JPH0542377Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、光エネルギーの照射で試料から放出
された電子の数を計数する電子計数装置に関す
る。

（従来技術） 従来、この種の電子計数装置としては、例えば
第４図のものが知られている。

第４図において、１は電子検出部であり、陰極
を構成する金属ケース２内に絶縁材３を介して陽
極リング４が支持され、陽極リング４には電気回
路５側から3.4KV程度の高電圧が印加されてい
る。

金属ケース２は下部に電子を導入するための検
出窓６を備え、この検出窓６に対し陽極リング４
に続いて第１格子電極７、第２格子電極８が順次
設けられ、第１格子電極７は電気回路５により例
えば100Vの電圧の印加を受け、また第２格子電
極８は電気回路５側から例えば80Vの電圧の印加
を受けている。

検出窓６の下には試料台９が配置され、試料台
９に収納した試料１０に対しては光源装置１１よ
り所定波長域の単色光が照射され、この光エネル
ギーの照射を受けて試料１０から電子が放出され
る。試料から放出された電子は、第２格子電極
８、第１格子電極７を通過して陽極リング４に引
かれ、陽極リング４に近づくと、高電界による気
体放電現象が引き起こされ、この気体放電現象に
より陽極電圧が低下する。この気体放電現象によ
る陽極電圧の変化は電気回路５で検出され、第１
格子電極７にそれまでの100Vから例えば400Vに
アツプする矩形パルスを与え、同時に第２格子電
極にそれまでの80Vから例えば−30Vに下げる矩
形パルスを与え、なだれ的な気体放電現象の進展
を押えると共に、外部からの電子の導入を遮蔽す
る。

以下、試料からの放出電子が導入される毎に同
様な動作が繰り返され、陽極電圧のパルス変化の
数から電子数を計数する。

ところで、このような従来の電子計数装置にあ
つては、電子検出部１内の湿度の影響を受けて計
数率のＳ／Ｎ比が悪くなるという問題があり、こ
れを解決するために、電子検出部１内に配管１２
によつてドライエアー等の乾燥したガスを送り込
み、湿度の影響を無くすようにしている。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、このような従来の乾燥したガス
を電子検出部内に送り込むようにした装置にあつ
ては、ドライエアー等の乾燥したガスを流しつぱ
なしにしていたため、例えばボンベに充填したド
ライエアーを使用したような場合には、ドライエ
アーの消費量が多くなり、ランニングコストが高
くなるという問題があつた。

（問題点を解決するための手段） 本考案は、このような従来の問題点に鑑みてな
されたもので、電子検出部内の湿度を無くすため
に流すドライエアー等の乾燥したガスを無駄なく
使用して経済的で且つ安定した電子計数ができる
電子計数装置を提供することを目的とする。

この目的を達成するため本考案にあつては、試
料に光を照射し、該試料から放出される電子を電
子検出部に導入して電子の数を計数する電子計数
装置に於いて、前記試料の設置台を含む電子検出
部内を密閉構造とし、該密閉構造とした前記電子
検出部内の上部の雰囲気を吸引すると共に水分を
除去したドライエアー、不活性ガス等のドライガ
スを前記電子検出部の下部へ送り込んで前記電子
検出部内で下方から上方に循環し、かつ循環させ
る流量をドライガスの電子検出部への吹き出しで
陽極リングが揺れ動かない程度の所定流量とする
ドライガス循環手段を設けるようにしたものであ
る。

（作用） このような本考案の構成によれば、密閉構造を
とつた電子検出部内の雰囲気を吸引してドライガ
ス発生装置で水分を除去した後に送り込んで循環
させるか、あるいはボンベに充填したドライガス
又は適宜の不活性ガスを検出部内に送り込んで湿
度をもつた雰囲気を排出した後にドライガスを循
環させるようになり、測定時に使用するドライガ
スの量は電子検出部内の容積で決まる所定量で済
むことから、ドライガスを無駄に使用することな
く検出部内の湿度を無くすことで安定した電子計
数を行なうことができる。

また、ドライガスを電子検出部の下部へ送り込
んで前記電子検出部内で下方から上方に循環し、
かつ循環させる流量をドライガスの電子検出部へ
の吹き出しで陽極リングが揺れ動かない程度の所
定流量としたことにより、試料から放出された電
子がドライガスのガス流に乗つて運ばれることに
なり、したがつて、試料から放出された電子を効
率良く電子検出部内に導入することができ、かつ
安定して電子の計数を行うことができる。

