JPH0545347A - 自動超音波探傷方法 - Google Patents
自動超音波探傷方法Info
- Publication number
- JPH0545347A JPH0545347A JP3204150A JP20415091A JPH0545347A JP H0545347 A JPH0545347 A JP H0545347A JP 3204150 A JP3204150 A JP 3204150A JP 20415091 A JP20415091 A JP 20415091A JP H0545347 A JPH0545347 A JP H0545347A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shape
- measured
- data
- flaw detection
- ultrasonic probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 多曲面を有する物体に対する超音波探傷にお
いて、探傷前に実施する形状データの入力・測定に必要
な時間を低減し、かつ被測定物の表面粗さや形状測定時
の外乱によらず、適切な探傷を可能とする。 【構成】 形状測定器11から得られる被測定体の形状
データを、形状処理部12において、スプライン関数を
用いた補間を行って滑らかな形状を再現し、形状記憶部
13に一旦記憶させ、その再現された形状データに基づ
いて、超音波探触子の位置及び方向を、前記被測定体の
表面の入射点において、一定の角度でかつ一定の距離の
点に保持するように超音波探触子の姿勢を軌道計算部1
4にて求め、制御装置16により駆動制御する。
いて、探傷前に実施する形状データの入力・測定に必要
な時間を低減し、かつ被測定物の表面粗さや形状測定時
の外乱によらず、適切な探傷を可能とする。 【構成】 形状測定器11から得られる被測定体の形状
データを、形状処理部12において、スプライン関数を
用いた補間を行って滑らかな形状を再現し、形状記憶部
13に一旦記憶させ、その再現された形状データに基づ
いて、超音波探触子の位置及び方向を、前記被測定体の
表面の入射点において、一定の角度でかつ一定の距離の
点に保持するように超音波探触子の姿勢を軌道計算部1
4にて求め、制御装置16により駆動制御する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、多曲面を有する物体に
対し、自動的に、かつ高精度に超音波探傷を行う方法に
関する。
対し、自動的に、かつ高精度に超音波探傷を行う方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】多自由度スキャナを用いて多曲面を有す
る物体を自動的に、かつ高精度に超音波探傷を行う方法
としては、被測定体の形状データを予め入力して記憶、
または距離センサを用いて測定して記憶し、その記憶さ
れた形状データに基づいて、超音波探触子の方向及び位
置を被測定体の表面の入射点において、一定の角度でか
つ一定の距離の点に保持するように超音波探触子を駆動
制御する方法がとられている。このうち、距離センサを
用いて被計測体の形状データを測定して記憶させる場合
には、距離計をスキャンさせて、X軸とY軸の各点(x
i ,yj )(i,j=1,2,3………)と被測定体表
面との距離を測定し、被測定体の形状関数zij=f(x
i ,yj )を求める手法が用いられている(例えば、特
開昭63−309852、特開昭63−30985
3)。
る物体を自動的に、かつ高精度に超音波探傷を行う方法
としては、被測定体の形状データを予め入力して記憶、
または距離センサを用いて測定して記憶し、その記憶さ
れた形状データに基づいて、超音波探触子の方向及び位
置を被測定体の表面の入射点において、一定の角度でか
つ一定の距離の点に保持するように超音波探触子を駆動
制御する方法がとられている。このうち、距離センサを
用いて被計測体の形状データを測定して記憶させる場合
には、距離計をスキャンさせて、X軸とY軸の各点(x
i ,yj )(i,j=1,2,3………)と被測定体表
面との距離を測定し、被測定体の形状関数zij=f(x
i ,yj )を求める手法が用いられている(例えば、特
開昭63−309852、特開昭63−30985
3)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の多曲面を有する
