JPH0538676A - スライシング装置における切刃のドレス方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ドレス用ストーンの消費量を大幅に削減しな
がら、良好なドレスを行う。 【構成】 ドレス用ストーンＳＴの軸方向についての同
一位置で切刃１１による切り込み動作、変速動作、抜き
出し動作からなる単一ドレス動作を繰り返してブレード
１０の回転速度及び切刃変位量を段階的に増減させ、そ
の繰返し回数が同位置設定回数に達した場合にのみスト
ーンＳＴの割出しを行い、ブレード回転速度を初期速度
に戻してストーンＳＴにおける新しい位置でドレス動作
を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、回転するブレード内周
に設けられた切刃によって半導体インゴット等のワーク
を切断し、半導体ウエハ等の薄片を切り出すスライシン
グ装置において、上記切刃のドレスを行う方法及び装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、上記のようなスライシング装置と
しては、内周に円形状の切刃をもつブレードを備え、そ
の内側にワークの一端部を臨ませ、上記ブレードを回転
させながらワークに対してブレードの半径方向に相対移
動させることにより上記ワークから薄片を切り出すよう
に構成されたものが知られている。このような装置で
は、スライシングを繰り返して上記切刃の切れ味が鈍く
なるのに伴い、スライシング不良に起因して薄片に反り
が生じ、この薄片がブレード側に倒れ込むことにより傷
を受けるといった不都合が生じることが知られている
（特開平１−１８４１０３号公報）。従って、上記切刃
の切れ味を良好に保ち、優れた製品の生産を維持するた
めには、適当なタイミングで上記切刃をドレスする必要
がある。

【０００３】図７は、一般的な切刃１１の断面形状を示
したものである。この切刃１１は、ドーナツ状のブレー
ド１０の内周縁部に装着されており、内周切断面１１ａ
及び内外両切断面１１ｂ，１１ｃを有している。ここ
で、切り出した薄片に反りが生じるのは、内側切断面１
１ｂと外側切断面１１ｃとの切れ味に差異があるためと
考えられ、従って、上記薄片の反りを規制するために
は、内周切断面１１ａのドレスだけでなく、上記反りの
方向に応じて内側切断面１１ｂあるいは外側切断面１１
ｃのいずれか一方を重点的にドレスする必要がある。

【０００４】そこで従来は、図８に示すようなドレス用
ストーンＳＴを切刃１１でスライスすることにより、切
刃１１をドレスするようにしている。その具体的な手順
としては、まず、ブレード１０を予め設定された速度で
回転させながら、このブレード１０に対して上記ストー
ンＳＴを矢印Ｄ１の方向に相対移動させることにより、
ストーンＳＴを完全切断する手前の位置まで同ストーン
ＳＴの切り込みを行い、これにより切刃１１の内周切断
面１１ａのドレスを行う。この動作によりストーンＳＴ
には溝１３が形成されることになる。次に、ブレード１
０の回転速度を増速あるいは減速してブレード１０に作
用する遠心力を増減させることにより、ブレード１０の
撓み量を変化させ、切刃１１をブレード１０の軸方向
（矢印Ｄ２方向）に微小量だけ変位させることができ
る。これにより、両側切断面１１ｂ，１１ｃのうち所望
の切断面を溝１３の内周面に押し付けることができ、こ
の状態でブレード１０からストーンＳＴを離す方向（矢
印Ｄ３方向）に相対移動させることにより、上記切断面
がドレスされることとなる。

【０００５】しかし、このような一回の往復動作（単位
ドレス動作）で切断面をドレスできる量は微小であり、
従って従来は、上記一回のドレス動作を終了した後、ブ
レード１０の回転数を元に戻すとともに、ストーンＳＴ
を予め設定された単位ピッチだけ割出し（矢印Ｄ４方
向）、上記とは異なる位置で再びドレス動作を行うとい
った作業を繰り返すことにより、所望のドレス量を得る
ようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記方法によれば、所
望のドレス量を得るために単位ドレス動作を例えばＭ回
行う必要があるとすると、このＭ回分だけストーンＳＴ
を割り出さなければならない。すなわち、必要ドレス量
が多いほどストーンＳＴを割出す必要回数も多くなり、
ストーンＳＴの消費量は大きなものとなる。このように
して早いペースでストーンＳＴが消費されると、その分
だけストーンＳＴを頻繁に交換する必要があり、このよ
うな交換作業の度に一連のスライシング作業を中断しな
ければならず、その作業能率が低下し、コストアップを
招く不都合がある。

