JPH0545151A - 変位測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 消費電力を低減することができ、可動要素の
移動時の計数表示の更新をスムーズに行うことを可能に
する。 【構成】 回路切り換え制御部１２は、ＡＢＳ（アブソ
リュート）センサ１のスライダが低速移動又は停止して
いるときは、スケール復調部３，４、位相検出部６，
７、アブソリュート計数部１０を停止状態にさせるとと
もに、密スケール復調部５、密位相検出部８及びインク
リメンタル計数部１１を動作状態にして装置をインクリ
メンタル計数動作に切り換える。また、回路切り換え制
御部１２は、スライダが高速移動しているときは、スケ
ール復調部３，４、位相検出部６，７及びアブソリュー
ト計数部１０を動作状態にさせるとともに、インクリメ
ンタル計数部１１を停止状態にして装置をアブソリュー
ト計数動作に切り換える。スライダの速度は、速度検出
部９で検出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ディジタルノギス、デ
ィジタルマイクロメータ、ハイトゲージ等の小型計測器
に適用される変位センサを使用した変位測定装置に関
し、特に変位センサとして固定要素に対する可動要素の
絶対的な変位量を検出することが可能ないわゆるアブソ
リュートタイプのセンサを使用した変位測定装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】計測値を液晶表示装置等に表示するディ
ジタルノギス、ディジタルマイクロメータ、ハイトゲー
ジ等の小型変位測定装置では、静電容量式の変位センサ
等を使用した低消費電力タイプのものが一般に普及され
ている。静電容量式の変位センサは、メインスケール等
の固定要素と、これに対して移動するスライダ等の可動
要素とに夫々多数の電極を配設し、固定要素に対する可
動要素の移動に伴って電極パターン間に生ずる周期的な
容量変化の信号を取り出すことにより変位量の検出を行
うものである。

【０００３】この種の変位センサは、その出力信号の形
態によって、インクリメンタルタイプとアブソリュート
タイプの２種類に分けられる。インクリメントタイプの
測定装置は、スライダが基準位置から移動することによ
って生ずる周期信号を連続的に計数することによって変
位量を検出する。一方、アブソリュートタイプの変位セ
ンサは、連続的な計数動作を行わずに、固定要素に対す
る可動要素の絶対的な位置を求めることが可能なセンサ
で、例えば電極パターン形状によって、夫々粗いピッ
チ、中間的なピッチ及び細かいピッチの周期的信号を出
力可能なものとなっている。そして、これらの各ピッチ
の周期信号の位相情報を合成することによって、可動要
素の絶対的な変位量を検出することが可能になってい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た２つのタイプの変位測定装置のうち、インクリメンタ
ルタイプの測定装置では、スライダをあまり速く移動さ
せると、クロック信号が計数動作に追従できなくなり、
計数エラーが発生してしまう。クロック周波数を高く設
定すれば、計数エラーは防止できるが、この場合には、
消費電力が著しく増加してしまう。特に、小型変位測定
装置では、小型化を図るうえで、必然的に小型のボタン
電池や太陽電池等の小電力の電源が使用される。このた
め、変位センサからの信号を処理する信号処理回路で消
費される電力は極力少ないことが望ましい。

【０００５】一方、アブソリュートタイプの変位測定装
置では、粗いピッチ、中間ピッチ及び細かいピッチの各
周期信号を夫々処理するため、複数の信号処理回路を併
設する必要がある。このため、やはり消費電力が大きく
なるという欠点がある。特にスライダ等の可動要素は、
殆どの時間が停止状態にあるので、このような停止状態
においても各ピッチに対応した複数の回路を動作させる
のは、電力を無駄に消費してしまうので好ましくない。

【０００６】そこで、アブソリュートタイプの変位測定
装置において、各ピッチの周期信号の位相情報を一つの
回路で順番に読み取ることにより、信号処理回路を共通
化して消費電力を低減させることも考えられている。し
かし、この場合、各ピッチの周期信号の位相情報を取り
込むタイミングがずれることになるので、スライダが移
動しているときには、位相情報の合成がうまくいかず、
表示値がランダムに変化してしまい、表示値が見にくい
という問題点がある。

