JPH0538833A - 電子部品のボンデイング装置 - Google Patents
電子部品のボンデイング装置Info
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- Combinations Of Printed Boards (AREA)
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Abstract
動化できるようにし、しかも、平行位置決めを正確に行
なうようにして、溶着不良の低減を図る。 【構成】 くし歯状に列設された配線パターンを有する
2つの電子部品1,2同士を、配線パターンが重なり合
うよう位置合せをして溶着する装置において、一方の電
子部品を支持する第一の支持台11と、他方の電子部品
を支持する第二の支持台12と、第一及び第二の支持台
の少なくともいずれか一方を電子部品1,2の支持面に
直交する軸を中心として回転させる回転部14と、いず
れか一方の電子部品に設けられた配線パターンに平行な
基準線を撮像するカメラ装置20と、カメラ装置20が
撮像した基準線と両電子部品のパターン同士が平行にな
る標準線との成す角度を算出する角度算出部61と、角
度算出部61が算出した角度に基づいて上記回転部14
を駆動する回転制御部62とを備えた。
Description
グ装置に係り、特に、くし歯状に列設された配線パター
ンを有する2つの電子部品同士を、互いに対応する配線
パターンにおいて溶着する電子部品のボンディング装置
に関する。
ては、例えば、熱転写プリンタに用いられる電子部品で
説明すると、図10に示すように、発熱体を備えたヘッ
ド1とヘッドデコーダ等を搭載したフィルムキャリア2
とがあり、夫々、くし歯状に列設された配線パターン
3,4を有している。この配線パターン3,4は、例え
ば、20mmの範囲に144本設けられ、そのピッチが
0.1mmになっている。尚、符号5は配線パターン4
に接続されるコモンパターンである。そして、この2つ
の電子部品同士は、互いに対応する配線パターン3,4
において溶着される。
とを溶着するときは、作業台上等で、2つの電子部品の
配線パターン3,4部を重なり合わせ、この重なり合っ
た部分を顕微鏡で目視し、ヘッド1もしくはフィルムキ
ャリア2を手作業で回転させて互いの配線パターン3,
4の平行度をだすとともに、位相を一致させて位置合せ
をし、その後、この位置合せをした電子部品の配線パタ
ーン3,4同士を溶着するようにしている。
た従来の溶着作業においては、配線パターン3,4の重
なり合った部分を顕微鏡で目視し、手作業で回転させて
互いの配線パターン3,4の平行度をだす用にしている
ので、作業が煩雑になっているとともに、平行度の精度
が悪く、溶着不良が生じ易くなって、完成品の歩留まり
が悪くなっているという問題があった。
なピッチが極小さい配線パターン3,4では、角度θが
僅か(例えば0.08°以上)ずれただけでも、隣の配
線パターン3,4に干渉してしまう。
パターンの平行位置決めを自動化できるようにし、しか
も、平行位置決めを正確に行なうようにして、溶着不良
の低減を図る点にある。
るための本発明の技術的手段は、
る2つの電子部品同士を、互いに対応する配線パターン
が重なり合うよう位置合せをし、その後、この位置合せ
をした電子部品の配線パターン同士を溶着する電子部品
のボンディング装置において、
と、第一の支持台に近接して設けられ他方の電子部品を
支持する第二の支持台と、第一及び第二の支持台の少な
くともいずれか一方を電子部品の支持面に直交する軸を
中心として回転させる回転部と、いずれか一方の電子部
品に設けられた配線パターンに平行な基準線を撮像する
カメラ装置と、カメラ装置が撮像した基準線と両電子部
品のパターン同士が平行になる標準線との成す角度を算
出する角度算出部と、角度算出部が算出した角度に基づ
いて上記回転部を駆動する回転制御部とを備えたもので
ある。
によれば、第一の支持台に一方の電子部品が支持され、
第二の支持台に他方の電子部品が支持された状態で、カ
メラ装置により、いずれか一方の電子部品に設けられた
配線パターンに平行な基準線が撮像される。この状態に
おいて、角度算出部によりカメラ装置が撮像した基準線
と両電子部品のパターン同士が平行になる標準線との成
す角度が算出される。そして、角度算出部が算出した角
度に基づいて回転制御部により回転部が回転され、これ
により、電子部品の配線パターン同士が平行に位置決め
される。その後、この位置合せをした電子部品の配線パ
ターン同士が溶着させられる。
