JPH027184B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH027184B2 JPH027184B2 JP59274107A JP27410784A JPH027184B2 JP H027184 B2 JPH027184 B2 JP H027184B2 JP 59274107 A JP59274107 A JP 59274107A JP 27410784 A JP27410784 A JP 27410784A JP H027184 B2 JPH027184 B2 JP H027184B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer carrier
- carrier
- arm
- handle
- protrusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/76—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
＜産業上の利用分野＞
この発明は、半導体ウエハを収納するウエハキ
ヤリアを保持・搬送する際に用いられるウエハキ
ヤリア運搬具に関するものであり、特に水平方向
及び垂直方向に保持自在としたウエハキヤリア運
搬具に関するものである。
ヤリアを保持・搬送する際に用いられるウエハキ
ヤリア運搬具に関するものであり、特に水平方向
及び垂直方向に保持自在としたウエハキヤリア運
搬具に関するものである。
＜従来の技術＞
半導体装置製造工程において、半導体ウエハは
ウエハキヤリアに収納されて搬送される。このと
きウエハキヤリアを直接手で扱うことは、半導体
ウエハを無塵状態に保持するうえで好ましくな
い。
ウエハキヤリアに収納されて搬送される。このと
きウエハキヤリアを直接手で扱うことは、半導体
ウエハを無塵状態に保持するうえで好ましくな
い。
したがつて従来は、ウエハキヤリアを搬送して
いたハンドルに、第３図ａ，ｂ及び第４図ａ，ｂ
に示すようなものがあつた。
いたハンドルに、第３図ａ，ｂ及び第４図ａ，ｂ
に示すようなものがあつた。
第３図ａにおいて、３１はハンドル、３２は本
体、３３は本体１の上縁部両端に設けられた第一
の引掛け部、３４は本体１の下縁部に設けられた
第二の引掛け部、３５は本体１の背面の上辺から
延出する保持部である。そして第３図ｂに示すよ
うに、ウエハキヤリア７の前面７′の上部開口の
両端部に第一の引掛け部３３を引掛けて、しかる
のち前面７′の下部開口に第二の引掛け部３４を
引掛けることにより、ハンドル３１のウエハキヤ
リア７への装着を行う。
体、３３は本体１の上縁部両端に設けられた第一
の引掛け部、３４は本体１の下縁部に設けられた
第二の引掛け部、３５は本体１の背面の上辺から
延出する保持部である。そして第３図ｂに示すよ
うに、ウエハキヤリア７の前面７′の上部開口の
両端部に第一の引掛け部３３を引掛けて、しかる
のち前面７′の下部開口に第二の引掛け部３４を
引掛けることにより、ハンドル３１のウエハキヤ
リア７への装着を行う。
また第４図ａ，ｂは他のハンドルを示し、第４
図ａにおいて、４１はハンドル、４２は腕部、４
３は腕部４２，４２のの連結部、４４は保持部で
ある。そして第４図ｂに示すようウエハキヤリア
７の両側面の上辺に設けられた水平かつ互いに平
行な第一の突出部７ａと第二の突出部７ｂとの間
に腕部４２，４２を挿入し持ち上げることによ
り、ウエハキヤリア７の搬送を行う。
図ａにおいて、４１はハンドル、４２は腕部、４
３は腕部４２，４２のの連結部、４４は保持部で
ある。そして第４図ｂに示すようウエハキヤリア
７の両側面の上辺に設けられた水平かつ互いに平
行な第一の突出部７ａと第二の突出部７ｂとの間
に腕部４２，４２を挿入し持ち上げることによ
り、ウエハキヤリア７の搬送を行う。
＜発明が解決しようとする問題点＞
通常ウエハキヤリア７は、第５図ａに示すよう