【０００７】本発明は、このような問題点を解決するた
めになされたもので、低消費電力で動作可能で、かつ計
数表示の更新もスムーズに行うことができる変位測定装
置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明に係る変位測定装
置は、固定要素に対する可動要素の変位量に応じた粗い
ピッチの第１の周期信号及び前記固定要素に対する前記
可動要素の変位量に応じた細かいピッチの第２の周期信
号を含む検出信号を出力する変位センサと、この変位セ
ンサから出力される検出信号から前記粗いピッチに対応
した第１の位相情報及び前記細かいピッチに対応した第
２の位相情報を検出する位相情報検出手段と、前記第１
の位相情報に基づいて前記固定要素に対する前記可動要
素の絶対的な変位量を計数する絶対変位計数手段と、前
記第２の位相情報に基づいて前記固定要素に対する前記
可動要素の相対的な変位量を計数する相対変位計数手段
と、前記固定要素に対する前記可動要素の移動速度を検
出する速度検出手段と、この速度検出手段で検出された
前記可動要素の移動速度が所定の速度よりも速くなった
場合には前記絶対変位計数手段の出力に基づいて前記固
定要素の前記可動要素に対する変位量を算出し、前記速
度検出手段で検出された前記可動要素の移動速度が所定
の速度よりも遅くなった場合には前記相対変位計数手段
の出力に基づいて前記固定要素の前記可動要素に対する
変位量を算出する計数合成手段とを具備してなることを
特徴とする。

【０００９】

【作用】本発明によれば、固定要素に対する可動要素の
移動速度が速度検出手段で検出される。そして、検出さ
れた速度情報に基づき、可動要素が固定要素に対して低
速で移動している場合には、細かなピッチの周期信号か
ら求められた第２の位相情報によるインクリメンタル
（相対的）な計数動作が行われる。これにより、単一の
回路が動作して消費電力が抑制される。

【００１０】一方、可動要素がインクリメンタル計数に
よる検出可能な速度を超えて移動すると、速度検出手段
がこれを検出し、測定装置は、粗いピッチの周期信号か
ら求められた第１の位相情報によるアブソリュート（絶
対的）な計数動作に移行する。この場合、インクリメン
タル計数動作のための回路は休止状態となるので、消費
電力が抑制されることになる。このとき、表示値の下の
桁の表示は粗い間隔で変化するが、ノギスのようなハン
ドツールでは、スライダの摺動速度が速い場合には、表
示値の下の桁は重要な情報ではないので、このような計
数表示が許容可能である。また、表示値の上の桁は連続
的に更新されるため、表示値は見易くなる。

【００１１】可動要素の移動速度が再び誤計測すること
なくインクリメンタルな計数に移れる速度まで低下した
ことが検出されると、再度インクリメンタル計数動作に
移行する。この移行時には、全ピッチの周期信号に基づ
く第１及び第２の位相情報を全て取り込んで可動要素の
絶対位置を読取ることが望ましい。

【００１２】このように、本発明によれば、固定要素に
対する可動要素の移動速度に応じてインクリメンタル計
数動作とアブソリュート計数動作を切り換えるようにし
たので、クロック周波数を高めることなしに、可動要素
の変位を精度良く検出することができ、表示の更新もス
ムーズになると共に、消費電力を大幅に抑制することが
できる。

【００１３】

【実施例】以下、添付の図面を参照して本発明の実施例
について説明する。図１は本発明の一実施例に係る変位
測定装置の構成を示すブロック図である。この変位測定
装置は、ディジタルノギス、ディジタルマイクロメー
タ、ディジタルハイトゲージ等の小型測長器に適用され
る。

【００１４】即ち、ＡＢＳセンサ１は、静電容量式アブ
ソリュートタイプの変位センサである。このＡＢＳセン
サ１は、例えば図２に示すように構成されている。可動
要素であるスライダ２１は、固定要素であるメインスケ
ール２２に対し僅かの間隙を介して対向配置され、測定
軸Ｘ方向に移動可能なものとなっている。スライダ２１
には、送信電極２３が所定ピッチＰt0で配設されてい
る。送信電極２３は、メインスケール２２にピッチＰr
で配設された第１受信電極２４ａ及び第２受信電極２４
ｂと容量結合されている。受信電極２４ａ，２４ｂは、
その配列方向に沿って隣接するピッチＰt1，Ｐt2の第１
伝達電極２５ａ及び第２伝達電極２５ｂに１対１で夫々
接続されている。伝達電極２５ａ，２５ｂは、夫々スラ
イダ２１側に設けられた第１検出電極２６ａ，２６ｂ及
び第２検出電極２７ａ，２７ｂと容量結合されている。