係る電子部品のボンディング装置について説明する。実
施例に係る電子部品のボンディング装置は、図10に示
すように、上述したと同様、熱転写プリンタに用いられ
る電子部品としてのヘッド1とフィルムキャリア2とを
溶着する装置である。ヘッド1及びフィルムキャリア2
は、夫々、くし歯状に列設された配線パターン3,4を
有している。この配線パターン3,4は、例えば、各部
品の一辺部に144本設けられ、そのピッチが0.1m
mになっている。また、フィルムキャリア2には各配線
パターン3,4に接続され、配線パターン3,4に平行
なコモンパターン5を有している。このコモンパターン
5のエッジを後述の基準線Kとしている。
の基本的構成は、図1に示すように、ヘッド1及びフィ
ルムキャリア2を支持する支持装置10、支持装置10
を移動させる移動装置17、支持装置10の移動始端が
わに設けられるカメラ装置20、支持装置10の移動中
間に設けられる顕微鏡装置50、支持装置10の移動終
端がわに設けられる溶着装置52、及び、各装置を制御
する制御装置60から構成されている。
ス13に立設されヘッド1をその配線パターン3が所定
方向に沿う(図中左右方向であって、後述の標準線Hに
沿う)ようにかつ該配線パターン3が後側から突出する
ように支持する第一の支持台11と、第一の支持台11
に近接して設けられフィルムキャリア2をその配線パタ
ーン4が前側から突出するように支持する第二の支持台
12とを備えている。第一の支持台11と第二の支持台
12との間には、各電子部品のパターン部が臨むととも
に、後述の溶着装置の電極が挿通される間隙が設けられ
ている。
面に直交する軸を中心として回転させる回転部14に取
付けられている。この回転部14は第二の支持台12を
支持する回転テーブル14a及びこの回転テーブル14
aを回転させるモータ14bを備えている。
して第二の支持台12を一方向(図中紙面に直角な方向
であって、後述の標準線Hに直角な方向)に移動させる
Y方向移動部15に支持されている。このY方向移動部
15は該Y方向移動部15及び回転部14を介して第二
の支持台12を他方向(図中左右方向であって、後述の
標準線Hに沿う方向)に移動させるX方向移動部16に
支持されている。このX方向移動部16は上記ベース1
3に取付けられている。
装置10のベース13を移動可能に支持するレール18
を備え、図示外の駆動装置で上記ベース13をレール1
8に沿って移動させるものである。
うに、第二の支持台12上のフィルムキャリア2のコモ
ンパターン5を拡大して結像面23に結像させる撮像レ
ンズ24と、フィルムキャリア2のコモンパターン5の
一端部側が結像した結像面23に例えばCCD素子等の
撮像素子21aを有する第一のカメラ21と、フィルム
キャリア2の他端部側が結像した結像面23に例えばC
CD素子等の撮像素子22aを有する第二のカメラ22
とを備えている。
れてベース板26の先端部に固定されている。また、第
一のカメラ21及び第二のカメラ22はベース板26に
並列に固定されている。カメラ21,22の前面には、
各カメラ21,22の撮像素子21a,22aに至る像
のみを通過させる透窓部材27が設けられている。ま
た、撮像レンズ24及びその光路は、カバー28で覆わ
れている。撮像レンズ24の前側にはカバー28に取付
けられた透光ガラス29が設けられているとともに、撮
像レンズ24の後側にはフィルタガラス30が設けられ
ている。このフィルタガラス30は、光路上に通過孔を
有しベース板26に固定された透光部材31,32間に
介装され、一方の透光部材31に設けたボール弾接型の
押え部材33によって他方の透光部材32に押圧支持さ
れている。
ように、第一のカメラ21からの画像信号及び第二のカ
メラ22からの画像信号を画像処理して画面表示する表
示部35を備えている。この表示部35は、図6に示す
ように、512×512画素の画面構成になっている。
更に、このカメラ装置20は、切替信号があったとき第
一のカメラ21からの画像信号及び第二のカメラ22か
らの画像信号を切替えて表示部35がわへ送出する切替
回路36と、水平走査の1/2(256画素)が走査さ
れる毎に切替信号を送出する切替信号送出回路40とを
備えている。
あったときタイミングを調整して切替回路36に切替信
号を発信する切替信号発信回路41と、所定周期のパル
ス信号を送出する発振回路42と、発振回路42が送出
するパルス信号を計数するとともにその計数値が画面の
水平画素数の1/2になったとき上記起動信号を送出す
るカウンタ回路43と、画面更新時にカウンタ回路43
を初期化する初期化回路44とを備えている。
