JPH0540133A - 信号波形測定装置 - Google Patents
信号波形測定装置Info
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- JPH0540133A JPH0540133A JP19665391A JP19665391A JPH0540133A JP H0540133 A JPH0540133 A JP H0540133A JP 19665391 A JP19665391 A JP 19665391A JP 19665391 A JP19665391 A JP 19665391A JP H0540133 A JPH0540133 A JP H0540133A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は電気光学効果を利用して高速度の電
気信号波形を観測することができる信号波形測定装置に
係り、特に測定精度及び操作性の向上した信号波形測定
装置に関し、最適な状態での差動増幅を行なわせ、高効
率の信号波形測定装置を提供することを目的とする。 【構成】 レーザ光源１と、受光器６及び７と、差動増
幅回路１０とを備え、被測定対象２０に近接若しくは接
触させて配置した電気光学結晶４の内部に誘起される電
界強度の変化を、前記結晶４内を反復往復する光の偏光
状態の変化として、反射光を偏光分離した１対の信号光
強度の差分量を検出して、被測定対象２０に印加された
電圧波形を測定する信号波形測定装置であって、所定の
制限値以下は感知せず、制限値以上の信号を通過させる
下限制限回路８及び９と、前記下限制限回路８及び９の
制限値を設定する制御回路１３とを有して構成する。
気信号波形を観測することができる信号波形測定装置に
係り、特に測定精度及び操作性の向上した信号波形測定
装置に関し、最適な状態での差動増幅を行なわせ、高効
率の信号波形測定装置を提供することを目的とする。 【構成】 レーザ光源１と、受光器６及び７と、差動増
幅回路１０とを備え、被測定対象２０に近接若しくは接
触させて配置した電気光学結晶４の内部に誘起される電
界強度の変化を、前記結晶４内を反復往復する光の偏光
状態の変化として、反射光を偏光分離した１対の信号光
強度の差分量を検出して、被測定対象２０に印加された
電圧波形を測定する信号波形測定装置であって、所定の
制限値以下は感知せず、制限値以上の信号を通過させる
下限制限回路８及び９と、前記下限制限回路８及び９の
制限値を設定する制御回路１３とを有して構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電気光学効果を利用して
高速度の電気信号波形を観測することができる信号波形
測定装置に係り、特に測定精度及び操作性の向上した信
号波形測定装置に関する。
高速度の電気信号波形を観測することができる信号波形
測定装置に係り、特に測定精度及び操作性の向上した信
号波形測定装置に関する。
【０００２】ＬＳＩ等の半導体素子を製造、利用する上
で、素子内外の信号波形を正確に測定しておくことが必
要不可欠になっている。しかしながら、近年の素子の高
速化に伴い、従来のＬＳＩテスタなどを用いた電気的な
測定方式では、正確な測定が難しくなって来ている。そ
のため、半導体素子基板結晶の電気光学効果を用いた光
学的な信号波形測定方式が考案され、高速信号が計測で
きることが確認されている（例えば、J.A.Valdmanis an
d G.Mourou, "Subpicosecond electronics sampling: p
rinciples and application", IEEE JOURNAL OF QUANTU
M ELECTRONICS,VOL.QE-22, pp.69-78. 等）。
で、素子内外の信号波形を正確に測定しておくことが必
要不可欠になっている。しかしながら、近年の素子の高
速化に伴い、従来のＬＳＩテスタなどを用いた電気的な
測定方式では、正確な測定が難しくなって来ている。そ
のため、半導体素子基板結晶の電気光学効果を用いた光
学的な信号波形測定方式が考案され、高速信号が計測で
きることが確認されている（例えば、J.A.Valdmanis an
d G.Mourou, "Subpicosecond electronics sampling: p