に、キヤリアボツクス（実公昭53−48598号に記
載されている。）５１内に収納されて、保管ない
し搬送される。所定の工程に搬送されたウエハキ
ヤリア７は、まずキヤリアボツクス５１から搬出
する必要がある。
に、キヤリアボツクス（実公昭53−48598号に記
載されている。）５１内に収納されて、保管ない
し搬送される。所定の工程に搬送されたウエハキ
ヤリア７は、まずキヤリアボツクス５１から搬出
する必要がある。
しかして第５図ｂに示すように、キヤリアボツ
クス５１に収納された状態ではキヤリアボツクス
本体５１ａの内面とウエハキヤリア７との間隔が
小さいので、前記のハンドル３１（第３図ａ，ｂ
参照）は使用することはできない。それゆえウエ
ハキヤリア７のキヤリアボツクス５１からの搬出
は、前記のハンドル１４（第４図ａ，ｂ参照）を
用いて行われる。
クス５１に収納された状態ではキヤリアボツクス
本体５１ａの内面とウエハキヤリア７との間隔が
小さいので、前記のハンドル３１（第３図ａ，ｂ
参照）は使用することはできない。それゆえウエ
ハキヤリア７のキヤリアボツクス５１からの搬出
は、前記のハンドル１４（第４図ａ，ｂ参照）を
用いて行われる。
ところがこのハンドル４１はウエハキヤリア７
を水平にしか保持できないために、ウエハキヤリ
ア７を垂直にセツトすべき装置への搬送の場合に
は、ウエハキヤリア７をまずハンドル４１を用い
てキヤリアボツクス５１から搬出し、しかるのち
ハンドル３１を用いて装置へのセツトを行うもの
であつた。
を水平にしか保持できないために、ウエハキヤリ
ア７を垂直にセツトすべき装置への搬送の場合に
は、ウエハキヤリア７をまずハンドル４１を用い
てキヤリアボツクス５１から搬出し、しかるのち
ハンドル３１を用いて装置へのセツトを行うもの
であつた。
そこでこのような二重の手間を省くために、こ
の発明は、ウエハキヤリアの上辺に装着しかつウ
エハキヤリアを水平・垂直に保持自在のウエハキ
ヤリア運搬具を提供することを目的としてなされ
たものである。
の発明は、ウエハキヤリアの上辺に装着しかつウ
エハキヤリアを水平・垂直に保持自在のウエハキ
ヤリア運搬具を提供することを目的としてなされ
たものである。
＜問題点を解決するための手段＞
複数枚の半導体ウエハを平行に離間して垂直に
整列収納するための溝を、内側に形成した左右一
対の側壁と、該側壁の端面に直立する一対の端壁
と、前記両側壁の上端外側に直交し上下に間隔を
おいて平行に第一及び第二の突出部を設け該第一
の突出部７ａには凹部７ｃを設けて構成した、ウ
エハキヤリアを運搬するための運搬具であつて、
平行に延びる一対の腕部２と該腕部の一端部相互
を連結部３と該連結部の中央から前記腕部と反対
方向に延びた保持部４とを含み、前記一対の腕部
には各々前記凹部と対応する位置に腕部の他端部
近傍上面の突起部６が設けられ、腕部の先端部下
面の突出部５が設けられた事を特徴とするウエハ
キヤリア運搬具としたものである。
整列収納するための溝を、内側に形成した左右一
対の側壁と、該側壁の端面に直立する一対の端壁
と、前記両側壁の上端外側に直交し上下に間隔を
おいて平行に第一及び第二の突出部を設け該第一
の突出部７ａには凹部７ｃを設けて構成した、ウ
エハキヤリアを運搬するための運搬具であつて、
平行に延びる一対の腕部２と該腕部の一端部相互
を連結部３と該連結部の中央から前記腕部と反対
方向に延びた保持部４とを含み、前記一対の腕部
には各々前記凹部と対応する位置に腕部の他端部
近傍上面の突起部６が設けられ、腕部の先端部下
面の突出部５が設けられた事を特徴とするウエハ
キヤリア運搬具としたものである。
＜作用＞
この発明のウエハキヤリア運搬具の作用を、こ
の発明の一実施例を示す第２図ａ，ｂ，ｃを用い
て説明する。
の発明の一実施例を示す第２図ａ，ｂ，ｃを用い
て説明する。
第２図ａに示すようにこのウエハキヤリア運搬
具のハンドル１を用いるウエハキヤリア７の両側
の上辺には少なくとも、当該側面の下端からの高
さがほぼ同一でかつ適宜の距離を有するＡ点及び
