JPH0541296A - Impulse wave delay tube - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 衝撃波遅延管からのガスの発生を防止して光
取り出しライン内を超高真空状態に保つ。
【構成】 衝撃波遅延管３０内のセル３８内の空間にＳ
ＯＲ光２９の通過を妨げない位置にチタンフィラメント
４０を配設する。このチタンフィラメント４０に外部か
ら電流を供給して蒸発させる。これにより衝撃波遅延管
３０の内周面にチタンの蒸着膜が形成される。このチタ
ン蒸着膜はガスのゲッター面として作用し、光取り出し
ライン中に浮游しているガスを吸着排気し、光取り出し
ライン内を超高真空に保つ。
(57) [Abstract] [Purpose] Generation of gas from the shock wave delay tube is prevented and the inside of the light extraction line is maintained in an ultra-high vacuum state. [Structure] S in the space inside the cell 38 in the shock wave delay tube 30
The titanium filament 40 is arranged at a position where the passage of the OR light 29 is not hindered. An electric current is externally supplied to the titanium filament 40 to evaporate it. As a result, a titanium vapor deposition film is formed on the inner peripheral surface of the shock wave delay tube 30. This titanium vapor deposition film acts as a getter surface for the gas, adsorbs and exhausts the gas floating in the light extraction line, and maintains the inside of the light extraction line in an ultrahigh vacuum.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、ＳＯＲ（シンクロト
ロン放射光）装置の光取り出しラインに配設される衝撃
波遅延管の改良に関し、衝撃波遅延管の内周面をガスの
ゲッター面として、衝撃波遅延管に真空ポンプの働きを
させることにより、光取り出しライン内の超高真空が得
られるようにしたものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement of a shock wave delay tube disposed in a light extraction line of an SOR (synchrotron radiation) device, in which the shock wave delay tube has an inner peripheral surface as a gas getter surface. By operating the delay tube as a vacuum pump, an ultra-high vacuum in the light extraction line can be obtained.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、シンクロトロン装置は、ＳＯＲ光
装置として、超々ＬＳＩ回路の作成、医療分野における
診断、分子解析、構造解析等様々な分野への適用が期待
されている。ＳＯＲ光装置の概要を図２に示す。ＳＯＲ
光装置１において、電子発生装置（電子銃等）１０で発
生した電子ビームは直線加速器（ライナック）１２で光
速近くに加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６
で偏向されて、インフレクタ１８を介してシンクロトロ
ンの蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング２２に
入射された電子ビームは高周波加速空洞２１でエネルギ
を与えられながら収束電磁石２３で収束され、偏向電磁
石２４で偏向されて真空ダクト２２内を周回し続ける。
偏向電磁石２４で偏向される時に発生するＳＯＲ光２９
は光取り出しライン２６を通して出射されて、例えば露
光装置２８に送られて超々ＬＳＩ回路作成用の光源等と
して利用される。2. Description of the Related Art In recent years, a synchrotron device is expected to be applied as an SOR optical device to various fields such as creation of ultra-ultra LSI circuits, diagnosis in the medical field, molecular analysis and structural analysis. The outline of the SOR optical device is shown in FIG. SOR
In the optical device 1, an electron beam generated by an electron generator (electron gun or the like) 10 is accelerated by a linear accelerator (linac) 12 to a speed close to the speed of light, and a deflection electromagnet 16 of the beam transport unit 14 is accelerated.
It is deflected by and is incident on the storage ring 22 of the synchrotron via the inflector 18. The electron beam incident on the storage ring 22 is converged by the converging electromagnet 23 while being given energy in the high-frequency acceleration cavity 21, is deflected by the deflection electromagnet 24, and continues to circulate in the vacuum duct 22.
SOR light 29 generated when deflected by the deflection electromagnet 24
Is emitted through the light extraction line 26 and sent to, for example, the exposure device 28 to be used as a light source or the like for creating an ultra-super LSI circuit.
【０００３】光取り出しライン２６の途中には、その端
部からの空気流入事故に備えて衝撃波遅延管３０が配設
されており、空気流入があった時にその流入を遅延し
て、上流側にある高速遮断弁３２を閉じることにより、
蓄積リング２２への空気の流入を阻止する。A shock wave delay tube 30 is provided in the middle of the light extraction line 26 in preparation for an air inflow accident from its end. By closing a high speed shutoff valve 32,
Prevents air from flowing into the storage ring 22.
