。
しかしこのようなフイラメント４の膨張、収縮
による力がこれを固定している金具に集中し、場
合によつてはこの固定用の金具が円滑にスライド
しなくなることがある。このようなことが起きれ
ば、フイラメント４の中央部のビーム引出部が湾
曲するなどして変形してしまうようになる。
による力がこれを固定している金具に集中し、場
合によつてはこの固定用の金具が円滑にスライド
しなくなることがある。このようなことが起きれ
ば、フイラメント４の中央部のビーム引出部が湾
曲するなどして変形してしまうようになる。
これを改善するために第５図に示すように各絶
縁台７，８と固定金具１０との間に圧縮されたバ
ネ１１を介在させた構成が考えられている。これ
によれば常時固定金具１０を介してバネ１１の弾
力によつてフイラメント４を引つ張つているの
で、フイラメント４は常に伸張状態にある。
縁台７，８と固定金具１０との間に圧縮されたバ
ネ１１を介在させた構成が考えられている。これ
によれば常時固定金具１０を介してバネ１１の弾
力によつてフイラメント４を引つ張つているの
で、フイラメント４は常に伸張状態にある。
しかしこれによるとフイラメント４が収縮する
とき、バネ１１の弾力に抗して固定金具１０を引
き寄せるのに必要なテンシヨンがフイラメント４
に加わる。そのためフイラメントの機械的強度に
対応してバネ１１を選定する必要があり、もしそ
の選定を誤ると、フイラメントが断線してしまう
ようになる。またバネ１１自身が加熱によつて塑
性化するため、バネ機能を果さなくなる。したが
つてこのバネ１１の選定は極めて困難である。
とき、バネ１１の弾力に抗して固定金具１０を引
き寄せるのに必要なテンシヨンがフイラメント４
に加わる。そのためフイラメントの機械的強度に
対応してバネ１１を選定する必要があり、もしそ
の選定を誤ると、フイラメントが断線してしまう
ようになる。またバネ１１自身が加熱によつて塑
性化するため、バネ機能を果さなくなる。したが
つてこのバネ１１の選定は極めて困難である。
（考案が解決しようとする問題点）
この考案は電子銃を構成するフイラメントが、
膨張収縮することによる熱変形を簡単に防止する
ことを目的とする。
膨張収縮することによる熱変形を簡単に防止する
ことを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
この考案はフイラメントをＵ字状とし、その両
端部を絶縁台に固定金具によつて固定するととも
に、先端の湾曲部分を別の絶縁台にスライド自在
に支持したことを特徴とする。
端部を絶縁台に固定金具によつて固定するととも
に、先端の湾曲部分を別の絶縁台にスライド自在
に支持したことを特徴とする。
（実施例）
この考案の実施例を第１図、第２図によつて説
明する。なお第４図と同じ符号を附した部分は同
一または対応する部分を示す。この考案にしたが
いフイラメント４としてＵ字状に形成し、その各
端部を絶縁台７に形成し孔１２に挿通し、孔１２
から出た先端を金具９と固定金具１０とによつて
固定する。金具９は絶縁台７上をスライド自在と
していない。一方フイラメント４の湾曲部側は、
絶縁台８に形成した孔１３にスライド自在に挿通
され、これによつてこの湾曲部側は機械的に支持
される。
明する。なお第４図と同じ符号を附した部分は同
一または対応する部分を示す。この考案にしたが
いフイラメント４としてＵ字状に形成し、その各
端部を絶縁台７に形成し孔１２に挿通し、孔１２
から出た先端を金具９と固定金具１０とによつて
固定する。金具９は絶縁台７上をスライド自在と
していない。一方フイラメント４の湾曲部側は、
絶縁台８に形成した孔１３にスライド自在に挿通
され、これによつてこの湾曲部側は機械的に支持
される。
図の例では第２図に示すように複数のフイラメ
ント４を使用する場合を示している。ここでは各
フイラメント４を並設し、隣合うフイラメント４
の各並び合つている脚部４Ａ同志を同じ金具９に
固定し、これによつて各フイラメントを直列に接
続している。
ント４を使用する場合を示している。ここでは各
フイラメント４を並設し、隣合うフイラメント４
の各並び合つている脚部４Ａ同志を同じ金具９に
固定し、これによつて各フイラメントを直列に接
続している。
以上の構成において、フイラメント４が前記し
たように加熱されることによつて膨張したとす
る。フイラメント４はその端部が絶縁台７の金具
９に固定金具１０によつて固定されているので、
脚部４Ａが絶縁台８側に向かつて膨張するように
なる。このとき脚部４Ａは孔１３内をスライド
が、そのときの孔１３との摩擦抵抗を十分に小さ
く設定しておけば、この膨張には特に大きな拘束
力は作用しない。これによつて膨張時の熱変形は
確実に回避されるようになる。
たように加熱されることによつて膨張したとす
る。フイラメント４はその端部が絶縁台７の金具
９に固定金具１０によつて固定されているので、
脚部４Ａが絶縁台８側に向かつて膨張するように
なる。このとき脚部４Ａは孔１３内をスライド
が、そのときの孔１３との摩擦抵抗を十分に小さ
く設定しておけば、この膨張には特に大きな拘束
力は作用しない。これによつて膨張時の熱変形は
確実に回避されるようになる。
なお図の例ではフイラメントを、絶縁台に形成
した孔に挿通するようにしているが、孔に代えて
絶縁台の上縁から延びる溝に挿通するようにして
もよい。
した孔に挿通するようにしているが、孔に代えて
絶縁台の上縁から延びる溝に挿通するようにして
もよい。
（考案の効果）
以上詳述したようにこの考案によれば、フイラ
メントの膨張、収縮による熱変形は確実に防止で
きるとともに、そのための構成も極めて簡単です
むといつた効果を奏する。
メントの膨張、収縮による熱変形は確実に防止で
きるとともに、そのための構成も極めて簡単です
むといつた効果を奏する。
第１図はこの考案の実施例を示す斜視図、第２
図は同平面図、第３図は電子線照射装置の一例を
示す断面図、第４図は従来例の平面図、第５図は
同じく従来例の断面図である。 ４……フイラメント、７，８……絶縁台、９…
…金具、１０……固定金具。
図は同平面図、第３図は電子線照射装置の一例を
示す断面図、第４図は従来例の平面図、第５図は
同じく従来例の断面図である。 ４……フイラメント、７，８……絶縁台、９…
…金具、１０……固定金具。
Claims (1)
- 加熱によつて電子を放射するフイラメントをＵ
字状とし、その両端部を絶縁台に固定金具によつ
て固定するとともに、前記フイラメントの先端の
湾曲部分を別の絶縁台にスライド自在に支持して
なる電子銃装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2634286U JPH0535557Y2 (ja) | 1986-02-24 | 1986-02-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2634286U JPH0535557Y2 (ja) | 1986-02-24 | 1986-02-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62137548U JPS62137548U (ja) | 1987-08-29 |
| JPH0535557Y2 true JPH0535557Y2 (ja) | 1993-09-09 |
Family
ID=30827338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2634286U Expired - Lifetime JPH0535557Y2 (ja) | 1986-02-24 | 1986-02-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0535557Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0635362Y2 (ja) * | 1988-01-26 | 1994-09-14 | 日新電機株式会社 | イオン注入装置のチャージアップ低減用の電子銃装置 |
| JPH0753249Y2 (ja) * | 1989-04-04 | 1995-12-06 | 日新電機株式会社 | 電子銃装置 |
-
1986
- 1986-02-24 JP JP2634286U patent/JPH0535557Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62137548U (ja) | 1987-08-29 |
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