Ｂ点と、Ｂ点との間に前記ウエハキヤリアのハン
ドル１の腕部２，２の先端部が挿入できる幅を有
するようにＢ点より下方に位置するＣ点とに突出
部が形成されている。
具のハンドル１を用いるウエハキヤリア７の両側
の上辺には少なくとも、当該側面の下端からの高
さがほぼ同一でかつ適宜の距離を有するＡ点及び
Ｂ点と、Ｂ点との間に前記ウエハキヤリアのハン
ドル１の腕部２，２の先端部が挿入できる幅を有
するようにＢ点より下方に位置するＣ点とに突出
部が形成されている。
第２図ｂに示すようにＢ点とＣ点との間に腕部
２，２の先端部を挿入する。そして保持部４によ
り上方に持ち上げると、Ａ点及びＢ点の突出部と
腕部２，２の上面との係合により、ウエハキヤリ
ア７を水平に保持できる。
２，２の先端部を挿入する。そして保持部４によ
り上方に持ち上げると、Ａ点及びＢ点の突出部と
腕部２，２の上面との係合により、ウエハキヤリ
ア７を水平に保持できる。
次に第２図ｃに示すようにウエハキヤリアハン
ドル１を垂直に保持する。このときＡ点の突出部
と腕の突起部６，６との当接、及びＣ点の突出部
と腕部の先端部の下面との当接により、ウエハキ
ヤリア７は垂直に保持される。ウエハキヤリア７
の荷重により矢印方向に回転モーメントＭが働く
ので、Ａ点の突出部と腕部２，２の突出部６，６
との係合が外れることはない。また腕部２，２の
上面とウエハキヤリア７との当接は面当接の方が
望ましく、さらに腕部２，２の下面とウエハキヤ
リア７の突出部との当接は、上記の回転モーメン
トＭによる作用をより効果的にするために、腕部
２，２の先端部に設けることが望ましい。
ドル１を垂直に保持する。このときＡ点の突出部
と腕の突起部６，６との当接、及びＣ点の突出部
と腕部の先端部の下面との当接により、ウエハキ
ヤリア７は垂直に保持される。ウエハキヤリア７
の荷重により矢印方向に回転モーメントＭが働く
ので、Ａ点の突出部と腕部２，２の突出部６，６
との係合が外れることはない。また腕部２，２の
上面とウエハキヤリア７との当接は面当接の方が
望ましく、さらに腕部２，２の下面とウエハキヤ
リア７の突出部との当接は、上記の回転モーメン
トＭによる作用をより効果的にするために、腕部
２，２の先端部に設けることが望ましい。
＜実施例＞
この発明の一実施例を第１図及び第２図ａ，
ｂ，ｃを用いて説明する。
ｂ，ｃを用いて説明する。
第１図は、この実施例のウエハキヤリア運搬具
（以下ハンドルという。）１の斜視図である。同図
において、２は腕部、３は腕部２，２の連結部、
４は保持部である。腕部２，２の先端部の下面に
は突出部５，５が形成されると共に、他端近傍の
上面には突出部６，６が形成されている。
（以下ハンドルという。）１の斜視図である。同図
において、２は腕部、３は腕部２，２の連結部、
４は保持部である。腕部２，２の先端部の下面に
は突出部５，５が形成されると共に、他端近傍の
上面には突出部６，６が形成されている。
このハンドル１は第２図ａに示すように、ウエ
ハキヤリア７の両側面の上辺に設けられた水平か
つ互いに平行な第一の突出部７ａと第二の突出部
７ｂとの間に腕部２，２を挿入し、第一の突出部
７ａの凹部７ｃに腕部２，２の突出部６，６を嵌
入せしめることにより、ウエハキヤリア７への装
着を行う。
ハキヤリア７の両側面の上辺に設けられた水平か
つ互いに平行な第一の突出部７ａと第二の突出部
７ｂとの間に腕部２，２を挿入し、第一の突出部
７ａの凹部７ｃに腕部２，２の突出部６，６を嵌
入せしめることにより、ウエハキヤリア７への装
着を行う。
そしてこの状態で保持部４にてハンドル１を持
ち上げれば、ウエハキヤリア７の第一の突出部７
ａ，７ａと腕部２，２の上面との面当接により、
ウエハキヤリア７は水平に保持される。
ち上げれば、ウエハキヤリア７の第一の突出部７
ａ，７ａと腕部２，２の上面との面当接により、
ウエハキヤリア７は水平に保持される。
さらにこの水平に保持された状態から第２図ｃ
に示すように垂直状態に移行すると、突起部６，