【０００４】従来の衝撃波遅延管内の構造を図３に断面
図で示す。この衝撃波遅延管３０は、全体が円筒状の管
３４で構成され、その両側のフランジ３４ａ，３４ｂで
光取り出しライン２６に接続される。管３４内には円板
状の複数の仕切板３６が配設されて、複数のセル３８を
構成している。仕切板３６の中心部には孔３６ａが開設
されて、ＳＯＲ光２９がこの孔３６ａを通って出射され
るようになっている。FIG. 3 is a sectional view showing the structure of a conventional shock wave delay tube. The shock wave delay tube 30 is composed of a tube 34 having a cylindrical shape as a whole, and is connected to the light extraction line 26 by flanges 34a and 34b on both sides thereof. A plurality of disk-shaped partition plates 36 are arranged in the pipe 34 to form a plurality of cells 38. A hole 36a is formed in the center of the partition plate 36, and the SOR light 29 is emitted through the hole 36a.
【０００５】光取り出しライン２６の端部のベリリウム
窓が破壊されるなどして大気突入側Ａから空気が流入す
ると、衝撃波遅延管３０は各セル３８で流入空気を順次
遅延して蓄積リング側Ｂ側へ伝達する。したがって、こ
の遅延している間に高速遮断弁３２（図２）を閉じるこ
とにより、蓄積リング２２への空気の流入を阻止するこ
とができる。When air is introduced from the air entry side A due to destruction of the beryllium window at the end of the light extraction line 26, the shock wave delay tube 30 sequentially delays the inflow air in each cell 38 and stores it in the storage ring side B. To the side. Therefore, by closing the high speed shutoff valve 32 (FIG. 2) during this delay, the inflow of air into the storage ring 22 can be blocked.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】衝撃波遅延管３０は内
部の表面積が大きいためガスの発生源となりやすく、光
取り出しライン２６および蓄積リング２２内を１０-10
Torr等の超高真空に保つのが難しかった。この発明は、
前記従来の技術における問題点を解決して、衝撃波遅延
管からのガスの発生を防止して光取り出しラインの超高
真空が得られるようにした衝撃波遅延管を提供しようと
するものである。Since the shock wave delay tube 30 has a large internal surface area, it is likely to become a gas generation source, and the inside of the light extraction line 26 and the storage ring 22 is 10 -10.
It was difficult to maintain an ultra-high vacuum such as Torr. This invention is
It is an object of the present invention to provide a shock wave delay tube which solves the above problems in the prior art and prevents generation of gas from the shock wave delay tube to obtain an ultrahigh vacuum in the light extraction line.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】この発明は、ＳＯＲ装置
における光取り出しラインに配設されて、内部に複数の
仕切板で仕切られた複数のセルを縦列に配し、当該仕切
板に形成されたＳＯＲ光通過孔を通してＳＯＲ光が出射
される衝撃波遅延管において、前記セル内のＳＯＲ光が
通過する位置を外れた空間内に配設されたチタンフィラ
メントと、このチタンフィラメントに外部から電流を供
給する電流供給路とを具備してなるものである。According to the present invention, a plurality of cells, which are arranged in a light extraction line in an SOR device and are partitioned by a plurality of partition plates inside, are arranged in a column and are formed in the partition plates. In the shock wave delay tube in which the SOR light is emitted through the SOR light passage hole, a titanium filament disposed in a space outside the position where the SOR light passes in the cell, and an electric current is externally supplied to the titanium filament. And a current supply path for
【０００８】[0008]
【作用】この発明によれば、チタンフィラメントに通電
してチタンを蒸発させて衝撃波遅延管の内周面に付着さ
せることにより、この内周面がガスのゲッター面となる
ので、チタンサブリメーションポンプの原理で光取り出
しライン中のガスの吸着排気することができる。また、
衝撃波遅延管内周面自体からのガスの発生も防止できる
ので、光取り出しラインさらには蓄積リング内を超高真
空に保つことが可能となる。According to the present invention, by energizing the titanium filament to evaporate titanium and deposit the titanium on the inner peripheral surface of the shock wave delay tube, the inner peripheral surface serves as a getter surface for the gas. Therefore, the titanium sublimation pump is used. According to this principle, the gas in the light extraction line can be adsorbed and exhausted. Also,
Since it is possible to prevent the generation of gas from the inner peripheral surface of the shock wave delay tube itself, it is possible to maintain the light extraction line and the storage ring in an ultrahigh vacuum.
