JPH0536820A - ウエハキヤリア収納ケース - Google Patents
ウエハキヤリア収納ケースInfo
- Publication number
- JPH0536820A JPH0536820A JP3188469A JP18846991A JPH0536820A JP H0536820 A JPH0536820 A JP H0536820A JP 3188469 A JP3188469 A JP 3188469A JP 18846991 A JP18846991 A JP 18846991A JP H0536820 A JPH0536820 A JP H0536820A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer carrier
- case
- center position
- carrier storage
- storage case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエハキャリア収納ケースにおいて、センタ
位置の検出および位置決めを自動的に行い、半導体ウエ
ハのハンドリングおよび搬送を自動化し、製造歩留りお
よびクリーン度を向上させる。 【構成】 ウエハキャリア収納ケースにおいて、ケース
カバー５にセンタ位置の検出および位置決め用の取手１
０ａ，１０ｂを設け、この取手１０ａ，１０ｂはセンタ
位置にＶ字状の切欠部を有している構造とした。
位置の検出および位置決めを自動的に行い、半導体ウエ
ハのハンドリングおよび搬送を自動化し、製造歩留りお
よびクリーン度を向上させる。 【構成】 ウエハキャリア収納ケースにおいて、ケース
カバー５にセンタ位置の検出および位置決め用の取手１
０ａ，１０ｂを設け、この取手１０ａ，１０ｂはセンタ
位置にＶ字状の切欠部を有している構造とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウエハキャリア収納ケー
スに関し、特に、半導体ウエハ製造工程で用いられるウ
エハキャリアを収納するために適用して効果のある技術
に関する。
スに関し、特に、半導体ウエハ製造工程で用いられるウ
エハキャリアを収納するために適用して効果のある技術
に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のウエハキャリア収納ケースとし
ては、たとえば以下に示すようなものがある。
ては、たとえば以下に示すようなものがある。
【０００３】すなわち、このウエハキャリア収納ケース
はケース本体と、このケース本体の開口部を覆うケース
カバーとからなり、このケースカバーはコントロールカ
ードなど工程管理に用いる帳票を装着できる構造となっ
ている。
はケース本体と、このケース本体の開口部を覆うケース
カバーとからなり、このケースカバーはコントロールカ
ードなど工程管理に用いる帳票を装着できる構造となっ
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記したウエ
ハキャリア収納ケースの構造では、手動でケースカバー
を開閉し、ウエハキャリアを介して半導体ウエハを収納
する構造となっているので、センタ位置の検出および位
置決めを自動的に行うことが困難であった。
ハキャリア収納ケースの構造では、手動でケースカバー
を開閉し、ウエハキャリアを介して半導体ウエハを収納
する構造となっているので、センタ位置の検出および位
置決めを自動的に行うことが困難であった。
【０００５】このため、ハンドリングおよび搬送の自動
化が困難で、製造歩留りやクリーン度が低下してしま
う。
化が困難で、製造歩留りやクリーン度が低下してしま
う。
【０００６】本発明の目的はセンタ位置の検出および位
置決めを自動的に行うことのできるウエハキャリア収納
ケースを提供することにある。
置決めを自動的に行うことのできるウエハキャリア収納
ケースを提供することにある。
【０００７】本発明の他の目的は半導体ウエハのハンド
リングおよび搬送を自動化し、製造歩留りおよびクリー
ン度を向上させることのできるウエハキャリア収納ケー
スを提供することにある。
リングおよび搬送を自動化し、製造歩留りおよびクリー
ン度を向上させることのできるウエハキャリア収納ケー
スを提供することにある。
【０００８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
の通りである。
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
の通りである。
【００１０】すなわち、本発明のウエハキャリア収納ケ
ースはケース本体と、このケース本体の開口部を覆うケ
ースカバーとを備え、ウエハキャリアを収納するウエハ
キャリア収納ケースであって、ケース本体またはケース
カバーの一方にセンタ位置の検出および位置決め用の取
手を設けた構造としたものである。
ースはケース本体と、このケース本体の開口部を覆うケ
ースカバーとを備え、ウエハキャリアを収納するウエハ
キャリア収納ケースであって、ケース本体またはケース
カバーの一方にセンタ位置の検出および位置決め用の取
手を設けた構造としたものである。