【００１５】送信電極２３は、７つおきに共通接続され
て８つの電極群を構成している。これらの電極群には、
それぞれ位相が４５°ずつずれた８相の周期信号ａ〜ｈ
が駆動信号Ｓｄとして供給されるようになっている。こ
れらの駆動信号Ｓｄは、より具体的には、図３に示すよ
うに、高周波パルスでチョップされた信号となってい
る。大きな周期のsin 成分は、下記数１にて表される。

【００１６】

【数１】Ｖn ＝Ａsin2π｛（ｔ／Ｔ）−（ｎ／８）｝

【００１７】ここで、Ａは送信信号Ｓｄの振幅、Ｔは送
信信号Ｓｄの周期、ｎは相番号（a,b,…,h）である。こ
の送信信号Ｓｄは、図１の送信波形発生部２から生成出
力されるようになっている。送信電極２３に駆動信号Ｓ
ｄが供給されることにより生ずる電場パターンのピッチ
Ｗt は、送信電極２３のピッチＰt0の８倍であり、この
ピッチＷt は、受信電極２４ａ，２４ｂのピッチＰr の
Ｎ倍に設定されている。ここでＮは、１，３，５等の奇
数であることが好ましく、この例では３に設定されてい
る。したがって、８つの連続する送信電極２３に対して
は常にほぼ一定の重みをもって受信電極２４ａ，２４ｂ
が容量結合されることになる。受信電極２４ａ，２４ｂ
は、三角形状（又はsin 波形状）の電極片を相互に挟み
合う形で配設してなるものである。各受信電極２４ａ，
２４ｂで受信される信号の位相は、送信電極２３と受信
電極２４ａ，２４ｂとの容量結合面積によって決定され
るが、これはスライダ２１とメインスケール２２との相
対位置によって変化する。

【００１８】受信電極２４ａ，２４ｂと伝達電極２５
ａ，２５ｂとが同一ピッチで形成されていれば、検出電
極２６ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂは、単にスライダ２
１のｘ方向位置がピッチＰr だけ変化する毎に繰り返さ
れる周期信号を検出することになるが、このＡＢＳセン
サ１では、粗いピッチ、中間のピッチ及び細かいピッチ
の３つのレベルの変位量を検出するため、伝達電極２５
ａ，２５ｂが、実際には受信電極２４ａ，２４ｂに対し
て夫々Ｄ1 ，Ｄ2 だけ偏位している。偏位量Ｄ1，Ｄ2
は、夫々基準位置ｘ0 からの測定方向の距離ｘの関数
で、下記数２のように表すことができる。

【００１９】

【数２】Ｄ1(ｘ) ＝（Ｐr −Ｐt1）ｘ／Ｐr Ｄ2(ｘ) ＝（Ｐr −Ｐt2）ｘ／Ｐr

【００２０】また、検出電極２６ａ，２６ｂ，２７ａ，
２７ｂの波形パターンのピッチＷr1，Ｗr2は、夫々３Ｐ
t1，３Ｐt2に設定されている。図４（ａ）は送信電極２
３のうちの一つと検出電極２６ａとの間の位置ｘによる
容量の変化を示すグラフ、図４（ｂ）は送信電極２３の
うちの一つと検出電極２６ｂとの間の位置ｘによる容量
の変化を示すグラフである。図４に示すように、容量は
偏位量Ｄ1(ｘ) に基づく大きな周期λ1 に検出電極２４
ａのピッチの小さな周期Ｐr が重畳された形で変化す
る。この容量を下記数３に示す。

【００２１】

【数３】 Ｃn(Ｂ1)＝Ｂsin2π｛（ｘ／λ1 ）−（ｎ／８）｝ ＋Ｃsin2π｛（ｘ／Ｐr ）−（３ｎ／８）｝＋Ｄ Ｃn(Ｂ2)＝−Ｂsin2π｛（ｘ／λ1 ）−（ｎ／８）｝ ＋Ｃsin2π｛（ｘ／Ｐr ）−（３ｎ／８）｝＋Ｄ

【００２２】ここで、Ｂは夫々大きな周期の振幅、Ｃは
小さな周期の振幅、Ｄはオフセット値である。したがっ
て、検出電極２６ａ，２６ｂで検出される受信信号Ｂ1
，Ｂ2 は、夫々下記数４のようになる。

