JPH0541404A - 熱硬化性樹脂シート及びそれを用いた半導体素子の実装方法 - Google Patents

熱硬化性樹脂シート及びそれを用いた半導体素子の実装方法

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JPH0541404A
JPH0541404A JP3221010A JP22101091A JPH0541404A JP H0541404 A JPH0541404 A JP H0541404A JP 3221010 A JP3221010 A JP 3221010A JP 22101091 A JP22101091 A JP 22101091A JP H0541404 A JPH0541404 A JP H0541404A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】半導体素子と回路基板の実装の際、熱硬化性樹
脂シートの接着面積が小さくても、収縮力が大きく、接
触不良のない実装方法を提供する。 【構成】回路基板11の配線パターン13以外の部分に、熱
収縮性粒子21を分散含有させた熱硬化性樹脂シート20を
接着し、半導体素子10上のバンプ12と配線パターン13の
位置合わせを行なう。その後、樹脂シート20を硬化させ
る工程と収縮させる工程を施す。 【効果】熱収縮性粒子21の含有により収縮力が増加する
ため、半導体素子10上のバンプ数が増えても１バンプ当
たりに作用する収縮力が小さくなるようなことがなく、
バンプ12と配線パターン13の良好な押圧状態が維持で
き、実装の信頼性が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩ等の半導体素子
のフェイスダウン方式の実装方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＳｉやＧａＡｓを材料に用いた半導体素
子を回路基板に実装する方法として、フリップチップ法
がある。これは、突起電極（以下「バンプ」と云う）が
形成された半導体素子をフェイスダウン方式で、回路基
板に接続する方法である。
【０００３】図１に、従来例を示す。同図は、半導体素
子10を回路基板11に実装した状態の断面図である。ここ
で、12は半導体素子10上にハンダや金などで形成された
バンプであり、回路基板11上のＩＴＯ（Indium Tin Oxi
de）膜などで形成された配線パターン13と接続される。
14は半導体素子10と回路基板11を固定するための熱硬化
性樹脂シートである。この熱硬化性樹脂シート14は、加
熱により硬化し、その硬化に伴なう体積収縮によって、
半導体素子10と回路基板11を固定している。
【０００４】上述の実装方法の手順は、まず回路基板11
上に２５μｍ程度の厚みの熱硬化性樹脂シート14を接着
する。続いて、半導体素子10をフェイスダウンで、バン
プ12と回路基板11上の配線パターン13の位置合わせを行
ないながら配置する。その後、加熱加圧装置（不図示）
により、バンプ12と配線パターン13を押圧した状態を保
ちつつ、熱硬化性樹脂シート14を硬化させる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、熱硬化
性樹脂シート14の硬化時の体積収縮力を利用して、半導
体素子10上のバンプ12と回路基板11上の配線パターン13
を圧接するような場合、熱硬化性樹脂シート14は、通
常、半導体素子10の中心に存し、その部分のみでバンプ
12と配線パターン13の押圧状態を維持することになる。
しかしながら、熱硬化性樹脂シート14の貼付面積に対し
てバンプ数が多くなったときには、１バンプ当たりに作
用する樹脂の収縮力が小さくなってしまい、バンプ12と
配線パターン13の良好な押圧状態を維持できなくなる。
これにより、接続不良が発生するという問題が生じてい
た。本発明は、このような問題を解決し、熱硬化性樹脂
シートの接着面積が小さくても収縮力が大きく、バンプ
と配線パターン間で接触不良等が生じない実装方法を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の実装方法は、半導体素子と回路基板の接続
を行なう実装方法であって、前記半導体素子上に形成さ
れたバンプと、前記回路基板上に形成された前記バンプ
と対向する配線パターンとを位置合わせし、前記半導体
素子と前記回路基板との間に、前記バンプと同程度の厚
みを持ち熱収縮性粒子を含有した熱硬化性樹脂シートを
介し、前記熱硬化性樹脂シートの硬化及び収縮を行なっ
ている。また、前記熱収縮性粒子の収縮温度は、前記熱
硬化性樹脂シートの硬化温度より高くなっており、前記
熱硬化性樹脂シートは、前記バンプと前記配線パターン
の間にない。
【０００７】
【作用】このようにすると、半導体素子と回路基板の実
装の際、従来の熱硬化性樹脂シートの収縮力に、熱収縮
性粒子による収縮力が加わるので、シートとしての収縮
力が増す。従って、半導体素子のバンプと回路基板の配
線パターン間で接触不良が生じず、実装の信頼性の向上
が図れる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ、
説明する。図２に、本発明を実施した実装構造を示す。
ここで使用されているシート20は、熱硬化性樹脂シート
に熱収縮性粒子21を含有したもので、例えば、従来から
用いられているエポキシ樹脂に直径５〜２０μｍのＰＶ
Ｃ（ポリビニルクロライド：塩化ビニル）の粒子を分散
含有したものである。エポキシ樹脂が最大５％程度の体
積収縮率であるのに対し、ＰＶＣは最大５０％の体積収
縮率を有している。この約１０倍の体積収縮率を、厚さ