あってから所定時間遅れて出力するマルチバイブレータ
45と、マルチバイブレータ45の出力により切替信号
を送出する送出部46とを備えている。
号及び垂直同期信号を送出する同期信号発生回路47
と、水平同期信号及び垂直同期信号が同時にあったとき
初期化信号を送出するアンド回路48とを備えている。
ッド1とフィルムキャリア2のパターン部を拡大する顕
微鏡部51とこれを撮像する図示外のCCDカメラとか
ら構成されている。
ド53に互いに近接離間可能に設けられた一対の電極5
4,55とを備えている。上記下側の電極55は、第一
の支持台11と第二の支持台12との間の間隙に挿通さ
れ、ヘッド1とフィルムキャリア2のパターン部を上側
の電極54と共に挾持して、パターン部同士の溶着を行
なうものである。
に、上記カメラ装置20が撮像した基準線Kと両電子部
品のパターン同士が平行になる標準線Hとの成す角度θ
を算出する角度算出部61と、角度算出部61が算出し
た角度に基づいて上記回転部14を駆動する回転制御部
62とを備えている。
に、コモンパターン5の画像における輝度の変化に着目
し、基準線Kの撮像画面であって標準線Hの傾きをゼロ
とした画素座標系において標準線Hに直交する方向の画
素の輝度を読み取る輝度読取部63と、隣接する画素の
輝度の輝度差を算出する輝度差算出部64と、輝度差算
出部64が算出した輝度差が最大となる画素座標(画素
番地)を読み出す画素座標読出部65と、画素座標読出
部65が読み出した画素座標を上記輝度差を用いて補正
し基準線Kの座標の演算を行なう座標演算部66と、座
標演算部66が演算した座標に基づいて基準線Kの上記
角度を演算する角度演算部67とを備えている。上記輝
度及び輝度差はX軸方向の多数の点において求める。
標を算出する。
る画素座標(実施例では座標の小さい側を選択)、Sm
は輝度差の最大値、Sm+1 は輝度差の最大値よりも1つ
座標の大きい側の輝度差、Sm+2 は輝度差の最大値より
も2つ座標の大きい側の輝度差、Sm-1 は輝度差の最大
値よりも1つ座標の小さい側の輝度差、Sm-2 は輝度差
の最大値よりも1つ座標の小さい側の輝度差である。
て演算された多数の座標(X軸方向の多数の点における
各Y座標)により、最小二乗法を用いて角度を算出す
る。
0のCCDカメラの画像データに基づいて、ヘッド1の
配線パターン3とフィルムキャリア2の配線パターン4
との位相のずれ(標準線Hに直角な方向のずれ)を算出
し、この算出結果に基づいて上記Y方向移動部15を位
相ずれの分移動させる制御を行なう。また、標準線Hに
平行な方向のずれも算出し、この算出結果に基づいてX
方向移動部16をずれの分移動させる制御を行なう。更
に、制御装置60は、ベース13をレール18に沿って
移動させ、所定位置に停止させるよう移動装置17の駆
動制御も行なう。
ディング装置は、以下のように作用する。ベース13
は、移動装置17により、始端から終端に向けてレール
18に沿って移動させられ、その間、所定位置に停止さ
せられる。先ず、始端位置では、第一の支持台11にヘ
ッド1が支持される。この場合、ヘッド1の配線パター
ン3は、標準線Hに沿うようにかつ配線パターン3が後
側に突出するように位置決めされる。また、第二の支持
台12にはフィルムキャリア2が支持される。この場
合、フィルムキャリア2の配線パターン4が前側に突出
してヘッド1の配線パターン3に重なるようになる。
動させられ、カメラ装置20のある所定位置で停止させ
られる。そしてこの位置で、カメラ装置20による撮像
が行なわれる。
る。フィルムキャリア2のコモンパターン5は、撮像レ
ンズ24によって拡大されて結像面23に結像させられ
る。そしてこの拡大した像のうちフィルムキャリア2の
コモンパターン5の一端部側が第一のカメラ21で撮像
され、フィルムキャリア2のコモンパターン5の他端部
側が第二のカメラ22で撮像される。
走査の1/2(256画素)が走査される毎に切替信号
が送出され、第一のカメラ21からの画像信号及び第二
のカメラ22からの画像信号が256画素毎に切替えら
れて表示部35がわへ送出される。そのため、図6及び
図7に示すように、各カメラの撮像画面が半分ずつ一つ
の表示部35に表示される。また、切替信号送出回路4
0においては、画面更新毎にカウンタ回路43が初期化
されるので、ずれのない切替信号が送出され、そのた
め、表示部35の正規の位置に画像が出力される。
を2か所を撮像する場合に比較して、カメラを固定させ
て撮像できるとともに、各カメラが撮像した像を、1/
2ずつではあるが、同一画面に表示することができ、そ
のため、操作性が向上するとともに、画面処理効率が向