（実施例） 第１図は本考案の一実施例を示した説明図であ
る。

まず構成を説明すると、１は電子検出部であ
り、陰極を構成する金属ケース２内に絶縁部材３
を介して陽極リング４を吊下げ状態で支持してお
り、陽極リング４に続いては第１格子電極７及び
第２格子電極８が順次設けられ、その下方には試
料１０を収納する試料台９が配置されている。ま
た、陽極リング４、第１及び第２格子電極７，８
のそれぞれに対しては金属ケース２の上部に収納
した電気回路５より所定の電圧が印加されてい
る。

このような電子検出部１の構造は従来と同じで
あるが、これに加えて本考案にあつては、試料台
９を含む電子検出部１内を一体化したケース部材
とすることで密閉構造としている。また、電子検
出部１内を密閉構造としたことに伴い光源装置１
から試料１０に対し光を照射する部分には透過窓
１３が設けられ、更に試料台９の右側には開閉自
在な扉１４を設けた試料取出口１５が形成されて
いる。

更に、密閉構造をとつた電子検出部１に対して
は金属ケース２の上部から下部の間を連絡する配
管１６が設けられ、この配管１６には流量計１
７、ポンプ１８及びドライガス発生装置２０が設
けられている。流量計１７は電子検出部１内に対
するドライガスの循環流量を測定しており、また
ポンプ１８は例えば矢印で示すように金属ケース
２の上部から吹込んだ雰囲気をケース下部に送り
込むように駆動される。更に、ドライガス発生装
置２０は密閉容器の中にシリカゲル等の乾燥剤を
充填しており、ポンプ１８から送り出された雰囲
気中に含まれる水分を吸着除去してドライガスと
して電子検出部１内に送り込むようになる。

次に、第１図の実施例の作用を説明すると、扉
１４を開いて試料取出口１５から試料台９に図示
のように試料１０をセツトしたならば、扉１４を
閉じて電子検出部１内を密閉状態とする。

続いてポンプ１８を作動することで配管１６に
よつて金属ケース２の上部から電子検出部１内の
雰囲気を吸込んでドライガス発生装置２０に送り
込み、ドライガス発生装置２０で雰囲気中の水分
を除去してドライガスとして金属ケース２の下部
に送り込む。勿論、配管１６による循環流量は流
量計１７の測定流量を見ることで配管２０からの
ドライガスの吹出しで陽極リング４が揺れ動かな
い程度の所定流量とする。

ポンプ１８の駆動による雰囲気の循環によるド
ライガスの発生をある程度続けると、電子検出部
１内の雰囲気中の水分が略完全に除去されるよう
になり、雰囲気中の湿度が略零となつた状態で光
源装置１１から透過窓１３を介して試料１０に所
定波長域の単色光を照射して電子を放出させ、放
出電子を陽極リング４側に導入することで生じた
気体放電現象に基づく電子の計数処理を行なわせ
る。勿論、この測定中にあつても、ポンプ１８の
運転を継続することで、ドライガスの循環を継続
する。

第１図の矢印で示すように電子検出部１内の下
方から上方にドライガスの循環を行なつた場合に
は、試料１０から放出された電子を効率良く陽極
リング４に引き寄せて電子数の計数を行なうこと
ができる。即ち、試料１０から放出された電子
は、空気中の酸素分子に付着して電子検出部１内
に入り込んでくることから、この時、図示のよう
に試料１０側から電子検出部１内にドライガスを
循環させることで、ドライガスのガス流れに乗つ
て放出された電子が運ばれることとなり、試料１
０から放出された電子を効率良く電子検出部１内
に導入することができる。

第２図は本考案の他の実施例を示した説明図で
あり、この実施例にあつてはボンベに充填したド
ライエアー若しくは不活性ガスを循環させるよう
にしたことを特徴とする。

即ち、第１図の実施例と同様密閉構造をもつた
電子検出部１の上下の間に配管１６を接続し、配
管１６と並列にドライエアーや不活性ガス等のド
ライガスを発生するガス発生装置２２を配管２４
によつて接続しており、配管１６の出入口側のそ
れぞれには流量計１７とポンプ１８が設けられ
る。更にガス発生装置２２の前後には切換バルブ
２５，２６を設けると共にガス発生装置２２を備
えた配管２４と並列な配管１６の部分にも切換バ
ルブ２７を設け、更に流量計１７の出口側に切換
バルブ２９を介して排気管３０を接続している。

この第２図の実施例の作用は、まず試料台９に
試料１０をセツトして扉１４を閉めた状態で、切
換バルブ２６を開いてガス発生装置２２をポンプ
１８の吸込側に連通し、且つ切換バルブ２９を開
いて排気管３０に連通する。一方、切換バルブ２
５，２７のそれぞれは閉鎖状態とする。