【０００７】なお、一回の単位ドレス動作でブレード回
転速度を変化させる量を大きくすることによってもドレ
ス量を増大させることができるが、このような単位ドレ
ス動作当りに溝１３内で切刃１１を変位させることがで
きる量には限りがあり、必要ドレス量が多い場合には単
位ドレス動作回数を増やさざるを得ない。

【０００８】本発明は、このような事情に鑑み、ストー
ンの消費量を大幅に削減しながら、従来と同様に良好な
切刃のドレスを行うことができるスライシング装置にお
ける切刃のドレス方法及び装置を提供することを目的と
する。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、内周に円形状
の切刃を有し、ワークスライシング時に回転駆動される
ブレードを備えたスライシング装置において、上記ブレ
ードの内側にドレス用ストーンを臨ませ、上記ブレード
を予め設定された速度で回転させながら上記ストーンを
ブレードに対してその半径方向に相対移動させることに
より上記ストーンを完全切断する手前の位置まで同スト
ーンを切り込む切り込み動作と、この切り込み動作後に
ブレード回転速度を増減する変速動作と、変速完了後に
上記ストーンを上記ブレードから離す方向に相対移動さ
せる抜き出し動作とからなる単位ドレス動作をストーン
における同一位置で複数回繰り返しながらブレード回転
速度を段階的に増減させるものである（請求項１）。

【００１０】さらに本発明は、上記単位ドレス動作をス
トーンにおける同じ位置で所定回数繰り返した後、ブレ
ード回転速度を初期速度に戻し、ストーンにおいて上記
位置とは異なる位置で再び上記単位ドレス動作を繰り返
すものてある（請求項２）。

【００１１】また本発明は、上記方法を実施するための
装置として、上記ストーンを上記ブレードに対してその
軸方向に相対移動させる割出し動作を行うストーン割出
し手段と、上記ブレードの内側に上記ストーンを臨ま
せ、上記ブレードを予め設定された速度で回転させなが
ら上記ストーンに対してブレードの半径方向に相対移動
させることにより上記ストーンを完全切断する手前の位
置まで同ストーンを切り込む切り込み動作と、この切り
込み動作後にブレード回転速度を一定量増減する変速動
作と、変速完了後に上記ストーンを上記ブレードから離
す方向に相対移動させる抜き出し動作とからなる単位ド
レス動作を繰返し実行させるドレス動作制御手段と、上
記単位ドレス動作が繰り返される回数をカウントし、そ
の回数が予め設定された同位置設定回数に達する度に上
記ブレード回転速度を初期速度に戻させるとともにスト
ーンの割出し動作を行わせる同位置往復回数カウント手
段と、上記単位ドレス動作が繰り返される回数をカウン
トし、その通算回数が所望のドレス量に対応する回数に
達した時点でドレス動作を停止させる通算往復回数カウ
ント手段とを備えたものである（請求項３）。

【００１２】

【作用】請求項１記載の方法によれば、ストーン軸方向
についての同一位置で、切り込み動作、変速動作、及び
抜き出し動作からなる単位ドレス動作を繰り返す度に、
ブレード回転速度が一定量ずつ段階的に変化し、切刃の
変位量も同一位置で段階的に変化して、切刃の内側切断
面あるいは外側切断面が従来と同様に所定量ずつドレス
される。しかも、この単位ドレス動作が同一位置で繰り
返されるために、従来法、すなわちドレス動作を行う度
にストーンを割り出す方法に比べてストーンの消費量は
大幅に削減される。

【００１３】この本発明方法において、ブレード回転速
度の増減量に比例して切刃が変位する量には限界があ
り、従って、同一位置で上記単位ドレス動作を行う回数
には限りがあるので、必要な通算ドレス回数が同一位置
で実行可能なドレス回数を上回る場合には、請求項２記
載の方法のように、同一位置で所定回数だけドレス動作
を行った時点でブレードの回転速度を初期速度に戻すと
ともにストーンを割出し、このストーンにおける新しい
位置でまた上記単位ドレス動作を繰り返すようにすれば
よい。

【００１４】具体的に、請求項３記載の装置では、ドレ
ス動作制御手段の制御により実行された単位ドレス回数
（すなわちブレードに対するストーンの往復回数）が同
位置往復回数カウント手段及び通算往復回数カウント手
段によりカウントされ、同位置往復回数カウント手段に
よってカウントされた回数が同位置設定回数に達する度
にブレード回転速度の復帰及びストーンの割出しが行わ
れる。そして、通算回数カウント手段によってカウント
された回数が必要ドレス量に応じたドレス回数に達した
時点でドレス動作が停止され、これによって切刃が所望
量だけドレスされる。

