JPH0542491A - 磁気吸着ワーク屑の取外し装置 - Google Patents

磁気吸着ワーク屑の取外し装置

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JPH0542491A
JPH0542491A JP20509391A JP20509391A JPH0542491A JP H0542491 A JPH0542491 A JP H0542491A JP 20509391 A JP20509391 A JP 20509391A JP 20509391 A JP20509391 A JP 20509391A JP H0542491 A JPH0542491 A JP H0542491A
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JP
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magnetic attraction
scraps
workpiece
work
magnetic
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JP20509391A
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English (en)
Inventor
Akira Nihei
亮 二瓶
Akihiro Terada
彰弘 寺田
Hidemichi Kurebayashi
秀倫 榑林
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Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明の目的は、レーザ加工における磁気吸
着装置に具備されて同吸着装置に吸着保持された被加工
ワーク屑の取り外しを簡単な構成でかつ、自動的に遂行
可能な加工ワーク屑の取外し装置を提供せんとするもの
である。 【構成】 本発明は、磁気吸着装置(21a〜21d)
に接近、配置され、その磁気吸着部(22、32、4
2、52)に吸着された被加工ワーク屑(W1)を電磁
石の帯磁、消磁を制御手段(30、32)で制御して消
磁により取外し、または機械的に剥奪する取外し手段
(34、44、53)で掻き落とすように、或いは磁気
吸着部(42)かち空気噴出孔(46)を噴出させて吹
き落とすように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ加工機またはレ
ーザロボット等で板物ワークの孔明け加工等を行う場合
に適用される磁気吸着ワーク屑の取外し装置に関し、特
に、レーザ加工ヘッドにより鋼板等のレーザ孔明け加工
を行うとき、被加工ワークから切り出されたワーク屑を
落下させることなく、磁気吸着装置で吸着した場合に、
その吸着した不用のワーク屑を磁気吸着装置から簡単に
取外すための磁気吸着ワーク屑の取外し装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近時、自動車の生産ライン等において
は、車体を形成する薄鋼板等を組立ライン等で必要に応
じて孔明け等の加工処理をレーザロボットで行う場合が
ある。このような場合には、レーザロボットの先端にエ
ンドエフェクタとして設けられたレーザ加工ヘッドを車
体に接近させて、例えば、既に車体に取付けられた被加
工対象である扉板等にレーザ加工ヘッドからレーザ光を
照射して孔明け切断作業を遂行する。そのとき、被加工
ワークである扉面から切り落とされるワーク屑が、車体
内部に落下して残存することを回避するために、レーザ
加工ヘッドの周囲に吸着手段を設け、ワーク屑が被加工
ワークから切り出されたときに、吸着式にワーク屑を捕
獲することは既に実施されている。このような吸着式の
ワーク屑捕獲手段に、真空吸着方式が採用された場合
は、ワーク屑を所定の屑集積場に運び、その時点で吸着
手段に作用している真空吸着力を解放すれば、簡単にワ
ーク屑を取り外し、投棄することが可能である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、吸着手段
が磁気吸着手段で形成されている場合には、レーザ加工
