JPH0540928Y2

JPH0540928Y2 -

Info

Publication number: JPH0540928Y2
Application number: JP1988061936U
Authority: JP
Priority date: 1988-05-11
Filing date: 1988-05-11
Publication date: 1993-10-18
Anticipated expiration: 2003-05-11
Also published as: JPH01164060U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は研磨装置の研磨定盤とランナとの接触
面に砥粒、加工液および廃液が浸入するのを防止
する構造を持つた研磨装置に関する。

（従来の技術）第３図は、油動圧軸受を適用した従来の研磨装
置の例である。１は研磨定盤で、回転するランナ
２の上面に設置され、ランナ２の中心の下側に主
軸３が締結されている。回転部の軸受は軸受部を
油で浸漬している、所謂、油動圧軸受を採用した
構造である。４，５はランナ２と中央ベース６と
の間に配設されたスラスト油動圧軸受、ラジアル
油動圧軸受である。スラスト油動圧軸受４は、動
圧発生形状面としての極微小傾斜面と精密平面と
を有し、精密平面がロータとして機能するランナ
２の面２′と対向し、研磨定盤１の軸方向（垂直
方向）の動圧を受け、押えるようになつている。
また、ラジアル油動圧軸受５は、動圧発生形状面
としての極微小傾斜面が一部に形成された精密円
筒面を有し、円筒面がロータとして機能するラン
ナ２の内面２″と対向し、研磨定盤１の軸方向と
交差する方向（水平方向）の動圧を受け、押える
ようになつている。両油動圧軸受４，５とも油７
に浸漬され、その摺動面に動圧が発生するように
なつている。

従つて、駆動源としてのモータ８からの回転を
プーリ９、ベルト１０を経て、主軸３に懸垂・固
定されたプーリ１１に回転が与えられ、即ちラン
ナ２、研磨定盤１を回転することになり、ローラ
１２，１３で保持された研磨試料が研磨される。

ところが、特に油動圧軸受４，５を有する研磨
装置では、研磨剤などの廃液が油７の中に混入す
ると、動圧軸受としての精度が劣るばかりでな
く、軸受としての機能を果たすことができなくな
る。そのため、従来の研磨装置では、廃液などが
油７の中に混入しないようにカバー１４を研磨定
盤１あるいはランナ２に取付けていた。

第４図は従来の廃液浸入防止構造の分解斜視図
である。ランナ２と研磨定盤１の接面には対応す
る位置に一対の穴１ｂ，２ａが配設されており駆
動ピン１５を用いて互いに連結され回転伝達をお
こなう。また、ガイド部１ａに主軸のガイド３ａ
が嵌入される。さらに、ランナ２、もしくは研磨
定盤１には、油タンク１６内の油７に研磨剤や廃
液が浸入しないようにカバー１４が接着剤、もし
くは溶接などで固定されており、廃液受け１７の
内側枠１８をカバー１４の内側に介して装着す
る。なお、１７ａ，１７ｂは廃液の流入口、流出
口である。

（考案が解決しようとする課題）以上、研磨装置の構成、及び廃液受けの構造に
ついて説明した。次に構造的な欠陥について述べ
る。

この種の研磨装置では、通常、研磨試料、研磨
剤、あるいは仕上げの程度などにより研磨定盤１
を複数枚用意し、作業の進捗状況に合わせて交換
して使用する。さらに試料の高精度化という点か
ら研磨定盤１は、上・下面の平行度と平面度が非
常に重視される。実際の作業においても使用前に
は「平面出し」といわれる研磨定盤１の上面の再
加工がおこなわれている。また、ポリシングにお
いてはポリシヤの張り替えを適時おこなう必要が
ある。このため、カバー１４を接着剤などによつ
て研磨定盤１に固定するのは極めて作業性が劣
り、精度の悪化を招くことになる。よつて、従来
例の廃液浸入防止構造においては、カバー１４を
ランナ２に接着固定するが、製作に手間がかか
る。また廃液受け１７は、内側枠１８をカバー１
４の内側に介して装着してあるので、着脱の際は
プーリ１１から回転軸を取外すなどの手間がかか
る、などの欠陥があつた。

さらに、研磨定盤１とランナ２との接面に研磨
剤や廃液が流れ込む可能性があり、そのことによ
つて、接面を傷付け、研磨定盤１の平行度、平面
度を悪化させるという問題もある。

本考案は上記問題点に鑑み、高精度研磨装置に
おれる作業性の煩雑さを解消するとともに高精度
研磨装置としての信頼性を確保して廃液浸入を防
止した研磨装置を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段）本考案は上記課題を解決するために、駆動源に
より駆動される回転主軸がランナの中心に締結さ
れ、前記ランナの上部に取外し可能な状態で設置
された研磨定盤の外周側面に研磨定盤の外径より
小さい内径で弾性を有するリング状ベルトを、前
記研磨定盤の研磨面表面側に突き出ないように
し、かつ前記研磨定盤の下側の裏面よりも突出し
て装着し、さらに、前記研磨定盤の前記ランナと
接する側の面の所定の位置に回転中心とほぼ同心
円状の溝を設け、廃液受けの内側枠を前記溝に当
たらないようにはめ込んだ構造としたことを特徴
とする廃液浸入を防止した研磨装置を要旨とす
る。