物体を検査対象とした自動探傷装置においては、精度の
良い超音波探傷を行おうとすると、探触子の動きを正確
に形状に倣うよう姿勢制御する必要があり、そのため、
探触子の動きを決める基となる形状データについて、多
くの点におけるデータを入力、または測定する必要があ
り、形状データの入力、または形状の測定に多大の時
間、手間を要していた。さらに距離センサを用いた被測
定体の形状データの入力の際には、被測定体の表面が粗
い場合や、さらに距離センサのデータに外乱が多く含ま
れているときは、被計測体の形状関数zij=f(xi ,
yj)は滑らかな関数とならない場合がある。そのよう
な形状データに基づいて、超音波探触子の位置及び方向
を被測定体の表面の入射点において、一定の角度でかつ
一定の距離の点に保持するように超音波探触子を走査さ
せようとすると、超音波探触子の走査軌道が滑らかにな
らないため、超音波探触子の動きが不安定となり、適切
な探傷ができないという問題点があった。
物体を検査対象とした自動探傷装置においては、精度の
良い超音波探傷を行おうとすると、探触子の動きを正確
に形状に倣うよう姿勢制御する必要があり、そのため、
探触子の動きを決める基となる形状データについて、多
くの点におけるデータを入力、または測定する必要があ
り、形状データの入力、または形状の測定に多大の時
間、手間を要していた。さらに距離センサを用いた被測
定体の形状データの入力の際には、被測定体の表面が粗
い場合や、さらに距離センサのデータに外乱が多く含ま
れているときは、被計測体の形状関数zij=f(xi ,
yj)は滑らかな関数とならない場合がある。そのよう
な形状データに基づいて、超音波探触子の位置及び方向
を被測定体の表面の入射点において、一定の角度でかつ
一定の距離の点に保持するように超音波探触子を走査さ
せようとすると、超音波探触子の走査軌道が滑らかにな
らないため、超音波探触子の動きが不安定となり、適切
な探傷ができないという問題点があった。
【0004】本発明はかかる問題点を解決するためにな
されたもので、形状データの入力、または測定に必要な
時間、手間を低減し、かつ、被測定体の表面の粗さや距
離センサに対する外乱の影響によらず、超音波探触子を
滑らかに駆動制御し、適切な探傷を可能とすることを目
的としている。
されたもので、形状データの入力、または測定に必要な
時間、手間を低減し、かつ、被測定体の表面の粗さや距
離センサに対する外乱の影響によらず、超音波探触子を
滑らかに駆動制御し、適切な探傷を可能とすることを目
的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の自動超音波探傷装置においては、被測定体
の形状データを代表された点のデータとして予め入力し
て記憶させ、その記憶されたデータから、スプライン関
数を用いた補間を行って、滑らかな形状を再現し、その
再現された形状データに基づいて、超音波探触子の位置
及び方向を、前記被測定体の表面の入射点において、一
定の角度でかつ一定の距離の点に保持するように超音波
探触子を自動的に駆動制御するものである。さらに、被
測定体の形状データを代表された点のデータとして得る
ために、距離センサを用いて測定し、記憶させることも
できる。
に、本発明の自動超音波探傷装置においては、被測定体
の形状データを代表された点のデータとして予め入力し
て記憶させ、その記憶されたデータから、スプライン関
数を用いた補間を行って、滑らかな形状を再現し、その
再現された形状データに基づいて、超音波探触子の位置
及び方向を、前記被測定体の表面の入射点において、一
定の角度でかつ一定の距離の点に保持するように超音波
探触子を自動的に駆動制御するものである。さらに、被
測定体の形状データを代表された点のデータとして得る
ために、距離センサを用いて測定し、記憶させることも
できる。
【0006】
【作用】上記のように、本装置ではスプライン関数を用
いた形状処理を行うことにより、被測定体の形状を代表
する限られた個数の点のデータが補間されると同時に平
滑化がなされ、実際に近い形状を表すことのできる多数
の点のデータを得ることができるため、その補間された
滑らかな形状データをもとに超音波探触子の走査させれ
ば、精度の良い、安定した探傷となる。
いた形状処理を行うことにより、被測定体の形状を代表
する限られた個数の点のデータが補間されると同時に平