ヘッドによる加工直後に被加工ワークから切除された被
加工ワーク屑を簡単に同吸着手段から取り外しする方法
や装置は未だ提供されていない。従って、本発明の目的
は、レーザ加工ヘッドによる特に、磁気的吸着手段で加
工直後にワーク屑を吸着、保持したときに、その吸着、
保持した加工屑を、簡単に除去することが可能な磁気吸
着ワーク屑の取外し装置を提供せんとするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザ加工装
置の加工ヘッドに近接配置した磁気吸着装置から被加工
ワーク屑を取り外す装置において、同磁気吸着装置の磁
気吸着部を電磁石から形成する場合には、同電磁石の帯
磁と消磁とを制御して被加工ワーク屑の吸着時には帯磁
し、取外し時には消磁する制御手段を設け、また、磁気
吸着部を永久磁石から形成する場合には、磁気吸着部に
吸着された被加工ワークを磁気吸着部の相対的な移動に
従って機械的に掻き落とす取外し手段と、同取外し手段
に対する磁気吸着部の相対的移動を駆動する駆動手段と
を設ける構成、又は空気圧を磁気吸着部に設けた吹き出
し孔から噴出させて、同磁気吸着部に吸着された被加工
ワーク屑を空気圧で吹き落とす手段を具備した被加工ワ
ーク屑の取り外す装置としたものである。
【0005】即ち、本発明によれば、レーザ加工装置の
加工ヘッドに近接配置した磁気吸着装置から被加工ワー
ク屑を取り外す装置において、前記磁気吸着装置の磁気
吸着部を電磁石によって形成し、前記磁気吸着装置を帯
磁と消磁を制御する制御手段を備え、前記磁気吸着部の
前記電磁石を消磁することにより、吸着した被加工ワー
ク屑を取り外すことを特徴とした磁気吸着ワーク屑の取
外し装置が提供される。また、本発明によれば、レーザ
加工装置の加工ヘッドに近接配置した磁気吸着装置から
被加工ワーク屑を取り外す装置において、前記磁気吸着
装置の磁気吸着部を永久磁石によって形成し、被加工ワ
ーク屑を吸着した前記永久磁石から成る磁気吸着部との
間の相対的移動により、該被加工屑を該吸着部から機械
的に掻き落とす掻き取り片から成る取外し手段と、前記
磁気吸着と前記取外し手段との間の相対移動を生起させ
る被加工ワーク屑の取外し駆動手段とを、具備して構成
されたことを特徴とする磁気吸着ワーク屑の取外し装置
が提供される。
【0006】更に、本発明によれば、レーザ加工装置の
加工ヘッドに近接配置した磁気吸着装置から被加工ワー
ク屑を取り外す装置において、前記磁気吸着装置の磁気
吸着部を電磁石又は永久磁石から形成し、該磁気吸着部
に設けられた空気吹き出し孔と、該空気吹き出し孔に接
続した加圧空気源と、該加圧空気源と前記空気吹き出し
孔との間を所要に応じて開通する制御弁とを具備して構
成されたことを特徴とする磁気吸着ワーク屑の取外し装
置が提供される。
【0007】
【作用】本発明によれば、レーザ加工ヘッドに接近配置
される磁気吸着装置において、磁気吸着部が電磁石から
形成されるときは、被加工ワーク屑を吸着する時に磁気
的吸着部を帯磁させ、吸着した被加工ワークを取り外す
時は、消磁することにより、簡単にかつ、自動的にレー
ザ加工ヘッドの磁気吸着装置から被加工ワーク屑を取り
外すことができる。また、磁気的吸着部が永久磁石から
形成されている場合には、吸着された被加工ワークを、
磁気吸着部から機械的に掻き落とす掻き取り片から成る
取外し手段に対して磁気吸着装置を相対的に移動させ、
その移動によって取外し手段が吸着された被加工ワーク
屑を磁気吸着部から剥奪動作または掻き落とし動作して
取外しを行うのである。更に、磁気吸着部の空気吹き出
し孔から圧力空気を噴出させ、その噴出圧力で被加工ワ
ーク屑を取り外すものである。なお、上述した磁気吸着
ワーク屑の取外し装置は、レーザロボットのレーザ加工
ヘッドに接近配置された磁気吸着装置に具備させる場合
のみならず、レーザ切断機等の一般的なレーザ加工機に
も適用可能であることは言うまでもない。以下、本発明
を添付図面に示す実施例に従って、更に詳細に説明す
る。
【0008】
【実施例】図1は、本発明の1実施例による磁気吸着ワ
ーク屑の取外し装置の構成を示す側面図、図2は、同装
置の作用を説明するための同様の側面図、図3は他の実
施例の構成を示す側面図と矢視線3ー3による断面図、