【００１５】

【実施例】本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。

【００１６】図２，３に示すスライシング装置は、基台
１を備え、この基台１上にガイドレール２が設置されて
おり、このガイドレール２に沿ってスライド可能にスラ
イドテーブル３が支持されている。

【００１７】上記基台１上において、スライドテーブル
３に対向する位置には主軸台４が設置されている。この
主軸台４の上部には主軸受４ａが設けられ、この主軸受
４ａによって主軸６が回転可能に支持されるとともに、
この主軸６にベルト伝動機構を介して主軸駆動モータ８
の出力軸が連結されている。主軸６の先端部にはテンシ
ョンディスク９が固着され、このテンションディスク９
が、上記主軸６、ベルト伝動機構７、及び主軸駆動モー
タ８からなる回転駆動手段５により回転駆動されるよう
になっている。

【００１８】テンションディスク９の周縁部には、ドー
ナツ状の薄板からなるブレード１０が装着され、このブ
レード１０の内周縁にダイヤモンド粒子等からなる切刃
１１が固着されている。そして、上記テンションディス
ク９の回転中にその回転数Ｎが変化することにより、こ
の回転数Ｎに応じて上記ブレード１０及び切刃１１が主
軸６の軸方向（すなわちブレード１０の回転軸方向）に
変位するようになっている。すなわち、テンションディ
スク９が回転すると、このテンションディスク９の周縁
部に回転数Ｎに比例した遠心力が作用するため、この回
転数Ｎによってテンションディスク９からブレード１０
に付与される回転軸方向の変位の大きさ及び方向が決定
されることとなる。

【００１９】上記スライドテーブル３上には、保持部材
１５及び割出し送り手段１８が設けられ、保持部材１５
にはシリコン製半導体インゴット等からなるワーク３０
が保持されている。割出し送り手段１８は、ボールねじ
１６と、このボールねじ１６を回転駆動する保持部材駆
動モータ１７とを有し、この割出し送り手段１８によっ
て上記保持部材１５が上記主軸６の軸方向にスライド駆
動されることにより、上記ワーク３０の一端部がブレー
ド１０の表面１０ａ側（ワーク保持側）からブレード１
０の中央孔を通じて裏面１０ｂ側へ微小量突出すること
が可能となっている。

【００２０】また、このスライドテーブル３上には、切
刃１１をドレスするためのドレス装置１９が設けられて
いる。このドレス装置１９は、ドレス用ストーンＳＴを
保持し、このストーンＳＴの先端がブレード１０の内側
に臨む位置に配されており、その具体的な構造について
は後に詳述する。

【００２１】上記基台１上には、ボールねじ１２と、こ
のボールねじ１２を回転駆動する切断送りモータ１３と
を備えた切断送り手段１４が設けられ、この切断送り手
段１４によって、上記スライドテーブル３全体がガイド
レール２に沿って主軸６と直交する方向にスライド駆動
されるようになっており、このスライドテーブル３を図
２の手前から奥へスライドさせることにより、ワーク３
０や後述のストーンＳＴがブレード１０に対してその半
径方向（図３では矢印Ａ方向）に相対移動する（すなわ
ち切断送りされる）ようになっている。従って、このブ
レード１０を回転させかつブレード１０の内側にワーク
３０の一端部を臨ませた状態で上記切断送りを行うこと
により、ワーク３０の一端部が切刃１１によってスライ
スされ、ウエハ（薄片）が切り出される。また、上記ブ
レード１０の代わりにストーンＳＴを臨ませることによ
り、上記切刃１１のドレスが行われることとなる。

【００２２】ワーク３０の切断送り方向下流側の外周部
分、すなわち、ワーク３０において切刃１１で最終的に
切断される部分には、カーボン等からなるスライスベー
ス３１が固着されている。このスライスベース３１の固
着により、ワーク３０の切断終了時にブレード１０に作
用する切断抵抗が急に開放されて上記ワーク３０の最終
切断部分が欠けることが防がれる。

【００２３】ブレード１０の近傍には、その撓み量を検
出する撓み量検出センサ２４が設けられている。このブ
レード撓み量検出センサ２４は、上記軌跡Ｃ上であっ
て、ブレード１０の裏面１０ｂに対向する位置に配置さ
れており、より具体的には、ワーク３０を切断する際に
その一端面に近接する位置であってブレード１０のワー
ク切断部位の中央部Ｐ₃の近傍の位置に配置されてい
る。

