JPH0536492Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は積層型フイルタの過エレメントに
関する。

〔従来の技術〕

半導体製造工程における薬液浄化用などに積層
型フイルタが用いられている。例えば特開昭60−
22904号に開示された如きものでその一例を第２
図に示す。第２図の積層型フイルタ１０は、スペ
ーサ１３に材１４を溶着した過エレメント１
７が積層されてセンターボルト１８で入口孔１９
ａ出口孔１９ｂを備えたケーシング１９のの出口
孔１９ｂに固着されたものであつて、すべて耐薬
品性のある合成樹脂でなるものである。

第３図に示すように過エレメント１７のスペ
ーサ１３は中央貫通孔１１ａを有するボス部１１
の側面に水平方向に延びる環状の水平片１２が設
けられその内部に中央貫通孔１１ａと連通する横
通孔１２ａが設けられている。材１４は２枚の
網体１５の間に多孔質の薄い過膜１６を挾んで
重ねたもので、その中心孔１４ａ周縁は水平片１
２の上面または下面に熱溶着され溶着部１５ａが
形成される。材１４の外周縁は、前記の上面に
溶着された材と下面に溶着された材とが互に
気密に溶着されて袋状となつている。溶着部１５
ａは網体１５の編み糸が溶融してフイルム状とな
つて（フイルム化）いる。

この過エレメント１７は積重ねて材１４を
たわめてケーシング１９に収容される。

〔考案が解決しようとする問題点〕

上記の材１４の網体１５のフイルム化した部
分と、もとの編み糸のままの部分との境界は折れ
曲りやすいので材１４をたわめてケーシング１
９に収容するとき、あるいは原液の液圧が材１
４に作用したときにこの境界の部分が集中応力を
受ける。また材１４がたわめられたとき水平片
１２の外周縁に当つて曲げられる部分には集中応
力が生ずるが、この部分は水平片１２の形状上、
前記の境界部分と近接しているから、前記双方の
理由による集中応力がほぼ同一個所に作用する。
従つて材１４のフイルム化部分の境界が水平片
１２の外周縁角部に重なる部分が材の最弱点部
位となり破損の原因となる。

そのため網体１５の熱溶着される部分以上に広
範囲に予めフイルム化しておき、網体１５のフイ
ルム化部分と編み糸部分との境界を水平片１２の
角部より外方にずらせて前記の材１４に弱点を
生ぜしめる理由の重複を避けることが考えられ
る。しかしこのようにフイルム化部分を水平片１
２の直径より大きくすると、過すべき原液の圧
力が外方から上下二つの材１４に加えられたと
きフイルム化された部分が圧迫されて、二つの
材間の液通路を閉塞したり挟めたりする。これ
は網体によつて維持されている材の若干の弾力
性がフイルム化部分は失なわれて全く柔軟な膜状
になつているからである。このように閉塞される
現象は硫酸のような高粘度の液体の場合に著し
い。

この考案はこれらの問題を解決するためのもの
である。

〔問題点を解決するための手段〕

ボス部とボス部の側面に環状に設けた水平片と
からなる合成樹脂製のスペーサの水平片の上下面
に、多孔質過膜の両面または片面に網体を重ね
た合成樹脂材料の材の中心孔の周縁を溶着する
とともに、材の前記溶着部分とその外周に及び
水平片の外径より広い範囲にフイルタ化部分を形
成し、さらに前記二つの材の間に多孔の間材を
挿入した積層型フイルタの過エレメントであ
る。なお間材は材のフイルム化部分の密着を防
ぐものであるから、材の外周縁近くまで及びも
のでなくてよい。

〔作用〕

この考案の過エレメントは複数個積層されて
連通する中央貫通孔の一方端が閉塞され、各材
がたわめられてケーシングに収容され中央貫通孔
の他方端がケーシングの出口孔に接続され積層型
フイルムを形成する。