図4は、被加工屑を磁気吸着装置の吸着部から機械的に
掻き落とす取外し手段の他の例を説明図示した部分図、
図5は、本発明による更に他の実施例による磁気吸着ワ
ーク屑の取外し装置を示した側面図と矢視5ー5線によ
る底面図、図6は本発明の他の実施例による磁気吸着ワ
ーク屑の取外し装置を示した側面図と矢視6ー6線によ
る機械的取外し手段の正面図、図7は図6の機械的取外
し手段の斜視図、図8は、本発明による磁気吸着ワーク
屑の取外し装置を適用するレーザロボットの1例を示す
正面図である。
【0009】ここで先ず、図8を参照すると、レーザ加
工ヘッドを備えたレーザロボットの1例が示されてい
る。同レーザロボット10は、ロボット基台11に立設
した旋回性のコラム12を有し、同コラム12の上方部
には水平軸線まわりに旋回可能なロボットアーム14を
備えている。このロボットアーム14の内部にはレーザ
ビーム通路16が設けられ、ロボット機体外のレーザ発
振機から、レーザビーム導管路(図示なし)を経由して
例えば、コラム12の上端等に導入されたレーザビーム
を同レーザビーム通路16及び反射ミラー19を経由し
て複数の動作自由度を有したロボット手首18に導き、
このロボット手首18に設けられたレーザ加工ヘッド2
0からレーザビームを被加工ワーク(図示なし)に出射
し、例えば同被加工ワークが薄鋼板であるときに、その
切断、孔明け等の加工を実施する構成を有している。そ
して、このとき、孔明け加工等によって発生した被加工
ワーク屑が落下し、例えば、自動車生産ラインの車体内
部に落下して取出し不可のまま、その車体内部に取り残
されることを防止すべく、レーザ加工ヘッド20のレー
ザビーム出射口の近傍に磁気吸着装置21が設けられる
のである。尚、Mw,Mθ,Mβ,Mγ等はロボットア
ーム14及びロボット手首18の駆動モータを示してい
る。
【0010】本発明は、このような磁気吸着装置21に
より吸着した被加工ワーク屑を、例えば、加工領域外等
で簡単に、かつ、自動的に取外し可能とする磁気吸着ワ
ーク屑の取外し装置を提供せんとするものである。さ
て、図1及び図2を参照すると、レーザ加工ヘッドに近
接、配置された磁気吸着装置12aに具備された磁気吸
着ワーク屑の取外し装置の1実施例が示されている。両
図において、レーザ加工ヘッド20は最先端にレーザビ
ーム出射口20aを備え、被加工ワークWに孔明け切断
等の加工処理を遂行するためにレーザビームを出射す
る。図1においては、被加工ワーク屑W1が磁気吸着装
置21aの磁気吸着部22(点線図示のもの)で吸着さ
れている場合を示すと共に、加工前には同磁気吸着装置
21aの磁気吸着部22は加工位置から実線で示した位
置に後退しており、レーザ加工ヘッド20の位置決め動
作等に支障を来すことがないようにしている。なお、図
2においては、被加工ワークWに孔明け処理が遂行さ
れ、それによって切り取られた被加工ワーク屑W1を磁
気吸着装置21aの磁気吸着部22が吸着、保持の作用
をしている状態を示している。
【0011】さて、本実施例は、磁気吸着装置21aの
磁気吸着部22は電磁石で形成されている場合を示して
いる。電磁石によって形成された磁気吸着部22は、適
宜の保持ブラケット23で保持された流体シリンダ装置
24により、レーザ加工ヘッド20の出射口20aの直
近まで前進し(点線表示)、またそこから実線表示した
後退位置へ退避可能に形成されており、保持ブラケット
23がレーザ加工ヘッド20の後端の適宜位置にねじ手
段等の適宜固定手段で位置調節可能に取付けられてい
る。
【0012】上記磁気吸着装置21aは、プログラマブ
ルコントローラ30を介して又は直接的にレーザ加工機
またはレーザロボット(本例はレーザロボットの場合を
示している)のコントローラ32に接続され、磁気吸着
作用のタイミングが制御される。また、同磁気吸着装置
21aは、その流体シリンダ装置24の作用のために電
磁弁34を介して圧力流体源36に接続され、同流体シ
リンダ装置24による磁気吸着部22の前進、後退動作
が遂行される構成を有している。電磁弁34の開閉タイ
ミングは、上記のプログラマブルコントローラ30を介
してロボットコントローラ32により制御される。勿
論、プログラマブルコントローラ30を介在しない場合
は、ロボットコントローラ32により直接、制御され