rinciples and application", IEEE JOURNAL OF QUANTU
M ELECTRONICS,VOL.QE-22, pp.69-78. 等）。
【０００３】また、検出用結晶の上に被検ＬＳＩを積載
し、電気信号の波形測定を行なう検出方式が出願されて
いる（特開平０１−２８５６６）が、測定精度の向上が
要望されている。
し、電気信号の波形測定を行なう検出方式が出願されて
いる（特開平０１−２８５６６）が、測定精度の向上が
要望されている。
【０００４】
【従来の技術】図４に従来の信号波形測定装置の構成図
を示す。本従来例は、被測定系２０と、電圧によって複
屈折性を有する電気光学結晶４と、この電気光学結晶４
に入射させるレーザ光を発生するレーザ光源１と、レー
ザ光を光軸変換する光学系としての偏光制御素子２、ビ
ームスプリッタ３、及び偏光分離素子５と、光軸変換さ
れたレーザ光から被測定系２０の被測定電圧に比例した
光量を電気信号に変換する受光器６及び７と、受光器６
及び７からの信号の電流変化を電圧変化に変換する電流
電圧変換回路５１及び５２と、変換された２つの電圧の
差分を増幅する差動増幅回路１０と、ディジタル信号に
変換するＡ／Ｄ変換回路１１と、信号処理を行なう信号
処理部１２と、これら動作を制御する制御回路５３とか
ら構成されている。
を示す。本従来例は、被測定系２０と、電圧によって複
屈折性を有する電気光学結晶４と、この電気光学結晶４
に入射させるレーザ光を発生するレーザ光源１と、レー
ザ光を光軸変換する光学系としての偏光制御素子２、ビ
ームスプリッタ３、及び偏光分離素子５と、光軸変換さ
れたレーザ光から被測定系２０の被測定電圧に比例した
光量を電気信号に変換する受光器６及び７と、受光器６
及び７からの信号の電流変化を電圧変化に変換する電流
電圧変換回路５１及び５２と、変換された２つの電圧の
差分を増幅する差動増幅回路１０と、ディジタル信号に
変換するＡ／Ｄ変換回路１１と、信号処理を行なう信号
処理部１２と、これら動作を制御する制御回路５３とか
ら構成されている。
【０００５】本従来例の動作の概略は、先ず、信号光の
偏光状態変化を検出するために、信号光を偏光分離した
後に各偏光成分を個別に受光器６及び７により受光す
る。受光した信号は電流信号として取り出されるため、
電流電圧変換回路５１及び５２により電圧に変換した後
に差動増幅回路１０の２入力端子に入力される。そして
差動増幅回路１０の出力をＡ／Ｄ変換回路１１でＡ／Ｄ
変換し、信号処理部１２により信号処理を行なう。
偏光状態変化を検出するために、信号光を偏光分離した
後に各偏光成分を個別に受光器６及び７により受光す
る。受光した信号は電流信号として取り出されるため、
電流電圧変換回路５１及び５２により電圧に変換した後
に差動増幅回路１０の２入力端子に入力される。そして
差動増幅回路１０の出力をＡ／Ｄ変換回路１１でＡ／Ｄ
変換し、信号処理部１２により信号処理を行なう。
【０００６】図５に本従来例の差動増幅回路の入出力電
圧波形を示す。本装置は、元来、同図（ａ）に示すよう
に、受光器６及び７の出力波形が、それぞれ電圧の印加
により減少及び増大し、これらを差動増幅回路１０の入
力として差動増幅し、同図（ｂ）の信号Ｉ及び信号ＩＩ
の特性が一致している場合のような出力波形を得て信号
処理するものである。
圧波形を示す。本装置は、元来、同図（ａ）に示すよう
に、受光器６及び７の出力波形が、それぞれ電圧の印加
により減少及び増大し、これらを差動増幅回路１０の入
力として差動増幅し、同図（ｂ）の信号Ｉ及び信号ＩＩ
の特性が一致している場合のような出力波形を得て信号
処理するものである。
【０００７】しかしながら、２つの信号伝送路の特性、
特に電流電圧変換回路５１及び５２の特性が完全に一致
していない場合には、差動増幅回路１０出力に結晶印加
電圧に起因した信号以外の信号振幅が現われることがあ
る（図５（ｂ）の信号Ｉ及び信号ＩＩの特性がずれてい
る場合参照）。これらの期待しない信号振幅が、信号電
圧振幅と同等以上の大きさになる場合、後段の差動増幅
回路１０の利得を信号振幅に合わせて設定すると、期待
しない信号が差動増幅回路１０を飽和させ、差動増幅回
路１０の応答特性を劣化させてしまう。
特に電流電圧変換回路５１及び５２の特性が完全に一致
していない場合には、差動増幅回路１０出力に結晶印加