【００２３】

【数４】

【００２４】ここで、検出信号Ｂ１，Ｂ２の大きな周期
が小さな周期の数十倍、検出信号Ｃ1 ，Ｃ2 の大きな周
期が検出信号Ｂ1 ，Ｂ2 の大きな周期の数十倍になるよ
うに電極パターンを設定すると、下記数５の演算で各レ
ベルの変位を得ることができる。

【００２５】

【数５】 Ｃ1 −Ｃ2 （粗スケール） Ｂ1 −Ｂ2 （中スケール） （Ｂ1 ＋Ｂ2 ）−（Ｃ1 ＋Ｃ2 ） （密スケール）

【００２６】これらの演算は、図１の粗スケール復調部
３、中スケール復調部４及び密スケール復調部５で行な
われるようになっている。復調は、例えば図３に示した
送信波形をチョップ周波数でサンプリングし、ミキシン
グしたのち、低域ろ波及び２値化処理を施すことにより
行われる。これにより、各スケール復調部３，４，５か
らはエッジに位相情報が担われた矩形波の位相信号ＣＭ
Ｐが出力される。

【００２７】各スケール復調部３，４，５から出力され
る位相信号ＣＭＰＣＯＡ．、ＣＭＰＭＥＤ．、ＣＭＰＦ
ＩＮＥは、夫々粗位相検出部６、中位相検出部７、密位
相検出部８に入力されている。これらの位相検出部６〜
８では、各位相信号ＣＭＰの立ち上がり又は立下りのタ
イミングで内部の図示しないカウンタの計数値をラッチ
することにより、各位相信号ＣＭＰと基準位相信号ＣＰ
Ｏとの位相差に相当する値を検出する。

【００２８】各位相検出部６〜８から出力される位相値
は、アブソリュート計数部１０に入力されている。アブ
ソリュート計数部１０は、各位相検出部６〜８から出力
される位相値を合成してメインスケール２２に対するス
ライダ２１の絶対的な変位量を算出する。また、密位相
検出部８から出力される位相値は、インクリメンタル計
数部１１に入力されている。インクリメンタル計数部１
１は、密位相検出部８から出力される位相値の周期的な
変化をアップカウント及びダウンカウントすることによ
ってメインスケール２２に対するスライダ２１の変位を
算出する。

【００２９】一方、中スケール復調部４及び密スケール
復調部５から夫々出力される位相信号ＣＭＰＭＥＤ．，
ＣＭＰＦＩＮＥは、速度検出器９にも入力されている。
速度検出器９は、スライダ２１が低速で移動していると
き又は停止しているときには、位相信号ＣＭＰＦＩＮＥ
信号でスライダ２１の移動速度を検出し、スライダ２１
が高速で移動しているときには、位相信号ＣＭＰＭＥ
Ｄ．でスライダ２１の移動速度を検出する。速度検出部
９は、検出したスライダの速度情報を回路切り換え制御
部１２に出力する。

【００３０】回路切り換え制御部１２は、スライダ２１
がゆっくり移動しているとき又は停止しているときに
は、スケール復調部３，４、位相検出部６，７、アブソ
リュート計数部１０を停止状態にさせるとともに、密ス
ケール復調部５、密位相検出部８及びインクリメンタル
計数部１１を動作状態にしてインクリメンタル計数動作
に切り換える。また、回路切り換え制御部１２は、スラ
イダが速く移動しているときには、スケール復調部３，
４、位相検出部６，７及びアブソリュート計数部１０を
動作状態にさせるとともに、インクリメンタル計数部１
１を停止状態にしてアブソリュート計数動作に切り換え
る。

【００３１】また、静電容量の変化は前記数３の通りな
ので図５に示すように、粗スケール及び中スケールによ
る計数動作時の送信信号Ｓｄの位相と、密スケールによ
る計数動作時の送信信号Ｓｄの位相とは異なっており、
回路切り換え制御部１２は、速度検出部９からの速度情
報に応じて送信波形発生部２からの送信信号Ｓｄを切り
換えるようになっている。アブソリュート計数部１０で
の計数値とインクリメンタル計数部１１での計数値と
は、計数合成部１３にて合成されるようになっている。
計数合成部１３の出力は、実際の変位量に適宜変換され
た形でＬＣＤ等の表示部１４に表示されるようになって
いる。

