JPH054533U - ランプ劣化検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 レーザ装置に用いられる励起ランプの劣化時
期を正確に把握する。 【構成】 レーザ媒質と、このレーザ媒質に励起光を投
入する励起ランプとを有するレーザ共振器において、レ
ーザ共振器内に光検出器の少なくとも受光部を設置し、
励起ランプの光を前記受光部で直接受光するとともに、
前記光検出器で検出した光量の大小によりランプ劣化を
判定する判定手段を設けた。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、レーザ共振器における励起ランプの劣化検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、レーザ共振器に使用する励起ランプの劣化を検出する手段として、図３ のように、レーザ共振器１から出射されるレーザ発振光を光検出器６で受光し、 レーザ発振出力が落ちたとき、励起ランプＬが劣化したものと推測している。 なお、図３で、２はレーザ媒質、３ａは全反射ミラー、３ｂは出力ミラー、７は 励起ランプの寿命を判定する判定手段、１５はビームスプリッタである。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、前記従来の検出方法では、励起ランプの劣化に関係のない他の要因、 例えば、全反射ミラーや出力ミラー焼損、励起ランプの電源の性能劣化、レーザ 光軸と各光学素子の光軸ずれなどにより、レーザ発振出力が落ちる場合があり、 測定の精度が低い。

【０００４】 従って、本来励起ランプの寿命がきていないにもかかわらず、励起ランプが劣 化したものと判定してしまう場合がある。 本考案は前記課題に鑑みてなされたものであり、励起ランプの光量を正確に測 定できるランプ劣化検出装置を提供することを技術的課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

そこで、本考案は、レーザ媒質と、このレーザ媒質に励起光を投入する励起ラ ンプとを有するレーザ共振器において、レーザ共振器内に光検出器の少なくとも 受光部を設置し、励起ランプの光を前記受光部で直接受光するとともに、前記光 検出器で検出した光量の大小によりランプ劣化を判定する判定手段を設けた。

【０００６】

【作用】

本考案によれば、レーザ共振器内に設置した受光部で検出光を直接受けるので 、光量検出に他の要因が影響する可能性が少ない。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図を用いて説明する。 図１において、レーザ共振器１内に励起ランプＬ、レーザ媒質２、出力ミラー ３ａ、全反射ミラー３ｂが配置され、さらに、励起ランプＬから発する光を直接 受光する受光部４が設けられている。

【０００８】 この受光部４に光ファイバ５の一端が接続され、この光ファイバ５の他端に光 電変換素子であるフォトダイオード６が配置されている。また、このフォトダイ オード６に判定手段７が接続されている。

【０００９】 この判定手段７は、フォトダイオード６で光量に応じて検出された微弱電圧を 増幅する増幅器８、増幅器８で増幅されたアナログ値をデジタル変換するＡ／Ｄ コンバータ９、このＡ／Ｄコンバータ９から入力されたデジタル電圧値を処理す る中央処理装置１０、処理結果を出力する出力手段１１を備えている。

【００１０】 そして、中央処理装置１０は、メモリ１２中に予め記憶されたしきい値電圧を 前記光量を示す電圧が下回ったとき、励起ランプＬの劣化ありと判断するように なっている。判断結果は、出力手段１１に出力される。出力手段１１としては、 ディスプレイやプリンタの他、ブザー、ランプなどでもよい。

【００１１】 本実施例では、受光部４をレーザ共振器１の内部に設置したことから励起ラン プ２からの光は、直接受光部４に投入され、外乱の影響を少ない状態で光ファイ バ５を経て、フォトダイオード６に伝えられる。

【００１２】 この結果、外的要因により測定値が左右されることなく、正確な測定結果が得 られる。 また、本実施例のように光電素子として光ファイバ５を用いた場合、光ファイ バ５によりレーザ共振器からの影響を受けない位置にフォトダイオード６や判定 手段７を設置することができる。

【００１３】 なお、受光部４は共振器内にあって受光が他の要素に妨げられない場所に設け るのが最適であり、励起ランプＬの近傍で、励起ランプＬとの間に障害物のない 状態にあるのがよい。また、受光部４は光ファイバ５の端部自体でもよい。

【００１４】 また、励起ランプＬが複数ある場合、その励起ランプＬ毎に受光部４、及び、 光検出器６を設けるのが望ましい。 また、光検出器６自体を共振器内に設けてもよい。

【００１５】

【考案の効果】

本考案によれば、外的要因によらず、励起ランプの光量を正確に測定でき、ラ ンプの劣化時期を正確に把握できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の一実施例の構成を示すブロック図

【図２】 判定手段の構成を示すブロック図

【図３】 従来例の構成を示すブロック図

【符号の説明】

１ レーザ共振器 ２ 励起ランプ ４ 受光部 ５ 光ファイバ ６ 光検出器（光電変換素子） ７ 判定手段 ８ 増幅器 ９ Ａ／Ｄコンバータ １０ 中央処理装置 １１ 出力手段 １２ メモリ

フロントページの続き (72)考案者 数藤 和義 千葉県野田市二ツ塚95番地の３ミヤチテク ノス株式会社内

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ媒質と、このレーザ媒質に励起光
   を投入する励起ランプとを有するレーザ共振器におい
   て、レーザ共振器内に光検出器の少なくとも受光部を設
   置し、励起ランプの光を前記受光部で直接受光するとと
   もに、前記光検出器で検出した光量の大小によりランプ
   劣化を判定する判定手段を設けたことを特徴とするラン
   プ劣化検出装置。
2. 【請求項２】 前記受光部に光ファイバの一端が接続さ
   れ、この光ファイバの他端に前記光検出器が接続された
   請求項１記載のランプ劣化検出装置。