従つて本考案は、簡単に取外し可能なリング状
ベルトを研磨定盤外周側面に装着するとともに、
研磨定盤の外周に近い部分に、廃液受けの枠に対
応する溝を設けて廃液等が油の中に混入しないよ
うにすることを主要な特徴とする。

（実施例）以下、図面に沿つて本考案の実施例について説
明する。なお、実施例は一つの例示であつて、本
考案の精神を逸脱しない範囲で種々の変更あるい
は改良を行いうることは言うまでもない。

第１図は本考案の実施例を示す一部断面図であ
る。図は研磨装置の駆動源、動力伝達機構等につ
いては適宜第３図に示すような従来装置を適用で
きるので図示を省略した。

研磨装置は、中央ベース１９の中央部に従来と
同様の軸受部２０を設け、この軸受部２０上に設
置した円盤状のランナ２には、主軸３が装着して
あり、軸受部２０により回転自在に支持される。
また、主軸３には図示しない駆動源に連結され
る、回転部を構成するランナ２上に研磨定盤１を
取外し可能に装着する。この研磨定盤１とランナ
２とは主軸３に設けた研磨定盤１のガイド部１ａ
に主軸のガイド３ａを嵌入し、また、所要の位置
に配設された穴１ｂ，２ａの中に駆動ピン１５を
嵌入することで、ほぼ同芯に、かつ回転方向にス
ベリが生じないように固定される。なお、７は油
タンク１６内に充填した油である。

次に、第２図を用いて廃液浸入防止構造の詳細
について述べる。

第２図は、研磨作業中に廃液が軸受部に浸入し
ない構造を説明する分解斜視図であつて、２１は
弾性を有するリング状ベルト、１は研磨定盤、２
はランナ、３は主軸、１７は廃液受けである。研
磨定盤１には、ランナ２に接する面側の外周付近
に同心円状の溝２２が設けてあり、溝２２は廃液
受け１７の内側枠１８に対応し、かつ内側枠１８
に接触しないようになつている。リング状ベルト
２１は、研磨定盤１の外周に装着するものである
が、研磨定盤１の表側に突き出ないように、かつ
裏側には充分突き出る形状を有する。また、リン
グ状ベルト２１は、簡単に取外しができ、廃液が
リング状ベルト２１の内側に浸み込まないような
弾性を有するものならば適宜選択が可能で、例え
ば、自然の引張らない状態で研磨定盤１の外径よ
り内径の小さいリング状のゴムベルトが安価で推
奨される。このリング状ベルト２１は言うまでも
なく継ぎ目のないものがよい。

（考案の効果）以上説明したように、本考案によれば駆動源に
より駆動される回転主軸がランナの中心に締結さ
れ、前記ランナの上部に取外し可能な状態で設置
された研磨定盤の外周側面に研磨定盤の外径より
小さい内径で弾性を有するリング状ベルトを、前
記研磨定盤の研磨面表面側に突き出ないように
し、かつ前記研磨定盤の下側の裏面よりも突出し
て装着し、さらに、前記研磨定盤の前記ランナと
接する側の面の所定の位置に回転中心とほぼ同心
円状の溝を設け、廃液受けの内側枠を前記溝に当
たらないようにはめ込んだ構造としたことによ
り、研磨定盤の外周側面に研磨定盤の外径（もし
くは外周）より若干小さい内径（もしくは内周）
で研磨定盤の厚みより幅のある取り外し可能な弾
性を有するリング状ベルトを、その弾性による密
着を利用して装着し、さらに、研磨定盤のランナ
と接する面の所要な位置に回転中心とほぼ同心円
状の溝を設け、廃液受けの内側枠に対応させて、
研磨定盤をランナ上に配置し、研磨定盤を回転さ
せて研磨作業ができるので、研磨定盤とランナと
の接面に研磨剤や廃液が流れ込むのを防止でき、
接面を傷付け、研磨定盤の平行度、平面度を悪化
させることがない。また、研磨定盤を取り外した
だけで廃液受けの脱着ができるのでメンテナンス
が行ないやすい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例の研磨装置の一部断面
図、第２図は本考案の廃液受けの取付構造の分解
斜視図、第３図は従来例の研磨装置の略線断面
図、第４図は従来例の廃液受けの取付構造の分解
斜視図である。１……研磨定盤、２……ランナ、３……主軸、
４……スラスト油動圧軸受、５……ラジアル油動
圧軸受、６，１９……中央ベース、７……油、８
……モータ、９……プーリ、１０……ベルト、１
１……プーリ、１４……カバー、１５……駆動ピ
ン、１６……油タンク、１７……廃液受け、１８
……内側枠、２０……軸受部、２１……リング状
ベルト、２２……溝、１ａ……研磨定盤のガイド
部、１ｂ，２ａ……穴、３ａ……主軸ガイド、１
７ａ，１７ｂ……廃液の流入口、流出口。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

駆動源により駆動される回転主軸がランナの中
心に締結され、前記ランナの上部に取外し可能な
状態で設置された研磨定盤の外周側面に研磨定盤
の外径より小さい内径で弾性を有するリング状ベ
ルトを、前記研磨定盤の研磨面表面側に突き出な
いようにし、かつ前記研磨定盤の下側の裏面より
も突出して装着し、さらに、前記研磨定盤の前記
ランナと接する側の面の所定の位置に回転中心と
ほぼ同心円状の溝を設け、廃液受けの内側枠を前
記溝に当たらないようにはめ込んだ構造としたこ
とを特徴とする廃液浸入を防止した研磨装置。