このようなバルブの切換状態によりガス発生装
置２２から発生されたドライエアーや不活性ガス
は、ポンプ１８で吸引されて電子検出部１内に送
り込まれ、このドライガスの送り込みで湿度をも
つた電子検出部１内の雰囲気が押出され、切換バ
ルブ２９を介して排気管３０より排出される。

ガス発生装置２２からのドライガスのポンプ１
８による送り込みで電子検出部１内にドライガス
が充満されたならば、切換バルブ２６及び２９を
閉じ、同時に切換バルブ２７を開く。このバルブ
切換で配管１６による循環経路が構成され、電子
検出部１内に充満したドライガスをポンプ１８に
より循環させるようになる。

図示のように下方から上方に流す循環方向の方
が試料１０から放出された電子の電子検出部１内
への送り込みが効率良くできる。

第３図は本考案の他の実施例を示した説明図で
あり、この実施例は電子検出部１を直接密閉構造
とぜすに電子検出部１、試料台９及び光源装置１
１を密閉容器３２内に組込んだことを特徴とし、
配管１６を電子検出部１の上部に接続して流量計
１７を介してポンプ１８により吸込み、ドライガ
ス発生装置２０で水分を除去したドライガスを密
閉容器３２内に送り込むようにしている。勿論、
密閉容器３２の試料台９に相対した位置には開閉
自在な扉１４を備えた試料取出口１５が設けられ
ている。

この第３図に示す密閉容器３２を用いた構造
は、第２図の循環系統をもつた場合についてもそ
のまま適用することができる。

更に第２図の実施例にあつては、ガス発生装置
２２からアルゴン等の不活性ガスを供給しても不
活性ガスを無駄なく使用できることから、例えば
ドライエアー（空気）の場合には光源装置１１か
らの光の波長が200nm以下の場合には大きな光減
衰を受けて使用することができなかつたが、アル
ゴン等の不活性ガスの循環で無駄なく不活性ガス
を使用できることから、試料１０に対し光源装置
１１より100nmのように波長の短い光を減衰する
ことなく照射することができ、電子計数装置に使
用する光源装置からの光波長域を大幅に拡大する
ことができる。

（考案の効果） 以上説明してきたように本考案によれば、試料
に光を照射し、試料から放出される電子を電子検
出部に導入して電子の数を計数する電子計数装置
において、試料の設置台を含む電子検出部内を密
閉構造とし、密閉構造とした電子検出部内の雰囲
気を吸引すると共に水分を除去したドライエア
ー、不活性ガス等のドライガスを送り込んで循環
させるドライガス循環手段を設けるようにしたた
め、ボンベに充填したドライエアーや不活性ガス
を使用しても、電子検出部内の容積で決まる量の
ドライガスを使用するだけで電子検出部内の湿度
をなくして安定した電子計数を行なうことがで
き、ドライガスを無駄に使用することがないた
め、ランニングコストを大幅に下げた経済的な電
子計数を行なうことができる。

また、ドライガスを電子検出部の下部へ送り込
んで前記電子検出部内で下方から上方に循環し、
かつ循環させる流量をドライガスの電子検出部へ
の吹き出しで陽極リングが揺れ動かない程度の所
定流量としたことにより、試料から放出された電
子がドライガスのガス流に乗つて運ばれることに
なり、したがつて、試料から放出された電子を効
率良く電子検出部内に導入することができ、かつ
安定して電子の計数を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示した説明図、第
２，３図は本考案の他の実施例を示した説明図、
第４図は従来例を示した説明図である。 １……電子検出部、２……金属ケース（陰極）、
３……絶縁材、４……陽極リング、５……電気回
路、７……第１格子電極、８……第２格子電極、
９……試料台、１０……試料、１１……光源装
置、１３……透過窓、１４……扉、１５……試料
取出口、１６，２４……配管、１７……流量計、
１８……ポンプ、２０……ドライガス発生装置、
２２……ガス発生装置、２５，２６，２７，２９
……切換バルブ、３０……排気管、３２……密閉
容器。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 試料に光を照射し、該試料から放出される電子
   を電子検出部に導入して電子の数を計数する電子
   計数装置に於いて、 前記試料の設置台を含む電子検出部内を密閉構
   造とし、該密閉構造とした前記電子検出部内の上
   部の雰囲気を吸引すると共に水分を除去したドラ
   イエアー、不活性ガス等のドライガスを前記電子
   検出部の下部へ送り込んで前記電子検出部内で下
   方から上方に循環し、かつ循環させる流量をドラ
   イガスの電子検出部への吹き出しで陽極リングが
   揺れ動かない程度の所定流量とするドライガス循
   環手段を設けたことを特徴とする電子計数装置。