JPH0545310A - Ｘ線モノクロメータ - Google Patents
Ｘ線モノクロメータInfo
- Publication number
- JPH0545310A JPH0545310A JP3202888A JP20288891A JPH0545310A JP H0545310 A JPH0545310 A JP H0545310A JP 3202888 A JP3202888 A JP 3202888A JP 20288891 A JP20288891 A JP 20288891A JP H0545310 A JPH0545310 A JP H0545310A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shutter
- ray
- sample
- dispersive crystal
- crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 検出感度の低下を防止するとともに、調整時
間の短縮を図る。 【構成】 大気側より駆動して分光結晶を覆うことがで
きる開閉可能なシャッタを設け、ベークアウト時、イオ
ンエッチング時には分光結晶をシャッタで覆ってヒータ
からの輻射熱をシールドし、エッチングにより試料から
飛散する元素の付着を防止する。さらに、シャッタの片
面に蛍光板を設け、調整作業時に、蛍光板の光を観測窓
より目視してＸ線源、スリット位置を調整することによ
り、調整作業時間を大幅に短縮することが可能となる。
間の短縮を図る。 【構成】 大気側より駆動して分光結晶を覆うことがで
きる開閉可能なシャッタを設け、ベークアウト時、イオ
ンエッチング時には分光結晶をシャッタで覆ってヒータ
からの輻射熱をシールドし、エッチングにより試料から
飛散する元素の付着を防止する。さらに、シャッタの片
面に蛍光板を設け、調整作業時に、蛍光板の光を観測窓
より目視してＸ線源、スリット位置を調整することによ
り、調整作業時間を大幅に短縮することが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は単色化したＸ線を試料に
照射して励起し、試料から放出される光電子を検出して
分析するＸ線モノクロメータに関する。
照射して励起し、試料から放出される光電子を検出して
分析するＸ線モノクロメータに関する。
【０００２】
【従来の技術】光電子分光装置において、Ｘ線モノクロ
メータを使用する場合、図３に示すように、Ｘ線発生器
１からのＸ線１５をスリット２０を通して台座３に取付
けられた分光結晶（ＳｉＯ2 ）に導き、分光結晶表面か
らの所定回折角のＸ線を取り出すことにより単色化し、
この単色化したＸ線を試料台５に支持された試料６に照
射し、試料から放出される光電子を検出器７で検出して
いる。検出器７は、通常、入射レンズを通して質量分析
計に導く構成になっている。
メータを使用する場合、図３に示すように、Ｘ線発生器
１からのＸ線１５をスリット２０を通して台座３に取付
けられた分光結晶（ＳｉＯ2 ）に導き、分光結晶表面か
らの所定回折角のＸ線を取り出すことにより単色化し、
この単色化したＸ線を試料台５に支持された試料６に照
射し、試料から放出される光電子を検出器７で検出して
いる。検出器７は、通常、入射レンズを通して質量分析
計に導く構成になっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このようなＸ線モノク
ロメータにおいて励起Ｘ線の単色化のために用いられる
分光結晶は０．１ｍｍ厚程のＳｉＯ2 からなり、通常、
図３に示すように台座３に接着するようにしている。一
方、装置は１×１０-10 Ｔｏｒｒ程の超高真空にする必
要があるためベークアウトを行っているが、この時の輻
射熱によって分光結晶の接着面が剥がれたり、分光結晶
の面が波打ってローランド円と同寸法に作られた結晶面
の精度が低下し、検出感度の低下をもたらしていた。ま
た、光電子分光装置においては、試料の前処理としてイ
オンビームにより試料表面のエッチングを行っている
が、この時飛散した元素が分光結晶の表面に付着し、検
出感度の低下をもたらす原因になっている。
ロメータにおいて励起Ｘ線の単色化のために用いられる
分光結晶は０．１ｍｍ厚程のＳｉＯ2 からなり、通常、
図３に示すように台座３に接着するようにしている。一
方、装置は１×１０-10 Ｔｏｒｒ程の超高真空にする必
要があるためベークアウトを行っているが、この時の輻
射熱によって分光結晶の接着面が剥がれたり、分光結晶
の面が波打ってローランド円と同寸法に作られた結晶面
の精度が低下し、検出感度の低下をもたらしていた。ま
た、光電子分光装置においては、試料の前処理としてイ