電圧に起因した信号以外の信号振幅が現われることがあ
る（図５（ｂ）の信号Ｉ及び信号ＩＩの特性がずれてい
る場合参照）。これらの期待しない信号振幅が、信号電
圧振幅と同等以上の大きさになる場合、後段の差動増幅
回路１０の利得を信号振幅に合わせて設定すると、期待
しない信号が差動増幅回路１０を飽和させ、差動増幅回
路１０の応答特性を劣化させてしまう。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従って、従来の信号波
形測定装置においては、信号伝送路の特性、特に、電流
電圧変換回路の特性のばらつきにより、差動増幅回路出
力に結晶印加電圧に起因した信号振幅が現われ、差動増
幅回路の応答特性を劣化させてしまうために、信号検出
に十分な増幅回路の利得を設定できないという問題があ
った。
形測定装置においては、信号伝送路の特性、特に、電流
電圧変換回路の特性のばらつきにより、差動増幅回路出
力に結晶印加電圧に起因した信号振幅が現われ、差動増
幅回路の応答特性を劣化させてしまうために、信号検出
に十分な増幅回路の利得を設定できないという問題があ
った。
【０００９】本発明は、このような問題点を解決するも
ので、最適な状態での差動増幅を行なわせ、高効率の信
号波形測定装置を提供することを目的とする。
ので、最適な状態での差動増幅を行なわせ、高効率の信
号波形測定装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、図１及び図２に示す如く、レーザ光源１
と、受光器６及び７と、差動増幅回路１０とを備え、被
測定対象２０に近接若しくは接触させて配置した電気光
学結晶４の内部に誘起される電界強度の変化を、前記結
晶４内を反復往復する光の偏光状態の変化として、反射
光を偏光分離した１対の信号光強度の差分量を検出し
て、被測定対象２０に印加された電圧波形を測定する信
号波形測定装置であって、所定の制限値以下は感知せ
ず、制限値以上の信号を通過させる下限制限回路８及び
９と、前記下限制限回路８及び９の制限値を設定する制
御回路１３とを有して構成する。
に、本発明は、図１及び図２に示す如く、レーザ光源１
と、受光器６及び７と、差動増幅回路１０とを備え、被
測定対象２０に近接若しくは接触させて配置した電気光
学結晶４の内部に誘起される電界強度の変化を、前記結
晶４内を反復往復する光の偏光状態の変化として、反射
光を偏光分離した１対の信号光強度の差分量を検出し
て、被測定対象２０に印加された電圧波形を測定する信
号波形測定装置であって、所定の制限値以下は感知せ
ず、制限値以上の信号を通過させる下限制限回路８及び
９と、前記下限制限回路８及び９の制限値を設定する制
御回路１３とを有して構成する。
【００１１】尚、前記下限制限回路８及び９は、前記受
光器６及び７の出力である電流信号を電圧信号に変換す
る電流電圧変換回路２１と、前記電流電圧変換回路２１
出力の基底量を前記レーザ光源１のレーザ照射パルスに
同期して保持するサンプルホールド回路２２と、前記サ
ンプルホールド回路２２出力と所定のオフセット値とを
加算する加算アンプ２４とを有して構成する。
光器６及び７の出力である電流信号を電圧信号に変換す
る電流電圧変換回路２１と、前記電流電圧変換回路２１
出力の基底量を前記レーザ光源１のレーザ照射パルスに
同期して保持するサンプルホールド回路２２と、前記サ
ンプルホールド回路２２出力と所定のオフセット値とを
加算する加算アンプ２４とを有して構成する。
【００１２】
【作用】本発明では、図１の如く、偏光分離した１対の
信号光を受光器６及び７により受光した信号を、それぞ
れ下限制限回路８及び９により制限された信号として、
差動増幅回路１０に入力して信号処理するようにしてい
る。
信号光を受光器６及び７により受光した信号を、それぞ
れ下限制限回路８及び９により制限された信号として、
差動増幅回路１０に入力して信号処理するようにしてい
る。
【００１３】即ち、光検出信号量の設定された制限値以
下を感知しないで差動増幅回路１０に送ることにより、
期待しない信号振幅の発生を避けることができ、差動増
幅回路の応答特性を劣化させることなく、最適な状態で
の差動増幅を行なわせることができる。
下を感知しないで差動増幅回路１０に送ることにより、