る。磁気吸着装置21aの磁気吸着部22が電磁石によ
り構成されているために、被加工ワーク屑W1をレーザ
加工ヘッド20のレーザビーム出射口20aの近傍で吸
着、保持するときは、電源38からスイッチ手段40を
介して励磁電流が供給されることによって帯磁状態とさ
れ、そして、磁気吸着した被加工ワーク屑W1の吸着を
解放して取外しを行うときは、レーザ加工ヘッド20と
共に同磁気吸着装置21aを加工域外の適所へ移動さ
せ、プログラマブルコントローラ30を介して入力され
る指令に応じて磁気吸着部22を形成する電磁石への励
磁電流の供給がスイッチ手段40で遮断され、同電磁石
の帯磁を解除する。つまり、励磁電流の供給を断って、
消磁するのである。この結果、磁気吸着力が喪失される
から、被加工ワーク屑W1は自動的に磁気吸着装置21
aから、取り外され、例えば、回収箱等の適宜の投棄位
置へ回収されるのである。
【0013】次に、図3の(a)、(b)の両図は他の
実施例を示しており、レーザ加工ヘッドは前述のレーザ
加工ヘッド20と同一と理解して良い。本実施例では、
磁気吸着装置21bが保持ブラケット23により、レー
ザ加工ヘッド20に接近した位置に取付けられている点
も変わりない。この磁気吸着装置21bは、先端域、つ
まり、レーザ加工ヘッド20のレーザビーム出射口20
aの近傍に磁気吸着部32を有し、この磁気吸着部32
は永久磁石で形成されている。同磁気吸着部32は、前
述の実施例と同様にシリンダ装置24により、吸着作用
位置、つまり、レーザビーム出射口20aに近接して被
加工ワーク屑W1を吸着可能な位置と退避位置との間を
前進、後退可能に形成され、同時に、図3の(b)に明
示するように、その永久磁石から成る磁気吸着部32の
外周部を微小隙間を介して囲繞するように設けられた被
加工ワーク屑W1の掻き落とし作用を行う取外し片34
を具備している。
【0014】即ち、この取外し片34は、非磁性材料、
例えば、アルミ材またはステンレス材または硬質プラス
チック材等からなる1対の壁部材として形成され、磁気
吸着部32を形成する永久磁石が、前進位置で吸着した
非加工ワーク屑W1を吸着したままシリンダ装置24の
作動で後退動作するとき、同永久磁石の先端からはみ出
たワーク屑部分が、その1対の壁部材から成る取外し片
34により機械的に掻き落とすように作用するのであ
る。勿論、この掻き落とし作用は、磁気吸着装置21b
で磁気的に吸着、保持された非加工ワーク屑W1を、適
宜の取外し領域にレーザ加工ヘッド20の移動で移送さ
れた後に遂行され、加工域に同非加工ワーク屑が落下し
ないようになされることは言うまでもない。また、上記
取外し片34が非磁性材料で形成されることにより、非
加工ワーク屑W1が吸着過程で磁化された場合にも確実
に磁気吸着部32から掻き落とすことができる。
【0015】なお、シリンダ装置24は、前記の実施例
と同様にプログラマブルコントローラ等の制御装置によ
り作動を制御される構成のものである。すなわち、流体
源からの流体圧がシリンダ装置24内でピストン(図示
なし)により分離された1対のシリンダ室へ供給される
ことにより、同ピストンが前進または後退し、同ピスト
ンに接続したピストンロッド24aの前進又は後退によ
り磁気吸着部32が前進、後退する構成を有している。
また、好ましくは、磁気吸着部32は、ピストンロッド
24aの先端に対して僅かに前進、後退方向に位置調節
が可能に、例えば、ねじ止め位置の調節等により調節可
能に形成され、取外し片34に対する位置調節を行っ
て、吸着した被加工ワーク屑W1を確実に掻き落とし可
能になっている。図4は、図3に示した実施例の一種の
変形例であり、磁気吸着装置21bの磁気吸着部32を
形成する永久磁石を筒体状の案内44で形成し、この案
内44自体を被加工ワーク屑W1の掻き落とし作用を行
う取外し手段とするものである。このように、筒体形状
の案内44を用いると、永久磁石から成る磁気吸着部3
2が被加工ワークW1を吸着した状態(左図)で案内4
4の内方に向けて後退すると、同案内44の先端で被加
工ワーク屑W1が磁石先端から離れ、落下する(右図)
のである。このように、案内44を用いる構成とする
と、磁気吸着部32を形成する永久磁石の前進位置がよ
り正確に制御でき、また、同磁石をシリンダ装置等より