オンビームにより試料表面のエッチングを行っている
が、この時飛散した元素が分光結晶の表面に付着し、検
出感度の低下をもたらす原因になっている。
【０００４】また、Ｘ線発生器１、分光結晶４、試料６
は一定の中心径をもつローランド円上に配置する必要が
あるとともに、Ｘ線発生器１より生じたＸ線を有効に分
光結晶面に照射するために、Ｘ線発生器１、スリット２
０を動かして位置調整しており、これらの位置関係がず
れると検出感度の低下を招いてしまう。しかし、これら
の調整は超高真空容器内で行わなければならず、その上
Ｘ線は不可視であるため、調整作業は高度の技術と長い
時間を要していた。本発明は上記課題を解決するための
もので、検出感度の低下を防止するとともに、調整時間
の短縮を図ることができるＸ線モノクロメータを提供す
ることを目的とする。
は一定の中心径をもつローランド円上に配置する必要が
あるとともに、Ｘ線発生器１より生じたＸ線を有効に分
光結晶面に照射するために、Ｘ線発生器１、スリット２
０を動かして位置調整しており、これらの位置関係がず
れると検出感度の低下を招いてしまう。しかし、これら
の調整は超高真空容器内で行わなければならず、その上
Ｘ線は不可視であるため、調整作業は高度の技術と長い
時間を要していた。本発明は上記課題を解決するための
もので、検出感度の低下を防止するとともに、調整時間
の短縮を図ることができるＸ線モノクロメータを提供す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明はＸ線源からのＸ
線を分光結晶に導き、分光結晶で単色化したＸ線で試料
を励起して光電子を検出するようにした光電子分光装置
において、分光結晶表面を覆うシャッタを設け、大気側
よりシャッタの開閉を行うようにしたこと、さらに、シ
ャッタに蛍光板を設け、分光結晶をシャッタで覆ったと
きにＸ線源からのＸ線が蛍光板に照射されるようにした
ことを特徴とする。
線を分光結晶に導き、分光結晶で単色化したＸ線で試料
を励起して光電子を検出するようにした光電子分光装置
において、分光結晶表面を覆うシャッタを設け、大気側
よりシャッタの開閉を行うようにしたこと、さらに、シ
ャッタに蛍光板を設け、分光結晶をシャッタで覆ったと
きにＸ線源からのＸ線が蛍光板に照射されるようにした
ことを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明は、大気側より駆動して分光結晶を覆う
ことができる開閉可能なシャッタを設け、ベークアウト
時、イオンエッチング時には分光結晶をシャッタで覆う
ようにして、ヒータからの輻射熱をシールドし、またエ
ッチングにより試料から飛散する元素の付着を防止す
る。さらに、シャッタの片面に蛍光板を設け、分光結晶
を覆ったときにＸ線源からのＸ線が蛍光板に当たるよう
にして、Ｘ線源をローランド円上に配置したり、スリッ
トを移動させたりする調整作業を蛍光板の光を観測窓よ
り目視しながら行うことにより、調整作業時間を大幅に
短縮することが可能となる。
ことができる開閉可能なシャッタを設け、ベークアウト
時、イオンエッチング時には分光結晶をシャッタで覆う
ようにして、ヒータからの輻射熱をシールドし、またエ
ッチングにより試料から飛散する元素の付着を防止す
る。さらに、シャッタの片面に蛍光板を設け、分光結晶
を覆ったときにＸ線源からのＸ線が蛍光板に当たるよう
にして、Ｘ線源をローランド円上に配置したり、スリッ
トを移動させたりする調整作業を蛍光板の光を観測窓よ
り目視しながら行うことにより、調整作業時間を大幅に
短縮することが可能となる。
【０００７】
【実施例】図１は本発明のＸ線モノクロメータの１実施
例を示す図である。図中、１はＸ線発生器、２は支持部
材、３は台座、４は分光結晶、５は試料台、６は試料、
７は検出器、９はベークアウト用シーズヒータ、１０は
エッチングイオン銃、１１はシャッタ、１２は回転軸、
１３はベーカブルフランジ、１４はフレーム、１５はＸ
線、１６は単色Ｘ線である。
例を示す図である。図中、１はＸ線発生器、２は支持部
材、３は台座、４は分光結晶、５は試料台、６は試料、
７は検出器、９はベークアウト用シーズヒータ、１０は
エッチングイオン銃、１１はシャッタ、１２は回転軸、
１３はベーカブルフランジ、１４はフレーム、１５はＸ
線、１６は単色Ｘ線である。
【０００８】図１において、フレーム１４に気密に取付
けられたベーキング可能なベーカブルフランジ１３に支
持部材２が支持され、これに台座２が取付けられてその
表面に分光結晶４が接着されている。この分光結晶４と
Ｘ線発生器１、試料台５にセットされた試料６はローラ
ンド円上になるように配置されている。また、装置のフ