上する。
出部61は以下のように機能する。先ず、図7に示す基
準線Kの上記撮像画面であって標準線Hの傾きをゼロと
した画素座標系において、輝度読取部63によって、X
座標のいくつかの点の標準線Hに直交する方向の画素の
輝度が読み取られる。その読み取り結果を図8に示す。
次に、輝度差算出部64によって、隣接する画素の輝度
の輝度差が算出される。その結果も図8に示す。その
後、画素座標読出部65によって、輝度差算出部64が
算出した輝度差が最大となる画素座標が読み出される。
標読出部65が読み出した画素座標を上記輝度差を用い
て補正し基準線Kの座標の演算が行なわれる。今、図中
X4の点における場合について説明すると、輝度差が最
大となる画素座標Gn は115となり、その算出結果
は、以下のとおりである。
ける補正されたY座標が求められる。この場合、この座
標は、上下の輝度の重みを考慮して補正されているの
で、精度が高いものになる。また、単に画素座標の読み
取りデータからの算出では、プラスマイナス1画素の量
子化誤差の発生が避けられないが、実施例においては、
量子化誤差を1画素以下(プラスマイナス0.2画素程
度)にすることができ、それだけ、精度の高い座標を得
ることができる。
基準線Kの座標が補正されて求められると、これら演算
した座標に基づいて角度演算部67により基準線Kの角
度が演算される。
20は基準線Kの両端部を撮像し、この両端部の基準線
Kの座標により基準線Kの角度を求めているので、基準
線K全体について座標を求めたと略同等の精度で角度の
算出が行なわれるとともに、カメラ装置20による画像
の画素密度が、1台のカメラで全体を撮像したとき(図
7中例えばA範囲)に比較して、大きく(例えば約8
倍)、それだけ、上記演算される座標の精度が高くなっ
ている。実験によれば、上記のパターン間隔が0.1m
mの場合、0.03°程度の誤差範囲に収めることがで
き、0.08°以下の条件を十分満足できた。
だけ、回転制御部62が上記回転部14を駆動する。こ
れにより、フィルムキャリア2の配線パターン4がヘッ
ド1の配線パターン3に対して平行になる。この場合、
上記算出された角度の精度が高いので、フィルムキャリ
ア2の配線パターン4が傾いてヘッド1の別の配線パタ
ーン3に交差してしまう事態が防止される。
り、顕微鏡装置50のところに移動させられる。ここで
は、顕微鏡装置50のCCDカメラの画像データに基づ
いて、ヘッド1の配線パターン3とフィルムキャリア2
の配線パターン4との位相のずれが算出され、この算出
結果に基づいて上記Y方向移動部15が位相ずれの分だ
け移動させられ、ヘッド1の配線パターン3とフィルム
キャリア2の配線パターン4との位相が合わせられる。
の算出結果に基づいてX方向移動部16がずれの分だけ
移動させられる。これにより、ヘッド1の配線パターン
3とフィルムキャリア2の配線パターン4との接合長さ
が所定のものになる。
り、溶着装置52のところに移動させられる。ここで
は、溶着装置52の電極54,55がヘッド1の配線パ
ターン3とフィルムキャリア2の配線パターン4とを溶
着する。この場合、図9に示すように、ヘッド1の配線
パターン3とフィルムキャリア2の配線パターン4と
は、互いに傾いて他と交差することなく、しかも位相も
接合長さも所定のものになっているので、対応するパタ
ーン同士が接合していることになり、異なるパターンと
の溶着が防止され、その結果、歩留まりが向上する。
ンパターン5のエッジに設定したが必ずしもこれに限定
されるものではなく、配線パターン4自身あるいは配線
パターン4と平行な関係にある部分であればどのような
ものでも良い。
のボンディング装置によれば、カメラ装置が撮像した基
準線と両電子部品の配線パターン同士が平行になる標準
線との成す角度を算出し、算出した角度に基づいて回転
部を駆動するので、自動で電子部品の配線パターンを位
置決めすることができ、そのため、作業効率が大幅に向
上する。
して求めるようにすれば、座標の精度が高いものにな
り、それだけ、基準線の算出角度の精度も高いものにな
る。そのため、位置合せさせられた配線パターンのずれ
がほとんどなくなり、傾いて別の配線パターンに交差し
てしまう事態を防止することができる。その結果、溶着
不良が防止され、完成品の歩留まりを大幅に向上させる
ことができる。特に、配線パターンのピッチが0.1m
m以下と極めて小さい電子部品に有効である。
装置を示す図である。
面図である。
面図である。
ク図である。
示すブロック図である。
的に示す図である。
素座標系を示す図である。
算出データを示す図である。