滑化がなされ、実際に近い形状を表すことのできる多数
の点のデータを得ることができるため、その補間された
滑らかな形状データをもとに超音波探触子の走査させれ
ば、精度の良い、安定した探傷となる。
【0007】なお、一般に離散的データの補間には、ス
プライン関数の他にラグランジュ多項式を用いる方法が
よく知られているが、これは曲線を単一の多項式で表そ
うとするものであり、該技術のように補間によって多曲
面を持つ物体の形状を表す場合には、様々な曲率を含む
曲線、曲面となるため、補間の際に、ルンゲの現象に代
表されるような余計な振動を生じる場合があり、正確な
形状を再現することができない。これに対し、スプライ
ン関数を用いる方法では、曲線・曲面を複数の多項式の
組み合わせで表そうとするため、余計な振動は生じず、
任意の曲率を含む曲線、曲面を表すことができるため、
該技術においては、スプライン関数を用いて補間をする
ことが最適であるといえる。
プライン関数の他にラグランジュ多項式を用いる方法が
よく知られているが、これは曲線を単一の多項式で表そ
うとするものであり、該技術のように補間によって多曲
面を持つ物体の形状を表す場合には、様々な曲率を含む
曲線、曲面となるため、補間の際に、ルンゲの現象に代
表されるような余計な振動を生じる場合があり、正確な
形状を再現することができない。これに対し、スプライ
ン関数を用いる方法では、曲線・曲面を複数の多項式の
組み合わせで表そうとするため、余計な振動は生じず、
任意の曲率を含む曲線、曲面を表すことができるため、
該技術においては、スプライン関数を用いて補間をする
ことが最適であるといえる。
【0008】このスプライン関数を用いた補間を行う際
には、スプライン曲面への当てはめによって行うか、ま
たは、互いに垂直な2方向についてスプライン曲線への
当てはめを実施すれば、より滑らかな形状を再現するこ
とができる。
には、スプライン曲面への当てはめによって行うか、ま
たは、互いに垂直な2方向についてスプライン曲線への
当てはめを実施すれば、より滑らかな形状を再現するこ
とができる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の一実施例として、距離センサ
を用いて多曲面を有する被測定体の形状を予め測定し、
水中にて被測定体内部の欠陥を検出するための超音波探
傷を行う例について、図面を参照しながら説明する。
を用いて多曲面を有する被測定体の形状を予め測定し、
水中にて被測定体内部の欠陥を検出するための超音波探
傷を行う例について、図面を参照しながら説明する。
【0010】本実施例における装置の計測部の概略を図
1に、また、データの流れと全体の概略を図2に示す。
図1において、超音波探触子5はx軸、y軸、z軸、θ
軸、α軸から成る5軸スキャナに取り付けられており、
その位置や姿勢がコントロールされる。また距離センサ
2はz軸に取り付けられており、x軸、y軸、z軸の動
きによりその位置がコントロールされる。なお、x軸、
y軸、z軸は互いに直交し、θ軸はz軸に取り付けられ
z軸まわりの回転をし、α軸はθ軸に取り付けられθ軸
と直角方向に回転する。
1に、また、データの流れと全体の概略を図2に示す。
図1において、超音波探触子5はx軸、y軸、z軸、θ
軸、α軸から成る5軸スキャナに取り付けられており、
その位置や姿勢がコントロールされる。また距離センサ
2はz軸に取り付けられており、x軸、y軸、z軸の動
きによりその位置がコントロールされる。なお、x軸、
y軸、z軸は互いに直交し、θ軸はz軸に取り付けられ
z軸まわりの回転をし、α軸はθ軸に取り付けられθ軸
と直角方向に回転する。
【0011】次に、探傷手順に従い、本装置の動作を説
明する。まず、水槽6内に設置された被測定体1の上部
で距離センサ2をスキャンさせ、x軸とy軸の各点(x
i ,yj )における被測定体1の表面と距離センサ2の
距離を測定し、被測定体1の形状関数zij=f(xi ,
yj )を得る。この(xi ,yj )のメッシュの設定の
仕方を示すのが図3である。この例ではx軸に沿ってd
xのピッチでM個の点を測定し、y軸に沿ってdyのピ
ッチでN個の点を測定したものとする。
明する。まず、水槽6内に設置された被測定体1の上部
で距離センサ2をスキャンさせ、x軸とy軸の各点(x
i ,yj )における被測定体1の表面と距離センサ2の
距離を測定し、被測定体1の形状関数zij=f(xi ,
