JPH0542607Y2 - - Google Patents
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- JPH0542607Y2 JPH0542607Y2 JP1668987U JP1668987U JPH0542607Y2 JP H0542607 Y2 JPH0542607 Y2 JP H0542607Y2 JP 1668987 U JP1668987 U JP 1668987U JP 1668987 U JP1668987 U JP 1668987U JP H0542607 Y2 JPH0542607 Y2 JP H0542607Y2
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- glow discharge
- insulating cone
- analysis
- insulating
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Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本考案は、グロー放電質量分析用治具に関し、
更に詳しくは、金属、半導体およびセラミツクス
などの高純度材料中の微量元素分析に使用する、
試料と陽極とを電気的に絶縁するグロー放電質量
分析用治具に関する。
更に詳しくは、金属、半導体およびセラミツクス
などの高純度材料中の微量元素分析に使用する、
試料と陽極とを電気的に絶縁するグロー放電質量
分析用治具に関する。
［従来の技術］
グロー放電質量分析において、陰極である試料
と陽極とを電気的に絶縁するための絶縁コーンの
材料としては、加工が簡単であるため、従来から
ポリテトラフルオロエチレン（以下PTFEと称
す。）が使用されている。
と陽極とを電気的に絶縁するための絶縁コーンの
材料としては、加工が簡単であるため、従来から
ポリテトラフルオロエチレン（以下PTFEと称
す。）が使用されている。
第１図に、従来から使用されているグロー放電
源を示す。このグロー放電源は、絶縁コーン１、
試料２、陽極３、金属製チヤツク４、イオン引き
出しスリツト５およびアルゴンガス導入口６を有
して成る。グロー放電は、陰極である金属製チヤ
ツク４にはさまれた試料２と陽極３との間で発生
する。絶縁コーン１により、陽極３は、金属製チ
ヤツク４および試料２から絶縁されている。グロ
ー放電により生成したイオンは、イオン引き出し
スリツト５から質量分析器へ引き出される。
源を示す。このグロー放電源は、絶縁コーン１、
試料２、陽極３、金属製チヤツク４、イオン引き
出しスリツト５およびアルゴンガス導入口６を有
して成る。グロー放電は、陰極である金属製チヤ
ツク４にはさまれた試料２と陽極３との間で発生
する。絶縁コーン１により、陽極３は、金属製チ
ヤツク４および試料２から絶縁されている。グロ
ー放電により生成したイオンは、イオン引き出し
スリツト５から質量分析器へ引き出される。
このグロー放電源の絶縁コーンの材料として
は、先に述べたように従来からPTFEが使用され
ている。
は、先に述べたように従来からPTFEが使用され
ている。
グロー放電源を使用する場合、放電前に、１〜
５×10-8トール程度の高真空にする。その後、微
量のアルゴンガスをグロー放電源に供給し、放電
を開始する。第１図において、絶縁コーンが
PTFE製である場合、PTFEは、分子レベルでは
多孔質であり、表面状態は凹凸が多く、大気が吸
着されているため、脱気に時間を要し、また、長
時間かけてグロー放電源を高真空にしたにも拘わ
らず、孔内に大気が残留している。従つて、グロ
ー放電を開始してから長時間にわたり、N+，O+
およびCO+などの残留ガスイオンが高いイオン強
度で検出される。これらは、分析の妨害スペクト
ルとなるので、Ｓ，SiおよびFeなどの元素の微
量分析を行うためには、残留ガスイオン強度が低
下するまで待つ必要があり、分析効率が著しく低
下することになる。
５×10-8トール程度の高真空にする。その後、微
量のアルゴンガスをグロー放電源に供給し、放電
を開始する。第１図において、絶縁コーンが
PTFE製である場合、PTFEは、分子レベルでは
多孔質であり、表面状態は凹凸が多く、大気が吸
着されているため、脱気に時間を要し、また、長
時間かけてグロー放電源を高真空にしたにも拘わ
らず、孔内に大気が残留している。従つて、グロ
ー放電を開始してから長時間にわたり、N+，O+
およびCO+などの残留ガスイオンが高いイオン強
度で検出される。これらは、分析の妨害スペクト
ルとなるので、Ｓ，SiおよびFeなどの元素の微
量分析を行うためには、残留ガスイオン強度が低
下するまで待つ必要があり、分析効率が著しく低
下することになる。
［考案の目的］
従つて、本考案の目的は、上述のような問題点
を解決し、効率良く分析するためのグロー放電質
量分析用治具を提供することである。
を解決し、効率良く分析するためのグロー放電質
量分析用治具を提供することである。
［考案の構成］
本考案の目的は、非多孔質材料から成り、更
に、表面状態を平滑にした絶縁コーンを使用する
ことにより達成することができる。
に、表面状態を平滑にした絶縁コーンを使用する
ことにより達成することができる。
本考案に使用する絶縁コーンの材料としては、
表面洗浄に使用する酸などの薬品に対する耐久性
および電気絶縁性の観点から、石英系ガラスが特
に好ましい。
表面洗浄に使用する酸などの薬品に対する耐久性
および電気絶縁性の観点から、石英系ガラスが特
に好ましい。
第２図に本考案の一具体例の断面図を示す。こ
の絶縁コーンは、石英系ガラス製であり、従つ
て、多孔質ではない。更に、熱処理により表面状
態を平滑にしてあるので、絶縁コーンをグロー放
電源に配置した後の残留ガスの排気は、非常に短
時間ですむ。
の絶縁コーンは、石英系ガラス製であり、従つ
て、多孔質ではない。更に、熱処理により表面状
態を平滑にしてあるので、絶縁コーンをグロー放
電源に配置した後の残留ガスの排気は、非常に短
時間ですむ。
また、石英系ガラスの加工性は、加熱により良