状態を示す図である。
グ装置が溶着する電子部品の一例を示す図である。
を示す図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 くし歯状に列設された配線パターンを有
する2つの電子部品同士を、互いに対応する配線パター
ンが重なり合うよう位置合せをし、その後、この位置合
せをした電子部品の配線パターン同士を溶着する電子部
品のボンディング装置において、一方の電子部品を支持
する第一の支持台と、第一の支持台に近接して設けられ
他方の電子部品を支持する第二の支持台と、第一及び第
二の支持台の少なくともいずれか一方を電子部品の支持
面に直交する軸を中心として回転させる回転部と、いず
れか一方の電子部品に設けられた配線パターンに平行な
基準線を撮像するカメラ装置と、カメラ装置が撮像した
基準線と両電子部品のパターン同士が平行になる標準線
との成す角度を算出する角度算出部と、角度算出部が算
出した角度に基づいて上記回転部を駆動する回転制御部
とを備えたことを特徴とする電子部品のボンディング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3223392A JP2571481B2 (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 電子部品のボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3223392A JP2571481B2 (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 電子部品のボンディング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0538833A true JPH0538833A (ja) | 1993-02-19 |
| JP2571481B2 JP2571481B2 (ja) | 1997-01-16 |
Family
ID=16797428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3223392A Expired - Lifetime JP2571481B2 (ja) | 1991-08-07 | 1991-08-07 | 電子部品のボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2571481B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2014175018A1 (ja) * | 2013-04-22 | 2017-02-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 自動分析装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61213612A (ja) * | 1985-03-19 | 1986-09-22 | Hitachi Ltd | プリント基板のパタ−ン検査装置 |
| JPH02276291A (ja) * | 1989-04-18 | 1990-11-13 | Stanley Electric Co Ltd | パターン接続方法 |
-
1991
- 1991-08-07 JP JP3223392A patent/JP2571481B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61213612A (ja) * | 1985-03-19 | 1986-09-22 | Hitachi Ltd | プリント基板のパタ−ン検査装置 |
| JPH02276291A (ja) * | 1989-04-18 | 1990-11-13 | Stanley Electric Co Ltd | パターン接続方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2014175018A1 (ja) * | 2013-04-22 | 2017-02-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 自動分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2571481B2 (ja) | 1997-01-16 |
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