６の段面と凹部７ｃ，７ｃの段面との当接、及び
突出部５，５の下面と第二突出部７ｂ，７ｂの上
面との当接により、ウエハキヤリア７は垂直に保
持される。これはウエハキヤリア７の荷重が矢印
で示す回転モーメントＭとしてハンドル１に作用
するためである。この実施例では腕部２，２の先
端部に突起部５，５を設けて、その厚さを大とし
ているので、回転モーメントＭが突起部６，６及
び凹部７ｃ，７ｃ間の係止に効果的に作用してい
る。またこの係止をより確実にするために、突起
部６，６を、第３図ａに示す引掛け部３３ないし
３４のようなカギ形状にする態様もとれる。
に示すように垂直状態に移行すると、突起部６，
６の段面と凹部７ｃ，７ｃの段面との当接、及び
突出部５，５の下面と第二突出部７ｂ，７ｂの上
面との当接により、ウエハキヤリア７は垂直に保
持される。これはウエハキヤリア７の荷重が矢印
で示す回転モーメントＭとしてハンドル１に作用
するためである。この実施例では腕部２，２の先
端部に突起部５，５を設けて、その厚さを大とし
ているので、回転モーメントＭが突起部６，６及
び凹部７ｃ，７ｃ間の係止に効果的に作用してい
る。またこの係止をより確実にするために、突起
部６，６を、第３図ａに示す引掛け部３３ないし
３４のようなカギ形状にする態様もとれる。
またこの実施例に用いるウエハキヤリア７の両
側面の突出部は、最低限第２図ａ，ｂ，ｃに示す
Ａ，Ｂ，Ｃ点に形成してあれば、上記の水平及び
垂直状態に保持する作用を奏するが、ハンドル１
のウエハキヤリア７への装着の容易さ、及び保持
の確実性等の面で、第一の突出部７ａ、第二の突
出部７ｂによる態様が望ましい。
側面の突出部は、最低限第２図ａ，ｂ，ｃに示す
Ａ，Ｂ，Ｃ点に形成してあれば、上記の水平及び
垂直状態に保持する作用を奏するが、ハンドル１
のウエハキヤリア７への装着の容易さ、及び保持
の確実性等の面で、第一の突出部７ａ、第二の突
出部７ｂによる態様が望ましい。
しかしてこのハンドル１を用いると、キヤリア
ボツクスに収納されたウエハキヤリア７を搬出す
る場合に、第２図ａに示すキヤリアボツクスの上
縁辺を示す仮想線８より上方にてハンドル１のウ
エハキヤリア７への装着を行えるので、上記の搬
出は容易に行える。さらにそのまま垂直に保持す
る状態に移行でき、所定の装置に垂直状態にウエ
ハキヤリア７をセツトできる。
ボツクスに収納されたウエハキヤリア７を搬出す
る場合に、第２図ａに示すキヤリアボツクスの上
縁辺を示す仮想線８より上方にてハンドル１のウ
エハキヤリア７への装着を行えるので、上記の搬
出は容易に行える。さらにそのまま垂直に保持す
る状態に移行でき、所定の装置に垂直状態にウエ
ハキヤリア７をセツトできる。
さらにこのハンドル１は上述のように作業者の
ための運搬具としての用途の他、例えば搬送ロボ
ツトのマジツクハンド用としても用いることがで
きる。
ための運搬具としての用途の他、例えば搬送ロボ
ツトのマジツクハンド用としても用いることがで
きる。
＜発明の効果＞
以上説明したようにこの発明のウエハキヤリア
運搬具は、ウエハキヤリアの上辺に装着自在であ
ると共に水平・垂直状態に保持できるので、キヤ
リアボツクスからのウエハキヤリアを搬出し垂直
状態で運搬する作業を、一挙動で行えるという効
果がある。
運搬具は、ウエハキヤリアの上辺に装着自在であ
ると共に水平・垂直状態に保持できるので、キヤ
リアボツクスからのウエハキヤリアを搬出し垂直
状態で運搬する作業を、一挙動で行えるという効
果がある。
さらにそれゆえ搬送ロボツトのマジツクハンド
用に使用すれば、ウエハキヤリアの運搬、所定装
置へのセツト等の工程を自動化できるという効果
がある。これは半導体ウエハの無塵状態の保持と
いう技術的課題を考慮すると、大きな利点といえ
る。
用に使用すれば、ウエハキヤリアの運搬、所定装
置へのセツト等の工程を自動化できるという効果
がある。これは半導体ウエハの無塵状態の保持と
いう技術的課題を考慮すると、大きな利点といえ
る。