【００２４】このスライシング装置は、図４に示すよう
な駆動制御部４０を備えている。

【００２５】同図において、基準変位記憶装置４１は、
切断送りモータ１３の駆動によってワーク３０が切断開
始直前の位置（図３に左側の二点鎖線で示す位置よりも
僅かに左寄りの位置；以下、直前位置と称する）に移動
した時点（以下、基準時と称する）で上記ブレード撓み
量検出センサ２４により検出されるブレード１０の撓み
量を基準撓み量Ｓａとして記憶するものである。変位比
較器４２は、上記基準撓み量Ｓａの他、ブレード撓み量
検出センサ２４で検出される現在撓み量Ｓｂを所定のサ
ンプリング周期Δｔごとに取り込み、後者から前者を差
し引いた値を基準状態からの撓み量Ｓとして算出し、出
力するものである。この算出された撓み量Ｓは、回転数
演算装置４８、切断送り速度演算装置５１、及びドレス
タイミング判定装置６１に入力される。

【００２６】回転数演算装置４８は、後述の切断送りモ
ータ制御装置５２から駆動命令信号を受けたときに、現
在のテンションディスク９の回転数Ｎと、変位比較器４
２で検出された撓み量Ｓに基づいて、この撓み量Ｓを０
にするために必要なテンションディスク９の目標回転数
Ｎａを演算し、この演算値に対応する信号を主軸駆動モ
ータ制御装置４９に出力する。主軸駆動モータ制御装置
（ドレス動作制御手段を構成）４９は、回転数演算装置
４８から信号を受けた場合には上記目標回転数Ｎａを、
それ以外は予め設定記憶された基本回転数Ｎ₀を目標と
してテンションディスク９の回転数Ｎを調節するように
主軸駆動モータ８の駆動制御を行うとともに、後述のよ
うなドレスモードに入った状態では、そのドレスに必要
な回転数が得られるように切断送りモータ１３の駆動制
御を行う。

【００２７】切断送り速度演算装置５１は、切断送りモ
ータ制御装置５２から駆動命令信号を受けたときに、変
位比較器４２で検出された撓み量Ｓを小さくするために
必要な目標切断送り速度Ｖａを演算し、その演算結果に
対応した信号を切断送りモータ制御装置５２に出力す
る。

【００２８】切断送りモータ制御装置（ドレス動作制御
手段を構成）５２は、速度演算装置５１から信号を受け
たときには上記目標切断送り速度Ｖａとなるように、そ
れ以外は基本切断送り速度Ｖ₀となるように切断送りモ
ータ１３を制御するものである。具体的には、切断送り
モータ１３から検出されるパルス信号に基づいてワーク
３０の切断送り位置（切断送り方向の位置）を検出する
とともに、その検出切断送り位置が所定範囲Ｌ内にある
と判定した場合には作動命令信号を、範囲Ｌ外であると
判定した場合には停止命令信号をそれぞれ回転数演算装
置４８、切断送り速度演算装置５１、及びドレスタイミ
ング判定装置６１に出力する。

【００２９】また、この切断送りモータ制御装置５２
は、後述のドレスモードに入った場合にはそのドレスに
必要な送り動作を行うように上記切断送りモータ１３を
制御する。

【００３０】ドレスタイミング判定装置６１は、上記駆
動命令信号を受けたとき、ドレスを行う時期か否かを上
記値Ｓに基づいて判定するものであり、ドレスタイミン
グであると判定した場合にドレス制御装置６２に指令信
号を出力し、所定の時期に装置の作業モードをドレスモ
ードに切換え、ドレス動作に入るように構成されてい
る。ドレス制御装置（ドレス動作制御手段）６２は、上
記指令信号を受けた時点、すなわちドレスモードに入っ
た時点で、ドレス装置１９がドレスに必要な動作を行う
ようにその制御を行う。

【００３１】図５は、ドレス装置１９の構成を示したも
のである。

【００３２】このドレス装置１９は、ストーン割出しシ
リンダ８０及びストーン進退シリンダ８１を備え、スト
ーン割出しシリンダ８０のシリンダ本体がストーン進退
シリンダ８１のロッド８５に連結されており、このスト
ーン進退シリンダ８１が伸長することにより、上記スト
ーン割出しシリンダ８０全体がドレス位置、すなわちス
トーンＳＴの端部がブレード１０の内側に臨む位置まで
前進し、上記ストーン進退シリンダ８１が後退すること
により、上記ストーン割出しシリンダ８０全体が退避位
置、すなわちブレード１０から後方（図２では右方）に
逃げる位置まで後退するようになっている。ストーン割
出しシリンダ８０のロッド８２は、圧縮バネ８３でピス
トンヘッド側に付勢され、このロッド８２の先端に上記
ストーンＳＴの端部を把持するチャック８４が設けられ
ており、このストーン割出しシリンダ８０が段階的に伸
長することにより、ストーンＳＴが１ピッチずつ割り出
される（前記図８矢印Ｄ４参照）ようになっている。