期待しない信号振幅の発生を避けることができ、差動増
幅回路の応答特性を劣化させることなく、最適な状態で
の差動増幅を行なわせることができる。
【００１４】
【実施例】次に、本発明に係る実施例を図面に基づいて
説明する。図１に本発明の実施例に係る信号波形測定装
置の構成図を示す。図１において、図４（従来例）と重
複する部分には同一の符号を附す。
説明する。図１に本発明の実施例に係る信号波形測定装
置の構成図を示す。図１において、図４（従来例）と重
複する部分には同一の符号を附す。
【００１５】本実施例は、被測定系２０と、電圧によっ
て複屈折性を有する例えばＢＳＯ：Ｂｉ12ＳｉＯ20等の
電気光学結晶４と、この電気光学結晶４に入射させるレ
ーザ光を発生するレーザ光源１と、レーザ光を光軸変換
する光学系としての偏光制御素子２、ビームスプリッタ
３、及び偏光分離素子５と、光軸変換されたレーザ光か
ら被測定系２０の被測定電圧に比例した光量を電気信号
に変換する受光器（フォトダイオード等）６及び７と、
所定の制限値以下は感知せず、制限値以上の受光器１２
からの信号を通過させる下限制限回路８及び９と、下限
制限回路８及び９の出力の電圧信号の差分を増幅する差
動増幅回路１５と、ディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変
換回路１６と、信号処理を行なう信号処理部１７と、こ
れら動作を制御し制御回路１８とから構成されている。
て複屈折性を有する例えばＢＳＯ：Ｂｉ12ＳｉＯ20等の
電気光学結晶４と、この電気光学結晶４に入射させるレ
ーザ光を発生するレーザ光源１と、レーザ光を光軸変換
する光学系としての偏光制御素子２、ビームスプリッタ
３、及び偏光分離素子５と、光軸変換されたレーザ光か
ら被測定系２０の被測定電圧に比例した光量を電気信号
に変換する受光器（フォトダイオード等）６及び７と、
所定の制限値以下は感知せず、制限値以上の受光器１２
からの信号を通過させる下限制限回路８及び９と、下限
制限回路８及び９の出力の電圧信号の差分を増幅する差
動増幅回路１５と、ディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変
換回路１６と、信号処理を行なう信号処理部１７と、こ
れら動作を制御し制御回路１８とから構成されている。
【００１６】また、下限制限回路８及び９は、図２に示
すように、それぞれ、受光器６及び７の出力である電流
信号を電圧信号に変換する電流電圧変換回路２１と、電
流電圧変換回路２１出力の基底量をレーザ光源１のレー
ザ照射パルスに同期して保持するサンプルホールド回路
２２と、所定のオフセットデータを入力してオフセット
電圧を出力するＤ／Ａ変換回路２３と、サンプルホール
ド回路２２出力とオフセット電圧とを加算する加算アン
プ２４と、高速動作の可能なダイオード２５とから構成
されている。
すように、それぞれ、受光器６及び７の出力である電流
信号を電圧信号に変換する電流電圧変換回路２１と、電
流電圧変換回路２１出力の基底量をレーザ光源１のレー
ザ照射パルスに同期して保持するサンプルホールド回路
２２と、所定のオフセットデータを入力してオフセット
電圧を出力するＤ／Ａ変換回路２３と、サンプルホール
ド回路２２出力とオフセット電圧とを加算する加算アン
プ２４と、高速動作の可能なダイオード２５とから構成
されている。
【００１７】次に、本実施例の動作を図３に基づいて説
明する。電気光学結晶４内を反復往復したレーザ光は、
結晶４に印加された電圧に応じて偏光状態が変化する。
この反射光を偏光ビームスプリッタ３等の偏光分離素子
により偏光分離し、分離した信号光はそれぞれ受光器６
及び７で受光し、電流信号として下限制限回路８及び９
に出力される。
明する。電気光学結晶４内を反復往復したレーザ光は、
結晶４に印加された電圧に応じて偏光状態が変化する。
この反射光を偏光ビームスプリッタ３等の偏光分離素子
により偏光分離し、分離した信号光はそれぞれ受光器６
及び７で受光し、電流信号として下限制限回路８及び９
に出力される。
【００１８】下限制限回路８及び９では、受光器６及び
７で検出した信号は電流出力であるため、先ず電流電圧
変換回路２１により電圧信号に変換する。次に電圧変換
された信号を分岐し、一方をサンプルホールド回路２２
に入力し、レーザ照射パルスに同期したタイミングで保
