JPH0536314U - 光学式測定装置 - Google Patents
光学式測定装置Info
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- JPH0536314U JPH0536314U JP404892U JP40489290U JPH0536314U JP H0536314 U JPH0536314 U JP H0536314U JP 404892 U JP404892 U JP 404892U JP 40489290 U JP40489290 U JP 40489290U JP H0536314 U JPH0536314 U JP H0536314U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光学式測定装置において、装置全体の小型化
を図る。 【構成】 発光手段又は/及び受光手段をそれぞれ、発
光の作用する発光素子チップ又は/及び受光の作用する
受光素子チップを基板に固定して構成した。 【効果】 発光手段又は/及び受光手段を小型にするこ
とができると共に、発光手段と受光手段の間の距離を短
くすることができ、装置全体を小型にすることができ
る。
を図る。 【構成】 発光手段又は/及び受光手段をそれぞれ、発
光の作用する発光素子チップ又は/及び受光の作用する
受光素子チップを基板に固定して構成した。 【効果】 発光手段又は/及び受光手段を小型にするこ
とができると共に、発光手段と受光手段の間の距離を短
くすることができ、装置全体を小型にすることができ
る。
Description
【0001】
この考案は、長さや角度等を光学式に測定する光学式測定装置に関する。特に 、発光手段と受光手段の構成の改良に関する。
【0002】
長さや角度等を光学式に測定する光学式測定装置1bとして、従来、図4に示 したものが知られている。つまり、発光手段及び受光手段は、発光素子25b及 び受光素子27a,28b,29bを、導電パターンが設けられた基板24bに 接続固定された構成となっていた。
【0003】
光学式測定装置1bでは、発光手段及び受光手段がそれぞれ発光素子25b及 び受光素子27b,28b,29bを用いて構成されている。つまり、タイバー 部に素子チップ(図示省略)をボンディングし、透明材料若しくは半透明材料で モールドされてなる発光素子25b及び受光素子27b,28b,29bを用い ていることにより、基板24bの大きさ或いは検出部(図示省略)の大きさが発 光素子25b又は/及び受光素子27b,28b,29bのモールド部分の大き さによって強く決定されている。従って、メインスケール2b、インデックスス ケール3b等を小形に形成できても、装置全体の小型化が十分に得られないとい う問題がある。
【0004】 殊に今日では、測定装置が工作機械等に組込まれて用いられる場合が多く、ま た光ディスクドライブやハードディスクドライブ等の読取りヘッドの位置測定を おこなう装置においても軽薄短小化が大きく望まれている。
【0005】 この考案は上記の事情に鑑みてなされたものであり、発光手段又は/及び受光 手段を小型化することにより、装置全体が小型化された光学式測定装置を提供す るものである。
【0006】
この考案は、基板に発光素子チップ又は/及び受光素子チップをそれぞれ固定 して得られる発光手段又は/及び受光手段を備えて構成された光学式測定装置で ある。
【0007】 その詳細な構成は、メインスケールと、そのメインスケールに対向して配設さ れるインデックススケールと、発光手段と、その発光手段からの光を、前記メイ ンスケール及びインデックススケールを介して受ける受光手段と、その受光手段 からの信号に基づき、前記メインスケールとインデックススケールの相対移動の 量を演算する演算手段が備えられ、上記発光手段又は/及び上記受光手段はそれ ぞれ、発光作用をおこなう発光素子チップ又は/及び受光作用をおこなう受光素 子チップが基板に固定されて構成されることを特徴とする光学式測定装置である 。
【0008】
発光手段又は/及び受光手段はそれぞれ、発光素子チップ又は/及び受光素子 チップが基板に固定されて構成されている。
【0009】
この考案を、図1〜図3に示す実施例に基づき詳述する。しかし、この実施例 によってこの考案が限定されるものではない。
【0010】 光学式測定装置1は図1〜図2に示すように、メインスケール2と、インデッ クススケール3と、発光手段4と、受光手段5,6と、演算手段7が備えられて いる。
【0011】 メインスケール2は、被加工物を載置し、移動可能なテーブル(図示省略)に 固定される。メインスケール2において、インデックススケール3と対向する面 9には格子目盛(図示省略)が設けられている。
【0012】 インデックススケール3は、ホルダー10に保持されている。インデックスス ケール3には、発光手段4からの光が通過すると所定の制約状態にしてメインス ケール2側に送るための光源用格子11と、メインスケール2側からの光を通過 させて受光手段5及び6側にそれぞれ送るための格子12,13及び14,15 が設けられている。
【0013】 ホルダー10は、定位置に固定され、上記テーブルと矢印A方向に相対移動を おこなうものである。ホルダー10には、一体となって発光手段4及び受光手段 5が保持されている。ホルダー10には、発光手段4からの光が直接に受光手段 5,6に至るのを防ぐための壁16,17が設けられている。更に、ホルダー1 0には、インデックススケール3を位置決めするための凸状部18,19,20 ,21が設けられている。
【0014】 発光手段4は図2に示すように、絶縁性のエポキシ樹脂板22上に主に銅から なる導電パターン23が形成されてなる基板24と発光作用をおこなう発光素子 チップ25から主に構成されている。つまり、基板24の導電パターン23に発 光素子チップ25が固定されると共に、発光素子チップ25から他の導電パター ン23にワイヤー26のボンディングによって電極が引出されている。
【0015】 受光手段5及び6はそれぞれ発光手段4と同様に、基板24上に受光作用をお こなう受光素子チップ27,28及び29,30を固定しワイヤー26のボンデ ィングをおこなうことで構成されている。