【００１１】この場合、前記取手はセンタ位置にＶ字状
の切欠部を有している構造とすることができる。
の切欠部を有している構造とすることができる。
【００１２】
【作用】本発明のウエハキャリア収納ケースによれば、
ケース本体またはケースカバーの一方にセンタ位置の検
出および位置決め用の取手を設けた構造としたので、ウ
エハキャリア収納ケースのセンタ位置の検出および位置
決めを自動化することができる。
ケース本体またはケースカバーの一方にセンタ位置の検
出および位置決め用の取手を設けた構造としたので、ウ
エハキャリア収納ケースのセンタ位置の検出および位置
決めを自動化することができる。
【００１３】したがって、半導体ウエハのハンドリング
および搬送を自動化し、製造歩留りを向上させることが
できる。
および搬送を自動化し、製造歩留りを向上させることが
できる。
【００１４】また、ケースカバーに取手を設けた構造と
した場合、センタ位置の検出および位置決めの自動化に
加えて、ケースカバーを自動的に開閉することができ
る。
した場合、センタ位置の検出および位置決めの自動化に
加えて、ケースカバーを自動的に開閉することができ
る。
【００１５】この場合、前記取手はセンタ位置にＶ字状
の切欠部を有している構造としたので、ハンド突起部を
用いてセンタ位置の検出および位置決めの自動化を容易
に行うことができる。
の切欠部を有している構造としたので、ハンド突起部を
用いてセンタ位置の検出および位置決めの自動化を容易
に行うことができる。
【００１６】
【実施例１】図１は本発明の実施例１であるウエハキャ
リア収納ケースを示す平面図、図２は図１のウエハキャ
リア収納ケースを示す縦半断面図である。
リア収納ケースを示す平面図、図２は図１のウエハキャ
リア収納ケースを示す縦半断面図である。
【００１７】本実施例１におけるウエハキャリア収納ケ
ースはケース本体１を有している。
ースはケース本体１を有している。
【００１８】このケース本体１は半導体ウエハを複数枚
並列状態で保持・搬送するウエハキャリア２を収納する
もので、ほぼ直方体のカップ形状を有し、ウエハキャリ
ア２を収納したとき、その上部が開口部３より突出する
構造となっている。ケース本体１の開口部３に帯状の開
口周縁部４が形成され、この開口周縁部４は断面アール
形状を有している。
並列状態で保持・搬送するウエハキャリア２を収納する
もので、ほぼ直方体のカップ形状を有し、ウエハキャリ
ア２を収納したとき、その上部が開口部３より突出する
構造となっている。ケース本体１の開口部３に帯状の開
口周縁部４が形成され、この開口周縁部４は断面アール
形状を有している。
【００１９】このようなケース本体１の開口部３にケー
スカバー５が嵌合により着脱自在に装着され、このケー
スカバー５はほぼ直方体の逆カップ形状を有し、ケース
本体１の開口部３およびその開口部３より突出するウエ
ハキャリア２を覆う構造となっている。
スカバー５が嵌合により着脱自在に装着され、このケー
スカバー５はほぼ直方体の逆カップ形状を有し、ケース
本体１の開口部３およびその開口部３より突出するウエ
ハキャリア２を覆う構造となっている。
【００２０】また、ケースカバー５の周縁部に帯状の気
密部６が形成され、この気密部６はケース本体１の開口
周縁部４にフィットし、気密を保持する気密構造となっ
ている。
密部６が形成され、この気密部６はケース本体１の開口
周縁部４にフィットし、気密を保持する気密構造となっ
ている。
【００２１】ケースカバー５の上面とケース本体１の下
面とには、それぞれケース積重ね用の係止部７ａおよび
被係止部７ｂが形成されている。
面とには、それぞれケース積重ね用の係止部７ａおよび
被係止部７ｂが形成されている。
【００２２】本実施例１では、ケースカバー５に取手１
０ａ，１０ｂを設け、センタ位置９の検出および位置決
めを自動的に行う構造とした点で特徴を有する。
０ａ，１０ｂを設け、センタ位置９の検出および位置決
めを自動的に行う構造とした点で特徴を有する。
【００２３】すなわち、ケースカバー５の左側面８ａお
よび右側面８ｂのセンタ位置９に取手１０ａ，１０ｂが
それぞれ突設され、この取手１０ａ，１０ｂにＶ字状の
切欠部１３が形成され、この切欠部１３はハンド突起部
を用いてセンタ位置９の検出および位置決めを自動化し
た構造としたものである。
よび右側面８ｂのセンタ位置９に取手１０ａ，１０ｂが
それぞれ突設され、この取手１０ａ，１０ｂにＶ字状の
切欠部１３が形成され、この切欠部１３はハンド突起部
を用いてセンタ位置９の検出および位置決めを自動化し
た構造としたものである。
【００２４】なお、１２はカード押さえであり、このカ
ード押さえ１２はケースカバー５にコントロールカード
を押付けて止めておくためのものである。
ード押さえ１２はケースカバー５にコントロールカード
を押付けて止めておくためのものである。
【００２５】次に、本実施例１の作用を説明する。
【００２６】ロボットハンドに形成されたハンド突起部
を取手１０ａ，１０ｂの切欠部１３に臨ませて差し込む
と、切欠部１３のテーパ作用により、センタ位置９が自
動的に検出され、同時にセンタ位置９にウエハキャリア
収納ケースが自動的に位置決めされる。
を取手１０ａ，１０ｂの切欠部１３に臨ませて差し込む
と、切欠部１３のテーパ作用により、センタ位置９が自