持する。保持するタイミングは、光検出信号が基底値を
とるタイミングとする。ここで基底値とは、光信号を受
光していないときの受光器出力値のことである（図３
（ａ）におけるホールド値）。この保持された基底値に
対して制御回路１３により設定されている電圧値（オフ
セット電圧）を加算アンプ２４で加え、ダイオード２５
を経由して電流電圧変換回路２１の出力と結合した信号
を差動増幅回路１０に入力する。尚、制御回路１３から
はオフセットデータが与えられ、Ｄ／Ａ変換回路２３に
よりオフセット電圧が定められる。また、差動増幅回路
１０の入力には、ダイオード２５の働きにより電圧変換
された信号量と基底値＋設定オフセット電圧値の何れか
大きいほうの信号が現われる（図３（ａ）参照）。
７で検出した信号は電流出力であるため、先ず電流電圧
変換回路２１により電圧信号に変換する。次に電圧変換
された信号を分岐し、一方をサンプルホールド回路２２
に入力し、レーザ照射パルスに同期したタイミングで保
持する。保持するタイミングは、光検出信号が基底値を
とるタイミングとする。ここで基底値とは、光信号を受
光していないときの受光器出力値のことである（図３
（ａ）におけるホールド値）。この保持された基底値に
対して制御回路１３により設定されている電圧値（オフ
セット電圧）を加算アンプ２４で加え、ダイオード２５
を経由して電流電圧変換回路２１の出力と結合した信号
を差動増幅回路１０に入力する。尚、制御回路１３から
はオフセットデータが与えられ、Ｄ／Ａ変換回路２３に
よりオフセット電圧が定められる。また、差動増幅回路
１０の入力には、ダイオード２５の働きにより電圧変換
された信号量と基底値＋設定オフセット電圧値の何れか
大きいほうの信号が現われる（図３（ａ）参照）。
【００１９】次に、差動増幅回路１５はこれら２つの偏
光分離光検出信号の差分を増幅し差信号を出力する（図
３（ｂ）参照）。更に、この信号をＡ／Ｄ変換回路１６
でディジタルデータに変換して信号処理部１７で信号処
理することにより、結晶４の印加電圧を求めることがで
きる。
光分離光検出信号の差分を増幅し差信号を出力する（図
３（ｂ）参照）。更に、この信号をＡ／Ｄ変換回路１６
でディジタルデータに変換して信号処理部１７で信号処
理することにより、結晶４の印加電圧を求めることがで
きる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
偏光分離した１対の信号光を受光器により受光し、それ
ぞれ下限制限回路８及び９により制限された信号とし
て、差動増幅回路に入力して信号処理するようにしたこ
とにより、制限値以下の信号を無視して２組の伝送路特
性の差の影響を除去でき、また、制限することで失われ
るはずの基底値情報を予め基底値に加えておくことによ
り、信号全体の上下変動の影響も除去できる。
偏光分離した１対の信号光を受光器により受光し、それ
ぞれ下限制限回路８及び９により制限された信号とし
て、差動増幅回路に入力して信号処理するようにしたこ
とにより、制限値以下の信号を無視して２組の伝送路特
性の差の影響を除去でき、また、制限することで失われ
るはずの基底値情報を予め基底値に加えておくことによ
り、信号全体の上下変動の影響も除去できる。
【００２１】従って、期待しない信号振幅の発生を避け
ることができ、差動増幅回路の応答特性を劣化させるこ
となく、最適な状態での差動増幅を行なうことができ、
結果として高精度な電圧測定の可能な信号波形測定装置
を提供することができる。
ることができ、差動増幅回路の応答特性を劣化させるこ
となく、最適な状態での差動増幅を行なうことができ、
結果として高精度な電圧測定の可能な信号波形測定装置
を提供することができる。
【図１】本発明の実施例に係る信号波形測定装置の構成
図である。
図である。
【図２】本発明の実施例に係る信号波形測定装置の下限
制限回路の詳細構成図である。
制限回路の詳細構成図である。
【図３】本発明の実施例に係る信号波形測定装置の動作
電圧波形図である。
電圧波形図である。
【図４】従来の信号波形測定装置の構成図である。
【図５】従来の信号波形測定装置の動作電圧波形図であ
る。
る。