好になるため、本考案の絶縁コーンを工業的に生
産する場合の問題はない。
好になるため、本考案の絶縁コーンを工業的に生
産する場合の問題はない。
実施例 １
本考案の絶縁コーンを石英系ガラスを使用して
製作した。試料として、高純度ヒ化ガリウムを使
用した。放電電圧は1kVであり、放電電流は
2mAであつた。この絶縁コーンを使用した場合
の分析妨害イオンのイオン強度の経時変化を測定
した。
製作した。試料として、高純度ヒ化ガリウムを使
用した。放電電圧は1kVであり、放電電流は
2mAであつた。この絶縁コーンを使用した場合
の分析妨害イオンのイオン強度の経時変化を測定
した。
また、比較のために、同様の実験条件下で、従
来のPTFE製絶縁コーンを使用した場合の分析妨
害イオンのイオン強度の経時変化も測定した。そ
れらの結果を第３図および第４図に示す。それぞ
れの図のイオン種の表記において、数字は、原子
または分子イオンの質量数を表わす。第３図は、
本考案の絶縁コーンを使用した場合であり、第４
図は、従来の絶縁コーンを使用した場合である。
来のPTFE製絶縁コーンを使用した場合の分析妨
害イオンのイオン強度の経時変化も測定した。そ
れらの結果を第３図および第４図に示す。それぞ
れの図のイオン種の表記において、数字は、原子
または分子イオンの質量数を表わす。第３図は、
本考案の絶縁コーンを使用した場合であり、第４
図は、従来の絶縁コーンを使用した場合である。
第３図より、本考案の石英系ガラス製絶縁コー
ンを使用した場合、放電開始後、約30分以下の短
時間で、14N+、54ArN+、16O+および28CO+イ
オン強度が安定していることが判る。それとは対
照的に、従来の絶縁コーンを使用した場合では、
第４図にグラフから明白なように、各イオン強度
が安定するのに、放電開始後３時間以上を必要と
し、従つて、本考案の治具を使用することによ
り、分析開始までの待機時間が1/6以下に短縮さ
れることになる。
ンを使用した場合、放電開始後、約30分以下の短
時間で、14N+、54ArN+、16O+および28CO+イ
オン強度が安定していることが判る。それとは対
照的に、従来の絶縁コーンを使用した場合では、
第４図にグラフから明白なように、各イオン強度
が安定するのに、放電開始後３時間以上を必要と
し、従つて、本考案の治具を使用することによ
り、分析開始までの待機時間が1/6以下に短縮さ
れることになる。
［考案の効果］
上述のように、本考案を治具を使用してグロー
放電質量分析をする場合、分析を妨害する、残留
ガスに起因するイオン強度が、十分に小さくなる
までの待機時間が、大幅に短縮されるので、処理
できるサンプル数が増え、分析効率が、大幅に向
上する。特に、微量不純物分析では、残留ガスに
起因するイオンの分析に及ぼす妨害度が大きいた
め、微量分析の信頼性向上にも効果的である。
放電質量分析をする場合、分析を妨害する、残留
ガスに起因するイオン強度が、十分に小さくなる
までの待機時間が、大幅に短縮されるので、処理
できるサンプル数が増え、分析効率が、大幅に向
上する。特に、微量不純物分析では、残留ガスに
起因するイオンの分析に及ぼす妨害度が大きいた
め、微量分析の信頼性向上にも効果的である。
第１図は、グロー放電源の概略断面図であり、
第２図は、本発明の一具体例の断面図であり、第
３図および第４図は、それぞれ本考案の絶縁コー
ンおよび従来の絶縁コーンを使用した場合の分析
を妨害するイオン強度の経時変化を示すグラフで
ある。 １……絶縁コーン、２……試料、３……陽極、
４……チヤツク、５……スリツト、６……アルゴ
ンガス導入口。
第２図は、本発明の一具体例の断面図であり、第
３図および第４図は、それぞれ本考案の絶縁コー
ンおよび従来の絶縁コーンを使用した場合の分析
を妨害するイオン強度の経時変化を示すグラフで
ある。 １……絶縁コーン、２……試料、３……陽極、
４……チヤツク、５……スリツト、６……アルゴ
ンガス導入口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ グロー放電源において試料と陽極とを絶縁す
るための、表面が平滑な中空コーン形状の非多
孔質材料から成るグロー放電質量分析用治具。 ２ 非多孔質材料が石英系ガラスから成る実用新
案登録請求の範囲第１項記載のグロー放電質量
分析用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1668987U JPH0542607Y2 (ja) | 1987-02-06 | 1987-02-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1668987U JPH0542607Y2 (ja) | 1987-02-06 | 1987-02-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63125357U JPS63125357U (ja) | 1988-08-16 |
| JPH0542607Y2 true JPH0542607Y2 (ja) | 1993-10-27 |
Family
ID=30808775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1668987U Expired - Lifetime JPH0542607Y2 (ja) | 1987-02-06 | 1987-02-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0542607Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-02-06 JP JP1668987U patent/JPH0542607Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63125357U (ja) | 1988-08-16 |
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