動的に検出され、同時にセンタ位置９にウエハキャリア
収納ケースが自動的に位置決めされる。
【００２７】このように、ウエハキャリア収納ケースを
センタ位置９に自動的に位置決めすることができるの
で、収納されているウエハキャリア２、つまり半導体ウ
エハの位置を間接的に検出し、半導体ウエハのハンドリ
ングおよび搬送を自動化することができる。
センタ位置９に自動的に位置決めすることができるの
で、収納されているウエハキャリア２、つまり半導体ウ
エハの位置を間接的に検出し、半導体ウエハのハンドリ
ングおよび搬送を自動化することができる。
【００２８】また、取手１０ａ，１０ｂをロボットハン
ドでハンドリングし、上下動させることによりケースカ
バー５を自動的に開閉することができる。
ドでハンドリングし、上下動させることによりケースカ
バー５を自動的に開閉することができる。
【００２９】したがって、製造歩留りおよびクリーン度
を向上させることができる。
を向上させることができる。
【００３０】このような効果は半導体ウエハが大口径化
する程、顕著である。
する程、顕著である。
【００３１】
【実施例２】図３は本発明の実施例２であるウエハキャ
リア収納ケースを示す斜視図である。
リア収納ケースを示す斜視図である。
【００３２】本実施例２におけるウエハキャリア収納ケ
ースは前記実施例１とほぼ同様の構成を有するが、ケー
スカバー５の側面８ａ，８ｂに前後方向に沿った２本の
溝１１ａ，１１ｂを形成し、この２本の溝１１ａと１１
ｂとの間に取手１０ａ，１０ｂを形成し、この取手１０
ａ，１０ｂの側面をケースカバー５の側面８ａ，８ｂと
同一面上に形成した構造とし、これにより外観上の見栄
えを向上させ、スペースの有効利用を図ることができる
ようにした点で特徴を有する。
ースは前記実施例１とほぼ同様の構成を有するが、ケー
スカバー５の側面８ａ，８ｂに前後方向に沿った２本の
溝１１ａ，１１ｂを形成し、この２本の溝１１ａと１１
ｂとの間に取手１０ａ，１０ｂを形成し、この取手１０
ａ，１０ｂの側面をケースカバー５の側面８ａ，８ｂと
同一面上に形成した構造とし、これにより外観上の見栄
えを向上させ、スペースの有効利用を図ることができる
ようにした点で特徴を有する。
【００３３】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施
例に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施
例に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００３４】たとえば、前記実施例では、ケースカバー
に取手を設けた場合について説明したが、これに限ら
ず、ケース本体に取手を設けることもできる。
に取手を設けた場合について説明したが、これに限ら
ず、ケース本体に取手を設けることもできる。
【００３５】また、前記実施例では、ケースカバーの左
側面および右側面に取手をそれぞれ設けた場合について
説明したが、これに限らず、ケースカバーの前側面およ
び後側面に取手をそれぞれ設けることもできる。
側面および右側面に取手をそれぞれ設けた場合について
説明したが、これに限らず、ケースカバーの前側面およ
び後側面に取手をそれぞれ設けることもできる。
【００３６】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。
【００３７】(1).ケース本体またはケースカバーの一方
にセンタ位置の検出および位置決め用の取手を設けた構
造としたので、ウエハキャリア収納ケースのセンタ位置
の検出および位置決めを自動化することができる。
にセンタ位置の検出および位置決め用の取手を設けた構
造としたので、ウエハキャリア収納ケースのセンタ位置
の検出および位置決めを自動化することができる。
【００３８】(2).前記(1) の効果により、半導体ウエハ
のハンドリングおよび搬送を自動化し、製造歩留りを向
上させることができる。
のハンドリングおよび搬送を自動化し、製造歩留りを向
上させることができる。
【００３９】(3).ケースカバーに取手を設けた構造とし
た場合、センタ位置の検出および位置決めの自動化に加
えて、ケースカバーを自動的に開閉することができる。
た場合、センタ位置の検出および位置決めの自動化に加
えて、ケースカバーを自動的に開閉することができる。
【００４０】(4).前記(3) の場合、取手はセンタ位置に
Ｖ字状の切欠部を有している構造としたので、ハンド突
起部を用いてセンタ位置の検出および位置決めの自動化
を容易に行うことができる。
Ｖ字状の切欠部を有している構造としたので、ハンド突
起部を用いてセンタ位置の検出および位置決めの自動化
を容易に行うことができる。
【図１】本発明の実施例１であるウエハキャリア収納ケ
ースを示す平面図である。
ースを示す平面図である。
【図２】図１のウエハキャリア収納ケースを示す縦半断
面図である。
面図である。
【図３】本発明の実施例２であるウエハキャリア収納ケ
ースを示す斜視図である。
ースを示す斜視図である。
１ ケース本体
２ ウエハキャリア
３ 開口部
４ 開口周縁部
５ ケースカバー
６ 気密部
７ａ 係止部
７ｂ 被係止部
８ａ 左側面