yj )を得る。この(xi ,yj )のメッシュの設定の
仕方を示すのが図3である。この例ではx軸に沿ってd
xのピッチでM個の点を測定し、y軸に沿ってdyのピ
ッチでN個の点を測定したものとする。
【0012】距離センサ2には、非接触式のレーザ距離
計や超音波距離計、あるいは接触式の変位形などを用い
ることができ、その距離データは形状測定器11によっ
て取得される。形状測定器11からのデータは、形状処
理部12において、スプライン曲面への当てはめか、ま
たは、x,yの2方向についてスプライン曲線への当て
はめによって補間され、滑らかな形状データに変換され
る。
計や超音波距離計、あるいは接触式の変位形などを用い
ることができ、その距離データは形状測定器11によっ
て取得される。形状測定器11からのデータは、形状処
理部12において、スプライン曲面への当てはめか、ま
たは、x,yの2方向についてスプライン曲線への当て
はめによって補間され、滑らかな形状データに変換され
る。
【0013】このとき、超音波探傷を行いたいポイント
のx軸方向のピッチをdx2、y軸方向のピッチをdy
2とすると、測定されたM*N個のデータは形状処理部
12においてスプライン関数を用いた補間により、x軸
方向にM*(dx/dx2)個、y軸方向にN*(dy
/dy2)個の形状データに変換される。このスプライ
ン関数を用いた補間を行う場合には、一般にdx/dx
2、dy/dy2とも10以上にしても十分であるの
で、初めに測定する代表点のデータは、最終的に超音波
探傷を行う点の1/100以下の個数で済むことにな
る。
のx軸方向のピッチをdx2、y軸方向のピッチをdy
2とすると、測定されたM*N個のデータは形状処理部
12においてスプライン関数を用いた補間により、x軸
方向にM*(dx/dx2)個、y軸方向にN*(dy
/dy2)個の形状データに変換される。このスプライ
ン関数を用いた補間を行う場合には、一般にdx/dx
2、dy/dy2とも10以上にしても十分であるの
で、初めに測定する代表点のデータは、最終的に超音波
探傷を行う点の1/100以下の個数で済むことにな
る。
【0014】形状処理部12からのデータは形状記憶部
13に一旦記憶され、必要に応じて軌道計算部14に送
られる。軌道計算部14は形状記憶部13に取り込まれ
ている形状データから、各点(xi ,yj ,zij)につ
いて、超音波探触子5が法線方向で、かつ一定の距離離
れた点から被測定体1の表面に向かうようにするための
5軸スキャナの座標(x,y,z,θ,α)を計算す
る。これを軌道データとする。この軌道データより、x
軸、y軸、z軸、θ軸、α軸の各軸のモータの動きが計
算され、制御装置16へ送られ、5軸スキャナが駆動す
る。
13に一旦記憶され、必要に応じて軌道計算部14に送
られる。軌道計算部14は形状記憶部13に取り込まれ
ている形状データから、各点(xi ,yj ,zij)につ
いて、超音波探触子5が法線方向で、かつ一定の距離離
れた点から被測定体1の表面に向かうようにするための
5軸スキャナの座標(x,y,z,θ,α)を計算す
る。これを軌道データとする。この軌道データより、x
軸、y軸、z軸、θ軸、α軸の各軸のモータの動きが計
算され、制御装置16へ送られ、5軸スキャナが駆動す
る。
【0015】このようにして超音波探触子5は被測定体
1の表面に倣うように、法線方向から一定の距離を保っ
て動くことになり、超音波探傷が可能となる。超音波探
傷は、上記のごとく超音波探触子5が被測定体1の表面
に倣うように動いている間、探傷を行うポイント毎に超
音波探触子5からのデータを超音波探傷器17が取り込
み、その探傷データを探傷データ処理装置18がCRT
上に探傷結果として表示することでなされる。
1の表面に倣うように、法線方向から一定の距離を保っ
て動くことになり、超音波探傷が可能となる。超音波探
傷は、上記のごとく超音波探触子5が被測定体1の表面
に倣うように動いている間、探傷を行うポイント毎に超
音波探触子5からのデータを超音波探傷器17が取り込
み、その探傷データを探傷データ処理装置18がCRT
上に探傷結果として表示することでなされる。
【0016】次に、図4に示すような曲面を含む探傷サ
ンプルにおける100mm×100mmの範囲を探傷する場
合を例として、本探傷方法実施前と、実施後の差を以下
に示す。まず、同一の探傷ピッチdx2=dy2=0.