【００３３】上記ストーン割出しシリンダ８０のピスト
ンヘッド側は、チェック弁付流量調整弁８６、２位置方
向切換弁８８、減圧弁８９、フィルタ９０、開閉弁９１
を介して空気圧ポンプ９２に接続されており、上記方向
切換弁８８のソレノイド８８ａに駆動信号が入力されな
い状態でストーン割出しシリンダ８０が収縮し、駆動信
号が入力されることによりストーン割出しシリンダ８０
が伸長駆動される。

【００３４】上記ストーン進退シリンダ８１のロッド側
はチェック弁付流量制御弁８７ａを介して、ヘッド側は
チェック弁付流量制御弁８７ｂを介して共通の３位置方
向切換弁９３に接続され、この３位置方向切換弁９３が
前述の減圧弁８９、フィルタ９０、開閉弁９１を介して
空気圧ポンプ９２に接続されており、上記ストーン進退
シリンダ８１のソレノイド９３ａに駆動信号が入力され
ることによりストーン進退シリンダ８１が伸長駆動さ
れ、ソレノイド９３ｂに駆動信号が入力されることによ
りストーン進退シリンダ８１が収縮駆動され、両ソレノ
イド９３ａ，９３ｂに駆動信号が入力されない状態でス
トーン進退シリンダ８１が固定される。

【００３５】そして、上記駆動制御部４０は、ブレード
１０によるワーク３０のスライシング工程中に適当なタ
イミングで装置モードがドレスモードに切換えられた
際、上記ストーン進退シリンダ８１を伸長させてストー
ンＳＴをブレード１０の内側に臨ませるとともに、上記
ドレス装置１９、切断送りモータ１３、及び主軸駆動モ
ータ９によって次のような３つの動作からなる単位ドレ
ス動作を行わせるように構成されている。

【００３６】(a) 切り込み動作 テンションディスク９及びブレード１０を所定の回転数
Ｎ（初回の動作では初期回転数Ｎ₀）で回転させながら
ブレード１０をストーンＳＴに近付ける方向（図８では
矢印Ｄ１方向）に移動させ、ストーンＳＴを完全切断す
る手前の位置まで同ストーンＳＴの切り込みを行い、こ
れにより図７に示されるような切刃１１の内周切断面１
１ａのドレスを行う。このときストーンＳＴには溝１３
が形成されることになる。

【００３７】(b) 変速動作 ブレード１０の回転数Ｎを所定量ΔＮだけ増速あるいは
減速してブレード１０に作用する遠心力を増減させる。
これにより、ブレード１０の撓み量が変化し、切刃１１
がブレード１０の軸方向（図８では矢印Ｄ２方向）に微
小量変位することにより、図７に示される両側切断面１
１ｂ，１１ｃのうち所望の切断面が溝１３の内周面に押
し付けられる。

【００３８】(c) 抜き出し動作 上記回転速度で回転しているブレード１０からストーン
ＳＴを離す方向（矢印Ｄ３方向）に相対移動させること
により、上記切断面１１ｂ（または１１ｃ）のドレスを
行う。

【００３９】さらに、この装置では、図１に示されるよ
うなドレス回数制御部７０が備えられており、このドレ
ス回数制御部７０によって、上記駆動制御部４０で実行
されるドレス動作の反復制御が行われるようになってい
る。

【００４０】図１において、往復回数演算装置７２は、
ドレスモードに入った際、切刃１１のドレスに必要なス
トーンＳＴの除去量に関する信号を取り込み、この必要
除去量を得るために上記単位ドレス動作を行わなければ
ならない回数、すなわちブレード１０に対するストーン
ＳＴの必要通算往復回数ＭＡを演算するものである。例
えば、必要除去量を３０μｍ、一回の単位ドレス動作当
りの除去量を５μｍとした場合には、必要通算往復回数
ＭＡ＝６を算出し、出力する。

【００４１】なお、この往復回数演算装置７２には、ス
ライシング装置適所に設けられた操作部等を通じてユー
ザーが所望の数値を入力するようにしても良いし、上記
ブレード撓み量検出センサ４２で検出された撓み量に基
づいて駆動制御部４０で必要ドレス量を演算させ、自動
的に往復回数演算装置７２に入力するようにしてもよ
い。