第１図は本発明の一実施例のハンドルの斜視図
で、第２図ａ，ｂ，ｃはその作用を示す斜視図及
び側面図である。第３図ａ，ｂは従来のハンドル
及びその作用を示す斜視図である。第４図ａ，
ｂ，は従来の他のハンドル及びその作用を示す斜
視図である。第５図ａ，ｂはキヤリアボツクスへ
のウエハキヤリアの収納状態を示す側断面図及び
正面断面図である。 １：ハンドル、２：腕部、３：腕部３の連結
部、４：保持部、５：腕部２の先端部下面の突起
部、６：腕部２の他端部近傍上面の突起部、
７′：前面、７：ウエハキヤリア、７ａ：第一の
突出部、７ｂ：第二の突出部、７ｃ：凹部、７
ｄ：前面、８；キヤリアボツクスの上縁辺を示す
仮想線、３１：従来のハンドル、３２：ハンドル
３１の本体、３３：第一の引掛け部、３４：第二
の引掛け部、３５：保持部、４１：従来の他のハ
ンドル、４２：腕部、４３：腕部４２の連結部、
４４：保持部、５１：キヤリアボツクス、５１
ａ：キヤリアボツクスの本体、Ａ，Ｂ，Ｃ：ウエ
ハキヤリア７の両側面上の点。
で、第２図ａ，ｂ，ｃはその作用を示す斜視図及
び側面図である。第３図ａ，ｂは従来のハンドル
及びその作用を示す斜視図である。第４図ａ，
ｂ，は従来の他のハンドル及びその作用を示す斜
視図である。第５図ａ，ｂはキヤリアボツクスへ
のウエハキヤリアの収納状態を示す側断面図及び
正面断面図である。 １：ハンドル、２：腕部、３：腕部３の連結
部、４：保持部、５：腕部２の先端部下面の突起
部、６：腕部２の他端部近傍上面の突起部、
７′：前面、７：ウエハキヤリア、７ａ：第一の
突出部、７ｂ：第二の突出部、７ｃ：凹部、７
ｄ：前面、８；キヤリアボツクスの上縁辺を示す
仮想線、３１：従来のハンドル、３２：ハンドル
３１の本体、３３：第一の引掛け部、３４：第二
の引掛け部、３５：保持部、４１：従来の他のハ
ンドル、４２：腕部、４３：腕部４２の連結部、
４４：保持部、５１：キヤリアボツクス、５１
ａ：キヤリアボツクスの本体、Ａ，Ｂ，Ｃ：ウエ
ハキヤリア７の両側面上の点。
Claims (1)
- １ 複数枚の半導体ウエハを平行に離間して垂直
に整列収納するための溝を、内側に形成した左右
一対の側壁と、該側壁の端面に直立する一対の端
壁と、前記両側壁の上端外側に直交し上下に間隔
をおいて平行に第一及び第二の突出部を設け該第
一の突出部７ａには凹部７ｃを設けて構成した、
ウエハキヤリアを運搬するための運搬具であつ
て、平行に延びる一対の腕部２と該腕部の一端部
相互を連結する連結部３と該連結部の中央から前
記腕部と反対方向に延びた保持部４とを含み、前
記一対の腕部には各々前記凹部と対応する位置に
腕部の他端部近傍上面の突起部６が設けられ、腕
部の先端部下面の突起部５が設けられた事を特徴
とするウエハキヤリア運搬具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59274107A JPS61154139A (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | ウェハキャリア運搬具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59274107A JPS61154139A (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | ウェハキャリア運搬具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61154139A JPS61154139A (ja) | 1986-07-12 |
| JPH027184B2 true JPH027184B2 (ja) | 1990-02-15 |
Family