レーム１４にはエッチングイオン銃１０が取付けられて
おり、試料面をエッチングできるようになっており、ま
た、装置は１×１０-10 Ｔｏｒｒ程の超高真空にする必
要があるためシーズヒータ９により２００℃程度に加熱
してベークアウトを行う。単色Ｘ線１６を試料６に照射
したときに放出される光電子は検出７で検出される。本
実施例においては、さらに回転軸１２の回りを回転可能
なシャッタ１１が設けられており、磁気カップリングに
より大気側より回転軸１２を回転駆動し、ベークアウト
時、及びイオンエッチング時にはシャッタ１１で分光結
晶表面を覆うようにする。
けられたベーキング可能なベーカブルフランジ１３に支
持部材２が支持され、これに台座２が取付けられてその
表面に分光結晶４が接着されている。この分光結晶４と
Ｘ線発生器１、試料台５にセットされた試料６はローラ
ンド円上になるように配置されている。また、装置のフ
レーム１４にはエッチングイオン銃１０が取付けられて
おり、試料面をエッチングできるようになっており、ま
た、装置は１×１０-10 Ｔｏｒｒ程の超高真空にする必
要があるためシーズヒータ９により２００℃程度に加熱
してベークアウトを行う。単色Ｘ線１６を試料６に照射
したときに放出される光電子は検出７で検出される。本
実施例においては、さらに回転軸１２の回りを回転可能
なシャッタ１１が設けられており、磁気カップリングに
より大気側より回転軸１２を回転駆動し、ベークアウト
時、及びイオンエッチング時にはシャッタ１１で分光結
晶表面を覆うようにする。
【０００９】このような構成において、前処理としてエ
ッチングイオン銃１０による試料面のエッチング、シー
ズヒータ９によるベークアウトを行う際に、大気側より
回転軸１２を回転駆動してシャッタ１１で分光結晶４の
表面を覆う。このようにすることによって、シーズヒー
タ９の輻射熱をシールドし、またイオンエッチングによ
り元素が分光結晶表面に付着するのを防止することがで
きる。このような前処理をした後、Ｘ線発生器１より分
光結晶４の表面にＸ線１５を導き、分光結晶で所定角度
方向に反射される単色Ｘ線１６を試料６に照射し、試料
から放出される光電子を検出器７で検出するようにす
る。
ッチングイオン銃１０による試料面のエッチング、シー
ズヒータ９によるベークアウトを行う際に、大気側より
回転軸１２を回転駆動してシャッタ１１で分光結晶４の
表面を覆う。このようにすることによって、シーズヒー
タ９の輻射熱をシールドし、またイオンエッチングによ
り元素が分光結晶表面に付着するのを防止することがで
きる。このような前処理をした後、Ｘ線発生器１より分
光結晶４の表面にＸ線１５を導き、分光結晶で所定角度
方向に反射される単色Ｘ線１６を試料６に照射し、試料
から放出される光電子を検出器７で検出するようにす
る。
【００１０】図２は本発明の他の実施例を示す図であ
る。なお、２０はスリット、２１は観測窓、２２は蛍光
板である。本実施例は、図１の実施例における回転軸１
２を中心に回転するシャッタ１１に、さらに蛍光板２２
を設け、このシャッタで分光結晶を覆ったときに、Ｘ線
発生器１からのＸ線１５が蛍光板２２に照射されて蛍光
を発し、この光を観測窓２１より観測できるようにした
ものである。
る。なお、２０はスリット、２１は観測窓、２２は蛍光
板である。本実施例は、図１の実施例における回転軸１
２を中心に回転するシャッタ１１に、さらに蛍光板２２
を設け、このシャッタで分光結晶を覆ったときに、Ｘ線
発生器１からのＸ線１５が蛍光板２２に照射されて蛍光
を発し、この光を観測窓２１より観測できるようにした
ものである。
【００１１】このような構成において、Ｘ線発生器１及
びスリット２０の位置合わせ調整作業時に、大気側より
磁気カップリング等により回転軸１２を駆動してシャッ
タ１１で分光結晶を覆ってＸ線発生器１からのＸ線１５
を蛍光板２２に照射し、Ｘ線が有効に分光結晶へ照射さ
ているか否かを観測窓２１を通して蛍光板上の光を見な
がら調整作業を行うことができる。このように、目視し
ながら大気側で調整することができるので、調整時間を
大幅に短縮することが可能となる。
びスリット２０の位置合わせ調整作業時に、大気側より
磁気カップリング等により回転軸１２を駆動してシャッ
タ１１で分光結晶を覆ってＸ線発生器１からのＸ線１５
を蛍光板２２に照射し、Ｘ線が有効に分光結晶へ照射さ
ているか否かを観測窓２１を通して蛍光板上の光を見な
がら調整作業を行うことができる。このように、目視し
ながら大気側で調整することができるので、調整時間を
大幅に短縮することが可能となる。
【００１２】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、分光結晶