【符号の説明】 １…レーザ光源 ２…偏光制御素子 ３…ビームスプリッタ ４…電気光学結晶 ５…偏光分離素子 ６、７…受光器 ８、９…下限制限回路 １０…偏光結合素子 １５…差動増幅回路 １６…Ａ／Ｄ変換回路 １７…信号処理部 １８、５３…制御回路 ２０…被測定対象 ２１、５１、５２…電流電圧変換回路 ２２…サンプリングホールド回路 ２３…Ｄ／Ａ変換回路 ２４…加算アンプ ２５…ダイオード
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ光源（１）と、受光器（６及び
７）と、差動増幅回路（１０）とを備え、被測定対象
（２０）に近接若しくは接触させて配置した電気光学結
晶（４）の内部に誘起される電界強度の変化を、前記結
晶（４）内を反復往復する光の偏光状態の変化として、
反射光を偏光分離した１対の信号光強度の差分量を検出
して、被測定対象（２０）に印加された電圧波形を測定
する信号波形測定装置であって、 所定の制限値以下は感知せず、制限値以上の信号を通過
させる下限制限回路（８及び９）を有し、 前記偏光分離した１対の信号光を前記受光器（６及び
７）により受光した信号を、それぞれ前記下限制限回路
（８及び９）により制限された信号として、前記差動増
幅回路（１０）に入力して信号処理することを特徴とす
る信号波形測定装置。 - 【請求項２】 前記信号波形測定装置は、前記下限制限
回路（８及び９）の制限値を設定する制御回路（１３）
を有することを特徴とする請求項１に記載の信号波形測
定装置。 - 【請求項３】 前記下限制限回路（８及び９）は、 前記受光器（６及び７）の出力である電流信号を電圧信
号に変換する電流電圧変換回路（２１）と、 前記電流電圧変換回路（２１）出力の基底量を前記レー
ザ光源（１）のレーザ照射パルスに同期して保持するサ
ンプルホールド回路（２２）と、 前記サンプルホールド回路（２２）出力と所定のオフセ
ット値とを加算する加算アンプ（２４）とを有すること
を特徴とする請求項１または２に記載の信号波形測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19665391A JPH0540133A (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 信号波形測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19665391A JPH0540133A (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 信号波形測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0540133A true JPH0540133A (ja) | 1993-02-19 |
Family
ID=16361361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19665391A Withdrawn JPH0540133A (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 信号波形測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0540133A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0896929A2 (en) | 1997-08-12 | 1999-02-17 | Nkk Corporation | Easy-opening can end and method for making the same |
| US6435368B1 (en) | 1999-04-20 | 2002-08-20 | Nkk Corporation | Easy opening can end and method for fabricating the same |
| KR20190040042A (ko) | 2016-08-22 | 2019-04-16 | 토요 세이칸 가부시키가이샤 | 캔 뚜껑 |
-
1991
- 1991-08-06 JP JP19665391A patent/JPH0540133A/ja not_active Withdrawn
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