方向のみで考えると、約 ２.１５倍となる。即ち、熱収
縮性粒子としてＰＶＣを体積比１０％で添加すると、樹
脂シートとしては約２０％収縮力が増加することにな
り、同一形状のシートの場合、バンプ数を２０％増加さ
せても、従来のバンプと配線パターンの押圧状態が維持
できることになる。
【０００９】図２に戻って、本発明の実装方法を用い
た、半導体素子10と回路基板11の実装について説明す
る。まず、回路基板11の配線パターン13以外の部分に、
厚さ２０〜２５μｍのＰＶＣを含有したエポキシ樹脂シ
ート20を仮接着する。続いて、半導体素子10上に形成さ
れたバンプ12と、回路基板11上に形成された配線パター
ン13とを位置合わせして、半導体素子10をフェイスダウ
ンで配置する。次に、加熱加圧装置（不図示）により、
半導体素子10の裏面より加熱加圧する。ここでは、温度
は６０〜８０゜ｃ、圧力は６０〜８０ｇ／バンプ、時間
は３０〜６０秒としている。樹脂シート20に含有されて
いる熱収縮性粒子21（ＰＶＣ）は約１００゜ｃで収縮を
開始するため、この加熱加圧時には、エポキシ樹脂の硬
化のみで熱収縮性粒子21（ＰＶＣ）の収縮は生じない。
その後、半導体素子10が接続された回路基板11を１２０
゜ｃのオーブン中に１〜２分投入し、熱収縮性粒子21
（ＰＶＣ）を収縮させて、実装を完了させる。図２で
は、バンプ数が同じである図１の場合と較べ、半導体素
子10のバンプ12と回路基板11上の配線パターン13との接
触の強度が違う。図２の方が圧接された状態であり、よ
り強度が大きい。従って、バンプ数が増加しても、バン
プと配線パターンの押圧状態は良好である。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
半導体素子と回路基板の実装の際、熱硬化性樹脂シート
に熱収縮性粒子を含有させることによって、その収縮力
を増加させることができる。従って、半導体素子のバン
プ数が増えても１バンプ当たりに作用する樹脂シートの
収縮力が小さくならず、接触不良等が生じることがない
ので、実装の信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 従来の実装構造を説明するための図。
【図２】 本発明を実施した実装構造を示す図。
【符号の説明】
10 半導体素子 11 回路基板 12 バンプ 13 配線パターン 14 熱硬化性樹脂シート 20 熱収縮性粒子を含有させた熱硬化性樹脂シート 21 熱収縮性粒子
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年１１月５日
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 熱硬化性樹脂シート及びそれを用
いた半導体素子の実装方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、熱硬化
性樹脂シート14の硬化時の体積収縮力を利用して、半導
体素子10上のバンプ12と回路基板11上の配線パターン13
を圧接するような場合、熱硬化性樹脂シート14は、通
常、半導体素子10の中心に存し、その部分のみでバンプ
12と配線パターン13の押圧状態を維持することになる。
しかしながら、熱硬化性樹脂シート14の貼付面積に対し
てバンプ数が多くなったときには、１バンプ当たりに作
用する樹脂の収縮力が小さくなってしまい、バンプ12と
配線パターン13の良好な押圧状態を維持できなくなる。
これにより、接続不良が発生するという問題が生じてい
た。本発明は、このような問題を解決し、接着面積が小
さくても収縮力が大きく、バンプと配線パターン間で接
触不良等が生じない熱硬化性樹脂シート及びそれを用い
た実装方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の熱硬化性樹脂シートは、半導体素子と回路
基板の接続を行なうとき使用する熱硬化性樹脂シートで
あって、熱収縮性粒子を含有している。そして、前記熱
収縮性粒子の収縮温度が、前記熱硬化性樹脂シート本体
の硬化温度より高くなっている。また、本発明の実装方
法は、半導体素子と回路基板の接続を行なう実装方法で
あって、前記半導体素子上に形成されたバンプと、前記
回路基板上に形成された前記バンプと対向する配線パタ
ーンとを位置合わせし、前記半導体素子と前記回路回路
基板との間に、前記バンプと同程度の厚みを持ち熱収縮
性粒子を含有した熱硬化性樹脂シートを介し、前記熱硬
化性樹脂シートの硬化及び収縮を行なっている。そし
て、前記熱硬化性樹脂シートは、前記バンプと前記配線
パターンの間にない。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体素子と回路基板の接続を行なう実
    装方法であって、 前記半導体素子上に形成された突起電極と、前記回路基
    板上に形成された前記突起電極と対向する配線パターン
    とを位置合わせし、 前記半導体素子と前記回路基板との間に、前記突起電極
    と同程度の厚みを持ち熱収縮性粒子を含有した熱硬化性
    樹脂シートを介し、前記熱硬化性樹脂シートの硬化及び
    収縮を行なうことを特徴とする半導体素子の実装方法。
  2. 【請求項２】 前記熱収縮性粒子の収縮温度が、前記熱
    硬化性樹脂シートの硬化温度より高いことを特徴とする
    請求項１に記載の半導体素子の実装方法。
  3. 【請求項３】 前記熱硬化性樹脂シートが、前記突起電
    極と前記配線パターンの間にないことを特徴とする請求
    項１に記載の半導体素子の実装方法。
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