【０００９】[0009]
【実施例】この発明の一実施例を図１に断面図で示す。
また図１のＡ−Ａ矢視拡大図を図４に示す。衝撃波遅延
管３０は、全体が円筒状の管３４で構成され、その両側
のフランジ３４ａ，３４ｂで光取り出しライン２６に接
続される。管３４内には円板状の複数の仕切板３６が配
設されて、複数のセル３８を構成している。仕切板３６
の中心部にはＳＯＲ光通過孔３６ａが開設されて、ＳＯ
Ｒ光２９がこの孔３６ａを通って出射されるようになっ
ている。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention.
Further, an enlarged view taken along the line AA of FIG. 1 is shown in FIG. The shock wave delay tube 30 is composed of a cylindrical tube 34 as a whole, and is connected to the light extraction line 26 by flanges 34a and 34b on both sides thereof. A plurality of disk-shaped partition plates 36 are arranged in the pipe 34 to form a plurality of cells 38. Partition plate 36
The SOR light passage hole 36a is opened in the center of the
The R light 29 is adapted to be emitted through this hole 36a.
【００１０】各セル３８内の空間にはそれぞれチタンフ
ィラメント４０が図４に示すようにＳＯＲ光２９の通過
位置を外れてリング状に配設されている。各チタンフィ
ラメント４０は、両端部が銅等の金属ロッド４４，４６
に個々に接続されてセル３８中の空間に支持されてい
る。金属ロッド４４，４６は管３４の側部に形成された
孔４２から電流導入端子４８を介してそれぞれ外部に引
き出されて、電源に接続されており、チタンフィラメン
ト４０への給電を行なう。なお、チタンを蒸発させる時
にチタン蒸気が衝撃波遅延管３０の外に広がらないよう
に、衝撃波遅延管３０の両端部側にゲートバルブを配し
て、チタンを蒸発させる時にこのゲートバルブを閉じる
ようにするのが望ましい。As shown in FIG. 4, titanium filaments 40 are arranged in the spaces inside the cells 38 in a ring shape outside the passage position of the SOR light 29. Each titanium filament 40 has metal rods 44 and 46 made of copper or the like at both ends.
Are individually connected to and are supported in the space in the cell 38. The metal rods 44 and 46 are drawn out from the holes 42 formed in the side portion of the tube 34 to the outside through the current introduction terminals 48, respectively, and are connected to a power source to supply power to the titanium filament 40. In order to prevent titanium vapor from spreading out of the shock wave delay tube 30 when evaporating titanium, a gate valve is arranged at both end sides of the shock wave delay tube 30, and the gate valve is closed when evaporating titanium. It is desirable to do.
【００１１】図１の衝撃波遅延管３０の使用方法につい
て説明する。チタンの蒸発を行なう時は衝撃波遅延管３
０の両端部のゲートバルブを閉じてＳＯＲ光２９の出射
を停止し、チタンフィラメント４０に通電加熱して少し
ずつ昇華させる。昇華したチタン蒸気４１（図４）はゲ
ートバルブで閉じられた空間の内周面（管３４の内周面
および仕切板３６の表面）に蒸着して、チタンによるガ
スのゲッター面５０を形成する。A method of using the shock wave delay tube 30 of FIG. 1 will be described. When evaporating titanium, shock wave delay tube 3
The gate valves at both ends of 0 are closed to stop the emission of the SOR light 29, and the titanium filament 40 is energized and heated to sublimate little by little. The sublimated titanium vapor 41 (FIG. 4) is vapor-deposited on the inner peripheral surface of the space closed by the gate valve (the inner peripheral surface of the pipe 34 and the surface of the partition plate 36) to form a getter surface 50 of gas of titanium. ..
【００１２】ゲッター面５０が形成されたら、チタンフ
ィラメント４０への通電をやめ、ゲートバルブを開く。
これにより、蓄積リング２２（図２）の偏向位置から放
射されたＳＯＲ光２９は、衝撃波遅延管３０を通って出
射される。When the getter surface 50 is formed, the titanium filament 40 is de-energized and the gate valve is opened.
As a result, the SOR light 29 emitted from the deflection position of the storage ring 22 (FIG. 2) is emitted through the shock wave delay tube 30.