【００３２】次に、このように構成された本実施例に係
る変位測定装置の動作について説明する。図６は、スラ
イダ速度ｖと計数及び速度検出モードとの関係を示す図
である。スライダ２１が停止状態あるいは遅い速度で移
動しているときは、回路切り換え制御部１２は、スケー
ル復調部３，４、位相検出部６，７及びアブソリュート
計数部１０を停止状態、密スケール復調部５、密位相検
出部８及びインクリメンタル計数部１１を動作状態にす
ると共に、送信波形発生部２から密スケール計数動作の
ための送信波形Ｓｄを発生させる。これにより、インク
リメンタル計数動作が開始され、アブソリュート計数部
１０に保持された計数値が逐次加算又は減算される。こ
のととき、速度検出部９は、密スケール復調部５から出
力される位相信号ＣＭＰＦＩＮＥの周期からスライダ２
１の移動速度を検出する。

【００３３】スライダ２１の移動速度ｖが密スケールの
インクリメンタル計数の理論限界速度ｖ3 の約８０％に
至ると、回路切り換え制御部１２は、スケール復調部
３，４、位相検出部６，７及びアブソリュート計数部１
０を動作状態、密スケール復調部５、密位相検出部８及
びインクリメンタル計数部１１を停止状態にすると共
に、送信波形発生部２から粗スケール及び密スケール計
数動作のための送信波形Ｓｄを発生させる。これによ
り、装置はアブソリュート計数モードに移行する。この
とき、表示値の下の桁は粗い間隔をもって更新される
が、スライダが速く移動しているときには、表示値の下
の桁はあまり気にならないので特に問題とはならない。
このモードでは、速度検出部９は、中スケール復調部４
から出力される位相信号ＣＭＰＭＥＤ．の周期からスラ
イダ２１の移動速度を検出する。

【００３４】スライダ２１の移動速度ｖが速度ｖ3 の約
１５％まで減速すると、再びインクリメンタル計数動作
に移行するが、このとき、計数合成部１３に絶対的な変
位情報を受け渡す必要がある。このため、この受け渡し
に必要な期間だけ、回路切り換え制御部１２はスケール
復調部３，４，５及び位相検出部６，７，８を全て作動
させ、密スケールを含めたアブソリュート計数値を算出
する。この場合、粗スケール及び中スケール計数動作時
の送信信号Ｓｄと密スケール計数動作時の送信信号Ｓｄ
とが異なっているので、この期間では、送信信号Ｓｄを
一時的に多重化させるようにしている。図７は、粗スケ
ール及び中スケール用の４５°位相の送信信号ｂ1 と密
スケール用の１３５°位相の送信信号ｂ2 との多重化信
号Ｍを示す図である。このように、多重信号Ｍは、送信
信号ｂ1 ，ｂ2 のエッジの高さと方向を保って合成する
ことにより生成することができる。この受け渡し期間に
アブソリュート計数値が求められると、以後、密スケー
ル単独によるインクリメンタル計数に移行する。

【００３５】以上の動作により、スライダ２１が低速で
移動しているときは、粗スケール及び中スケール用の信
号処理回路とアブソリュート計数部１０とが休止状態と
なり、スライダ２１が高速で移動しているときは、密ス
ケール用の信号処理回路とインクリメンタル計数部１１
とが休止状態となる。こうすることによって動作クロッ
ク周波数を低く抑えることができるので、消費電力を大
幅に削減することができる。また、移動時にそれぞれの
スケールの位置情報を読みとる時刻が違うために生ずる
計数合成の不一致を防ぐので、計数表示の更新もスムー
ズになり、違和感のない表示値が得られる。

【００３６】また、図６に示したように、インクリメン
タル計数動作からアブソリュート計数動作に移行する際
の速度ｖ2 をアブソリュート計数動作からインクリメン
タル計数動作に移行する際の速度ｖ1 よりも高く設定す
るといったヒステリシス特性を持たせておくと、モード
が頻繁に切り替わるのを防止することができ、しかも、
インクリメンタル計数動作への受け渡し時に、一時的に
送信波形を多重化した場合でも、現状の動作クロックで
十分対応可能であるという利点がある。

【００３７】なお、以上の実施例では、粗スケール、中
スケール及び密スケールの３種類のピッチの異なるスケ
ールを使用して計数を行ったが、精度が許されれば、粗
スケール及び密スケールのみで計数を行ってもよい。