【0016】 演算手段7は、受光手段5,6からの信号に基づき、メインスケール2とイン デックススケール3の相対移動の距離を演算するものである。つまり、発光手段 4から発し、インデックススケール3の光源用格子11を透過してメインスケー ル2の面9の格子目盛で反射し、更にインデックススケール3の格子12,13 ,14及び15をそれぞれ通って来た光が、受光素子チップ27,28,29及 び30に至ると、受光手段5,6はケーブル31を介して信号を演算手段7に出 力する。演算手段7は、演算結果を上記テーブルの駆動手段の制御部(図示省略 )に信号で送る。前記制御部は、演算手段7の信号と制御目標に基づき駆動手段 に制御信号を送る。
【0017】 光学式測定装置1において、発光手段4及び受光手段5,6はそれぞれ、基板 24に発光素子チップ25及び受光素子チップ27,28,29,30を固定す ることにより構成している。従って、発光手段4及び受光手段5,6を従来に比 べて小型化することができると共に、発光手段4と受光手段5,6との間の寸法 を短くすることができ、これらのことによって装置全体の小型化を得ることがで きる。
【0018】 光学式測定装置1では発光手段4から光が直接に受光素子5,6に至るのを防 ぐために、ホルダー10に壁16,17を設けている。この他に、要部を図3に 示すように、発光手段4aを受光手段5a,6aに対してスケール側に突出した 位置として構成した光学式測定装置1aであってもよい。
【0019】 光学式測定装置1は、いわゆる反射型のものであるが、透過型のものであって もよい。
【0020】 光学式測定装置1では基板24はエポキシ樹脂板22上に導電パターン23を 形成して構成されているが、互いに絶縁状態に配置された複数個の導電性フレー ムからなるものであってもよい。
【0021】 光学式測定装置1では発光手段4及び受光手段5,6がそれぞれ基板22に発 光素子チップ25及び受光素子チップ27,28,29,30を固定して構成さ れているが、発光手段のみ、或いは受光手段のみが基板に素子チップを固定して 構成されたものであってもよい。
【0022】 光学式測定装置1はメインスケール2とインデックススケール3が直線状に相 対移動して長さを測定する構成になっているが、この発明は前記相対移動が例え ば回転移動により測定をおこなうものにも適用できる。
【0023】
この考案は、受光手段又は/及び受光手段をそれぞれ発光をおこなう発光素子 チップ又は/及び受光作用をおこなう受光素子チップを基板に固定して構成され ていることより、発光手段又は/及び受光手段を小型化することができると共に 、発光手段と受光手段の間の距離を短くすることができることより、装置全体が 小型化が可能な光学式測定装置である。
【図1】この考案の一実施例を示す、一部切欠き及び分
解を含む斜視図である。
解を含む斜視図である。
【図2】図1に示す実施例の要部正面図である。
【図3】この考案の第二の実施例の要部の斜視図であ
る。
る。
【図4】従来の技術を示す要部の分解斜視図である。
1 光学式測定装置 2 メインスケール 3 インデックススケール 4 発光手段 5,6 受光手段 24 基板 25 発光素子チップ 26 ワイヤー 27,28,29,30 受光素子チップ
Claims (1)
- 【請求項1】 メインスケールと、そのメインスケール
に対向して配設されるインデックススケールと、発光手
段と、その発光手段からの光を、前記メインスケール及
びインデックススケールを介して受ける受光手段と、そ
の受光手段からの信号に基づき、前記メインスケールと
インデックススケールの相対移動の量を演算する演算手
段が備えられ、 上記発光手段又は/及び上記受光手段はそれぞれ、発光
作用をおこなう発光素子チップ又は/及び受光作用をお
こなう受光素子チップが基板に固定されて構成されるこ
とを特徴とする光学式測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP404892U JPH0536314U (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | 光学式測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP404892U JPH0536314U (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | 光学式測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0536314U true JPH0536314U (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=18514550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP404892U Pending JPH0536314U (ja) | 1990-12-25 | 1990-12-25 | 光学式測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0536314U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62150118A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-04 | Mitsutoyo Mfg Corp | 光学式変位検出装置 |
| JPH0197814A (ja) * | 1987-10-09 | 1989-04-17 | Mitsutoyo Corp | 光学式変位検出器 |
-
1990
- 1990-12-25 JP JP404892U patent/JPH0536314U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62150118A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-04 | Mitsutoyo Mfg Corp | 光学式変位検出装置 |
| JPH0197814A (ja) * | 1987-10-09 | 1989-04-17 | Mitsutoyo Corp | 光学式変位検出器 |
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