【００１３】この時衝撃波遅延管３０の内周面はチタン
蒸着膜によるガスのゲッター面５０を形成しているの
で、光取り出しライン２６中に浮游しているガスを吸着
排気することができる。また、衝撃波遅延管３０の内周
面自体からのガスの発生も抑えられる。したがって、光
取り出しライン２６さらには蓄積リング（図２）内を１
０-10 Torr等の超高真空に保つことができる。なお、ゲ
ッター面５０のガス吸着能力が低下したら、再び両側の
ゲートバルブを閉じて、チタン蒸着を行なう。At this time, since the inner peripheral surface of the shock wave delay tube 30 forms the gas getter surface 50 of the titanium vapor deposition film, the gas floating in the light extraction line 26 can be adsorbed and exhausted. Further, the generation of gas from the inner peripheral surface of the shock wave delay tube 30 itself can be suppressed. Therefore, the light extraction line 26 and the storage ring (FIG. 2) can be
It can be maintained in an ultra-high vacuum such as 0 -10 Torr. When the gas adsorption capacity of the getter surface 50 decreases, the gate valves on both sides are closed again, and titanium vapor deposition is performed.
【００１４】[0014]
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、チタンフィラメントに通電してチタンを蒸発させて
衝撃波遅延管の内周面に付着させることにより、この内
周面がガスのゲッター面となるので、チタンサブリメー
ションポンプの原理で光取り出しライン中のガスの吸着
排気することができる。また、衝撃波遅延管内周面自体
からのガスの発生も防止できるので、光取り出しライン
さらには蓄積リング内を超高真空に保つことが可能とな
る。As described above, according to the present invention, by energizing the titanium filament to evaporate titanium and attach it to the inner peripheral surface of the shock wave delay tube, the inner peripheral surface is a getter surface for gas. Therefore, the gas in the light extraction line can be adsorbed and exhausted by the principle of the titanium sublimation pump. In addition, since it is possible to prevent the generation of gas from the inner peripheral surface of the shock wave delay tube itself, it is possible to maintain the light extraction line and the storage ring in an ultrahigh vacuum.
【図１】この発明の一実施例を示す縦断面図である。FIG. 1 is a vertical sectional view showing an embodiment of the present invention.
【図２】ＳＯＲ装置の概要を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing an outline of an SOR device.
【図３】従来の衝撃波遅延管を示す縦断面図である。FIG. 3 is a vertical sectional view showing a conventional shock wave delay tube.
【図４】図１のＡ−Ａ矢視拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view taken along the line AA of FIG.
１ ＳＯＲ装置 ２６ 光取り出しライン ２９ ＳＯＲ光 ３０ 衝撃波遅延管 ３６ 仕切板 ３６ａ ＳＯＲ光通過孔 ３８ セル ４０ チタンフィラメント ４４，４６ 金属ロッド（電流供給路） 1 SOR device 26 Light extraction line 29 SOR light 30 Shock wave delay tube 36 Partition plate 36a SOR light passage hole 38 Cell 40 Titanium filament 44,46 Metal rod (current supply path)
Claims (1)
設されて、内部に複数の仕切板で仕切られた複数のセル
を縦列に配し、当該仕切板に形成されたＳＯＲ光通過孔
を通してＳＯＲ光が出射される衝撃波遅延管において、 前記セル内のＳＯＲ光が通過する位置を外れた空間内に
配設されたチタンフィラメントと、 このチタンフィラメントに外部から電流を供給する電流
供給路とを具備してなる衝撃波遅延管。1. A plurality of cells, which are arranged in a light extraction line of a SOR device and are partitioned by a plurality of partition plates inside, are arranged in columns, and SOR light is passed through SOR light passage holes formed in the partition plates. In a shock wave delay tube that emits, a titanium filament is provided in a space outside the position where the SOR light in the cell passes, and a current supply path that supplies a current from the outside to the titanium filament. Shock wave delay tube.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21481691A JPH0541296A (en) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | Impulse wave delay tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21481691A JPH0541296A (en) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | Impulse wave delay tube |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0541296A true JPH0541296A (en) | 1993-02-19 |
Family
ID=16662002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21481691A Pending JPH0541296A (en) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | Impulse wave delay tube |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0541296A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6060148A (en) * | 1997-03-28 | 2000-05-09 | Ngk Insulators, Ltd. | Ceramic honeycomb structural body |
| US8007556B2 (en) * | 2003-12-24 | 2011-08-30 | Saint-Gobain Centre De Recherches Et D'etudes Europeen | Block for filtering particles contained in exhaust gases of an internal combustion engine |
-
1991
- 1991-07-31 JP JP21481691A patent/JPH0541296A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6060148A (en) * | 1997-03-28 | 2000-05-09 | Ngk Insulators, Ltd. | Ceramic honeycomb structural body |
| US8007556B2 (en) * | 2003-12-24 | 2011-08-30 | Saint-Gobain Centre De Recherches Et D'etudes Europeen | Block for filtering particles contained in exhaust gases of an internal combustion engine |
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