過エレメントの材の水平片との溶着部分お
よびその外周部分は過膜も網体もフイルム化さ
れており網体のフイルム化部分と編み糸状の部分
の境界は水平片外周縁よりさらに外方にある。従
つて材のフイルム化部分の境界と、材が水平
片の角部に当る部分とは位置がずれており材が
たわめられたときの集中応力が重複して１個所に
かからず分散される。

またフイルム化部分が水平片外周縁より外方に
及んでいても、挿入された間材により二つの材
間の通路の閉塞は防止される。

〔実施例〕

第１図にこの考案の実施例を示す。本考案の
過エレメント１はスペーサ１３と材４と間材７
とでなりすべて耐薬品性合成樹材料でなる。スペ
ーサ１３は中央貫通孔１１ａを有するボス部１１
とその側面に環状に設けられ内部に中央貫通孔１
１ａに連通する横通孔１２ａを備えた水平片１２
とでなる。

材４は２枚の網体５の間に薄い多孔質の過
膜６を挾んで重ねたものであつてその中央孔４ａ
の周縁部は水平片１２の上面と下面とに熱溶着さ
れてフイルム状となつている。網体５には溶着部
分より外方に広がり水平片１２の外周縁より大径
のフイルム化部分５ａが形成されている。フイル
ム化部分５ａ網体５を過膜６と重ねて材４を
形成する前に網体５のみに環状の加熱板を押し当
てて網体５の編み糸を容融させるものである。こ
の網体５は四ふつ化エチレン多孔質膜でなる過
膜６と重ねられて材４を形成しその中心孔４ａ
の周縁部がスペーサ１３の水平片１２の上下面に
熱溶着される。水平片１２の上下面に溶着される
二つの材４の間に合成樹脂繊維でなる環状の不
織布が多孔の間材７として挿入される。間材は柔
軟性のある網状の板などもよい。材４は水平片
の上面に溶着されたものと下面に溶着されたもの
とが、外周縁を袋状に気密に溶着される。材４
は円形でも正方形などの多辺形でもよい。このよ
うにして形成された過エレメント１は従来のも
のと同様に積層されセンターボルト１８が挿通さ
れケーシング１９の出口孔１９ｂに取付けられ
る。この際各材４はたわめられてケーシング１
９内に収容される。材４は水平片の外周縁部が
特に強く曲げられ、流入する原液の圧力も強く受
けるが網体５の編み糸状部分の端末はこの位置に
はないので前記双方の理由による集中応力の重複
はない。また間材が挿入されているので材間の
内部通路の閉塞はおこらない。

なお、材４は過膜６の片側のみに網体５を
重ねて、積層されたとき過膜同志が直接隣接し
ないように配列してもよい。また、過エレメン
トを積層するのにボス部端面を固着してセンター
ボルトを省略してもよい。

〔効果〕

この考案は過エレメントの材の水平片との
溶着部およびその外周をフイルム化し、編み糸状
の部分との境界を、水平片の外周縁に当る部分と
一致させないようにしたので材がたわめられた
ときの集中応力が分散され、破損が生じ難い過
エレメントとなる。また間材によりフイルム化部
分が通路を閉塞することがないから、性能の安定
した寿命の長い積層型フイルタが得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の過エレメントの実施例の
斜視図である。第２図は積層型フイルタの図、第
３図は従来の過エレメントの図である。 ４……材、５……網体、５ａ……フイルム化
部分、６……過膜、７……間材、１０……積層
型フイルタ、１１……ボス部、１２……水平片、
１３……スペーサ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 中央貫通孔を有するボス部と、ボス部の側面に
   環状に設けられ内部に中央貫通孔に連通する横通
   孔を備えた水平片とでなる合成樹脂製のスペーサ
   の水平片の上下面に、多孔質の過膜の両面また
   は片面に網体を重ねた合成樹脂材料でなる材の
   中心孔の周縁をそれぞれ溶着するとともに、前記
   二つの材の外周縁を気密に溶着した積層型細密
   フイルタの過エレメントにおいて、網体の中心
   孔周縁に水平片の外径より大径のフイルム化部分
   を形成し、かつ前記二つの材の間に多孔の間材
   を挿入したことを特徴とする積層型フイルタの
   過エレメント。