【００４２】通算往復回数カウント手段７４は、上記駆
動制御部４０によって単位ドレス動作が実行された回数
をカウントし、この回数が上記必要通算往復回数ＭＡに
達した時点でドレス動作を停止させるものである。換言
すれば、この通算往復回数カウント手段７４から停止指
令信号が出力されない限り、駆動制御部４０の制御によ
って単位ドレス動作が繰返し続行されるようになってい
る。

【００４３】同位置往復回数カウント手段７６は、上記
単位ドレス動作の実行回数をカウントし、この回数が予
め設定された同位置設定回数ｍ₀に達する度に、上記駆
動制御部４０によるブレード１０の駆動回転数Ｎを初期
回転数Ｎ₀に復帰させるとともに、上記駆動制御部４０
にストーン割出しシリンダ８０を１ピッチ伸長駆動さ
せ、ストーンＳＴの割出しを行わせるものである。換言
すれば、この同位置往復回数カウント手段７６から駆動
制御部４０に指令信号が出力されない限り、ブレード１
０の回転数Ｎが１動作ごとに所定量ΔＮずつ増減されな
がら、ストーンＳＴの同一位置でドレス動作が繰り返さ
れるようになっている。

【００４４】ここで、上記同位置設定回数ｍ₀は、上記
初期回転数Ｎ₀からブレード回転数Ｎを増減できる限界
値を基準に設定される。すなわち、上記初期回転数Ｎ₀
から単位ドレス動作を反復していくと、その回数分だけ
ΔＮずつ回転数が増減されていき、ブレード１０に作用
する遠心力の増減によって切刃１１がブレード軸方向に
段階的に変位していくが、上記回転数Ｎを増減させても
これに比例して切刃１１が変位しなくなるような限界回
数が上記同位置設定回数ｍ₀として設定される。

【００４５】次に、ドレスモードに入った時に駆動制御
部４０及びドレス回数制御部７０によって行われる制御
動作を図６のフローチャートに基づいて説明する。

【００４６】まず、ドレス動作を行うに当り、ドレス条
件、具体的には、ドレスが必要な切断面（内側切断面１
１ｂか外側切断面１１ｃかの選択）、及び必要ドレス量
を設定する（ステップ＃１）。この条件に基づき、主軸
駆動モータ制御装置４９は変速動作時に増速を行うべき
か減速を行うべきかを判別し、往復回数演算装置７２は
上記必要除去量に見合う必要通算往復回数ＭＡを演算す
る。

【００４７】なお、この制御例では、ドレス終了時期を
必要通算往復回数ＭＡから直接判断するのではなく、ま
ず、上記必要通算往復回数ＭＡから、必要ストーン割出
し回数Ｍ₀及び最終割出し位置での必要往復回数ｍ_e（＜
ｍ₀）を算出し、これらの回数のカウントで終了時期を
判断するようにしている。すなわち、ストーンＳＴを割
り出さずに同位置で単位ドレス動作を反復できる回数
（すなわち同位置設定回数）をｍ₀とすると、この同位
置設定回数ｍ₀にストーンの割出し回数を乗算し、これ
に最終割出し位置での往復回数を加えたものが通算往復
回数となるので、必要通算往復回数ＭＡは次式 ＭＡ＝ｍ₀Ｍ₀＋ｍ_e で表され、よってこの式から必要ストーン割出し回数Ｍ
₀及び最終割出し位置での必要往復回数ｍ_eを算出するこ
とができる。

【００４８】次に、ストーン進退シリンダ８１を伸長さ
せてストーンＳＴをドレス位置まで前進させ、位置決め
する（ステップ＃２）とともに、ストーン割出し回数を
カウントするための変数Ｍ、及び同位置往復回数をカウ
ントするための変数ｍを０にリセットする（ステップ＃
３，＃４）。

【００４９】そして、ブレード１０を初期回転数Ｎ₀で
回転させ（ステップ＃５）、この状態で単位ドレス動作
に入る（ステップ＃６）。すなわち、回転するブレード
１０をストーンＳＴに近付ける方向に移動（ストーンＳ
Ｔ往動）させてストーンＳＴの切り込みを行い、これに
よって切刃１１の内周切断面１１ａをドレスした後、ブ
レード１０の回転数Ｎを所定量ΔＮだけ増加あるいは削
減して（主軸変速）切刃１１をブレード１０の軸方向に
変位させることにより、切断面１１ｂ（または１１ｃ）
を上記切り込み動作で形成された溝１３の内周面に押し
付け、この状態でストーンＳＴをブレード１０から離す
方向に相対移動（ストーン復動）させることにより、上
記切断面１１ｂ（または１１ｃ）のドレスを行う。