８ｂ 右側面
９ センタ位置
１０ａ 取手
１０ｂ 取手
１１ａ 溝
１１ｂ 溝
１２ カード押さえ
１３ 切欠部
Claims (2)
- 【請求項１】 ケース本体と、このケース本体の開口部
を覆うケースカバーとを備え、ウエハキャリアを収納す
るウエハキャリア収納ケースであって、前記ケース本体
またはケースカバーの一方にセンタ位置検出および位置
決め用の取手を設けたことを特徴とするウエハキャリア
収納ケース。 - 【請求項２】 前記取手はセンタ位置にＶ字状の切欠部
を有していることを特徴とする請求項１記載のウエハキ
ャリア収納ケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3188469A JPH0536820A (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | ウエハキヤリア収納ケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3188469A JPH0536820A (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | ウエハキヤリア収納ケース |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0536820A true JPH0536820A (ja) | 1993-02-12 |
Family
ID=16224272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3188469A Pending JPH0536820A (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | ウエハキヤリア収納ケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0536820A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015056317A1 (ja) * | 2013-10-16 | 2015-04-23 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器を梱包するための梱包構造体 |
| CN105225993A (zh) * | 2014-05-30 | 2016-01-06 | 盛美半导体设备（上海）有限公司 | 手动的载片花篮装载机构 |
| US12387759B2 (en) | 2023-03-17 | 2025-08-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Cassette storage case and cassette management system including the same |
-
1991
- 1991-07-29 JP JP3188469A patent/JPH0536820A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015056317A1 (ja) * | 2013-10-16 | 2015-04-23 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器を梱包するための梱包構造体 |
| KR20160072092A (ko) * | 2013-10-16 | 2016-06-22 | 미라이얼 가부시키가이샤 | 기판수납용기를 포장하기 위한 포장구조체 |
| JPWO2015056317A1 (ja) * | 2013-10-16 | 2017-03-09 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器を梱包するための梱包構造体 |
| US9966288B2 (en) | 2013-10-16 | 2018-05-08 | Miraial Co., Ltd. | Structure for fastening together resin members in substrate storing container |
| TWI645493B (zh) * | 2013-10-16 | 2018-12-21 | 日商未來兒股份有限公司 | Packaging structure for packaging substrate storage container |
| CN105225993A (zh) * | 2014-05-30 | 2016-01-06 | 盛美半导体设备（上海）有限公司 | 手动的载片花篮装载机构 |
| US12387759B2 (en) | 2023-03-17 | 2025-08-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Cassette storage case and cassette management system including the same |
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