【００３８】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、固
定要素に対する可動要素の移動速度を速度検出手段で検
出し、可動要素が低速で移動している場合には、細かな
ピッチの周期信号から求められる第２の位相情報による
インクリメントな計数動作を行い、可動要素が高速で移
動している場合には、粗いピッチの周期信号から求めら
れる第１の位相情報によるアブソリュートな計数動作を
行うことにより、動作させる回路を減少させているの
で、消費電力を大幅に抑制することができると共に、計
数表示もスムーズにすることができる。したがって、本
発明によれば、例えばソーラセルを電源として使用した
低消費電力の小型測長器を実現することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例に係る変位測定装置のブロッ
ク図である。

【図２】 同変位測定装置におけるＡＢＳセンサの構成
を示す模式図である。

【図３】 同センサに供給される送信信号の一例を示す
波形図である。

【図４】 同センサにおける位置に対する容量の変化を
示すグラフである。

【図５】 同センサに供給される送信信号の位相関係を
示す模式図である。

【図６】 同センサのスライダの移動速度と計数モード
及び速度検出モードとの関係を示すグラフである。

【図７】 同センサに供給される多重化された送信信号
の一例を示す波形図である。

【符号の説明】

１…ＡＢＳセンサ、２…送信波形発生部、３…粗スケー
ル復調部、４…中スケール復調部、５…密スケール復調
部、６…粗位相検出部、７…中位相検出部、８…密位相
検出部、９…速度検出部、１０…アブソリュート計数
部、１１…インクリメンタル計数部、１２…回路切り換
え制御部、１３…計数合成部、１４…表示部、２１…ス
ライダ、２２…メインスケール、２３…送信電極、２４
ａ…第１受信電極、２４ｂ…第２受信電極、２５ａ…第
１伝達電極、２５ｂ…第２伝達電極、２６ａ，２６ｂ…
第１検出電極、２７ａ，２７ｂ…第２検出電極。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定要素に対する可動要素の変位量に応
   じた粗いピッチの第１の周期信号及び前記固定要素に対
   する前記可動要素の変位量に応じた細かいピッチの第２
   の周期信号を含む検出信号を出力する変位センサと、こ
   の変位センサから出力される検出信号から前記粗いピッ
   チに対応した第１の位相情報及び前記細かいピッチに対
   応した第２の位相情報を検出する位相情報検出手段と、
   前記第１の位相情報に基づいて前記固定要素に対する前
   記可動要素の絶対的な変位量を計数する絶対変位計数手
   段と、前記第２の位相情報に基づいて前記固定要素に対
   する前記可動要素の相対的な変位量を計数する相対変位
   計数手段と、前記固定要素に対する前記可動要素の移動
   速度を検出する速度検出手段と、この速度検出手段で検
   出された前記可動要素の移動速度が所定の速度よりも速
   くなった場合には前記絶対変位計数手段の出力に基づい
   て前記固定要素の前記可動要素に対する変位量を算出
   し、前記速度検出手段で検出された前記可動要素の移動
   速度が所定の速度よりも遅くなった場合には前記相対変
   位計数手段の出力に基づいて前記固定要素の前記可動要
   素に対する変位量を算出する計数合成手段とを具備して
   なることを特徴とする変位測定装置。
2. 【請求項２】 前記絶対変位計数手段と前記相対変位計
   数手段とは、択一的に動作状態になることを特徴とする
   請求項１記載の変位測定装置。
3. 【請求項３】 前記速度検出手段は、前記可動要素が所
   定の速度よりも低速で移動しているときには前記第２の
   周期信号に基づく速度検出を行い、前記可動要素が所定
   の速度よりも高速で移動しているときには前記第１の周
   期信号に基づく速度検出を行うものであることを特徴と
   する請求項１又は２記載の変位測定装置。
4. 【請求項４】 前記相対変位計数から前記絶対変位計数
   に切り替わる可動要素の速度は、前記絶対変位計数から
   前記相対変位計数に切り替わる可動要素の速度よりも高
   く設定されていることを特徴とする請求項１乃至３のい
   ずれか１項記載の変位測定装置。
5. 【請求項５】 前記絶対変位計数手段は、前記固定要素
   に対する前記可動要素の速度が低下して絶対変位計数か
   ら相対変位計数へ切り替わる際に、前記第１及び第２の
   位相情報を使用して前記固定要素に対する前記可動要素
   の絶対的な変位量を計数するものであることを特徴とす
   る請求項１乃至４のいずれか１項記載の変位測定装置。