更に簡単な機構で前進、後退動作を遂行させることも可
能になる。すなわち、例えば、永久磁石の内端に止着し
た線材をばね付勢下で、巻き上げたり、巻き下ろしたり
する方式等で低コストで実現することも可能となる。
【0016】図5は、本発明の更に他の実施例を示して
いる。この実施例は、磁気吸着装置21cの磁気吸着部
42をシリンダ装置24で前進、または後退させ得るよ
うにしている点は前述の実施例と変わりないが、本実施
例では、磁気吸着部42を永久磁石または電磁石の何れ
で構成しても良く、かつ、被加工ワーク屑(図示略)の
取外し手段は、同磁気吸着部42に空気孔46(図5の
(b)の底面図を参照)で形成し、同空気孔46を介し
て外部から圧力空気管47を介して圧力空気を所要時に
噴出させ、磁気吸着部42の先端に吸着された被加工ワ
ーク屑を、その圧力空気の噴出流で強制的に吹き払うよ
うに取外しする構成したものである。この空気噴出流を
利用した取外し手段も被加工ワーク屑が吸着過程で磁化
された場合であっても有効であり、また、被加工ワーク
屑が磁気吸着部42の先端面の領域内に吸着された寸法
の小さなワーク屑の場合であっても有効に取外し可能で
あると言う有利を備えている。
【0017】図6及び図7は本発明の更に他の実施例を
示しており、レーザ加工ヘッド20のレーザビーム出射
口20aの直近位置で磁気吸着装置21dの磁気吸着部
52により、レーザ加工で発生した被加工ワーク屑W1
を吸着保持して落下を防止すると共に、その被加工ワー
ク屑W1をレーザ加工ヘッド20の移動機能を利用して
加工領域から十分に離隔した位置に搬送し、その離隔位
置に予め設置した取外し手段53で磁気吸着部52に吸
着された被加工ワーク屑W1を分離、取外すようにした
構成を有している。即ち、この実施例の取外し手段53
は、1対の立板状の掻き取り板55、55から成り、こ
の掻き取り板55、55は、相互に所定の離隔して立設
されていると共に各々が上端部に上向きの傾斜縁を有し
た掻き落とし刃56、56を有している。従って、吸着
部52が前進位置で吸着した被加工ワーク屑W1を保持
したまま、レーザ加工ヘッド20の移動作用で、取外し
手段53の1対の立板状の掻き取り板55、55の間に
挿入され、次いで、被加工ワーク屑W1を掻き落とし刃
56、56に当接させながら、レーザ加工ヘッド20と
共に一体に磁気吸着装置21dを徐々に引上げ動作させ
ると、被加工ワーク屑W1は、結局、掻き落とし刃5
6、56で磁気吸着部52から機械的にかつ、強制的に
取り外されるのである。勿論、磁気吸着部52だけをシ
リンダ装置24の作用で後退動作させることにより、同
様に掻き落とし刃56、56で被加工ワーク屑W1を磁
気吸着部52から掻き落とすようにすることもできる。
この実施例は、レーザ加工ヘッド20がレーザロボット
10のエンドエフェクタの如く、ロボット動作に応じて
広い動作範囲に渡り移動可能である場合に有効であり、
特に、被加工ワーク屑W1を確実に加工領域外に搬送し
て取外し操作するので、ワーク屑の回収を確実に実行で
きる有利がある。
【0018】以上、本発明を諸実施例に就いて説明した
が、勿論、これらを幾つか組合せて構成した被加工ワー
ク屑の取外し装置を形成することもできる。例えば、空
気圧を利用した場合と1対の立て板状の掻き取り板を利
用した場合とを併用して、被加工ワーク屑のサイズの如
何に関わりなく、磁気吸着装置から不用な被加工ワーク
屑を剥奪、取外しするように構成しても良い。
【0019】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、レーザ加工ヘッドにより、薄い金属板等の被
加工ワークに孔明け加工等を実施するとき、被加工ワー
クから切除さた不用なワーク屑を磁気吸着装置で落下防
止のために磁気吸着保持したとき、その不用ワーク屑
を、簡単にかつ自動的に磁気吸着装置の磁気吸着部から
取外し得る被加工ワーク屑の取外し装置が得られるの
で、不用なワーク屑が落下して取出し不可の領域内に残
存したままになる等の不具合を確実に、しかも人工を要
することなく自動的に解消することが可能となる。従っ
て、自動車の生産ライン等でレーザロボットを利用した
レーザ加工を行う際に、車体内にワーク屑が残存されて
しまう不具合を完全に解消できる効果がある。また、本