【００５０】次に、同位置往復回数カウント変数ｍに１
を加算し（ステップ＃７）、このカウント変数ｍが同位
置設定回数ｍ₀に達しない場合にはストーン１０を割り
出さずに同一位置で単位ドレス動作を繰り返す（ステッ
プ＃６）。この２回目の単一ドレス動作では、ブレード
回転数（Ｎ₀＋ΔＮ）で切り込み動作が開始され、ブレ
ード回転数（Ｎ₀＋２ΔＮ）で抜き出し動作が行われ
る。すなわち、１回のドレス動作が終了する度に、ブレ
ード回転数はΔＮだけ段階的に増減し、これに応じた量
だけ切刃１１も初期位置から変位することとなる。

【００５１】このような同一位置での単位ドレス動作を
繰返し、上記カウント変数ｍがｍ₀に達した時点で（ス
テップ＃８でＹＥＳ）、ストーン割出しシリンダ８０を
伸長させ、ストーンＳＴを１ピッチ割出した後（ステッ
プ＃９）、割出し回数カウント変数Ｍに１を加算する
（ステップ＃１０）。このカウント変数Ｍが前に算出さ
れた必要割出し回数Ｍ₀に満たない場合には（ステップ
＃１１でＮＯ）、同位置往復回数カウント変数ｍを０に
リセットする（ステップ＃４）とともに、ブレード回転
数Ｎを初期回転数Ｎ₀に戻し（ステップ＃５）、上記位
置とは異なる位置で再びドレス動作（ステップ＃６）を
繰り返す。

【００５２】以上のような単位ドレス動作及びストーン
割出しを繰返し、割出しカウント変数Ｍが必要割出し回
数Ｍ₀に達した後（ステップ＃１１でＹＥＳ）は、その
割出し後、上記と同様に同位置で単位ドレス動作を繰返
し（ステップ＃４〜＃７）、同位置往復回数カウント変
数ｍが最終位置での必要往復回数ｍ_eに達した時点で
（ステップ＃１２でＹＥＳ）、すなわち必要往復回数ｍ
_eだけ単位ドレス動作を繰り返した時点で、ドレス動作
を停止し、ストーン進退シリンダ８１を収縮させてスト
ーンＳＴを元の退避位置まで後退させる（ステップ＃１
３）。これにより、ドレス全工程が終了する。

【００５３】以上記したドレス方法及び装置によれば、
従来のように一回の単位ドレス動作が終了する度にスト
ーンＳＴの割出しを行うのではなく、同位置で単位ドレ
ス動作を繰り返してブレード回転数Ｎ及び切刃１１の変
位量を段階的に増減させ、この増減が限界となる同位置
設定回数ｍ₀だけ単位ドレス動作を繰り返した時点で初
めてストーンＳＴの割出しを行い、ブレード回転数Ｎを
初期回転数Ｎ₀に戻して再びドレス動作を行うようにし
ているので、従来法に比べると、ストーンＳＴの消費量
を約（１／ｍ₀）に削減することができる。このため、
ストーンＳＴの消費によるコストを削減するとともに、
ストーンＳＴの交換回数、すなわち一連のスライシング
工程中にその作業を中断する回数を削減できるので、作
業能率が高まり、これによってもコストの削減を図るこ
とができる。

【００５４】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のでなく、例として次のような態様をとることも可能で
ある。

【００５５】(1) 上記実施例では、与えられた必要ドレ
ス量に基づいて必要通算往復回数を演算する往復回数演
算装置を備えたものを示したが、予め必要通算往復回数
を演算してからこれを装置に入力するようにすれば、上
記往復回数演算装置は必ずしも要しない。

【００５６】(2) 上記実施例では、ブレード１０を固定
し、ストーンＳＴをブレード１０の半径方向に移動させ
るようにしたものを示したが、ストーンＳＴを固定して
おき、ブレード１０の半径方向にブレード１０を移動さ
せるようにしてもよい。また、ストーンＳＴの割出しに
ついても、ストーンＳＴは固定しておき、ブレード１０
を軸方向に順次移動させるようにしてもよい。

【００５７】(3) 本発明方法では、上記実施例に示すよ
うな自動制御でドレス動作を行う場合に限らず、ユーザ
ー側で１回ずつ回数をカウントしながら単位ドレス動作
を実行する場合でも、上記と同様にストーンＳＴの消費
量の削減を図ることができる。