1mmで探傷する場合、本発明実施前と実施後の距離計を
用いた形状測定に要する時間を比較したものを表1に示
す。本発明実施前はdx=dy=0.1mmのピッチにて
測定を行っており、約40分を要す。一方、本発明実施
後はdx=dy=1mmのピッチで測定が可能であり、こ
のときは約6分を要す。これより、本発明によって、形
状測定に要する時間が大幅に低減されることがわかる。
ンプルにおける100mm×100mmの範囲を探傷する場
合を例として、本探傷方法実施前と、実施後の差を以下
に示す。まず、同一の探傷ピッチdx2=dy2=0.
1mmで探傷する場合、本発明実施前と実施後の距離計を
用いた形状測定に要する時間を比較したものを表1に示
す。本発明実施前はdx=dy=0.1mmのピッチにて
測定を行っており、約40分を要す。一方、本発明実施
後はdx=dy=1mmのピッチで測定が可能であり、こ
のときは約6分を要す。これより、本発明によって、形
状測定に要する時間が大幅に低減されることがわかる。
【0017】次に、形状測定のピッチを同一のdx=d
y=1mmとして超音波探傷を実施した場合に、本発明実
施前と実施後において検出されたサンプル中の欠陥の個
数を比較した。なお、探傷のピッチは本発明実施はdx
2=dy2=1mmとなり、超音波探傷点が100×10
0ポイント、実施後ではdx2=dy2=0.1mmとし
て、超音波探傷点1000×1000ポイントとした。
その結果を、表2に示す。サンプル中の欠陥が本発明実
施前は12個、実施後は35個検出されており、本発明
によって、超音波探傷の精度が大幅に向上したことがわ
かる。
y=1mmとして超音波探傷を実施した場合に、本発明実
施前と実施後において検出されたサンプル中の欠陥の個
数を比較した。なお、探傷のピッチは本発明実施はdx
2=dy2=1mmとなり、超音波探傷点が100×10
0ポイント、実施後ではdx2=dy2=0.1mmとし
て、超音波探傷点1000×1000ポイントとした。
その結果を、表2に示す。サンプル中の欠陥が本発明実
施前は12個、実施後は35個検出されており、本発明
によって、超音波探傷の精度が大幅に向上したことがわ
かる。
【0018】なお、以上の実施例では被測定体表面に対
し超音波探触子がつねに法線方向を向きかつ一定距離の
場合、即ち被測定体の内部を探傷する例について述べた
が、同様の方式によって表面に対して一定の角度を及び
距離を保ちながら、表面に表面波を発生しながら表面の
探傷を行うことも可能である。
し超音波探触子がつねに法線方向を向きかつ一定距離の
場合、即ち被測定体の内部を探傷する例について述べた
が、同様の方式によって表面に対して一定の角度を及び
距離を保ちながら、表面に表面波を発生しながら表面の
探傷を行うことも可能である。
【0019】また、以上の実施例では、距離センサを用
いて被測定体の代表点の形状データを測定し、このデー
タに基づいて形状データを作成し、探触子軌道計算を行
ったが、代表点における形状データの入力は物体製造時
や入手時などにおいてCADなどから得た形状情報を用
いても良い。その際には代表点のデータのみ入力すれば
良いので探傷ポイント全点における形状データを必要と
した従来の方法に比べ、形状データを入力する手間、時
間が大幅に低減されることになる。
いて被測定体の代表点の形状データを測定し、このデー
タに基づいて形状データを作成し、探触子軌道計算を行
ったが、代表点における形状データの入力は物体製造時
や入手時などにおいてCADなどから得た形状情報を用
いても良い。その際には代表点のデータのみ入力すれば
良いので探傷ポイント全点における形状データを必要と
した従来の方法に比べ、形状データを入力する手間、時
間が大幅に低減されることになる。
【0020】
【表1】
【0021】
【表2】
【0022】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
被測定体の形状データを代表された点のデータとして予
め入力して記憶し、記憶されたデータからスプライン関
数を用いた補間を利用して形状を再現し、その再現され
た形状データに基づいて、超音波探触子の位置及び方向
を、前記被測定体の表面の入射点において、一定の角度
でかつ一定の距離の点に保持するように超音波探触子を
自動的に駆動制御するので、入力すべき形状代表点のデ
ータが少なくて済む。
被測定体の形状データを代表された点のデータとして予
め入力して記憶し、記憶されたデータからスプライン関
数を用いた補間を利用して形状を再現し、その再現され
た形状データに基づいて、超音波探触子の位置及び方向
を、前記被測定体の表面の入射点において、一定の角度
でかつ一定の距離の点に保持するように超音波探触子を
自動的に駆動制御するので、入力すべき形状代表点のデ
ータが少なくて済む。
【0023】また、形状を代表する点のデータは、距離
センサを用いた測定によっても得ることができるが、そ
の際には、測定すべき点の数が少なくて済むので、測定
に必要な時間、手間が低減されるだけでなく、スプライ
ン関数を用いた補間を行う際、同時にデータの平滑化が
なされるため、被測定体の表面の粗さや距離センサへの
外乱にかかわらず、滑らかな形状データを得ることがで
き、それによって超音波探触子を滑らかに駆動できるの
で、高精度で安定した探傷ができる。
センサを用いた測定によっても得ることができるが、そ
の際には、測定すべき点の数が少なくて済むので、測定
に必要な時間、手間が低減されるだけでなく、スプライ