を覆うシャッタを設けることにより、ベークアウト用シ
ーズヒータの輻射熱をシールドし、またイオンエッチン
グによる元素の分光結晶表面への付着を防止することが
できるので、検出感度の低下を防止することができる。
さらに、シャッタに蛍光板を設けることにより、ローラ
ンド円上にＸ線発生器を配置したり、スリット位置を動
かす調整作業を、蛍光を目視しながら大気側で行うこと
ができるので、調整時間を大幅に短縮することが可能と
なる。
を覆うシャッタを設けることにより、ベークアウト用シ
ーズヒータの輻射熱をシールドし、またイオンエッチン
グによる元素の分光結晶表面への付着を防止することが
できるので、検出感度の低下を防止することができる。
さらに、シャッタに蛍光板を設けることにより、ローラ
ンド円上にＸ線発生器を配置したり、スリット位置を動
かす調整作業を、蛍光を目視しながら大気側で行うこと
ができるので、調整時間を大幅に短縮することが可能と
なる。
【図１】 本発明の一実施例を示す図である。
【図２】 本発明の他の実施例を示す図である。
【図３】 光電子分光装置を示す図である。
１…Ｘ線発生器、２…支持部材、３…台座、４…分光結
晶、５…試料台、６…試料、７…検出器、９…ベークア
ウト用シーズヒータ、１０…エッチングイオン銃、１１
…シャッタ、１２…回転軸、１３…ベーカブルフラン
ジ、１４…フレーム、１５…Ｘ線、１６…単色Ｘ線、２
０…スリット、２１…観測窓、２２…蛍光板。
晶、５…試料台、６…試料、７…検出器、９…ベークア
ウト用シーズヒータ、１０…エッチングイオン銃、１１
…シャッタ、１２…回転軸、１３…ベーカブルフラン
ジ、１４…フレーム、１５…Ｘ線、１６…単色Ｘ線、２
０…スリット、２１…観測窓、２２…蛍光板。
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ線源からのＸ線を分光結晶に導き、分
光結晶で単色化したＸ線で試料を励起して光電子を検出
するようにした光電子分光装置において、分光結晶表面
を覆うシャッタを設け、大気側よりシャッタの開閉を行
うようにしたことを特徴とするＸ線モノクロメータ。 - 【請求項２】 さらに、シャッタに蛍光板を設け、分光
結晶をシャッタで覆ったときにＸ線源からのＸ線が蛍光
板に照射されるようにしたことを特徴とする請求項１記
載のＸ線モノクロメータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3202888A JPH0545310A (ja) | 1991-08-13 | 1991-08-13 | Ｘ線モノクロメータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3202888A JPH0545310A (ja) | 1991-08-13 | 1991-08-13 | Ｘ線モノクロメータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0545310A true JPH0545310A (ja) | 1993-02-23 |
Family
ID=16464866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3202888A Withdrawn JPH0545310A (ja) | 1991-08-13 | 1991-08-13 | Ｘ線モノクロメータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0545310A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1533104A3 (de) * | 2003-11-21 | 2006-12-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Herstellung eines Laufrades für eine Kreiselpumpe |
-
1991
- 1991-08-13 JP JP3202888A patent/JPH0545310A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1533104A3 (de) * | 2003-11-21 | 2006-12-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Herstellung eines Laufrades für eine Kreiselpumpe |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981112 |