【００５８】

【発明の効果】以上のように本発明は、同位置で単位ド
レス動作を繰り返してブレード回転速度及び切刃変位量
を段階的に増減させ、その繰返し回数が同位置設定回数
に達した場合にのみストーンの割出しを行い、ブレード
回転速度を初期速度に戻して新しい位置でドレス動作を
再開するものであるので、従来に比べ、ストーンの消費
量を大幅に削減することができる。このため、ストーン
自身の消費によるコストの削減に加え、ストーンの交換
回数の削減によって一連のスライシング工程の中断回数
を減らすことができ、その能率を高めることによりコス
トを削減することができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例におけるスライシング装置に
設けられたドレス回数制御部の機能構成を示すブロック
図である。

【図２】上記スライシング装置の正面図である。

【図３】図２のIII-III線断面図である。

【図４】上記スライシング装置に設けられた駆動制御部
の機能構成を示すブロック図である。

【図５】上記スライシング装置に設けられたドレス装置
の構成図である。

【図６】上記スライシング装置において実行されるドレ
ス制御動作を示すフローチャートである。

【図７】ブレードに装着される切刃の一般例を示す断面
図である。

【図８】上記切刃のドレス作業を示す説明図である。

【符号の説明】

１０ ブレード １１ 切刃 １９ ドレス装置 ３０ ワーク ４０ 駆動制御部 ４９ 主軸駆動モータ制御装置（ドレス動作制御手段を
構成） ５２ 切断送りモータ制御装置（ドレス動作制御手段を
構成） ６２ ドレス動作制御装置（ドレス動作制御手段を構
成） ７０ ドレス回数制御部 ７２ 往復回数演算装置 ７４ 通算往復回数カウント手段 ７６ 同位置往復回数カウント手段 ＳＴ ドレス用ストーン

フロントページの続き (72)発明者 山崎 幸雄 広島市南区宇品東５丁目３番38号 トーヨ ーエイテツク株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内周に円形状の切刃を有し、ワークスラ
   イシング時に回転駆動されるブレードを備えたスライシ
   ング装置において、上記ブレードの内側にドレス用スト
   ーンを臨ませ、上記ブレードを予め設定された速度で回
   転させながら上記ストーンをブレードに対してその半径
   方向に相対移動させることにより上記ストーンを完全切
   断する手前の位置まで同ストーンを切り込む切り込み動
   作と、この切り込み動作後にブレード回転速度を増減す
   る変速動作と、変速完了後に上記ブレードを上記ストー
   ンから離す方向に相対移動させる抜き出し動作とからな
   る単位ドレス動作をストーンにおける同一位置で複数回
   繰り返しながらブレード回転速度を段階的に増減させる
   ことを特徴とするスライシング装置における切刃のドレ
   ス方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載のスライシング装置におけ
   る切刃のドレス方法において、上記単位ドレス動作をス
   トーンにおける同じ位置で所定回数繰り返した後、ブレ
   ード回転速度を初期速度に戻し、ストーンにおいて上記
   位置とは異なる位置で再び上記単位ドレス動作を繰り返
   すことを特徴とするスライシング装置における切刃のド
   レス方法。
3. 【請求項３】 内周に円形状の切刃を有し、ワークスラ
   イシング時に回転駆動されるブレードを備えたスライシ
   ング装置において、上記ストーンを上記ブレードに対し
   てその軸方向に相対移動させる割出し動作を行うストー
   ン割出し手段と、上記ブレードの内側に上記ストーンを
   臨ませ、上記ブレードを予め設定された速度で回転させ
   ながら上記ストーンをブレードに対してその半径方向に
   相対移動させることにより上記ストーンを完全切断する
   手前の位置まで同ストーンを切り込む切り込み動作と、
   この切り込み動作後にブレード回転速度を一定量増減す
   る変速動作と、変速完了後に上記ストーンを上記ブレー
   ドから離す方向に相対移動させる抜き出し動作とからな
   る単位ドレス動作を繰返し実行させるドレス動作制御手
   段と、上記単位ドレス動作が繰り返される回数をカウン
   トし、その回数が予め設定された同位置設定回数に達す
   る度に上記ブレード回転速度を初期速度に戻させるとと
   もにストーンの割出し動作を行わせる同位置往復回数カ
   ウント手段と、上記単位ドレス動作が繰り返される回数
   をカウントし、その通算回数が所望のドレス量に対応す
   る回数に達した時点でドレス動作を停止させる通算往復
   回数カウント手段とを備えたことを特徴とするスライシ
   ング装置における切刃のドレス装置。