ン関数を用いた補間を行う際、同時にデータの平滑化が
なされるため、被測定体の表面の粗さや距離センサへの
外乱にかかわらず、滑らかな形状データを得ることがで
き、それによって超音波探触子を滑らかに駆動できるの
で、高精度で安定した探傷ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】システム計測部の概略図。
【図2】データの流れとシステム全体の概略図。
【図3】距離センサを用いた形状測定図。
【図4】探傷サンプル。
1 被測定体 2 距離センサ 3 α軸モータ 4 θ軸モータ 5 超音波探触子 6 水槽 11 形状測定器 12 形状処理部 13 形状記憶部 14 軌道計算部 15 デジタル計算機 16 制御装置 17 超音波探傷器 18 探傷データ処理装置
Claims (2)
- 【請求項1】 多曲面を有する被測定体に対し、計算機
に予め記憶された形状データを基に、超音波探触子を、
その方向及び位置が被測定体の表面の入射点において、
一定の角度でかつ一定の距離の点に保持するようにしな
がら走査させることにより自動探傷を行う方法におい
て、被測定体の形状を、代表点のデータとして計算機に
予め入力し、そのデータをスプライン関数を用いて補間
して滑らかな形状を再現し、その再現された形状データ
に基づいて、超音波探触子の方向及び位置を決定し、走
査させることを特徴とする超音波探傷方法。 - 【請求項2】 被測定体の形状を、距離センサを用い
て、代表点のデータとして測定し、計算機に記憶させる
ことを特徴とする請求項1記載の超音波探傷方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3204150A JPH0545347A (ja) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | 自動超音波探傷方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3204150A JPH0545347A (ja) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | 自動超音波探傷方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0545347A true JPH0545347A (ja) | 1993-02-23 |
Family
ID=16485669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3204150A Withdrawn JPH0545347A (ja) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | 自動超音波探傷方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0545347A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006329632A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Sii Nanotechnology Inc | 非破壊検査装置及びそれを用いた非破壊検査方法 |
| JP2007509332A (ja) * | 2003-10-24 | 2007-04-12 | ゲーイー・インスペクチオン・テクノロジーズ・ゲーエムベーハー | 複雑な表面輪郭を有する部材の超音波検査のための方法及び装置 |
| WO2009107746A1 (ja) | 2008-02-26 | 2009-09-03 | 株式会社東芝 | 超音波検査装置 |
| WO2009107745A1 (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-03 | 株式会社東芝 | 超音波検査装置 |
| JP2010008212A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Toshiba Corp | 探傷試験方法 |
| JP2011064645A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Shinmaywa Industries Ltd | 超音波探傷装置及び超音波探傷方法 |
| KR101919028B1 (ko) * | 2017-06-22 | 2019-01-31 | 두산중공업 주식회사 | 초음파 검사 방법과, 그를 위한 장치 및 시스템 |
| JP2022164208A (ja) * | 2021-04-16 | 2022-10-27 | 株式会社東芝 | ライザブレース検査装置およびライザブレース検査方法 |
-
1991
- 1991-08-14 JP JP3204150A patent/JPH0545347A/ja not_active Withdrawn
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007509332A (ja) * | 2003-10-24 | 2007-04-12 | ゲーイー・インスペクチオン・テクノロジーズ・ゲーエムベーハー | 複雑な表面輪郭を有する部材の超音波検査のための方法及び装置 |