発明によれば、被加工ワーク屑の除去を磁気吸着過程に
次いで自動遂行することが可能であるため、被加工ワー
クの除去に要する時間短縮が実現でき、故に、レーザ加
工作業の作業能率の向上に寄与することも可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例による磁気吸着ワーク屑の取
外し装置の構成を示す側面図である。
【図2】同装置の作用を説明するための同様の側面図で
ある。
【図3】(a)は、他の実施例の構成を示す側面図であ
る。 (b)は、同実施例の(a)図の矢視線3ー3による断
面図である。
【図4】被加工屑を磁気吸着装置の吸着部から機械的に
掻き落とす取外し手段の他の例を説明図示した部分図で
ある。
【図5】(a)は、本発明による更に他の実施例による
磁気吸着ワーク屑の取外し装置を示した側面図である。 (b)は、同実施例の(a)図の矢視5ー5線による底
面図である。
【図6】(a)は、本発明の他の実施例による磁気吸着
ワーク屑の取外し装置を示した側面図である。 (b)は、同実施例の(a)図の矢視6ー6線による機
械的取外し手段の正面図である。
【図7】図6の機械的取外し手段の斜視図である。
【図8】本発明による磁気吸着ワーク屑の取外し装置を
適用するレーザロボットの1例を示す正面図である。
【符号の説明】
20…レーザ加工ヘッド 20a…レーザビーム出射口 21a〜21d…磁気吸着装置 22…磁気吸着部 32…磁気吸着部 34…取外し手段 42…磁気吸着部 46…空気吹き出し孔 52…磁気吸着部 53…取外し手段 55…立て板状掻き取り板 W…被加工ワーク W1…被加工ワーク屑

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ加工装置の加工ヘッドに近接配置
    した磁気吸着装置から被加工ワーク屑を取り外す装置に
    おいて、 前記磁気吸着装置の磁気吸着部を電磁石によって形成
    し、 前記磁気吸着装置を帯磁と消磁を制御する制御手段を備
    え、 前記磁気吸着部の前記電磁石を消磁することにより、吸
    着した被加工ワーク屑を取り外すことを特徴とした磁気
    吸着ワーク屑の取外し装置。
  2. 【請求項2】 レーザ加工装置の加工ヘッドに近接配置
    した磁気吸着装置から被加工ワーク屑を取り外す装置に
    おいて、 前記磁気吸着装置の磁気吸着部を永久磁石によって形成
    し、 被加工ワーク屑を吸着した前記永久磁石から成る磁気吸
    着部との間の相対的移動により、該被加工屑を該吸着部
    から機械的に掻き落とす掻き取り片から成る取外し手段
    と、 前記磁気吸着と前記取外し手段との間の相対移動を生起
    させる被加工ワーク屑の取外し駆動手段とを、 具備して構成されたことを特徴とする磁気吸着ワーク屑
    の取外し装置。
  3. 【請求項3】 前記掻き取り片が前記永久磁石の外周部
    に設けた枠片からなり、前記取外し駆動手段が該枠片に
    対して前記永久磁石を相対直線移動させるシリンダ手段
    から成る請求項2に記載の磁気吸着ワーク屑の取外し装
    置。
  4. 【請求項4】 前記枠片が前記永久磁石を囲繞した案内
    筒から成る請求項3に記載の磁気吸着ワーク屑の取外し
    装置。
  5. 【請求項5】 前記掻き取り片が、前記レーザ加工装置
    の加工作業域から離隔した所定の位置に立設された1対
    の立板状の掻き取り板からなり、 前記取外し駆動手段は、レーザ加工装置の加工ヘッドの
    駆動装置である請求項2に記載の磁気吸着ワーク屑の取
    外し装置。
  6. 【請求項6】 レーザ加工装置の加工ヘッドに近接配置
    した磁気吸着装置から被加工ワーク屑を取り外す装置に
    おいて、 前記磁気吸着装置の磁気吸着部を電磁石又は永久磁石か
    ら形成し、 該磁気吸着部に設けられた空気吹き出し孔と、 該空気吹き出し孔に接続した加圧空気源と、 該加圧空気源と前記空気吹き出し孔との間を所要に応じ
    て開通する制御弁とを具備して構成されたことを特徴と
    する磁気吸着ワーク屑の取外し装置。
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