JPH0542591B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0542591B2
JPH0542591B2 JP62172163A JP17216387A JPH0542591B2 JP H0542591 B2 JPH0542591 B2 JP H0542591B2 JP 62172163 A JP62172163 A JP 62172163A JP 17216387 A JP17216387 A JP 17216387A JP H0542591 B2 JPH0542591 B2 JP H0542591B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mass flow
temperature
sensor
thermal valve
flow rate
Prior art date
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Expired - Fee Related
Application number
JP62172163A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6415588A (en
Inventor
Katsuyuki Sasahara
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NEC Kyushu Ltd
Original Assignee
NEC Kyushu Ltd
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Publication date
Application filed by NEC Kyushu Ltd filed Critical NEC Kyushu Ltd
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Publication of JPS6415588A publication Critical patent/JPS6415588A/ja
Publication of JPH0542591B2 publication Critical patent/JPH0542591B2/ja
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  • Temperature-Responsive Valves (AREA)
  • Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はマスフローコントローラーに関し、特
に質量流量（マスフロー）センサーで取得する信
号をフイードバツクしてサーマルバルブの開閉を
制御し、配管中を流れるガス等のマスフローをコ
ントロールするマスフローコントローラーに関す
る。
〔従来の技術〕
従来、この種のマスフローコントローラーは、
膨張軸の軸温度をモニターできる様にはなつてい
なかつた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来のマスフローコントローラーは、
サーマルバルブの膨張軸の温度変化をモニターで
きる様ににはなつておらず、従つて、膨張軸の温
度変化を介してサーマルバルブの開度を知ること
もできず、またマスフローの圧力の変動もしくは
質量流量センサー等の詰り等の異常を知ることも
できないという欠点がある。
本発明の目的は上述した欠点を除去し、膨張軸
の温度変化をモニターできるマスフローコントロ
ーラーを提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明のマスフローコントローラーは、質量流
量センサーで取得する信号をフイードバツクして
サーマルバルブの開閉を制御し、配管中を流れる
ガス等のマスフローをコントロールするマスフロ
ーコントローラにおいて、前記サーマルバルブの
膨張軸に温度測定可能な温度センサーを装着し、
前記温度センサーによる測定値をモニターして前
記マスフローの圧力の変動および前記質量流量セ
ンサーの詰まりを含む異常発生を把握することを
可能とした構成を有する。
〔実施例〕
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の構成図である。流
量をコントロールしようとするガスは、ガス配管
１中を矢印の方向に流れる。ガスの質量流量すな
わちマスフローは、質量流量センサー２によつて
計測される。この場合、流量のコントロールは、
サーマルバルブ３の上下により成される。このサ
ーマルバルブ３の駆動は、質量流量センサー２か
ら質量流量データを得つつ、このデータにもとづ
くヒータ駆動電源４の出力によりヒーター５が加
熱され、これにより膨張軸６が膨張することによ
つて行なわれる。この膨張軸６には、温度センサ
ー７が取付けられ膨張軸６の温度をモニター装置
８で監視する事が出来る。
モニター装置８は、流量設定器９により設定流
量と、流量センサー２による計測値と、膨張軸６
から温度データの３つとを取り込むようになつて
おり、設定値および測定値が安定して変化が認め
られない場合でかつ温度が安定しない場合、ある
いは徐徐に温度がシフトする場合などは異常警報
を出力するようになつている。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、サーマルバルブ
を有するマスフローコントローラーにおいて、サ
ーマルバルブの膨張軸の温度をモニター出来る機
能を付与することにより、一定の流量が流通して
いる場合の温度の変化を監視しつつ、サーマルバ
ルブの開度を知るとともにその温度変化状態によ
り、マスフローの圧力の変化もしくは質量流量セ
ンサー等の詰り等の異常を知り警報を出す事がで
きるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明のマストコントローラーの一実
施例を示す構成図である。 １……ガス配管、２……質量流量センサー、３
……サーマルバルブ、４……ヒータ駆動電源、５
……ヒーター、６……膨張軸、７……温度センサ
ー、８……温度モニター、９……流量設定器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 質量流量センサーで取得する信号をフイード
    バツクしてサーマルバルブの開閉を制御し、配管
    中を流れるガス等のマスフローをコントロールを
    するマスフローコントローラにおいて、前記サー
    マルバルブの膨張軸に温度測定可能な温度センサ
    ーを装着し、前記温度センサーによる測定値をモ
    ニターして前記マスフローの圧力の変動および前
    記質量流量センサーの詰まりを含む異常発生の把
    握を可能としたことを特徴とするマスフローコン
    トローラ。
JP17216387A 1987-07-09 1987-07-09 Mass flow controller Granted JPS6415588A (en)

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JP17216387A JPS6415588A (en) 1987-07-09 1987-07-09 Mass flow controller

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JP17216387A JPS6415588A (en) 1987-07-09 1987-07-09 Mass flow controller

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Publication Number Publication Date
JPS6415588A JPS6415588A (en) 1989-01-19
JPH0542591B2 true JPH0542591B2 (ja) 1993-06-29

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2522241B2 (ja) * 1985-09-06 1996-08-07 石川島播磨重工業株式会社 ポペット形弁の温度制御装置
JPH0743054B2 (ja) * 1985-09-09 1995-05-15 石川島播磨重工業株式会社 ポペツト弁の温度制御方法
JPS6262073A (ja) * 1985-09-11 1987-03-18 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd ポペツト弁の温度制御装置

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JPS6415588A (en) 1989-01-19

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