| JP2006329632A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Sii Nanotechnology Inc | 非破壊検査装置及びそれを用いた非破壊検査方法 |
| WO2009107746A1 (ja) | 2008-02-26 | 2009-09-03 | 株式会社東芝 | 超音波検査装置 |
| WO2009107745A1 (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-03 | 株式会社東芝 | 超音波検査装置 |
| JP2009204328A (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Toshiba Plant Systems & Services Corp | 超音波検査装置 |
| JP2009204327A (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Toshiba Plant Systems & Services Corp | 超音波検査装置 |
| US8371171B2 (en) | 2008-02-26 | 2013-02-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic inspection apparatus |
| US8413515B2 (en) | 2008-02-26 | 2013-04-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic inspection apparatus |
| JP2010008212A (ja) * | 2008-06-26 | 2010-01-14 | Toshiba Corp | 探傷試験方法 |
| JP2011064645A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Shinmaywa Industries Ltd | 超音波探傷装置及び超音波探傷方法 |
| KR101919028B1 (ko) * | 2017-06-22 | 2019-01-31 | 두산중공업 주식회사 | 초음파 검사 방법과, 그를 위한 장치 및 시스템 |
| JP2022164208A (ja) * | 2021-04-16 | 2022-10-27 | 株式会社東芝 | ライザブレース検査装置およびライザブレース検査方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5341183A (en) | Method for controlling projection of optical layup template | |
| EP3542130B1 (en) | Method of calibrating an analogue contact probe and method of transforming a probe signal from an analogue contact probe into a spatial measurement value | |
| EP0489161A1 (en) | Ultrasonic flaw detector | |
| EP1662252A1 (en) | X-ray inspection apparatus, x-ray inspection method, and x-ray inspection program | |
| JP2720077B2 (ja) | 超音波探傷装置 | |
| JP2553867B2 (ja) | 超音波探傷装置 | |
| JP4688811B2 (ja) | 複雑な表面輪郭を有する部材の超音波検査のための方法及び装置 | |
| CN108534707A (zh) | 工业制造部件规模化扫描检测方法 | |
| JP3880030B2 (ja) | V溝形状測定方法及び装置 | |
| JP3195850B2 (ja) | 曲面上の三次元位置計測方法及びその装置 | |
| JP2859659B2 (ja) | 超音波探傷装置 | |
| JPH09325136A (ja) | 遠心形羽根車の自動欠陥評価方法 | |
| JP2812737B2 (ja) | 探触子の速度制御装置 | |
| CN115326932A (zh) | 手机中框复合材料内层缺陷无损检测装置及其方法 | |
| JP2001133244A (ja) | 形状測定方法およびその装置 | |
| JPH0778425B2 (ja) | 3次元データ補間方法 | |
| JPH06137854A (ja) | 三次元形状の検査方法 | |
| JPH0148485B2 (ja) | ||
| JP3195851B2 (ja) | 曲面上の三次元位置計測方法及びその装置 | |
| KR920006740B1 (ko) | 비 접촉식 타이어 단면윤곽 형상계측 방법 | |
| JPH07260423A (ja) | 無接触距離計測方法 | |
| JPH07128311A (ja) | 超音波探傷装置 | |
| JP2507412B2 (ja) | 加工線テイ−チング方法 | |
| JPS63241405A (ja) | 硬度計 | |
| JPH0666512A (ja) | 走査型トンネル顕微鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981112 |