ID=17537099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59274107A Granted JPS61154139A (ja) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | ウェハキャリア運搬具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61154139A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0739281B2 (ja) * | 1986-04-08 | 1995-05-01 | 三菱電機株式会社 | カセツト移送装置 |
| JP2524393B2 (ja) * | 1989-03-17 | 1996-08-14 | 富士通株式会社 | キャリヤ搬送装置 |
| CN103258775B (zh) * | 2013-01-10 | 2016-12-28 | 苏州高登威科技股份有限公司 | 固定夹具 |
| FR3058163A1 (fr) * | 2016-10-31 | 2018-05-04 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Porte echantillon |
-
1984
- 1984-12-27 JP JP59274107A patent/JPS61154139A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61154139A (ja) | 1986-07-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH027184B2 (ja) | ||
| US4762353A (en) | Flexible carrier for semiconductor wafer cassettes | |
| US5531329A (en) | IC carrier to which an IC can be mounted with the leads thereof supported in a non-contacting state | |
| US20030066810A1 (en) | Frame cassette | |
| US5857576A (en) | Wafer carrier with an anti-slip surface | |
| US6685248B2 (en) | Object engaging tool and method of manipulating object using same | |
| JPS63213357A (ja) | ウエハカセツトハンドル | |
| US4854623A (en) | End effector | |
| JPH0559844U (ja) | ウェハキャリア保持機構 | |
| JPH055152Y2 (ja) | ||
| JPS5927566Y2 (ja) | チエ−ン接続ソケツト | |
| CN223260569U (zh) | 硅片转移装置 | |
| JPH0735397Y2 (ja) | 半導体ウエハ収納箱 | |
| JPH0536820A (ja) | ウエハキヤリア収納ケース | |
| JPH0810522Y2 (ja) | ハンドリング機構 | |
| KR100426810B1 (ko) | 웨이퍼 캐리어 | |
| JPS6020898B2 (ja) | 真空ピンセツト | |
| JPS6232474Y2 (ja) | ||
| JP3509074B2 (ja) | フォークリフト用荷支持具 | |
| JPS63227035A (ja) | 基板格納具 | |
| JPS6214694Y2 (ja) | ||
| JPH10277981A (ja) | ロボットハンド | |
| JPH054484U (ja) | ウエーハカセツト | |
| JPH118294A (ja) | ウェハーキャリア | |
| JPS62115800A (ja) | 半導体基板収納箱 |